JP2022509662A - マルチチャンバー真空排気システム - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1
Description
上記真空チャンバーが所定の中間圧力に排気されることに応答して、制御信号を送信して上記バイパスチャネルバルブを閉鎖し、上記真空チャンバーが上記中間真空ポンプと流体連通するように、上記更なる複数のチャネルの対応するチャネルにおいて上記バルブを開放し、;上記真空チャンバーがより低い圧力に到達することに応答して、制御信号を送信して、更なる複数のチャネルのうちの上記対応するチャネルにおいて上記バルブを閉鎖し、上記真空チャンバーにおいて上記バルブを開放する。
10 真空チャンバー
12 ターボ分子ポンプ
14 分岐チャネル
16 メインチャネル
20、21 ブースターポンプ
22 バッキングポンプ
34 可変流量リストリクタ
36 圧力センサ
42 バイパスチャネル
46 共有バイパスチャネル
50 制御可能な分岐チャネルガス入口
60 制御可能なメインチャネルガス入口
62 圧力センサ
70 制御回路
Claims (19)
- 複数の真空チャンバーを排気するための真空排気システムであって、
ガスの分子流領域で動作するように構成され、前記複数の真空チャンバーを排気するように構成された複数の低圧真空ポンプと、
前記複数の低圧真空ポンプを前記複数の真空チャンバーと分離又は接続するための複数のチャンバーバルブと、
前記複数の低圧真空ポンプの対応する排気部に各々接続された複数の分岐チャネルと、
前記分岐チャネルの合流部から形成され、前記複数の分岐チャネルと中圧真空ポンプとの間に流体連通経路を提供するように構成されたメインチャネルであって、前記中圧真空ポンプが前記メインチャネルを排気し且つ前記ガスの粘性流れ領域で動作するように構成される、メインチャネルと、
前記中圧真空ポンプよりも高圧の前記ガスの粘性流領域で動作するように構成された高圧真空ポンプであって、前記中圧真空ポンプの排気部に接続されている、高圧真空ポンプと、
前記複数の真空チャンバーのうちの少なくとも一部と前記高圧真空ポンプとの間に流体連通経路を提供するための複数のバイパスチャネルと、
を備え、
前記複数のバイパスチャネルは各々、前記バイパスチャネルを開放又は閉鎖するように構成されたバルブを含む、真空排気システム。 - 前記中圧真空ポンプの前記排気部に接続された前記高圧真空ポンプと前記複数のバイパスチャネルと流体連通した前記高圧真空ポンプが、同じ高圧真空ポンプである、請求項1に記載の真空排気システム。
- 前記中圧真空ポンプの前記排気部に接続された前記高圧真空ポンプと、前記複数のバイパスチャネルと流体連通している前記高圧真空ポンプは、異なる高圧真空ポンプである、請求項1に記載の真空排気システム。
- 前記複数のバイパスチャネルの合流部から形成されるメインバイパスチャネルを備え、前記メインバイパスチャネル及び前記複数のバイパスチャネルが、前記複数の真空チャンバーと前記高圧真空ポンプとの間で前記流体連通経路を提供する、請求項1から3のいずれか一項に記載の真空排気システム。
- 前記バイパスチャネルが、前記分岐チャネルよりも小さい直径を有する、請求項1から4のいずれか一項に記載の真空排気システム。
- 前記分岐チャネル及び前記メインチャネルが、ポンプ送給される物質の凝縮を低減するため前記チャネルを加熱する加熱回路を備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の真空排気システム。
- 前記複数のバイパスチャネルと前記複数の分岐チャネルとの間に流体連通経路を提供するための更なる複数のチャネルを備え、前記更なる複数のチャネルは各々、前記更なる複数のチャネルを開閉するためのバルブを備える、請求項1から6のいずれか一項に記載の真空排気システム。
- 前記複数の分岐チャネルの少なくとも一部が、ガスを流入させるための制御可能な入口を備える、請求項1から4のいずれか一項に記載の真空排気システム。
- 前記分岐チャネルによって出力される前記ガス流の変動が低減されるように、前記分岐チャネル内のガス流に応じて制御された量のガスを流入させるように前記制御可能な入口を制御するように構成された入口制御回路を備える、請求項8に記載の真空排気システム。
- 前記制御回路は、前記真空チャンバーを排気する前記低圧ポンプの電力消費を監視して、前記電力消費に応じて前記制御可能な入口を制御するように構成される、請求項9に記載の真空排気システム。
- 前記制御回路は、前記真空チャンバー内の電流プロセスを示す前記真空チャンバーからの信号を受信し、前記信号に応じて前記制御可能な入口を制御するように構成される、請求項9に記載の真空排気システム。
- 前記メインチャネル内の圧力を監視するための圧力センサと、
前記圧力センサから信号を受信し、前記圧力の変動を低減するための制御信号を生成するように構成された圧力制御回路と、
を更に備える、前記請求項1から11のいずれか一項に記載の真空排気システム。 - 前記圧力制御回路が、前記圧力センサの出力に応じて、前記中間真空ポンプのポンプ速度を制御するための制御信号を生成するように構成されている、請求項12に記載の真空排気システム。
- 前記メインチャネルに制御された量のガスを流入させるための制御可能なガス入口を更に備え、前記圧力制御回路は、前記制御可能なガス入口を制御するための制御信号を生成するように構成される、請求項12又は13に記載の真空排気システム。
- 前記中間真空ポンプが、互いに直列に配置された複数の中圧真空ポンプを含む、請求項1から14のいずれか一項に記載の真空排気システム。
- 前記分岐チャネルが、制御されたリストリクタを含み、前記リストリクタの制限が、前記低圧真空ポンプの排気部において所定の流量で所定の圧力を提供するように設定される、請求項1から15のいずれか一項に記載の真空排気システム。
- バルブ制御回路を更に備え、前記バルブ制御回路が、前記バルブの状態を制御するように構成され、前記バルブ制御回路は、前記複数の真空チャンバー並びに分岐チャネル、バイパスチャネル及び更なるチャネルの各々について前記チャンバーバルブ及び前記異なるチャネル内の前記バルブが同時に開放されていないことが確実になるように構成される、請求項1から16のいずれか一項に記載の真空排気システム。
- 前記バルブ制御回路が、前記チャンバーの排気を制御するように構成され、前記バルブ制御回路が、
真空チャンバーが大気に放出されることを示す信号に応答して、前記対応するチャンバーバルブを閉鎖して、前記チャンバーを前記メインチャネルから分離し、
前記真空チャンバーが大気からポンプダウンされることに応答して、前記チャンバーが前記高圧真空ポンプと流体連通するように前記バイパスチャネル内の前記バルブを開放する、
ように構成される、請求項1から17のいずれか一項に記載の真空排気システム。 - 前記バルブ制御回路が更に、
前記真空チャンバーが所定の中間圧力に排気されることに応答して、制御信号を送信して前記バイパスチャネルバルブを閉鎖し、前記真空チャンバーが前記中間真空ポンプと流体連通するように、前記更なる複数のチャネルの対応するチャネルにおいて前記バルブを開放し、
前記真空チャンバーが低い圧力に到達することに応答して、制御信号を送信して、前記更なる複数のチャネルのうちの前記対応するチャネルにおいて前記バルブを閉鎖し、前記真空チャンバーにおいて前記バルブを開放する、
ように構成される、請求項18に記載の真空排気システム。
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