JP2022502235A - オゾン水デリバリシステム及び使用方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (31)
- 少なくとも1つの接触装置と、
超純水を供給するように構成される少なくとも1つの超純水源と、
前記少なくとも1つの超純水源に連結される少なくとも1つの超純水導路と、
前記少なくとも1つの超純水導路を介して前記少なくとも1つの接触装置及び前記少なくとも1つの超純水源と接続される少なくとも1つの溶液と、
前記超純水と反応して少なくとも1つの溶液を形成する少なくとも1つの気体を含み、前記少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路のうち少なくとも1つと接続される少なくとも1つの気体源と、
前記少なくとも1つの気体源及び前記少なくとも1つの接触装置と接続される少なくとも1つの混合気体導路であって、少なくとも1つの混合気体を前記少なくとも1つの接触装置に供給するように構成される少なくとも1つの混合気体導路と、
前記少なくとも1つの接触装置と接続される少なくとも1つのオゾン水出力導路と
を備える、オゾン水デリバリシステム。 - 前記接触装置は、少なくとも1つの充填カラム接触装置を含む、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記接触装置は、塔充填物を内部に含む少なくとも1つの充填カラム接触装置を含む、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記接触装置は、少なくとも1つの膜モジュールを内部に含む少なくとも1つのメンブレン接触装置を含む、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源は、前記少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路のうち少なくとも1つに二酸化炭素を供給することにより、二酸化炭素水溶液を形成するように構成される、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源は、約0.01SLPMから約0.5SLPMの流量で少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路に二酸化炭素を流すように構成される、請求項5に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源は、約0.05SLPMから約0.3SLPMの流量で少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路に二酸化炭素を流すように構成される、請求項5に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源は、約0.1SLPMから約0.2SLPMの流量で少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路に二酸化炭素を流すように構成される、請求項5に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源は、一定の気体流量で少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路に二酸化炭素を流すように構成される、請求項5に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源は、可変の気体流量で少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路に二酸化炭素を流すように構成される、請求項5に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源から前記少なくとも1つの混合気体導路を介して前記少なくとも1つの接触装置に流れる少なくとも1つの混合気体は、酸素、オゾン、及び二酸化炭素を含む、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源から前記少なくとも1つの混合気体導路を介して前記少なくとも1つの接触装置に流れる少なくとも1つの混合気体は、窒素、二酸化窒素、及び二酸化二窒素からなる群から選択される少なくとも1つの気体を含み得る、請求項11に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源、少なくとも1つの超純水源、少なくとも1つの超純水導路、少なくとも1つの溶液導路、少なくとも1つの混合気体導路、少なくともオゾン水流出導路のうち少なくとも1つに配置されたプロセッサ、バルブ、質量流量コントローラ、流量センサ、ゲージ、インジケータ、流体絞り、及びセンサのうち少なくとも1つをさらに備える、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記接触装置に形成され、前記少なくとも1つの超純水導路及び少なくとも1つの溶液導路のうち少なくとも1つを介して前記少なくとも1つの超純水源と接続される少なくとも1つの超純水流入口と、
前記接触装置に形成され、前記少なくとも1つの混合気体導路を介して前記少なくとも1つの気体源と接続される少なくとも1つの混合気体流入口と
