JP2022501840A - 基板表面から異物を静電的に除去するための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、「Apparatus and Method to Electrostatically Remove Foreign Matter from Substrate Surfaces」という名称のRotondaroらによる米国特許出願第62/739,482号明細書に関し、且つそれからの優先権を主張するものであり、この特許出願の開示は、その全体が参照により本明細書に明示的に組み込まれる。
Claims (20)
- 基板の表面から粒子を除去するように構成された基板処理システムであって、
チャックであって、その上に前記基板を配置するように構成されたチャックと、
前記チャック内の複数の電極であって、前記チャックにわたり、繰り返す離間されたパターンで提供される複数の電極と、
前記複数の電極に結合された複数の電圧であって、交流電圧であり、複数の異なる電圧信号を含み、前記複数の異なる電圧信号は、互いから位相シフトされている、複数の電圧と
を含み、
前記複数の電極と前記複数の電圧との前記結合は、前記複数の異なる電圧信号の異なるものが、隣接する電極に提供されるように提供され、前記複数の異なる電圧信号の前記異なるものは、互いから位相シフトされており、前記複数の電極及び前記複数の電圧の配置は、前記基板の前記表面に交流電位場が生成されるようなものであり、
前記複数の電極は、前記電極の上部と前記基板の上部表面との間の高さの±20%以内に等しい幅を有する、基板処理システム。 - 前記複数の電極は、隣接する電極が、隣接する電極間において、前記電極の前記上部と前記基板の前記上部表面との間の前記高さの±20%以内に等しい間隔を有するように離間される、請求項1に記載のシステム。
- 前記基板は、半導体ウェハである、請求項1に記載のシステム。
- 前記異なる電圧信号は、120度の位相シフトを有する3つの異なる電圧信号から構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の電極は、隣接する電極が、隣接する電極間において、前記電極の前記上部と前記基板の前記上部表面との間の前記高さの±20%以内に等しい間隔を有するように離間される、請求項4に記載のシステム。
- 前記基板は、半導体ウェハである、請求項5に記載のシステム。
- プラズマ処理システムである、請求項1に記載のシステム。
- 前記電極は、前記チャック内に正方形の形状の電極パターン又は同心のらせん状のパターンで配置される、請求項1に記載のシステム。
- 前記電極は、前記チャック内に平行なラインとして配置される、請求項1に記載のシステム。
- 前記電極は、前記チャック内に同心円として配置される、請求項1に記載のシステム。
- 基板の表面から粒子を除去する方法であって、
基板処理ツールを提供することと、
前記基板処理ツール内にチャックを提供することと、
前記チャック内に複数の電極を提供することと、
前記チャック上に前記基板を提供することと、
前記複数の電極に複数の位相シフトされた交流電圧を提供することであって、前記位相シフトされた交流電圧の前記複数の電極への結合は、隣接する電極が、位相シフトされている電圧を有するようなパターンにおけるものである、提供することと、
前記複数の電極及び複数の位相シフトされた交流電圧の使用を通して前記基板の表面に電位を生成することと、
前記基板の前記表面の前記電位を利用して、前記基板の前記表面にわたって粒子を移動させることにより、前記基板から前記粒子を除去することと
を含む方法。 - 前記複数の位相シフトされた交流電圧は、少なくとも3つの位相シフトされた電圧を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記複数の位相シフトされた交流電圧は、120度の位相シフトを有する3つの位相シフトされた電圧を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記基板の前記表面の前記電位は、前記複数の位相シフトされた交流電圧における位相シフトに起因して、前記基板にわたって交番する、請求項11に記載の方法。
- 前記複数の電極は、前記電極の上部と前記基板の上部表面との間の高さの±20%以内に等しい幅を有する、請求項11に記載の方法。
- 前記複数の位相シフトされた交流電圧は、120度の位相シフトを有する3つの位相シフトされた電圧を含む、請求項15に記載の方法。
- 半導体ウェハの表面から粒子を除去する方法であって、
半導体処理ツールを提供することと、
前記半導体処理ツール内において、前記半導体ウェハを保持するためのチャックを提供することと、
前記チャック内に複数の電極を提供することと、
前記複数の電極に少なくとも3つの位相シフトされた交流電圧を提供することであって、前記少なくとも3つの位相シフトされた交流電圧の前記複数の電極への結合は、隣接する電極が、位相シフトされている電圧を有するようなパターンにおけるものである、提供することと、
前記複数の電極及び前記少なくとも3つの位相シフトされた交流電圧の使用を通して前記半導体ウェハの表面に電位を生成することと、
前記半導体ウェハの前記表面の前記電位を利用して、前記半導体ウェハの前記表面にわたって粒子を移動させることにより、前記表面から前記粒子を除去することであって、前記半導体ウェハの前記表面の前記電位は、前記少なくとも3つの位相シフトされた交流電圧における位相シフトに起因して、前記半導体ウェハにわたって交番する、除去することと
を含む方法。 - 前記少なくとも3つの位相シフトされた交流電圧は、120度の位相シフトを有する3つの位相シフトされた電圧を含む、請求項17に記載の方法。
- 前記複数の電極の少なくとも1つの形状特性は、前記半導体ウェハの高さに依存する、請求項18に記載の方法。
- 前記電極の幅は、前記半導体ウェハの前記高さに依存する、請求項19に記載の方法。
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