KR20210091334A - 앰풀 스플래시 완화 - Google Patents

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KR20210091334A
KR20210091334A KR1020217021000A KR20217021000A KR20210091334A KR 20210091334 A KR20210091334 A KR 20210091334A KR 1020217021000 A KR1020217021000 A KR 1020217021000A KR 20217021000 A KR20217021000 A KR 20217021000A KR 20210091334 A KR20210091334 A KR 20210091334A
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ampoule
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coupled
feed tube
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KR1020217021000A
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메란 베드야트
치엔-테 카오
라이 자오
샹신 루이
지안후아 조우
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

앰풀은 컨테이너, 유입 포트, 배출 포트, 스플래시가드 및 확산기를 갖는다. 확산기는 컨테이너의 캐비티 내에 배치되고, 공급 튜브 및 노즐을 포함한다. 공급 튜브는 유입 포트에 커플링되고, 노즐은 공급 튜브에 커플링된다. 노즐은 폐쇄 링 형상을 갖고, 복수의 홀들을 포함한다. 복수의 홀들 각각의 중심선은 컨테이너의 덮개로부터 멀어지게 유체를 지향시키기 위해 노즐의 수평선에 또는 그 수평선 아래에 배향된다. 스플래시가드는 앰풀의 출력 포트에 커플링된다.

Description

앰풀 스플래시 완화
[0001] 본원에서 설명되는 실시예들은 일반적으로 앰풀(ampoule) 내의 스플래시(splash)들을 감소시키는 것에 관한 것이다.
[0002] 많은 경우들에서, 앰풀들은 기판의 프로세싱을 위해 프로세스 시스템에 기화된 전구체 재료를 제공한다. 예컨대, 앰풀이 가열됨에 따라 전구체를 교반(agitate)시키고 기화된 전구체가 앰풀의 출력부를 통해 유동하게 하기 위해, 캐리어 가스가 앰풀 내로 유동될 수 있다. 또한, 더 높은 출력 레이트들을 달성하기 위해, 캐리어 가스가 앰풀에 제공되는 레이트가 증가된다. 그러나, 캐리어 가스가 앰풀에 제공되는 레이트를 증가시키는 것은 전구체 재료를 과도하게 교반하여 스플래시들을 야기할 수 있다. 스플래시들이 앰풀의 출력 포트에 도달하면, 스플래시들은 앰풀 밖으로의 기화된 전구체의 유동을 막거나 또는 적어도 제한할 수 있고, 대응하는 기판의 프로세싱이 유해하게 영향을 받을 수 있다.
[0003] 따라서, 앰풀 내의 스플래시들을 감소시키는 개선된 앰풀이 필요하다.
[0004] 일 실시예에서, 앰풀은 컨테이너, 유입 포트, 출력 포트, 확산기 및 스플래시가드(splashguard)를 포함한다. 컨테이너는 최하부, 측벽 및 덮개를 포함하며, 최하부, 측벽 및 덮개는 캐비티(cavity)를 둘러싼다. 확산기는 유입 포트에 커플링되고, 캐비티 내에 배치되고, 공급 튜브 및 노즐을 포함한다. 공급 튜브는 유입 포트에 커플링되고, 노즐은 공급 튜브에 커플링된다. 노즐은 폐쇄 링 형상을 갖고, 복수의 홀들을 포함한다. 복수의 홀들 각각의 중심선은 노즐의 수평선에 또는 그 수평선 아래에 배향된다. 스플래시가드는 출력 포트에 커플링된다.
[0005] 일 실시예에서, 앰풀은 컨테이너, 유입 포트, 출력 포트 및 확산기를 포함한다. 컨테이너는 최하부, 측벽 및 덮개를 포함하며, 최하부, 측벽 및 덮개는 캐비티를 둘러싼다. 확산기는 유입 포트에 커플링되고, 캐비티 내에 배치되고, 공급 튜브 및 노즐을 포함한다. 공급 튜브는 유입 포트에 커플링되고, 노즐은 공급 튜브에 커플링된다. 노즐은 폐쇄 링 형상을 갖고, 복수의 홀들을 포함한다. 노즐의 내경은 공급 튜브의 내경보다 더 크다. 스플래시가드는 출력 포트에 커플링된다.
