JP2023031729A

JP2023031729A - 電子部品の電気的計測装置

Info

Publication number: JP2023031729A
Application number: JP2021137401A
Authority: JP
Inventors: 一明青木; Kazuaki Aoki; 智幸小島; Tomoyuki Kojima; 憲昭稲田; noriaki Inada
Original assignee: Tokyo Weld Co Ltd
Current assignee: Tokyo Weld Co Ltd
Priority date: 2021-08-25
Filing date: 2021-08-25
Publication date: 2023-03-09

Abstract

【課題】電子部品の外観を損なうことなく、精度良く電子部品の電気的計測を行う。【解決手段】抵抗値測定器１６により電極Ｗ１に当接する第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間の接触抵抗と、電極Ｗ２に当接する第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間の接触抵抗を測定する。一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間の接触抵抗および第２プローブ１２ａ，１２ｂ間の接触抵抗が規定値以下の場合に、電気的測定器２０を作動させて、一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的計測を行う。【選択図】図１

Description

本開示は、電子部品の電気的計測装置に関する。

電子機器の高機能化、高精度化にともない、電子機器に使用される電子部品にも、高い特性精度が求められている。このような電子部品に対して、プローブを電子部品の電極に当接させることにより、電気的計測が行われている。

この場合、電子部品の電極に自然形成された酸化膜が形成されることがあり、この酸化膜は接触抵抗となって電気的測定に悪影響を与えている。このような悪影響を防ぐため、プローブの先端を鋭角にしたり、プローブ先端を電極に擦り付けて酸化膜を除去したり、プローブ先端に電流を印加して酸化膜を破壊することが考えられている。

しかしながら、いずれの方法も電極に傷を付けたり、プローブ痕を残したりして、電子部品の外観を損なうことになる。

ＷＯ２０１６／１６３２２９

本開示はこのような点を考慮してなされたものであり、電子部品の外観を損なうことなく、精度良く電子部品の電気的計測を行うことができる電子部品の電気的計測装置を提供することを目的とする。

本開示は、一対の電極を含む電子部品の電気的計測を行う電子部品の電気的計測装置において、一方の電極に当接するとともに、少なくとも一対の第１プローブを含む第１測定端子と、他方の電極に当接するとともに、少なくとも一対の第２プローブを含む第２測定端子と、前記第１測定端子の一対の第１プローブと、前記第２測定端子の一対の第２プローブとの間に接続され、前記一対の電極間の電気的計測を行う電気的測定器と、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間に接続され、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値を測定する抵抗値測定器と、制御部と、を備え、前記制御部は前記抵抗値測定器により測定された前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値が規定値以下の場合であり、かつ前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値が規定値以下の場合に、前記電気的測定器を作動させて、前記一対の電極間の電気的計測を行う、電子部品の電気的計測装置である。

本開示は、前記第１測定端子および前記第２測定端子をそれぞれ駆動する駆動機構をさらに備えた、電子部品の電気的計測装置である。

本開示は、前記駆動機構は、ボイスコイルモータを含む、電子部品の電気的計測装置である。

本開示は、前記制御部は前記駆動機構を制御して、前記第１測定端子および前記第２測定端子を駆動し、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブを前記一方の電極に当接させ、かつ前記第２測定端子の前記一対の第２プローブを前記他方の電極に当接させ、前記制御部は前記抵抗値測定器により測定された前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値が規定値を超えた場合、または前記抵抗値測定器により測定された前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値が規定値を超えた場合、再度、前記駆動機構を制御して、接触抵抗値が規定値を超えた前記第１測定端子または前記第２測定端子を駆動して、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブを前記一方の電極に当接させるか、または前記第２測定端子の前記一対の第２プローブを前記他方の電極に当接させる、電子部品の電気的計測装置である。

