JP2022527051A - トランジスタ内負荷変調 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (32)
- 半導体ダイを備える電力増幅器であって、
前記半導体ダイが、第1のトランジスタを含む主増幅器と、前記第1のトランジスタとは異なる第2のトランジスタを含むピーキング増幅器とを備え、
前記ピーキング増幅器が、前記第1及び第2のトランジスタのそれぞれのゲートに印加された共通ゲート・バイアスに応答して前記主増幅器の負荷インピーダンスを変調させるように構成されている、電力増幅器。 - 前記共通ゲート・バイアスに基づき、前記半導体ダイ上の前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとが、前記電力増幅器への入力信号の異なる電力レベルに応答して順にオンになるように構成されている、請求項1に記載の電力増幅器。
- 前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタは、それぞれ異なる第1の閾値電圧及び第2の閾値電圧を有する、請求項1に記載の電力増幅器。
- 前記半導体ダイが、
前記半導体ダイ上の前記主増幅器の入力と前記ピーキング増幅器の入力とを電気的に接続して入力信号をそれらに与える入力伝送線路、及び/又は
前記半導体ダイ上の前記主増幅器の出力と前記ピーキング増幅器の出力とを電気的に接続する出力伝達線路
をさらに備える、請求項1から3までのいずれか一項に記載の電力増幅器。 - 前記入力伝送線路又は前記出力伝送線路のうちの少なくとも一方が、前記入力信号の周波数成分に基づき、所定の位相ずれを間に伴って、前記それぞれの入力に信号を与えるように、又は前記それぞれの出力からの信号を与えるように構成されている電気長を有する、請求項4に記載の電力増幅器。
- 前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれのゲートが、それぞれの細長ゲート・フィンガを備え、前記入力伝送線路が、前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれの細長ゲート・フィンガを電気的に接続して前記共通ゲート・バイアスをそれらに与えるゲート・ランナを備える、請求項5に記載の電力増幅器。
- 前記第1及び第2のトランジスタが、前記それぞれの細長ゲート・フィンガの対の間に延在するそれぞれの細長ドレイン・コンタクトをさらに備え、前記出力伝送線路が、前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれの細長ドレイン・コンタクトに電気的に接続するドレイン・ランナを備える、請求項6に記載の電力増幅器。
- 前記入力伝送線路の前記電気長が、前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれの細長ゲート・フィンガ間に延在する前記ゲート・ランナの一部によって画定され、及び/又は
前記出力伝送線路の前記電気長が、前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれの細長ドレイン・コンタクト間に延在する前記ドレイン・ランナの一部によって画定されている、請求項7に記載の電力増幅器。 - 前記ゲート・ランナの前記一部及び/又は前記ドレイン・ランナの前記一部には、前記第1及び第2のトランジスタへの電気的な接続がない、請求項8に記載の電力増幅器。
- 前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれの細長ゲート・フィンガが、前記ゲート・ランナの前記一部の両端におけるそれぞれ第1のゲート・バス及び第2のゲート・バスによって前記ゲート・ランナに接続され、前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれの細長ドレイン・コンタクトが、前記ドレイン・ランナの前記一部の両端におけるそれぞれ前記第1のドレイン・バス及び前記第2のドレイン・バスによって前記ドレイン・ランナに接続されている、請求項6から9までのいずれか一項に記載の電力増幅器。
- 前記第1のトランジスタの前記それぞれの細長ゲート・フィンガが、前記半導体ダイ上の前記第2のトランジスタの前記それぞれの細長ゲート・フィンガとは材料が異なり、ドーパント濃度が異なり、厚みが異なり、及び/又はそれぞれのチャネル領域に対する深さが異なる、請求項6から10までのいずれか一項に記載の電力増幅器。
- 前記電気長が、前記入力信号の周波数成分に対応する波長の1/4で構成される、請求項5から11までのいずれか一項に記載の電力増幅器。
- 前記入力伝送線路又は前記出力伝送線路のうちの少なくとも一方が、前記半導体ダイに分布素子回路を含み、集中素子がない、請求項4から12までのいずれか一項に記載の電力増幅器。
- 前記半導体ダイが、前記第1及び第2の閾値電圧とは異なる第3の閾値電圧を有する第3のトランジスタを含む第3の増幅器をさらに備える、請求項1から13までのいずれか一項に記載の電力増幅器。
- 前記第3の増幅器は、前記電力増幅器への前記入力信号を受信するように構成された入力と、前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれのゲートのうちの1つ又は複数に結合された出力と、を有するドライバ増幅器を含む、請求項14に記載の電力増幅器。
- 前記主増幅器の前記第1のトランジスタは、複数の前記第1のトランジスタを含み、前記ピーキング増幅器の前記第2のトランジスタは、前記複数の第1のトランジスタよりも個数が多い複数の前記第2のトランジスタを含む、請求項1から15までのいずれか一項に記載の電力増幅器。
