JPH08292230A - Ｉｃの電気特性測定装置およびその方法 - Google Patents
Ｉｃの電気特性測定装置およびその方法Info
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- JPH08292230A JPH08292230A JP7095302A JP9530295A JPH08292230A JP H08292230 A JPH08292230 A JP H08292230A JP 7095302 A JP7095302 A JP 7095302A JP 9530295 A JP9530295 A JP 9530295A JP H08292230 A JPH08292230 A JP H08292230A
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- contact
- socket
- lead
- contact resistance
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ＩＣの電気特性測定装置とその方法において、
ＩＣの品種が変ってもソケット１０へのＩＣ１２の押し
込み量の調整を行なうことなくＩＣ１２のリード１４や
取付け状態にばらつきがあっても正確に電気特性の良否
の判定する。 【構成】ＩＣ１２をソケット１０へ押し込みながらＩＣ
１２のリード１４とソケット１０のコンタクト１３との
接触抵抗を測定する測定回路１を設け、ＩＣ１２をソケ
ット１０への押し込みながら接触抵抗を測定し、最小の
接触抵抗を示す押し込み位置でＩＣ１２の電気特性を測
定する。
ＩＣの品種が変ってもソケット１０へのＩＣ１２の押し
込み量の調整を行なうことなくＩＣ１２のリード１４や
取付け状態にばらつきがあっても正確に電気特性の良否
の判定する。 【構成】ＩＣ１２をソケット１０へ押し込みながらＩＣ
１２のリード１４とソケット１０のコンタクト１３との
接触抵抗を測定する測定回路１を設け、ＩＣ１２をソケ
ット１０への押し込みながら接触抵抗を測定し、最小の
接触抵抗を示す押し込み位置でＩＣ１２の電気特性を測
定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣを保持しソケット
にＩＣを押し込みＩＣのリードとソケットのコンタクト
と接触させＩＣの電気特性を測定するＩＣの電気特性測
定装置およびその方法に関する。
にＩＣを押し込みＩＣのリードとソケットのコンタクト
と接触させＩＣの電気特性を測定するＩＣの電気特性測
定装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３（ａ）および（ｂ）は従来のＩＣの
電気特性測定装置の一例における動作順に示す正面図で
ある。従来、この種のＩＣの電気特性測定装置は、例え
ば、図３に示すように、ＩＣ１２を保持するチャック９
ａを移動させソケット１０ａにＩＣ１２を押し込む駆動
部３ａと、ＩＣ１２のソケット１０ａへの押し込み量を
設定するチャック９ａの突出部に当接するストッパ１６
と、駆動部３ａの動作を制御する制御部４ａと、コンタ
クト１３を介してＩＣのリード１４との信号の授受によ
りＩＣ１２の電気特性を測定するテスタ８とを備えてい
る。
電気特性測定装置の一例における動作順に示す正面図で
ある。従来、この種のＩＣの電気特性測定装置は、例え
ば、図３に示すように、ＩＣ１２を保持するチャック９
ａを移動させソケット１０ａにＩＣ１２を押し込む駆動
部３ａと、ＩＣ１２のソケット１０ａへの押し込み量を
設定するチャック９ａの突出部に当接するストッパ１６
と、駆動部３ａの動作を制御する制御部４ａと、コンタ
クト１３を介してＩＣのリード１４との信号の授受によ
りＩＣ１２の電気特性を測定するテスタ８とを備えてい
る。
【０００３】このＩＣの電気特性測定装置の動作は、ま
ず、図３（ａ）に示すように、エアシリンダで構成され
る駆動部３ａにより後退したチャック９ａでＩＣ１２を
保持する。次に、図３（ｂ）に示すように、駆動部３ａ
を制御部４ａにより動作させチャック９ａを下降させＩ
Ｃ１２をソケット１０ａに押し込む。このことによりコ
ンタクト１３とリード１４とが接触しチャック９ａはス