本開示は、前記制御部は前記駆動機構を制御して、前記第１測定端子および前記第２測定端子を駆動し、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブを前記一方の電極に当接させ、かつ前記第２測定端子の前記一対の第２プローブを前記他方の電極に当接させ、前記制御部は前記抵抗値測定器により測定された前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値が規定値を超えた場合、または前記抵抗値測定器により測定された前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値が規定値を超えた場合、前記駆動機構を制御して、接触抵抗値が規定値を超えた前記第１測定端子または前記第２測定端子を駆動して、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブを前記一方の電極に当接させながら振動させるか、または前記第１測定端子の前記一対の第１プローブと前記一方の電極との間の接触荷重を増加させ、あるいは前記第２測定端子の前記一対の第２プローブを前記他方の電極に当接させながら振動させるか、または前記第２測定端子の前記一対の第２プローブと前記他方の電極との間の接触荷重を増加させる、電子部品の電気的計測装置である。

本開示は、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブのいずれか、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブのいずれかに温度計が設定され、前記制御部は前記温度計からの温度が規定温度を超えた場合に前記電気的測定器の作動を中止する、電子部品の電気的計測装置である。

以上のように本開示によれば、電子部品の外観を損なうことなく、精度良く電子部品の電気的計測を行うことができる。また、接触抵抗が高い状態で電流を印加することによる熱によって、プローブあるいは電子部品を損傷させることはない。

図１は本開示による電子部品の電気的計測装置を示す概略図。図２は制御部のＶＣＭ制御部を示す概念図。図３ＡはＶＣＭの荷重と印加電流との関係を示す図。図３Ｂは接触抵抗と接触荷重との関係を示す図。図４は本開示による電子部品の電気的計測装置の作用を示すフローチャート。図５は電気的計測装置システム全体を示す概略図。

以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態について説明する。

まず図５により、本開示による電子部品の電気的計測装置１０が組み込まれた電気的計測装置システム１００全体の概略について説明する。

本開示による電子部品の電気的計測装置１０により計測される電子部品としては、例えばＮＴＣサーミスタ、ＰＴＣサーミスタ、固定抵抗、キャパシタ、インダクタ、ダイオードなどが挙げられる。

電気的計測装置システム１００は、図５に示すように、電子部品Ｗを順次供給するパーツフィーダ１と、パーツフィーダ１に接続されたリニアフィーダ３と、リニアフィーダ３に接続されたインデックステーブル５とを備えている。このうちパーツフィーダ１は、モータにより回転する回転板２を有し、回転板２が回転することにより、回転板２の上に投入された多数の電子部品Ｗを順次供給する。

またリニアフィーダ３は、コンベアを備え、パーツフィーダ１により供給された電子部品Ｗを直線状に搬送する。

さらにインデックステーブル５は、測定ベース４上に配置されるとともに円板状をなし、インデックステーブル５の外周に電子部品Ｗを収容する多数の凹部５ａが形成されている。インデックステーブル５は、凹部５ａに電子部品Ｗを収容した状態で、モータにより間欠的に回転する。

なお、図５においては図示を省略しているが、インデックステーブル５の周囲には、凹部５ａに収容された電子部品Ｗが、インデックステーブル５の回転にともなって円状に搬送されるよう、インデックスガイド７が適宜設けられている（図１参照）。また、図５において、インデックステーブル５の上面には、インデックスカバーが設けられる場合がある。

また電気的計測装置システム１００の測定ベース４には、本開示による電子部品の電気的計測装置１０が設けられている（図１および図５参照）。

次に図１により本開示による電子部品の電気的計測装置１０について説明する。

電子部品の電気的計測装置１０は、上述のようにサーミスタ等の電子部品Ｗの電気的計測を行うものであり、電子部品Ｗは電子部品本体Ｗ０と、電子部品本体Ｗ０の両側に設けられた一対の電極Ｗ１，Ｗ２とを有する。

また電子部品Ｗは測定ベース４上に設けられたインデックステーブル５の凹部５ａ内に収容され、インデックステーブル５の凹部５ａ内に収容された電子部品Ｗが電子部品の電気的計測装置１０に達すると、この電子部品の電気的計測装置１０により電子部品Ｗに対して電気的計測が行われる。

ここで電子部品の電気的計測装置１０は、一方の電極Ｗ１に当接する一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂを有する第１測定端子１１と、他方の電極Ｗ２に当接する一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂを有する第２測定端子１２と、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと、第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂとに接続され、一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的計測を行う電気的測定器２０とを備えている。

