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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI887808B (zh) * 2023-10-17 2025-06-21 謝文芩 膜層的尺寸參數檢測方法及其系統
WO2026074789A1 (ja) * 2024-10-01 2026-04-09 浜松ホトニクス株式会社 膜厚測定方法及び膜厚測定装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6137575A (en) * 1997-10-24 2000-10-24 Canon Kabushiki Kaisha Film thickness measuring method and apparatus
JP2001356050A (ja) * 2000-06-14 2001-12-26 Toray Ind Inc 分光方法及びフィルムの製造方法
JP3852556B2 (ja) * 2000-09-08 2006-11-29 オムロン株式会社 膜厚測定方法およびその方法を用いた膜厚センサ
JP3995579B2 (ja) * 2002-10-18 2007-10-24 大日本スクリーン製造株式会社 膜厚測定装置および反射率測定装置
JP2006153770A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Omron Corp 分光計測装置
JP4834847B2 (ja) * 2007-10-05 2011-12-14 大塚電子株式会社 多層膜解析装置および多層膜解析方法
JP2010117161A (ja) 2008-11-11 2010-05-27 Nikon Corp 検査装置
JP2012063321A (ja) * 2010-09-17 2012-03-29 Hamamatsu Photonics Kk 反射率測定装置、反射率測定方法、膜厚測定装置及び膜厚測定方法
JP2013032981A (ja) * 2011-08-02 2013-02-14 Otsuka Denshi Co Ltd 膜厚測定装置
WO2013088871A1 (ja) 2011-12-16 2013-06-20 東レエンジニアリング株式会社 干渉色のモデル適合による膜厚測定方法およびその装置
JP5997578B2 (ja) 2012-10-19 2016-09-28 東レエンジニアリング株式会社 クロストーク補正係数算出方法およびクロストーク補正係数算出機能を備えた透明膜の膜厚測定装置
JP2017044596A (ja) * 2015-08-27 2017-03-02 東レエンジニアリング株式会社 膜厚測定装置および膜厚測定方法
JP6762221B2 (ja) * 2016-12-19 2020-09-30 大塚電子株式会社 光学特性測定装置および光学特性測定方法
JP2019144118A (ja) * 2018-02-21 2019-08-29 Ｊｆｅテクノリサーチ株式会社 膜厚測定装置及び膜厚測定方法

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