トッパ１６に当接し停止する。そして、センサ１５がＩ
Ｃ１２がソケット１０ａに装填されたことを確認し、テ
スタ８による電気特性の測定を開始する。
ず、図３（ａ）に示すように、エアシリンダで構成され
る駆動部３ａにより後退したチャック９ａでＩＣ１２を
保持する。次に、図３（ｂ）に示すように、駆動部３ａ
を制御部４ａにより動作させチャック９ａを下降させＩ
Ｃ１２をソケット１０ａに押し込む。このことによりコ
ンタクト１３とリード１４とが接触しチャック９ａはス
トッパ１６に当接し停止する。そして、センサ１５がＩ
Ｃ１２がソケット１０ａに装填されたことを確認し、テ
スタ８による電気特性の測定を開始する。
【０００４】図４は図３のストッパの位置を設定する手
順を説明するためのフローチャートである。ここで、Ｉ
Ｃ１２のソケット１０ａへの押し込み量を決めるストッ
パ１６の位置調整の手順を説明する。まず、図４のステ
ップＡでストッパ１６の仮に位置決めする。そして、ス
テップＢで、図３（ｂ）に示すように、駆動部３ａを動
作させチャック９ａをストッパ１６に当接させＩＣ１２
をソケット１０ａに押し込み装填しテスタ８で測定す
る。次に、測定結果が問題がなければ、ストッパ１６の
位置はそのままにし、測定を開始する。もし、問題あれ
ば、ステップＣでストッパ１６の位置を調整し、再び、
ＩＣ１２をソケット１０ａに装填し、ステップＤで測定
を行なう。このような操作を繰返して行ないストッパ１
６の位置を設定していた。
順を説明するためのフローチャートである。ここで、Ｉ
Ｃ１２のソケット１０ａへの押し込み量を決めるストッ
パ１６の位置調整の手順を説明する。まず、図４のステ
ップＡでストッパ１６の仮に位置決めする。そして、ス
テップＢで、図３（ｂ）に示すように、駆動部３ａを動
作させチャック９ａをストッパ１６に当接させＩＣ１２
をソケット１０ａに押し込み装填しテスタ８で測定す
る。次に、測定結果が問題がなければ、ストッパ１６の
位置はそのままにし、測定を開始する。もし、問題あれ
ば、ステップＣでストッパ１６の位置を調整し、再び、
ＩＣ１２をソケット１０ａに装填し、ステップＤで測定
を行なう。このような操作を繰返して行ないストッパ１
６の位置を設定していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のＩＣの
電気特性測定装置では、ソケットへのＩＣの押し込み量
はストッパの位置で決められるものの、ＩＣの外郭体の
寸法のばらつきやソケットの取付け状態あるいはＩＣの
把持状態などによりＩＣの押し込み量が変化しコンタク
トとリードの接触が不確実なものとなりＩＣの測定が不
正確なものとなる。その結果、例えば、良品を不良品と
判定したりする誤測定したりする問題がある。また、測
定開始を確認するセンサの検出範囲を数ｍｍの余裕があ
り、ＩＣがソケットに十分押し込まれない状態でも反応
し、さらにＩＣの装填の判定を誤判定にする回数が頻繁
になるという問題がある。
電気特性測定装置では、ソケットへのＩＣの押し込み量
はストッパの位置で決められるものの、ＩＣの外郭体の
寸法のばらつきやソケットの取付け状態あるいはＩＣの
把持状態などによりＩＣの押し込み量が変化しコンタク
トとリードの接触が不確実なものとなりＩＣの測定が不
正確なものとなる。その結果、例えば、良品を不良品と
判定したりする誤測定したりする問題がある。また、測
定開始を確認するセンサの検出範囲を数ｍｍの余裕があ
り、ＩＣがソケットに十分押し込まれない状態でも反応
し、さらにＩＣの装填の判定を誤判定にする回数が頻繁
になるという問題がある。
【０００６】さらに、異なる品種のＩＣを測定するのに
ＩＣに適用するソケットを変える毎にストッパの位置調
整しなければならず装置の稼働率の低下と多大な工数を
費やしていた。
ＩＣに適用するソケットを変える毎にストッパの位置調
整しなければならず装置の稼働率の低下と多大な工数を
費やしていた。
【０００７】従って、本発明の目的は、ＩＣの品種が変
ってもソケットへのＩＣの押し込み量の調整を行なうこ
となくＩＣのリードや取付け状態にばらつきがあっても
正確に電気特性の良否の判定ができるＩＣの電気特性測
定方法およびその装置を提供することである。