[0006] 일 실시예에서, 앰풀은 컨테이너, 유입 포트, 출력 포트, 확산기, 및 스플래시가드를 포함한다. 컨테이너는 최하부, 측벽 및 덮개를 포함하며, 최하부, 측벽 및 덮개는 캐비티를 둘러싼다. 확산기는 유입 포트에 커플링되고, 캐비티 내에 배치되고, 공급 튜브 및 노즐을 포함한다. 공급 튜브는 유입 포트에 커플링되고, 노즐은 공급 튜브에 커플링된다. 노즐은 복수의 홀들을 포함하고, 복수의 홀들의 단면적은 공급 튜브의 내경보다 더 크다. 스플래시가드는 출력 포트에 커플링된다.
[0007] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있는데, 이러한 실시예들의 일부는 첨부된 도면들에 예시되어 있다. 그러나, 첨부된 도면들은 본 개시내용의 단지 전형적인 실시예들을 예시하는 것이므로 본 개시내용의 범위를 제한하는 것으로 간주되지 않아야 한다는 것이 주목되어야 하는데, 이는 본 개시내용이 다른 균등하게 유효한 실시예들을 허용할 수 있기 때문이다.
[0008] 도 1은 하나 이상의 실시예들에 따른 앰풀의 일부를 예시한다.
[0009] 도 2는 하나 이상의 실시예들에 따른 노즐의 정면도를 예시한다.
[0010] 도 3은 하나 이상의 실시예들에 따른 노즐의 사시도를 예시한다.
[0011] 도 4는 하나 이상의 실시예들에 따른 노즐의 단면을 예시한다.
[0012] 도 5는 하나 이상의 실시예들에 따른, 노즐 및 공급 튜브의 단면을 예시한다.
[0013] 도 6은 하나 이상의 실시예들에 따른 스플래시가드를 예시한다.
[0014] 이해를 용이하게 하기 위해, 도면들에 대해 공통인 동일한 엘리먼트들을 지정하기 위해 가능한 경우 동일한 참조 번호들이 사용되었다. 일 실시예에 개시된 엘리먼트들은 특정한 언급 없이 다른 실시예들에 유익하게 활용될 수도 있다는 점이 고려된다.
[0015] 개선된 효율을 갖는 앰풀들이 본원에서 설명된다. 기판의 프로세싱을 위해 프로세스 시스템에 전구체 재료를 제공하기 위하여 일반적으로 앰풀들이 사용될 수 있다. 예컨대, 앰풀은, 열의 존재 하에 캐리어 가스의 버블링 작용을 통해, 액체 전구체를 기화된 상태로 변환시킨다. 기화된 전구체는 앰풀의 출력 포트로부터, 연결된 프로세스 시스템으로 유동한다. 그러나, 버블링 작용이 액체 전구체에 적용될 때, 캐리어 가스가 액체 전구체에 적용되는 힘은 액체 전구체가 과도하게 교반되게 하여, 앰풀 내에 스플래시들을 발생시킬 수 있다. 스플래시들이 출력 포트에 진입하는 것을 실질적으로 방지하고, 앰풀 밖으로 유동할 수 있는 기화된 전구체의 양을 제한하기 위해 스플래시가드가 제공된다. 따라서, 스플래시가드를 갖는 앰풀은 유리하게, 앰풀 내의 스플래시들을 제한하며, 이는 기판들의 프로세싱을 향상시킨다.
[0016] 도 1은 하나 이상의 실시예들에 따른 앰풀(100)을 예시한다. 앰풀(100)은 컨테이너(110), 유입 포트(120), 출력 포트(130), 확산기(140), 및 스플래시가드(150)를 포함한다. 앰풀(100)은 반도체 제조 전구체들에 사용될 수 있다. 예컨대, 앰풀(100)은 기판의 프로세싱 동안 전구체를 제공하는 데 활용될 수 있다. 앰풀(100)은, 예컨대 ALD(atomic layer deposition) 프로세스에 의해 기판 상에 재료를 증착하도록 프로세스 챔버에 전구체를 제공할 수 있다. 액체 전구체는, 기화된 전구체를 프로세스 챔버에 제공하기 위해, 열과 교반의 조합에 의해 앰풀(100) 내에서 기화된다. "전구체"라는 용어는, 앰풀(100)에서 기화되는 액체 화합물들을 설명하기 위해 사용되며, 그 액체 화합물들은 증착 또는 다른 반도체 제작 프로세스에서 사용하기 위해 기화된 상태로, 앰풀(100)로부터 프로세스 챔버 또는 다른 프로세스 환경으로 유동될 수 있다.