この場合、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂは、いずれも測定ベース４の開口４ａ内を貫通して上方へ延び、測定ベース４に対して上下方向に移動可能となって、電子部品Ｗの電極Ｗ１，Ｗ２に当接可能となっている。

また一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂは、いずれも駆動機構本体１３に保持されている。そしてこの駆動機構本体１３はＶＣＭ（ボイスコイルモータ）１４により駆動され、ＶＣＭ１４により駆動機構本体１３が上下方向に駆動され、これに伴なって一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂが上下方向へ移動する。

そして駆動機構本体１３とＶＣＭ１４とによって駆動機構１５が構成される。

本実施の形態において、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂが駆動機構１５によって一体として上下方向へ移動するが、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂを、各々独立した駆動機構１５により個別に移動させてもよい。

また、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂには、各々配線ライン２１ａ，２１ｂが接続され、一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂはこの配線ライン２１ａ，２１ｂを介して電気的測定器２０に接続されている。

さらに第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂには各々配線ライン２２ａ，２２ｂが接続され、一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂはこの配線ライン２２ａ，２２ｂを介して電気的測定器２０に接続されている。

さらにまた、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂは、各々配線ライン２１ａ，２１ｂを介して抵抗値測定器１６に接続されている。また第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂは、各々配線ライン２２ａ，２２ｂを介して抵抗値測定器１６に接続されている。

この抵抗値測定器１６は、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間における接触抵抗値を測定するとともに、第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間における接触抵抗値を測定するものである。

すなわち、電子部品Ｗの一対の電極Ｗ１，Ｗ２の表面には酸化膜が自然に形成される場合がある。そしてこの自然に形成される電極Ｗ１上の酸化膜により第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと電極Ｗ１との間に接触抵抗が生じ、この接触抵抗は、第１測定端子１１側においては一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間に生じる接触抵抗値として求めることができる。

同様に自然に形成される電極Ｗ２上の酸化膜により第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電極Ｗ２との間に接触抵抗が生じ、この接触抵抗は、第２測定端子１２側においては一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間に生じる接触抵抗値として求めることができる。

ところで、本実施の形態において、電気的測定器２０により電気的に測定される一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的特性としては、以下のようなものが挙げられる。

例えば電気的測定器２０は電子部品Ｗがコンデンサの場合、静電容量（Ｃ）、損失係数（Ｄｆ）、品質係数（Ｑ：Ｄｆの逆数）を検出することもできる。あるいは電気的測定器２０は漏れ電流（漏れ電流と印加電圧から計算で絶縁抵抗を求める）、直流電圧バイアスの静電容量（直流電圧を印加した状態で交流での静電容量）、耐電圧（ＢＤＶ絶縁破壊電圧）を検出することもできる。あるいは電気的測定器２０は電子部品Ｗがインダクタの場合、インダクタンス（Ｌ）、直流抵抗（Ｒｄｃ）、耐電流を検出することもできる。

また第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂのうち、電流印加側プローブ、例えば第１プローブ１１ａには温度計２４が取り付けられ、第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂのうち電流印加側プローブ、例えば第２プローブ１２ａには、温度計２５が取り付けられている。

さらに駆動機構１５の駆動機構本体１３側方には、この駆動機構本体１３の上下方向移動量を計測するエンコーダ１８が設けられている。

さらに上述した駆動機構１５のＶＣＭ１４およびエンコーダ１８と、抵抗値測定器１６と、電気的測定器２０と、温度計２４，２５は、いずれも制御部３０に接続されている。また制御部３０はＶＣＭ１４を駆動制御するＶＣＭ制御部３０ａを内蔵している。

またインデックステーブル５の凹部５ａ内に収容された電子部品Ｗの上方には、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂが上昇して電子部品Ｗに当接した際、上方から電子部品Ｗを抑える押圧体２７が配置されている。