をさらに備える、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。 - 前記少なくとも1つの混合気体流入口は、前記少なくとも1つの超純水流入口から離れた位置にある、請求項14に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの混合気体流入口は、前記少なくとも1つの超純水流入口に隣接した位置にある、請求項14に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくともオゾン水流出導路は、オゾン水を出力するように構成される、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくともオゾン水流出導路は、毎分0.2リットルから毎分70リットルの流量でオゾン水を出力するように構成される、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくともオゾン水流出導路は、毎分3リットルから毎分40リットルの流量でオゾン水を出力するように構成される、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくともオゾン水流出導路は、毎分2リットルから毎分20リットルの流量でオゾン水を出力するように構成される、請求項1に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 第1の接触装置と、
超純水を前記第1の接触装置に供給するように構成される少なくとも1つの超純水源と、
前記少なくとも1つの超純水源及び前記第1の接触装置に連結される少なくとも1つの超純水導路と、
前記少なくとも1つの超純水導路を介して前記第1の接触装置及び前記少なくとも1つの超純水源と接続される少なくとも1つの溶液導路と、
前記超純水と反応して少なくとも1つの溶液を形成する少なくとも1つの気体を含み、前記少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路のうち少なくとも1つと接続される少なくとも1つの気体源と、
少なくとも1つの第1の接触装置導路を介して前記第1の接触装置と接続される少なくとも1つの第2の接触装置であって、前記第1の接触装置導路は、前記第1の接触装置から出力されたオゾン水を前記少なくとも1つの第2の接触装置に移送するように構成された、少なくとも1つの第2の接触装置と、
前記少なくとも1つの気体源及び前記少なくとも1つの第2の接触装置と接続され、少なくとも1つの混合気体を前記少なくとも1つの第2の接触装置に供給するように構成された少なくとも1つの混合気体導路と、
前記少なくとも1つの第2の接触装置及び前記第1の接触装置と接続され、前記少なくとも1つの第2の接触装置からの前記少なくとも1つの混合気体の一部を前記第1の接触装置に向けるように構成された少なくとも1つのオフガス導路と、
前記少なくとも1つの第2の接触装置と接続される少なくとも1つのオゾン水出力導路と
を備える、オゾン水デリバリシステム。 - 前記第1の接触装置及び前記少なくとも1つの第2の接触装置のうち少なくとも1つは、少なくとも1つの充填カラム接触装置を含む、請求項21に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記第1の接触装置及び前記少なくとも1つの第2の接触装置のうち少なくとも1つは、塔充填物を含む内部に含む少なくとも1つの充填カラム接触装置を含む、請求項21に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記第1の接触装置及び前記少なくとも1つの第2の接触装置のうち少なくとも1つは、少なくとも1つの膜モジュールを内部に含む少なくとも1つのメンブレン接触装置を含む、請求項21に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記第1の接触装置及び前記少なくとも1つの第2の接触装置と接続され、前記第1の接触装置から出力されるオゾン水を前記少なくとも1つの第2の接触装置に汲み上げるように構成される少なくとも1つのポンプをさらに備える、請求項21に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源は、前記少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路のうち少なくとも1つに二酸化炭素を供給することにより、二酸化炭素水溶液を形成するように構成される、請求項21に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源は、約0.01SLPMから約0.5SLPMの流量で少なくとも1つの超純水源、前記少なくとも1つの超純水導路、及び前記少なくとも1つの溶液導路に二酸化炭素を流すように構成される、請求項26に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源から前記少なくとも1つの混合気体導路を介して前記少なくとも1つの第2の接触装置に流れる少なくとも1つの混合気体は、酸素、オゾン、及び二酸化炭素を含む、請求項21に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源から前記少なくとも1つの混合気体導路を介して前記少なくとも1つの第2の接触装置に流れる少なくとも1つの混合気体は、窒素、二酸化窒素、及び二酸化二窒素からなる群から選択される少なくとも1つの気体を含み得る、請求項21に記載のオゾン水デリバリシステム。
- 前記少なくとも1つの気体源、少なくとも1つの超純水源、少なくとも1つの超純水導路、少なくとも1つの溶液導路、少なくとも1つの第1の接触装置導路、少なくとも1つの混合気体導路、少なくとも1つのオフガス連結導路、及び少なくともオゾン水流出導路のうち少なくとも1つに配置されたプロセッサ、バルブ、質量流量コントローラ、流量センサ、ゲージ、インジケータ、流体絞り、ポンプ、及びセンサのうち少なくとも1つをさらに備える、請求項21に記載のオゾン水デリバリシステム。
- オゾン水を供給する方法であって、
超純水中に二酸化炭素が溶解した二酸化炭素水溶液を形成し、
前記二酸化炭素水溶液を少なくとも1つの接触装置に流し込み、
内部に前記二酸化炭素水溶液が流れる前記少なくとも1つの接触装置に少なくとも一部にオゾンを含む少なくとも1つの混合気体を流し込み、
前記少なくとも1つの接触装置内の前記超純水中に前記オゾンの少なくとも一部を溶解させ、
前記超純水中に溶解したオゾンのオゾン崩壊速度を前記二酸化炭素水溶液の二酸化炭素成分を用いて遅くし、
前記少なくとも1つの接触装置からオゾン水を出力する、
方法。
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