ってもソケットへのＩＣの押し込み量の調整を行なうこ
となくＩＣのリードや取付け状態にばらつきがあっても
正確に電気特性の良否の判定ができるＩＣの電気特性測
定方法およびその装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、ＩＣを
保持するチャックを移動させソケットに前記ＩＣを押し
込むとともに前記ＩＣのリードと前記ソケットのコンタ
クトと接触させる駆動部と、ばね押圧力で可動電極と接
触する複数の前記リードと各リードに対応するそれぞれ
の該コンタクトとの間の接触抵抗を測定する測定回路
と、前記コンタクトと前記リードを介して前記ＩＣとの
信号の授受により前記ＩＣの電気特性を測定するテスタ
と、前記各リードと前記各コンタクトの接触抵抗値信号
を入力し前記駆動部３の動作を制御し前記ＩＣの前記ソ
ケットへの押し込み量を設定する制御部４とを備えるＩ
Ｃの電気特性測定装置である。
保持するチャックを移動させソケットに前記ＩＣを押し
込むとともに前記ＩＣのリードと前記ソケットのコンタ
クトと接触させる駆動部と、ばね押圧力で可動電極と接
触する複数の前記リードと各リードに対応するそれぞれ
の該コンタクトとの間の接触抵抗を測定する測定回路
と、前記コンタクトと前記リードを介して前記ＩＣとの
信号の授受により前記ＩＣの電気特性を測定するテスタ
と、前記各リードと前記各コンタクトの接触抵抗値信号
を入力し前記駆動部３の動作を制御し前記ＩＣの前記ソ
ケットへの押し込み量を設定する制御部４とを備えるＩ
Ｃの電気特性測定装置である。
【０００９】また、本発明の他の特徴は、前記コンタク
トと前記リードとの接触抵抗を測定しながら前記ＩＣを
前記ソケットに押し込み前記接触抵抗値が最小になった
ら前記ＩＣの押し込みを停止し．測定された前記最小接
触抵抗値が許容範囲内であるか否か判定し、該最小接触
抵抗値が該許容範囲内であれば前記停止位置で前記ＩＣ
の電気特性を測定するＩＣの電気特性測定方法である。
トと前記リードとの接触抵抗を測定しながら前記ＩＣを
前記ソケットに押し込み前記接触抵抗値が最小になった
ら前記ＩＣの押し込みを停止し．測定された前記最小接
触抵抗値が許容範囲内であるか否か判定し、該最小接触
抵抗値が該許容範囲内であれば前記停止位置で前記ＩＣ
の電気特性を測定するＩＣの電気特性測定方法である。
【００１０】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１１】図１（ａ）および（ｂ）は本発明のＩＣの
電気特性測定装置の一実施例における動作順に示す正面
図である。このＩＣの電気特性測定装置は、図１に示す
ように、ＩＣ１２を保持するチャック９を移動させソケ
ット１０にＩＣを押し込むとともにＩＣ１２のリード１
４とソケット１０のコンタクト１３と接触させる駆動部
３と、スプリング７の押圧力で可動電極２と接触する複
数のリード１４と各リード１４に対応するそれぞれのコ
ンタクト１３との間の接触抵抗を測定する測定回路１
と、コンタクト１３とリード１４を介してＩＣ１２との
信号の授受によりＩＣ１２の電気特性を測定するテスタ
８と、各リード１４と各コンタクト１３の抵抗値信号を
入力し駆動部３の動作を制御しＩＣ１２のソケット１０
への押し込み量を設定する制御部４とを備えている。
電気特性測定装置の一実施例における動作順に示す正面
図である。このＩＣの電気特性測定装置は、図１に示す
ように、ＩＣ１２を保持するチャック９を移動させソケ
ット１０にＩＣを押し込むとともにＩＣ１２のリード１
４とソケット１０のコンタクト１３と接触させる駆動部
３と、スプリング７の押圧力で可動電極２と接触する複
数のリード１４と各リード１４に対応するそれぞれのコ
ンタクト１３との間の接触抵抗を測定する測定回路１
と、コンタクト１３とリード１４を介してＩＣ１２との
信号の授受によりＩＣ１２の電気特性を測定するテスタ
８と、各リード１４と各コンタクト１３の抵抗値信号を
入力し駆動部３の動作を制御しＩＣ１２のソケット１０
への押し込み量を設定する制御部４とを備えている。
【００１２】また、制御部４は、ソレノイド６を動作さ
せ可動電極２をリード１４より離間させたり、ソレノイ
ド６への電流を遮断し可動電極２をスプリング７の押圧
力でリード１４に接触させたりするスイッチ機能をもっ