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について、説明する。

まず、複数の電子部品Ｗを電気的計測装置システム１００のパーツフィーダ１の回転板２上に投入する。

次に、制御部３０の制御に基づき、パーツフィーダ１、リニアフィーダ３、インデックステーブル５が、それぞれ駆動を開始する。その結果、電子部品Ｗが、順次、測定ベース４に設けられた本開示による電子部品の電気的計測装置１０まで搬送される。

そして電子部品Ｗが、電子部品の電気的計測装置１０に接近すると、制御部３０により駆動機構１５のＶＣＭ１４が駆動機構本体１３を駆動させる。このようにして電子部品の測定が開始する（図４参照）。

図４に示すように、駆動機構１５のＶＣＭ１４が駆動機構本体１３を駆動させると、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂが、電子部品Ｗの第１電極Ｗ１および第２電極Ｗ２に各々当接する。

次に制御部３０は図４に示すように、抵抗値測定器１６を作動させ、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間の接触抵抗値を求めるとともに、第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間の接触抵抗値を求める。

このとき制御部３０は抵抗値測定器１６により求めた接触抵抗値が規定値以下であるか否か判断する。

抵抗値測定器１６により求めた接触抵抗値が規定値以下の場合、制御部３０は引き続いて電気的測定器２０を作動させて、電子部品Ｗの一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的計測を行う。

この間、抵抗値測定器１６により第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間の接触抵抗値を求める場合、抵抗値測定器１６から一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間に電圧を印加して電流を流す。そしてこの時の電圧値と電流値に基づいて抵抗値測定器１６により一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間の接触抵抗値を求める。

同様に抵抗値測定器１６により第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間の接触抵抗値を求める場合、抵抗値測定器１６から一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間に電圧を印加して電流を流す。そしてこの時の電圧値と電流値に基づいて抵抗値測定器１６により一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間の接触抵抗値を求める。

制御部３０は、抵抗値測定器１６により求めた一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間の接触抵抗値および一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間の接触抵抗値の双方が規定値以下の場合に、一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと、電子部品Ｗの電極Ｗ１との間で大きな接触抵抗が生じておらず、かつ一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ２との間で大きな接触抵抗が生じていないと判断する。このとき、制御部３０は、引き続いて電気的測定器２０を作動させて、電子部品Ｗの一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的計測を行う。

電子部品Ｗの一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的計測を行う場合、例えば電気的測定器２０は一方の第１プローブ１１ａと、一方の第２プローブ１２ａとの間に所定値の電流を流す。同時に電気的測定器２０は他方の第１プローブ１１ｂと、他方の第２プローブ１２ｂとの間の電圧を測定する。このことにより電子部品Ｗの一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の抵抗値を精度良く求めることができる。

他方、制御部３０は抵抗値測定器１６により求めた一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間の接触抵抗値または一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間の接触抵抗値のいずれかが規定値を超えた場合、制御部３０は一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ１との間で大きな接触抵抗が生じているか、または一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ２との間で大きな接触抵抗が生じていると判断する。

このとき制御部３０は駆動機構１５のＶＣＭ１４を作動して、駆動機構本体１３を駆動して一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂを電子部品Ｗの電極Ｗ１，Ｗ２から引き離す。

その後、制御部３０はＶＣＭ１４を作動させ、駆動機構本体１３を駆動して、再び一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂを電子部品Ｗの電極Ｗ１，Ｗ２に再び当接させ、一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと電極Ｗ１との間の当接状態を変化させ、同時に一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電極Ｗ２との間の当接状態を変化させる。

このようにして一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと電極Ｗ１との間の接触抵抗が小さくなるよう一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと電極Ｗ１との間の当接状態を改善させる。同様に一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電極Ｗ２との間の接触抵抗が小さくなるよう、一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電極Ｗ２との間の当接状態を改善させる。

なお、一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂを電子部品Ｗの電極Ｗ１，Ｗ２に再度当接させて、一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂの当接状態および一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂの当接状態を改善させる代わりに、あるいは再度当接させることに加えて、以下のような制御を行ってもよい。すなわち、制御部３０は駆動機構１５のＶＣＭ１４を制御して一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂに微動を加えて一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと電極Ｗ１との間の当接状態を改善させ、同時に一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電極Ｗ２との間の当接状態を改善してもよい。あるいは、後述のように、接触荷重が大きくなるにつれて接触抵抗が小さくなることが分かっているので（図３Ｂ参照）、このことを利用して、一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと、電極Ｗ１との間の接触荷重を増加させて接触抵抗を小さくし、かつ一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと、電極Ｗ２との間の接触荷重を増加させて接触抵抗を小さくしてもよい。このようにして、一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと電極Ｗ１との間の当接状態を改善させ、同時に一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電極Ｗ２との間の当接状態を改善させることができる。

