JP2023015378A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。
図1に示すように、実施形態に係る半導体装置110は、第1電極51、第2電極52、第3電極53、第1半導体層10、第2半導体層20、第1絶縁部材61、第2絶縁部材62、及び、第1部材31を含む。
図2は、第2実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。
図2に示すように、実施形態に係る半導体装置120は、第1電極51、第2電極52、第3電極53、第1半導体層10、第2半導体層20、第1絶縁部材61、第2絶縁部材62、及び、第1部材31に加えて、第3絶縁部材63をさらに含む。半導体装置120における、第1電極51、第2電極52、第3電極53、第1半導体層10、第2半導体層20、第1絶縁部材61、第2絶縁部材62、及び、第1部材31には、半導体装置110におけるそれらの構成が適用できる。以下、第3絶縁部材63の例について説明する。
図3は、第3実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。
図3に示すように、実施形態に係る半導体装置130は、第1電極51、第2電極52、第3電極53、第1半導体層10、第2半導体層20、第1絶縁部材61、第2絶縁部材62、第1部材31、及び、第3絶縁部材63に加えて、導電部材51Fをさらに含む。半導体装置130における、第1電極51、第2電極52、第3電極53、第1半導体層10、第2半導体層20、第1絶縁部材61、第2絶縁部材62、第1部材31、及び、第3絶縁部材63には、半導体装置120におけるそれらの構成が適用できる。以下、導電部材51Fの例について説明する。
Claims (21)
- 第1電極と、
第2電極であって、前記第1電極から前記第2電極への方向は第1方向に沿う、前記第2電極と、
第1電極部分を含む第3電極であって、前記第1電極部分の前記第1方向における位置は、前記第1電極の前記第1方向における位置と、前記第2電極の前記第1方向における位置と、の間にある、前記第3電極と、
Alx1Ga1-x1N(0≦x1<1)を含む第1半導体層であって、前記第1半導体層は、第1部分領域、第2部分領域、第3部分領域、第4部分領域及び第5部分領域を含み、前記第1部分領域から前記第1電極への第2方向は、前記第1方向と交差し、前記第2部分領域から前記第2電極への方向は、前記第2方向に沿い、前記第3部分領域から前記第1電極部分への方向は、前記第2方向に沿い、前記第4部分領域は前記第1方向において前記第1部分領域と前記第3部分領域との間にあり、前記第5部分領域は前記第1方向において前記第3部分領域と前記第2部分領域との間にある、前記第1半導体層と、
第1絶縁領域及び第2絶縁領域を含む第1絶縁部材であって、前記第1絶縁部材は、Al及び窒素を含み、前記第1絶縁部材の少なくとも一部は、アモルファスである、前記第1絶縁部材と、
第1絶縁部分及び第2絶縁部分を含む第2絶縁部材であって、前記第1絶縁部分は、前記第2方向において、前記第4部分領域と前記第1絶縁領域との間にあり、前記第2絶縁部分は、前記第2方向において、前記第5部分領域と前記第2絶縁領域との間にあり、前記第2絶縁部分は、シリコン及び窒素を含む、前記第2絶縁部材と、
Alx2Ga1-x2N(0<x2≦1、x1<x2)を含む第2半導体層であって、前記第2半導体層は、第1半導体部分、第2半導体部分及び第3半導体部分を含み、前記第1半導体部分は、前記第2方向において、前記第4部分領域と前記第1絶縁部分との間にあり、前記第2半導体部分は、前記第2方向において、前記第5部分領域と前記第2絶縁部分との間にあり、前記第3半導体部分は、前記第2方向において前記第3部分領域と前記第1電極部分との間にある、前記第2半導体層と、
Alx3Ga1-x3N(0<x3≦1、x2<x3)を含む第1部材であって、前記第1部材は、前記第2方向において前記第3半導体部分と前記第1電極部分との間にあり、結晶を含む、前記第1部材と、
を備えた、ノーマリオンの半導体装置。 - 前記第1部材は、前記第1電極部分と接する、請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1電極部分は、前記第1部材とショットキー接触する、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記第1部材は、前記第3半導体部分と接する、請求項1~3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁部材は、第3絶縁領域をさらに含み、
前記第3絶縁領域は、前記第1方向において、前記第1絶縁部分と、前記第1電極部分の一部と、の間にある、請求項1~4のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第1絶縁部材は、第4絶縁領域をさらに含み、
前記第4絶縁領域は、前記第1方向において、前記第1電極部分の前記一部と、前記第2絶縁部分と、の間にある、請求項5記載の半導体装置。 - 前記第4絶縁領域は、前記第1方向において前記第2絶縁部分と対向する第2側面を含み、
前記第2側面は、前記第1方向及び前記第2方向に対して傾斜した、請求項6記載の半導体装置。 - 前記第3絶縁領域は、前記第1方向において前記第1絶縁部分と対向する第1側面を含み、
前記第1側面は、前記第1方向及び前記第2方向に対して傾斜した、請求項5~7のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第3電極は、第2電極部分及び第3電極部分をさらに含み、
前記第1絶縁領域の一部は、前記第2方向において、前記第1絶縁部分と前記第2電極部分との間にあり、
前記第2絶縁領域の一部は、前記第2方向において、前記第2絶縁部分と前記第3電極部分との間にある、請求項1~8のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第2電極部分の前記第1方向に沿う長さ、及び、前記第3電極部分の前記第1方向に沿う長さの少なくともいずれかは、0.2μm以下である、請求項9記載の半導体装置。
- 前記第1部材の前記第2方向に沿う厚さは、0.5nm以上10nm以下である、請求項1~10のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁部材は、酸素をさらに含む、請求項1~11のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁部材における酸素の濃度は、5%以上である、請求項12記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁部材は、シリコンをさらに含む、請求項12または13に記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁部材におけるシリコンの濃度は、5%以上である、請求項14記載の半導体装置。
- 第3絶縁部材をさらに備え、
前記第2方向において、前記第1電極部分は、前記第1部材と、前記第3絶縁部材の少なくとも一部と、の間にある、請求項1~15のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第3絶縁部材は、窒素及び酸素よりなる群から選択された少なくとも1つと、シリコンと、を含む、請求項16記載の半導体装置。
- 前記第1電極と電気的に接続された導電部材をさらに備え、
前記第3絶縁部材の前記少なくとも一部は、前記第1電極部分と、前記導電部材の少なくとも一部との間にある、請求項16または17に記載の半導体装置。 - 前記第1電極部分の前記第1方向に沿う長さは、1μm以下である、請求項1~17のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第3電極は、Ni、Au、Pt、W、Ta、Al及びTiよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1~19のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1部材におけるAlの組成比は、0.8以上である、請求項1~20のいずれか1つに記載の半導体装置。
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