ている。さらに、テスタ８の測定動作とコネクタ１３と
リード１４の接触抵抗を測定する測定回路を切替えるス
イッチのオン・オフ動作も行なう機能をもっている。
せ可動電極２をリード１４より離間させたり、ソレノイ
ド６への電流を遮断し可動電極２をスプリング７の押圧
力でリード１４に接触させたりするスイッチ機能をもっ
ている。さらに、テスタ８の測定動作とコネクタ１３と
リード１４の接触抵抗を測定する測定回路を切替えるス
イッチのオン・オフ動作も行なう機能をもっている。
【００１３】駆動部３はパルスモータと減速機で構成さ
れ、駆動軸と直結する送りねじ５はヘッド１１のナット
に噛み合っている。そして、送りねじ５によって寸動送
りができるよういになっている。このことにより、リー
ド１４がコンタクト１３と接触するまではヘッド１１は
早送りされ、リード１４がコンタクト１３と接触する
と、ヘッド１１は寸動送りとなり、ＩＣ１２の押し込み
量は、例えば、０．０１〜０．０３ｍｍの範囲でステッ
プ状になる。
れ、駆動軸と直結する送りねじ５はヘッド１１のナット
に噛み合っている。そして、送りねじ５によって寸動送
りができるよういになっている。このことにより、リー
ド１４がコンタクト１３と接触するまではヘッド１１は
早送りされ、リード１４がコンタクト１３と接触する
と、ヘッド１１は寸動送りとなり、ＩＣ１２の押し込み
量は、例えば、０．０１〜０．０３ｍｍの範囲でステッ
プ状になる。
【００１４】図２はＩＣの押し込み量とリードとコンタ
クトとの接触抵抗を電圧として示すグラフである。次
に、図１のＩＣの電気特性措定装置の動作とともにＩＣ
の電気特性測定方法を説明する。
クトとの接触抵抗を電圧として示すグラフである。次
に、図１のＩＣの電気特性措定装置の動作とともにＩＣ
の電気特性測定方法を説明する。
【００１５】まず、図１（ａ）に示すように、ヘッド１
１が後退した状態で、ＩＣ１２をチャック９で保持す
る。そして、可動電極２はソレノイド６の吸引力でリー
ド１４から離間した状態であり、コンタクト１３からテ
スタ８とは切離されている。次に、制御部４により駆動
部３が動作しヘッド１１はリード１４がコンタクト１３
に接触するまで早送りされる。
１が後退した状態で、ＩＣ１２をチャック９で保持す
る。そして、可動電極２はソレノイド６の吸引力でリー
ド１４から離間した状態であり、コンタクト１３からテ
スタ８とは切離されている。次に、制御部４により駆動
部３が動作しヘッド１１はリード１４がコンタクト１３
に接触するまで早送りされる。
【００１６】次に、コンタクト１３とリード１４と接触
すると、ＩＣ１２を押し込み量は定寸量となり、一ピッ
チ送り毎にコンタクト１３とリード１４との接触抵抗を
流れる電流による降下する電圧として測定する。そし
て、この電圧を制御部４に入力し、１６本のリード１４
であれば全ての電圧を寸動送り毎に記憶部に記憶させ順
次記録される。ここで、総べてのリード１４とコンタク
ト１３の接触抵抗による電圧が記録される。もし、この
接触抵抗の経緯を示す曲線が、図２のＡのようにＩＣ１
２の押し込み量毎に上昇し一定となり基準電圧の許容範
囲内にある曲線であれば、接触抵抗は正常であるとみな
しＩＣ１２の押し込みを停止しＩＣ１２をその位置で止
める。
すると、ＩＣ１２を押し込み量は定寸量となり、一ピッ
チ送り毎にコンタクト１３とリード１４との接触抵抗を
流れる電流による降下する電圧として測定する。そし
て、この電圧を制御部４に入力し、１６本のリード１４
であれば全ての電圧を寸動送り毎に記憶部に記憶させ順
次記録される。ここで、総べてのリード１４とコンタク
ト１３の接触抵抗による電圧が記録される。もし、この
接触抵抗の経緯を示す曲線が、図２のＡのようにＩＣ１
２の押し込み量毎に上昇し一定となり基準電圧の許容範
囲内にある曲線であれば、接触抵抗は正常であるとみな
しＩＣ１２の押し込みを停止しＩＣ１２をその位置で止
める。
【００１７】また、リード１４とコンタクト１３との接
触抵抗を示す曲線が１本でも、ＢまたはＣのように示し
たら、アラームを発生させ駆動部３を動作させてヘッド
１１を図１（ａ）のように元位置に戻す。そして、ソレ
ノイド６を動作させ可動電極２をリード１４より引き離
し、ＩＣを外し、新たに別のＩＣを取付けるかあるいは