次に抵抗値測定器１６により、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間の接触抵抗値および第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂの接触抵抗値が求められて、上述した作用が繰り返される。

ところで電気的測定器２０を作動させて、電子部品Ｗの一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的計測を行う間、第１測定端子１１側では第１プローブ１１ａに設けられた温度計２４により第１プローブ１１ａの温度が測定され、第２測定端子１２側では第２プローブ１２ａに設けられた温度計２５により第２プローブ１２ａの温度が測定される。

そして温度計２４により測定された第１プローブ１１ａの温度が規定値以下の場合、および温度計２５により測定された第２プローブ１２ａの温度が規定値以下の場合、制御部３０は一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ１との間で接触抵抗が生じておらず、かつ一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ２との間で接触抵抗が生じていないと判断する。この場合、制御部３０は電気的測定器２０の作動を続行する。

このようにして、電子部品Ｗに対する電気的測定が終了する。

他方、温度計２４により測定された第１プローブ１１ａの温度が規定値を超えた場合、または温度計２５により測定された第２プローブ１２ａの温度が規定値を超えた場合、制御部３０は一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ１との間で過度の接触抵抗が生じたか、または一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ２との間で過度の接触抵抗が生じたものと判断する。制御部３０はこの場合、電気的測定器２０の作動を中止する。

このように電子部品の電気的計測装置１０により計測された電子部品Ｗの計測結果は制御部３０に送られる。制御部３０はインデックステーブル５を回転させながら、電子部品Ｗの計測結果に基づき不良品を不良品排出部８から外方へ排出し、良品を良品排出部９から外方へ排出する。

次に図２、図３Ａおよび図３Ｂにより、制御部３０による駆動機構１５の制御方法について説明する。

上述のように制御部３０は、駆動機構１５のＶＣＭ１４を制御して作動させ、ＶＣＭ１４を作動させて駆動機構本体１３に保持された一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂを移動させて電子部品Ｗの電極Ｗ１，Ｗ２に当接（接触）させている。

このように駆動機構１５のＶＣＭ１４は、図３Ａのような接触荷重と印加電流の関係を含む。図３Ａに示すように、ＶＣＭ１４の接触荷重と印加電流との関係は、比較的明瞭な一次関数となる。

このため、駆動機構１５としてＶＣＭ１４を用いた場合、その印加電流を調整することにより容易に接触荷重を制御することができる。

また接触抵抗と接触荷重との関係については、図３Ｂに示すように、接触荷重が大きくなるにつれて接触抵抗は小さくなることが分かっている。

このため図３Ａに示す接触荷重と印加電流との関係、および図３Ｂに示す接触抵抗と荷重との関係を用いることにより、ＶＣＭ１４の印加電流を調整して荷重を容易に制御することができ、かつ接触荷重を制御することにより接触抵抗値を調整することができる。

次に制御部３０による駆動機構１５のＶＣＭ１４の具体的制御方法について述べる。本実施の形態において、ＶＣＭ１４は制御部３０のＶＣＭ制御部３０ａにより制御される。

図２に示すように制御部３０のＶＣＭ制御部３０ａに駆動指令が入力されると、制御部３０のＶＣＭ制御部３０ａはＶＣＭ１４を駆動制御する。

この場合、制御部３０のＶＣＭ制御部３０ａには駆動指令ととともにトルク制御指令が入力される。またＶＣＭ制御部３０ａには、エンコーダ１８から駆動機構本体１３の位置情報および速度情報がフィードバック情報として入力され、同時にＶＣＭ１４からその電流値がフィードバック情報として入力される。