[0017] 컨테이너(110)는 측벽(112), 덮개(114) 및 최하부(116)를 포함할 수 있으며, 측벽(112), 덮개(114) 및 최하부(116)는 캐비티(118)를 정의한다. 덮개(114)는, 하나 이상의 포트들을 제외하고 캐비티(118)를 완전히 둘러싸도록 측벽(112)에 고정될 수 있다. 예컨대, 유입 포트(120) 및 출력 포트(130)는 덮개(114)를 통과할 수 있다. 또한, 하나 이상의 다른 포트들이 측벽(112), 덮개(114) 및 최하부(116) 중 하나 이상 내에 배치될 수 있다. 예컨대, 재충전 포트(refill port)가 측벽(112) 또는 덮개(114) 내에 배치될 수 있고, 컨테이너(110)를 추가적인 액체 전구체로 재충전하는 데 활용될 수 있다.
[0018] 컨테이너(110)는 형상이 실질적으로 원통형일 수 있다. 대안적으로, 컨테이너(110)는 다른 형상들을 가질 수 있다.
[0019] 덮개(114)는 측벽(112)과 별개의 컴포넌트일 수 있고, 측벽(112)에 부착되어 캐비티(118)를 정의할 수 있다. 예컨대, 덮개(114)는 용접 프로세스를 통해 또는 하나 이상의 볼트들 또는 다른 연결 디바이스들의 사용을 통해 측벽(112)에 연결될 수 있다. 도시되지 않았지만, 누설을 방지하기 위해 덮개(114)와 측벽(112) 사이에 밀봉 부재가 배치될 수 있다. 밀봉 부재는 O-링 또는 다른 밀봉부일 수 있다.
[0020] 유입 포트(120)는 외부 캐리어 가스 소스에 대한 연결을 제공한다. 또한, 유입 포트(120)는, 캐리어 가스들이 덮개(114)를 통해 캐비티(118) 내로 유동하기 위한 통로를 제공한다. 유입 포트(120)는, 유입 포트(120)를 통한 캐비티(118) 내로의 가스들의 유동을 제어하는 유입 밸브를 포함할 수 있다.
[0021] 출력 포트(130)는, 기화된 전구체가 캐비티(118)로부터 하나 이상의 가스 라인들을 통해 프로세스 챔버 또는 다른 환경으로 유동하는 것을 가능하게 한다. 또한, 출력 포트(130)는 가스들이 캐비티(118)로부터 덮개(114)를 통해 유동하기 위한 통로를 제공할 수 있다. 유입 포트(120)는 출력 포트(130)를 통한 가스들의 유동을 제어하는 배출 밸브를 포함할 수 있다.
[0022] 확산기(140)는 유입 포트(120)에 커플링될 수 있고, 가스가 외부 소스로부터 캐비티(118)로 유동하기 위한 경로를 제공할 수 있다. 확산기(140)는 공급 튜브(142) 및 노즐(144)을 포함할 수 있다. 공급 튜브(142)는 유입 포트(120) 및 노즐(144)에 커플링될 수 있고, 캐리어 가스가 유입 포트(120) 및 노즐(144)로부터 유동하는 것을 가능하게 한다. 공급 튜브(142)는 측벽(112)에 실질적으로 평행할 수 있는데, 즉, 공급 튜브(142)는 실질적 수직 배향을 가질 수 있다. 대안적으로, 공급 튜브(142)의 하나 이상의 부분들은 측벽(112)에 평행하지 않다.
[0023] 노즐(144)은 공급 튜브(142)에 커플링된다. 노즐(144)은 완전한 연속적인 링을 형성할 수 있다. 대안적으로, 노즐(144)은 다른 형상들을 가질 수 있다.
[0024] 또한, 노즐(144)은 홀들(146)을 포함한다. 노즐(144)은 컨테이너(110)의 최하부(116)에 근접하게 배치될 수 있다. 또한, 노즐(144)은, 캐비티(118) 내에 포함된 전구체를 교반하기 위해 컨테이너(110)의 최하부(116)에서 캐리어 가스가 운반 및 방출될 경로를 제공할 수 있다. 교반된 전구체는 기화되고, 그에 따라, 기화된 전구체가 출력 포트(130)를 통해 유동한다.