- 前記第1及び第2のトランジスタは、高電子移動度トランジスタ(HEMT)又は金属酸化物半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)を含む、請求項1から16までのいずれか一項に記載の電力増幅器。
- 電力増幅器を製造する方法であって、
第1のトランジスタを含む主増幅器と、前記第1のトランジスタとは異なる第2のトランジスタを含むピーキング増幅器とを備える半導体ダイを形成することを含み、
前記ピーキング増幅器が、前記第1及び第2のトランジスタのそれぞれのゲートに共通ゲート・バイアスが印加されるのに応答して前記主増幅器の負荷インピーダンスを変調させるように構成されている、方法。 - 前記共通ゲート・バイアスに基づき、半導体ダイ上の前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとが、前記電力増幅器への入力信号の異なる電力レベルに応答して順にオンになるように構成されている、請求項18に記載の方法。
- 前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタは、それぞれ異なる第1の閾値電圧及び第2の閾値電圧を有する、請求項18に記載の方法。
- 前記半導体ダイが、
前記半導体ダイ上の前記主増幅器の入力と前記ピーキング増幅器入力とを電気的に接続して入力信号をそれらに与える入力伝送線路、及び/又は
前記半導体ダイ上の前記主増幅器の出力と前記ピーキング増幅器の出力とを電気的に接続する出力伝送線路
をさらに備える、請求項18から20までのいずれか一項に記載の方法。 - 前記入力伝送線路又は前記出力伝送線路のうちの少なくとも一方が、前記入力信号の周波数成分に基づき、所定の位相ずれを間に伴って、前記それぞれの入力に信号を与えるように、又は前記それぞれの出力からの信号を与えるように構成されている電気長を有する、請求項21に記載の方法。
- 前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれのゲートが、それぞれの細長ゲート・フィンガを備え、前記入力伝送線路が、前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれの細長ゲート・フィンガを電気的に接続して前記共通ゲート・バイアスをそれらに与えるゲート・ランナを備える、請求項22に記載の方法。
- 前記第1及び第2のトランジスタが前記それぞれの細長ゲート・フィンガの対の間に延在するそれぞれの細長ドレイン・コンタクトをさらに備え、前記出力伝送線路が、前記第1及び第2のトランジスタの前記それぞれの細長ドレイン・コンタクトに電気的に接続するドレイン・ランナを備える、請求項23に記載の方法。
- 前記半導体ダイを形成することは、前記半導体ダイ上の第2のトランジスタの前記それぞれのゲートとは材料が異なり、ドーパント濃度が異なり、厚みが異なり、及び/又はそれぞれのチャネル領域に対する深さが異なる、前記第1のトランジスタの前記それぞれのゲートを形成することを含む、請求項18から24までのいずれか一項に記載の方法。
- 前記半導体ダイを形成することは、半導体ウエハから、前記主増幅器及び前記ピーキング増幅器をその上に備える前記半導体ダイを単一化させることを含む、請求項18から25までのいずれか一項に記載の方法。
- 半導体ダイと、
前記半導体ダイ上の第1の増幅器であって、第1の閾値電圧を有し第1のゲート・フィンガを備える複数の第1のトランジスタを備える、第1の増幅器と、
前記半導体ダイ上の第2の増幅器であって、前記第1の閾値電圧とは異なる第2の閾値電圧を有し第2のゲート・フィンガを備える複数の第2のトランジスタを備える、第2の増幅器と、
前記半導体ダイ上のゲート・ランナであって、前記第1の増幅器と前記第2の増幅器とに共通ゲート・バイアスを印加するように前記第1のゲート・フィンガと前記第2のゲート・フィンガとを電気的に接続する、ゲート・ランナと、を備え、
前記第1のゲート・フィンガと前記第2のゲート・フィンガとの間に延在する前記ゲート・ランナの一部が、前記第1及び第2の増幅器への無線周波数(RF)入力信号の周波数成分に基づいている電気長を有する、半導体素子。 - 前記共通ゲート・バイアスに基づき、前記第1の増幅器と前記第2の増幅器とが、前記RF入力信号の異なる電力レベルに応答して順にオンになるように構成されている、請求項27に記載の半造体素子。
- 前記半導体ダイ上のドレイン・ランナであって、前記第1のトランジスタの第1のドレイン・フィンガと前記第2のトランジスタの第2のドレイン・フィンガとを電気的に接続する、ドレイン・ランナをさらに備え、
前記第1のドレイン・フィンガと前記第2のドレイン・フィンガとの間に延在する前記ドレイン・ランナの一部が、前記電気長を有する、請求項27又は28に記載の半導体素子。 - 前記ゲート・ランナの前記一部及び/又は前記ドレイン・ランナの前記一部には、前記第1及び第2のトランジスタへの電気的な接続がない、請求項29に記載の半導体素子。
- 前記第1のゲート・フィンガ及び前記第2のゲート・フィンガが、前記ゲート・ランナの前記一部の両側における第1のゲート・バス及び第2のゲート・バスによって、それぞれ接続され、前記第1のゲート・フィンガ及び前記第2のゲート・フィンガが、前記ドレイン・ランナの前記一部の両側における第1のドレイン・バス及び第2のドレイン・バスによって、それぞれ接続されている、請求項29又は30に記載の半導体素子。
- 前記電気長が、前記RF入力信号の前記周波数成分に対応する波長の1/4で構成される、請求項27から31までのいずれか一項に記載の半導体素子。
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