上述のように接触抵抗と接触荷重には一定の関係があり（図３Ｂ参照）、所望の接触抵抗を得るための接触荷重を予め入手することができる。

同様にＶＣＭ１４を用いた場合、接触荷重と印加電流との関係も予め分かっている。そこで所望の接触抵抗を得るための所定の接触荷重を求め、この所定の接触荷重に対応するトルク値をＶＣＭ制御部３０ａにトルク制御指令として入力する。

この間、ＶＣＭ制御部３０ａは、指令をフィードバック情報として入力されたＶＣＭ電流値、およびエンコーダ１８からの駆動機構本体１３の位置情報および速度情報を比較して、位置・速度制御指令を求める。

ＶＣＭ制御部３０ａは、トルク制御指令と位置・速度制御指令とに基づいてＰＷＭ変換部によりＰＷＭ変換信号を生成して駆動アンプ部へ出力する。次に駆動アンプ部は、出力信号を生成してＶＣＭ１４を作動させる。この場合、ＶＣＭ１４を作動させる出力信号は、上述のように所望の接触抵抗を得るための所定の荷重に対応する印加電流を含む。

このように本実施の形態によれば、第１測定端子１１の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび第２測定端子１２の第２プローブ１２ａ，１２ｂを駆動する駆動機構１５が駆動機構本体１３と、駆動機構本体１３を駆動するＶＣＭ１４を有する。

ＶＣＭ１４を駆動機構１５の駆動モータとして用いた場合、ＶＣＭ１４の荷重と印加電流との関係が比較的明瞭な一次関数となる。このためＶＣＭ１４に対する印加電流を調整することで、容易かつ確実に第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと一方の電極Ｗ１との間の所望の接触荷重、および第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと他方の電極Ｗ２との間で所定の接触荷重を得ることができ、これにより第１測定端子の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂと一方の電極Ｗ１との間で所望の接触抵抗を得ることができ、かつ第２測定端子の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂと他方の電極Ｗ２との間で所望の接触抵抗を得ることができる。

以上のように本実施の形態によれば、まず第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂを電極Ｗ１に当接させ、第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂを電極Ｗ２に当接させる。次に抵抗値測定器１６により第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間、および第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間の接触抵抗値を測定する。そして第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ間の接触抵抗値が規定値以下の場合であり、かつ第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ間の接触抵抗値が規定値以下となった場合に、第１プローブ１１ａ，１１ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ１との間で大きな接触抵抗が生じておらず、かつ第２プローブ１２ａ，１２ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ２との間で大きな接触抵抗が生じていないと判断して、電気的測定器２０を作動させて電子部品Ｗの一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的計測を行うことができる。

このように、第１プローブ１１ａ，１１ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ１との間で大きな接触抵抗が生じておらず、かつ第２プローブ１２ａ，１２ｂと電子部品Ｗの電極Ｗ２との間で大きな接触抵抗が生じていない状態で、電気的測定器２０により電子部品Ｗの一対の電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的計測を行うため、電気的測定器２０により接触抵抗の影響を除去した状態で精度良く電極Ｗ１，Ｗ２間の電気的計測を行うことができる。

また接触抵抗の影響を除去するために一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂの先端を鋭角としたり、一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂの先端を電極Ｗ１，Ｗ２に擦り付けたり、さらには電極Ｗ１，Ｗ２の酸化膜を破壊する必要はない。このため電子部品Ｗの電極Ｗ１，Ｗ２に傷を付けたり、プローブ痕を残すことはなく、電子部品Ｗの外観を損なうことなく、電子部品Ｗに対して精度良く電気的測定を行うことができる。また、接触抵抗が高い状態で電流を印加することによる熱によって、プローブ１１ａ，１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、あるいは電子部品Ｗを損傷させることはない。

なお、上記実施の形態において、単一の駆動機構１５によって、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂを一体として上下方向に移動させる例を示したが、これに限らず、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂおよび第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂを各々独立した駆動機構１５により個別に移動させてもよい。この場合、第１測定端子１１の一対の第１プローブ１１ａ，１１ｂ用の駆動機構１５と、第２測定端子１２の一対の第２プローブ１２ａ，１２ｂ用の駆動機構１５は、いずれも独立した駆動機構本体１３，１３と、この駆動機構本体１３，１３を駆動するＶＣＭ１４，１４とを有し、各ＶＣＭ１４，１４は制御部３０によりそれぞれ独立して駆動制御される。