[0025] 노즐(144)은 앰풀(100) 내의 스플래시 발생을 감소시키도록 구성될 수 있다. 예컨대, 노즐(144)은 노즐(144)의 하나 이상의 부분들에 걸쳐 분포된 홀들(146)을 포함할 수 있다. 홀들(146)의 크기 및 위치 중 하나 이상은 캐리어 가스의 효율을 증가시키도록 구성될 수 있다. 캐리어 가스의 작은 버블들은 더 큰 버블들보다 더 큰 결합된 표면적을 가질 수 있으며, 이는 버블들에 의해 야기되는 스플래시들을 감소시키고 캐리어 가스의 효율을 증가시킨다. 캐리어 가스의 효율을 증가시키는 것은, 기화된 전구체 액체가 출력 포트(130)를 통해 캐비티(110) 밖으로 유동하게 하는 데 필요한 캐리어 가스의 양을 감소시키는 것에 대응할 수 있다.
[0026] 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 홀들(146)은, 노즐(144)의 최하부 부분(224), 노즐의 내부 부분(228), 노즐(144)의 외부 부분(226) 중 하나 이상에 걸쳐 분포될 수 있다. 노즐(144)의 최상부 부분(222)에는 홀들(146)이 없을 수 있다. 그러한 구성은, 캐리어 가스가 컨테이너(110)의 최상부(예컨대, 덮개(114))로부터 멀어지게 지향될 때, 다른 노즐들과 비교하여 스플래시 발생을 감소시킬 수 있다. 달리 말하면, 홀들(146)은, 홀들을 빠져 나가는 가스의 평균 벡터가 덮개(114)를 향하는 어떤 방향성 컴포넌트도 갖지 않도록 배열된다.
[0027] 홀들(146)의 직경은 앰풀(100) 내의 스플래시들을 감소시키면서 캐리어 가스를 확산시키도록 선택될 수 있다. 예컨대, 홀들(146) 각각은 약 10 mm 내지 약 40 mm 범위의 직경을 가질 수 있다. 또한, 노즐(144)의 각각의 부분 상의 홀들(146) 각각은 실질적으로 유사한 직경을 가질 수 있다. 대안적으로, 노즐(144)의 제1 부분 상의 홀들은 제1 직경을 가질 수 있고, 노즐(144)의 제2 부분 상의 홀들은 제1 직경과 상이한 제2 직경을 가질 수 있다. 또한, 노즐(144)의 제1 부분 상의 홀들은 공통 직경을 가질 수 있고, 노즐(144)의 제2 부분 상의 홀들 중 하나 이상은 직경이 상이하다.
[0028] 노즐(144)의 각각의 부분 상의 홀들(146)은 노즐(144) 상에서 동일하게 이격될 수 있다. 예컨대, 홀들(146) 사이의 거리는 약 4 mm 내지 약 8 mm의 범위일 수 있다. 대안적으로, 홀들(146) 사이의 거리는 약 4 mm 미만 또는 약 8 mm 초과일 수 있다. 또한, 노즐(144)의 제1 부분 상의 홀들은 노즐(144)의 제2 부분 상의 홀들과 상이하게 이격될 수 있다. 예컨대, 내부 부분(228) 상의 홀들은 외부 부분(226) 및/또는 최하부 부분(224) 상의 홀들과 상이하게 이격될 수 있다.
[0029] 홀들(146)의 총 개수는 약 100개의 홀들 내지 약 300개의 홀들의 범위일 수 있다. 대안적으로, 홀들(146)의 총 개수는 약 100개 미만일 수 있거나 또는 300개의 홀들을 초과할 수 있다. 또한, 노즐(144)의 각각의 부분(예컨대, 내부 부분(228), 외부 부분(226) 및 최하부 부분(224))은 공통적인 개수의 홀들을 가질 수 있거나, 또는 노즐(144)의 적어도 하나의 부분은 노즐(144)의 다른 부분보다 더 많은 홀들을 가질 수 있다. 예컨대, 내부 부분(228), 외부 부분(226) 및 최하부 부분(224) 중 하나 이상은 내부 부분(228), 외부 부분(226) 및 최하부 부분(224) 중 다른 하나보다 더 많은 홀들(146)을 가질 수 있다.
