JP2022511113A - アンプルの飛沫軽減 - Google Patents
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Abstract
Description
分野
本明細書に記載される実施態様は、概して、アンプル内の飛沫を減少させることに関する。
多くの場合、アンプルは、気化した前駆体材料を、基板の処理のためのプロセスシステムに提供する。例えば、アンプルが加熱されると、キャリアガスがアンプルに流れ込み、前駆体を攪拌し、気化した前駆体をアンプルの出口を通して流すことができる。さらに、より高い出力速度を達成するために、キャリアガスがアンプルに供給される速度が増加される。しかしながら、キャリアガスがアンプルに供給される速度を増加させることは、前駆体材料を過度に撹拌し、飛沫を引き起こし得る。飛沫がアンプルの出力ポートに到達すると、飛沫は、アンプルからの気化した前駆体の流れを妨げるか、又は少なくとも制限する可能性があり、対応する基板の処理に悪影響を及ぼす可能性がある。
一実施態様では、アンプルは、容器と、入口ポートと、出力ポートと、ディフューザと、スプラッシュガードとを備える。容器は、底部と、側壁と、キャビティを取り囲む蓋とを備える。ディフューザは、入口ポートに連結され、キャビティ内に配置され、供給管及びノズルを備える。供給管は入口ポートに連結され、ノズルは供給管に連結される。ノズルは、閉じたリング形状を有し、複数の孔を備える。複数の孔の各々の中心線は、ノズルの水平線又はその下に配向されている。スプラッシュガードは、出力ポートに連結される。
改善された効率を有するアンプルが本明細書に記載される。アンプルは、一般に、基板の処理のためのプロセスシステムに前駆体材料を提供するために使用され得る。例えば、アンプルは、液体前駆体を、熱の存在下でのキャリアガスのバブリング作用によって、気化状態に変換する。気化した前駆体は、アンプルの出力ポートから接続されたプロセスシステムに流れ出す。しかしながら、バブリング作用が液体前駆体に適用されると、キャリアガスが液体前駆体に適用される力によって、液体前駆体が過度に攪拌され、アンプル内に飛沫を発生させ得る。スプラッシュガードは、飛沫が出力ポートに入るのを実質的に防止し、アンプルから流出し得る気化した前駆体の量を制限するために提供される。このように、スプラッシュガードを有するアンプルは、アンプル内での飛沫を有利に制限し、基板の処理を向上させる。
Claims (15)
- 底部と、側壁と、キャビティを取り囲む蓋とを備える容器;
入口ポート;
出力ポート;
前記キャビティ内に配置されたディフューザであって、
前記入口ポートに連結された供給管と;
前記供給管に連結されたノズルであって、閉じたリング形状を有し、複数の孔を備え、前記複数の孔の各々の中心線が、流体を前記蓋から遠ざけるように配向されるノズルと
を備えるディフューザ:及び
前記出力ポートに連結されたスプラッシュガード
を備えるアンプル。 - 前記複数の孔のうちの少なくとも2つの直径が同じである、請求項1に記載のアンプル。
- 前記複数の孔のうちの1つが約10mmから約40mmの間の直径を有する、請求項2に記載のアンプル。
- 前記ノズルが、上部部分、底部部分、内側部分、及び外側部分をさらに含み、前記複数の孔が、前記底部部分、前記内側部分、及び前記外側部分に配置され、前記上部部分には配置されない、請求項1に記載のアンプル。
- 前記ノズルの内径が前記供給管の内径よりも大きい、請求項1に記載のアンプル。
- 前記ノズルが、前記容器の前記底部に近接して配置される、請求項1に記載のアンプル。
- 前記スプラッシュガードが、前記容器の蓋を基準にして約3度から約10度の間に配向された第1の開口部を備える、請求項1に記載のアンプル。
- 底部と、側壁と、キャビティを取り囲む蓋とを備える容器;
入口ポート;
出力ポート;
前記キャビティ内に配置されたディフューザであって、
前記入口ポートに連結された供給管と;
前記供給管に連結されたノズルであって、閉じたリング形状を有し、複数の孔を備え、前記ノズルの内径が前記供給管の内径よりも大きいノズルと
を備えるディフューザ:及び
前記出力ポートに連結されたスプラッシュガード
を備えるアンプル。 - 前記複数の孔の各々の中心線が、流体を前記蓋から遠ざけるように配向される、請求項8に記載のアンプル。
- 前記複数の孔のうちの少なくとも2つが同じ直径を有する、請求項8に記載のアンプル。
- ノズルが、前記容器の前記底部に近接して配置される、請求項8に記載のアンプル。
- 前記スプラッシュガードが、前記容器の蓋を基準にして約3度から約10度の間に配向された第1の開口部を備える、請求項8に記載のアンプル。
- 底部と、側壁と、キャビティを取り囲む蓋とを備える容器;
入口ポート;
出力ポート;
前記入口ポートに連結され、前記キャビティ内に配置されるディフューザであって、
前記入口ポートに連結された供給管と;
前記供給管に連結されたノズルであって、前記ノズルが複数の孔を備え、前記複数の孔の断面積は、前記供給管の内径よりも大きい、ノズルと
を備えるディフューザ;及び
前記出力ポートに連結されたスプラッシュガード
を備えるアンプル。 - 前記ノズルが、前記供給管の内径よりも大きい内径を有する、請求項13に記載のアンプル。
- 前記ノズルが、閉じたリング形状を有し、前記複数の孔の各々の中心線が、流体を前記蓋から遠ざけるように配向される、請求項13に記載のアンプル。
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