ソケット１０を新しいものに交換し、改めて接触抵抗の
測定を行なう。
触抵抗を示す曲線が１本でも、ＢまたはＣのように示し
たら、アラームを発生させ駆動部３を動作させてヘッド
１１を図１（ａ）のように元位置に戻す。そして、ソレ
ノイド６を動作させ可動電極２をリード１４より引き離
し、ＩＣを外し、新たに別のＩＣを取付けるかあるいは
ソケット１０を新しいものに交換し、改めて接触抵抗の
測定を行なう。
【００１８】もし、上述したように、総べてのリード１
４の接触抵抗を示す曲線が図２のＡであれば、停止位置
でコネクタ１３からテスタ８への配線を繋ぎ、可動電極
２をリード１４より離し電気特性測定を開始する。そし
て、測定が終ったら、図１（ａ）の上体に戻し、ＩＣ１
２を外し、新たにＩＣ１２を取付けＩＣ１２のリード１
４とコンタクト１３との接触抵抗を測定し良否を判定し
その位置でＩＣ１２の電気特性測定を行なう。
４の接触抵抗を示す曲線が図２のＡであれば、停止位置
でコネクタ１３からテスタ８への配線を繋ぎ、可動電極
２をリード１４より離し電気特性測定を開始する。そし
て、測定が終ったら、図１（ａ）の上体に戻し、ＩＣ１
２を外し、新たにＩＣ１２を取付けＩＣ１２のリード１
４とコンタクト１３との接触抵抗を測定し良否を判定し
その位置でＩＣ１２の電気特性測定を行なう。
【００１９】なお、この実施例の接触抵抗測定回路は、
説明し易いように、直列に配設された抵抗の両端の降下
電圧で測定しているが、直接、コンタクト１３とリード
１４に流れる電流を測定しても良く、本発明の接触抵抗
測定回路はこの回路に限定されるものではない。
説明し易いように、直列に配設された抵抗の両端の降下
電圧で測定しているが、直接、コンタクト１３とリード
１４に流れる電流を測定しても良く、本発明の接触抵抗
測定回路はこの回路に限定されるものではない。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ＩＣをソ
ケットへ押し込みながらＩＣのリードとソケットのコン
タクトとの接触抵抗を測定する回路を設け、ＩＣをソケ
ットへの押し込みながら接触抵抗を測定し、最小の接触
抵抗を示す押し込み位置で押し込みを停止しそのときの
接触抵抗が許容範囲であるか否か判定し、許容範囲であ
ることを確認してから該停止位置でＩＣの電気特性を測
定することによって、ＩＣのばらつきやが有ってもソケ
ットへのＩＣの押し込み量の調整を行なうことなくリー
ドとコンタクトとの接触を確実にし電気特性の良否の判
定を正確にできるという効果がある。
ケットへ押し込みながらＩＣのリードとソケットのコン
タクトとの接触抵抗を測定する回路を設け、ＩＣをソケ
ットへの押し込みながら接触抵抗を測定し、最小の接触
抵抗を示す押し込み位置で押し込みを停止しそのときの
接触抵抗が許容範囲であるか否か判定し、許容範囲であ
ることを確認してから該停止位置でＩＣの電気特性を測
定することによって、ＩＣのばらつきやが有ってもソケ
ットへのＩＣの押し込み量の調整を行なうことなくリー
ドとコンタクトとの接触を確実にし電気特性の良否の判
定を正確にできるという効果がある。
【００２１】また、ＩＣの品種が変っても、ＩＣの押し
込み量の調整を行なう必要がなく、それに要する工数が
節減でき、かつそれによる稼働率の低下を招くことがな
くなるという効果がある。
込み量の調整を行なう必要がなく、それに要する工数が
節減でき、かつそれによる稼働率の低下を招くことがな
くなるという効果がある。
【図１】本発明のＩＣの電気特性測定装置の一実施例に
おける動作順に示す正面図である。
おける動作順に示す正面図である。
【図２】ＩＣの押し込み量とリードとコンタクトとの接
触抵抗を電圧として示すグラフである。
触抵抗を電圧として示すグラフである。
【図３】従来のＩＣの電気特性測定装置の一例における
動作順に示す正面図である。
動作順に示す正面図である。
【図４】図３のストッパの位置を設定する手順を説明す
るためのフローチャートである。
るためのフローチャートである。
１ 測定回路 ２ 可動電極 ３，３ａ 駆動部 ４，４ａ 制御部 ５ 送りねじ ６ ソレノイド ７ スプリング ８ テスタ ９，９ａ チャック １０，１０ａ ソケット １１ ヘッド １２ ＩＣ １３ コンタクト １４ リード １５ センサ １６ ストッパ