[0030] 도 4는 노즐(144)의 단면을 예시한다. 예시된 바와 같이, 노즐(144)은 외부 부분(226)을 따라 배치된 홀(146a), 내부 부분(228)을 따라 배치된 홀(146b), 및 최하부 부분(224)을 따라 배치된 홀(146c)을 포함한다. 또한, 최상부 부분(222)에는 어떤 홀들도 없다. 홀들(146)은 컨테이너(110)의 덮개(114)로부터 멀어지는 쪽으로 캐리어 가스를 유동시키도록 구성될 수 있다. 예컨대, 각각의 홀(146)의 중심선은 노즐의 수평선(410)에 또는 그 수평선(410) 아래에 배향될 수 있다. 도 4에 예시된 바와 같이, 홀들(146a 및 146b)은, 각각의 홀의 중심이 노즐(144)의 수평선(410)을 따라 배향되도록 배치된다. 달리 말하면, 각각의 홀(146a 및 146b)의 중심선은 수평선(410)에 평행하다. 또한, 홀들(146a 및 146b)은 최상부 부분(222)과 최하부 부분(224) 사이에 균일하게 이격될 수 있다.
[0031] 노즐(144)은 추가적으로 홀들(146e 및/또는 146d)을 포함할 수 있다. 홀들(146d 및 146e) 각각의 중심선들은, 각각의 홀(146d 및 146e)이 최상부 부분(222)을 등지도록(face away from), 수평선(410)과 수직선(420) 사이에 배향된다. 또한, 홀들(146)의 크기, 개수, 및 간격 중 적어도 하나는, 모든 홀들(146)의 결합된 단면적이 공급 튜브(142)의 직경(510)보다 더 크도록 구성될 수 있다.
[0032] 노즐(144)은 공급 튜브(142)의 내경과 상이한 내경을 가질 수 있다. 예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이, 공급 튜브(142)는 직경(510)을 가질 수 있고, 노즐(144)은 직경(520)을 가질 수 있으며, 여기서 직경(510)은 직경(520)보다 작다. 직경(510)은 약 4 mm 내지 약 8 mm의 범위일 수 있고, 직경(520)은 약 10 mm 내지 15 mm의 범위일 수 있다.
[0033] 도 6은 스플래시가드(150)를 예시한다. 스플래시가드(150)는 출력 포트(130)에 부착될 수 있다. 예컨대, 스플래시가드(150)는, 출력 포트(130)가 스플래시가드(150) 내부에 적어도 부분적으로 존재하거나 또는 스플래시가드(150)가 출력 포트(130) 내부에 적어도 부분적으로 존재하도록, 출력 포트(130)에 피팅(fit)될 수 있다. 또한, 스플래시가드(150)는 출력 포트(130) 및/또는 덮개(114)에 부착될 수 있다. 예컨대, 스플래시가드(150)는 출력 포트(130) 및/또는 덮개(114)에 용접되거나, 부착되거나, 또는 다른 방식으로 고정될 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 스플래시가드(150) 및 출력 포트(130)는, 스플래시가드(150) 및 출력 포트(130) 중 하나가 다른 하나 내로 나사결합될 수 있도록 상보적으로 나사산형성된 부분들을 포함할 수 있다.
[0034] 도 6에 예시된 바와 같이, 스플래시가드(150)는 덮개(114)에 대해 일정 각도(610)로 출력 포트(130)에 부착될 수 있다. 예컨대, 각도(610)는 약 2도 내지 약 10도의 범위에 있을 수 있다. 일 특정 예에서, 각도는 약 5도이다. 또한, 각도는 약 2도 내지 약 10도의 범위에 있을 수 있다.
[0035] 스플래시가드(150)는 하나 이상의 개구들을 포함할 수 있다. 예컨대, 스플래시가드(150)는 개구(152) 및 개구(154)를 포함할 수 있다. 대안적으로, 스플래시가드(150)는 개구(152)를 포함하고 그리고 개구(154)를 생략할 수 있다.
[0036] 위에서 언급된 바와 같이, 복수의 홀들(146)을 갖는 링 형상 노즐(예컨대, 144)을 갖는 확산기(140) 및 스플래시가드(150)를 활용함으로써, 앰풀의 출력에 영향을 미치는 스플래시들이 감소될 수 있다. 홀들(146)은, 홀들(146)을 통해 유동하는 캐리어 가스의 효율을 증가시켜, 앰풀 내의 스플래시들을 감소시키도록 구성될 수 있다. 또한, 스플래시가드(150)는, 액체가 출력 포트(130)에 진입하여, 기화된 전구체가 출력 포트(130)를 통과하는 유동을 방해하는 것을 방지하도록 구성될 수 있다. 따라서, 앰풀(100)의 효율이 증가될 수 있다.
