JP2020056752A - トリミング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すように、エンジン10のA/Fセンサ11(A/F:Air/Fuel ratio)は、車両等のエンジンコントロールユニット(ECU:engine control unit)12に用いられる。ECU12では、A/Fセンサ11によって測定した空燃比の値を用いて、ECU12が燃料噴射装置13の噴射量をフィードバック制御する。本実施の形態のガスセンサは、A/Fセンサ11である。
本実施の形態では、センサ素子15の動作温度で、センサ素子15の加工と、センサ素子15の出力の測定とを行っている。しかし、たとえば、センサ素子15の加工を約600℃で行い、センサ素子15の出力の測定をセンサ素子15の動作温度である、約700℃で行っても良い。
15・・・センサ素子
26・・・拡散層
27・・・緻密部
30・・・トリミング装置
Claims (4)
- ガスセンサ(11)の出力調整を行うトリミング装置において、
レーザ照射によるセンサ素子(15)の加工と前記センサ素子の出力の測定とを同時期に行うトリミング装置。 - 前記センサ素子の加工と前記センサ素子の出力の測定とを前記センサ素子の動作温度で行う請求項1に記載のトリミング装置。
- 前記出力の測定は、前記センサ素子のうち多孔質材からなる拡散層(26)の加工を休止しているとき、または前記センサ素子のうち前記拡散層よりも緻密である緻密部(27)の加工を行っているときに行う請求項1または2に記載のトリミング装置。
- 前記センサ素子の出力が目標出力に至るまでの間に、前記加工の際のレーザエネルギーを段階的に下げる請求項1〜3のいずれか1項に記載のトリミング装置。
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Cited By (1)
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WO2021193802A1 (ja) | 2020-03-26 | 2021-09-30 | Jsr株式会社 | 肺がん患者に対する免疫チェックポイント阻害剤による治療の有効性を予測するための方法 |
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2018
- 2018-10-04 JP JP2018189170A patent/JP7059880B2/ja active Active
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