Claims (2)
- 【請求項１】 ＩＣを保持するチャックを移動させソケ
ットに前記ＩＣを押し込むとともに前記ＩＣのリードと
前記ソケットのコンタクトと接触させる駆動部と、ばね
押圧力で可動電極と接触する複数の前記リードと各リー
ドに対応するそれぞれの該コンタクトとの間の接触抵抗
を測定する測定回路と、前記コンタクトと前記リードを
介して前記ＩＣとの信号の授受により前記ＩＣの電気特
性を測定するテスタと、前記各リードと前記各コンタク
トの接触抵抗値信号を入力し前記駆動部３の動作を制御
し前記ＩＣの前記ソケットへの押し込み量を設定する制
御部４とを備えることを特徴とするＩＣの電気特性測定
装置。 - 【請求項２】 前記コンタクトと前記リードとの接触抵
抗を測定しながら前記ＩＣを前記ソケットに押し込み前
記接触抵抗値が最小になったら前記ＩＣの押し込みを停
止し．測定された前記最小接触抵抗値が許容範囲内であ
るか否か判定し、該最小接触抵抗値が該許容範囲内であ
れば前記停止位置で前記ＩＣの電気特性を測定すること
を特徴とするＩＣの電気特性測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7095302A JPH08292230A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | Ｉｃの電気特性測定装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7095302A JPH08292230A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | Ｉｃの電気特性測定装置およびその方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08292230A true JPH08292230A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14133985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7095302A Pending JPH08292230A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | Ｉｃの電気特性測定装置およびその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08292230A (ja) |
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| WO2000040983A1 (fr) * | 1998-12-31 | 2000-07-13 | Daito Corporation | Procede de commande de manipulation d'ic, systeme de commande dans lequel ledit procede est utilise |
| US6690284B2 (en) | 1998-12-31 | 2004-02-10 | Daito Corporation | Method of controlling IC handler and control system using the same |
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| JP2011069619A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Hioki Ee Corp | コンタクトプローブのプロービング方法およびプロービング装置 |
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-
1995
- 1995-04-20 JP JP7095302A patent/JPH08292230A/ja active Pending
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