[0037] 전술한 바가 본원에서 설명된 실시예들에 관한 것이지만, 다른 그리고 추가적인 실시예들이, 본 개시내용의 기본적인 범위를 벗어나지 않으면서 안출될 수 있고, 본 개시내용의 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (15)

  1. 앰풀(ampoule)로서,
    최하부, 측벽 및 덮개를 포함하는 컨테이너 ― 상기 최하부, 상기 측벽 및 상기 덮개는 캐비티(cavity)를 둘러쌈 ―;
    유입 포트(inlet port);
    출력 포트;
    상기 캐비티 내에 배치된 확산기 ― 상기 확산기는,
    상기 유입 포트에 커플링된 공급 튜브(feed tube); 및
    상기 공급 튜브에 커플링된 노즐을 포함하며, 상기 노즐은 폐쇄 링 형상을 갖고 그리고 복수의 홀들을 포함하고, 상기 복수의 홀들 각각의 중심선은 상기 덮개로부터 멀어지게 유체를 지향시키도록 배향됨 ―; 및
    상기 출력 포트에 커플링된 스플래시가드(splashguard)를 포함하는,
    앰풀.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 홀들 중 적어도 2개의 홀들의 직경은 동일한,
    앰풀.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 복수의 홀들 중 하나는 약 10 mm 내지 약 40 mm의 직경을 갖는,
    앰풀.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 노즐은 최상부 부분, 최하부 부분, 내부 부분 및 외부 부분을 더 포함하며,
    상기 복수의 홀들은 상기 최하부 부분, 상기 내부 부분 및 상기 외부 부분 상에 배치되고, 그리고 상기 최상부 부분 상에는 배치되지 않는,
    앰풀.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 노즐의 내경은 상기 공급 튜브의 내경보다 더 큰,
    앰풀.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 컨테이너의 최하부에 근접하게 배치되는,
    앰풀.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 스플래시가드는, 상기 컨테이너의 덮개를 기준으로 약 3도 내지 약 10도로 배향되는 제1 개구를 포함하는,
    앰풀.
  8. 앰풀로서,
    최하부, 측벽 및 덮개를 포함하는 컨테이너 ― 상기 최하부, 상기 측벽 및 상기 덮개는 캐비티를 둘러쌈 ―;
    유입 포트;
    출력 포트;
    상기 캐비티 내에 배치된 확산기 ― 상기 확산기는,
    상기 유입 포트에 커플링된 공급 튜브; 및
    상기 공급 튜브에 커플링된 노즐을 포함하며, 상기 노즐은 폐쇄 링 형상을 갖고 그리고 복수의 홀들을 포함하며, 상기 노즐의 내경은 상기 공급 튜브의 내경보다 더 큼 ―; 및
    상기 출력 포트에 커플링된 스플래시가드를 포함하는,
    앰풀.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 복수의 홀들 각각의 중심선은 상기 덮개로부터 멀어지게 유체를 지향시키도록 배향되는,
    앰풀.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 복수의 홀들 중 적어도 2개는 동일한 직경을 갖는,
    앰풀.
  11. 제8 항에 있어서,
    노즐은 상기 컨테이너의 최하부에 근접하게 배치되는,
    앰풀.
  12. 제8 항에 있어서,
    상기 스플래시가드는, 상기 컨테이너의 덮개를 기준으로 약 3도 내지 약 10도로 배향되는 제1 개구를 포함하는,
    앰풀.
  13. 앰풀로서,
    최하부, 측벽 및 덮개를 포함하는 컨테이너 ― 상기 최하부, 상기 측벽 및 상기 덮개는 캐비티를 둘러쌈 ―;
    유입 포트;
    출력 포트;
    상기 유입 포트에 커플링되고 그리고 상기 캐비티 내에 배치된 확산기 ― 상기 확산기는,
    상기 유입 포트에 커플링된 공급 튜브; 및
    상기 공급 튜브에 커플링된 노즐을 포함하며, 상기 노즐은 복수의 홀들을 포함하고, 상기 복수의 홀들의 단면적은 상기 공급 튜브의 내경보다 더 큼 ―; 및
    상기 출력 포트에 커플링된 스플래시가드를 포함하는,
    앰풀.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 공급 튜브의 내경보다 더 큰 내경을 갖는,
    앰풀.
  15. 제13 항에 있어서,
    상기 노즐은 폐쇄 링 형상을 갖고, 그리고 상기 복수의 홀들 각각의 중심선은 상기 덮개로부터 멀어지게 유체를 지향시키도록 배향되는,
    앰풀.
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