１パーツフィーダ
３リニアフィーダ
４測定ベース
５インデックステーブル
１０電子部品の電気的計測装置
１１第１測定端子
１１ａ，１１ｂ第１プローブ
１２第２測定端子
１２ａ，１２ｂ第２プローブ
１３駆動機構本体
１４ＶＣＭ（ボイスコイルモータ）
１５駆動機構
１６抵抗値測定器
２０電気的測定器
２１ａ，２１ｂ配線ライン
２２ａ，２２ｂ配線ライン
２４温度計
２５温度計
３０制御部
３０ａＶＣＭ制御部
１００電気的計測装置システム

Claims

一対の電極を含む電子部品の電気的計測を行う電子部品の電気的計測装置において、
一方の電極に当接するとともに、少なくとも一対の第１プローブを含む第１測定端子と、
他方の電極に当接するとともに、少なくとも一対の第２プローブを含む第２測定端子と、
前記第１測定端子の一対の第１プローブと、前記第２測定端子の一対の第２プローブとの間に接続され、前記一対の電極間の電気的計測を行う電気的測定器と、
前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間に接続され、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値を測定する抵抗値測定器と、
制御部と、を備え、
前記制御部は前記抵抗値測定器により測定された前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値が規定値以下の場合であり、かつ前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値が規定値以下の場合に、前記電気的測定器を作動させて前記一対の電極間の電気的計測を行う、電子部品の電気的計測装置。
前記第１測定端子および前記第２測定端子をそれぞれ駆動する駆動機構をさらに備えた、請求項１記載の電子部品の電気的計測装置。
前記駆動機構は、ボイスコイルモータを含む、請求項２記載の電子部品の電気的計測装置。
前記制御部は前記駆動機構を制御して、前記第１測定端子および前記第２測定端子を駆動し、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブを前記一方の電極に当接させ、かつ前記第２測定端子の前記一対の第２プローブを前記他方の電極に当接させ、
前記制御部は前記抵抗値測定器により測定された前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値が規定値を超えた場合、または前記抵抗値測定器により測定された前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値が規定値を超えた場合、再度、前記駆動機構を制御して、接触抵抗値が規定値を超えた前記第１測定端子または前記第２測定端子を駆動して、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブを前記一方の電極に当接させるか、または前記第２測定端子の前記一対の第２プローブを前記他方の電極に当接させる、請求項２または３記載の電子部品の電気的計測装置。
前記制御部は前記駆動機構を制御して、前記第１測定端子および前記第２測定端子を駆動し、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブを前記一方の電極に当接させ、かつ前記第２測定端子の前記一対の第２プローブを前記他方の電極に当接させ、
前記制御部は前記抵抗値測定器により測定された前記第１測定端子の前記一対の第１プローブ間の接触抵抗値が規定値を超えた場合、または前記抵抗値測定器により測定された前記第２測定端子の前記一対の第２プローブ間の接触抵抗値が規定値を超えた場合、前記駆動機構を制御して、接触抵抗値が規定値を超えた前記第１測定端子または前記第２測定端子を駆動して、前記第１測定端子の前記一対の第１プローブを前記一方の電極に当接させながら振動させるか、または前記第１測定端子の前記一対の第１プローブと前記一方の電極との間の接触荷重を増加させ、あるいは前記第２測定端子の前記一対の第２プローブを前記他方の電極に当接させながら振動させるか、または前記第２測定端子の前記一対の第２プローブと前記他方の電極との間の接触荷重を増加させる、電極請求項２または３記載の電子部品の電気的計測装置。
前記第１測定端子の前記一対の第１プローブのいずれか、および前記第２測定端子の前記一対の第２プローブのいずれかに温度計が設定され、前記制御部は前記温度計からの温度が規定温度を超えた場合に前記電気的測定器の作動を中止する、請求項１乃至５のいずれか記載の電子部品の電気的計測装置。