JP2022178379A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】スイッチング素子を含む駆動回路を備える記録ヘッドにおいて、駆動回路の温度上昇を十分に冷却できない虞がある。【解決手段】複数の駆動素子２３１のうちノズル２１８から液体を噴射するための駆動信号を供給する駆動素子２３１を選択するスイッチング素子を含む第１駆動回路２４１Ａと、第１駆動回路２４１Ａを収容する空間である第１収容部２５１Ａを画定するケース２５０と、第１収容部２５１Ａに連通し気体を第１収容部２５１Ａへ供給するための第１気体供給路３２Ａと、を備える、構成とする。【選択図】図３

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドともいう）としては、例えば、圧力室が形成された流路基板と、流路基板の一方面側に設けられる圧電アクチュエーター等の駆動素子を具備し、この駆動素子の変位によって圧力室内に圧力を付与することで、ノズルからインク滴を噴射するものがある（例えば、特許文献１参照）。

複数の駆動素子は、駆動ＩＣに代表される駆動回路を介して選択的に電力が供給されることで適宜駆動される。例えば、駆動回路は、スイッチング素子を含んで構成され、このスイッチング素子によって駆動信号を供給する駆動素子を選択する。

ここで、記録ヘッドがスイッチング素子を含む駆動回路を備えている場合、駆動素子の駆動の際、駆動回路の発熱等によって記録ヘッドの温度が上昇することがある。そして、この温度上昇に起因して記録ヘッドの故障が発生する虞がある。特に、比較的ノズル数が多い大型の記録ヘッドでは駆動回路の発熱量が大きく記録ヘッドの温度が上昇し易く、それに伴い記録ヘッド内のインクの温度が上昇し、粘度が低下する。インクの粘度が低下すると噴射特性に影響を与えるため、印刷品質が劣化する虞が有る。また、印刷動作中に駆動回路が発熱することによって駆動回路が所定の温度に達すると、駆動回路が熱によって故障してしまうのを防止するため、駆動回路が所定の温度以下となるまで駆動回路の動作を停止させる必要が有り、印刷動作に関するスループットは低下してしまう。

このような問題を解消するために、記録ヘッドや駆動回路を冷却することで、記録ヘッドの温度上昇を抑制するようにしたものがある。例えば、ダクトによってインクジェットヘッドに向かって空気を送ることで、インクジェットヘッドの本体や、インクジェットヘッドに付設されている回路基板の温度上昇を防ぐようにしたものがある（特許文献２参照）。

特開２０１６－４８８号公報 特開２００９－１６０８９５号公報

駆動回路が、例えば、記録ヘッドの表面に付設されている場合、特許文献２に記載の構成であっても、記録ヘッドや駆動回路の温度上昇を防ぐことはできると考えらえる。しかしながら、駆動回路が記録ヘッド内の空間に収容されている場合、記録ヘッドに向かって空気を送るだけでは、駆動回路を十分に冷却することができない虞がある。

なお、上記のような問題は、あらゆる構成のインクジェット式記録ヘッドで起こり得るものであり、またインクを噴射するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

上記課題を解決する本発明の一つの態様は、複数の駆動素子のうちノズルから液体を噴射するための駆動信号を供給する駆動素子を選択するスイッチング素子を含む第１駆動回路と、前記第１駆動回路を収容する空間である第１収容部を画定するケースと、前記第１収容部に連通し送気機構によって送出される気体を前記第１収容部へ供給する第１気体供給路と、を備える、ことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

また本発明の他の態様は、上記の液体噴射ヘッドと、前記第１気体供給路に接続されて前記第１気体供給路に気体を送出する送気機構と、を備える、ことを特徴とする液体噴射装置にある。

本発明の実施形態１に係る記録装置を模式的に示す図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す上面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す拡大断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す拡大断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す側面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す側面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す拡大断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す拡大断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す拡大断面図である。 本発明の実施形態１に係るヘッドユニットを模式的に示す図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの概略構成を示す上面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの概略構成を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの概略構成を示す上面図である。 本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの概略構成を示す断面図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様についての説明であり、本発明の構成は、発明の範囲内で任意に変更可能である。

なお各図において同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向とし、各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（－）方向として説明する。Ｚ方向は鉛直方向を示し、＋Ｚ方向は鉛直下向き、－Ｚ方向は鉛直上向きを示す。さらに、正方向及び負方向を限定しない３つのＸ、Ｙ、Ｚの空間軸については、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を模式的に示す図である。

本発明に係るインクジェット式記録装置（以下、単に「記録装置」ともいう）は、液体の一種であるインクをインク滴として印刷用紙等の媒体に噴射・着弾させて、当該媒体に形成されるドットの配列により画像等の印刷を行う印刷装置である。なお、媒体としては、記録用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質を用いることができる。

図１に示すように、記録装置１は、液体容器２と、制御ユニット３と、搬送機構４と、移動機構５と、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に「記録ヘッド」ともいう）１０を複数備えるヘッドユニット１００と、を具備する。なおヘッドユニット１００は、必ずしも複数個の記録ヘッド１０を備えていなくてもよく、１つの記録ヘッド１０を備えるものであってもよい。

液体容器２は、記録ヘッド１０から噴射される複数種類（例えば、複数色）のインクを個別に貯留する。液体容器２としては、例えば、記録装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。なお液体容器２には、例えば、色や成分等が異なる複数種類のインクが貯留されている。

制御ユニット３は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と、半導体メモリー等の記憶装置と、を備えている。制御ユニット３は、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで記録装置１の各要素、すなわち、搬送機構４、移動機構５、記録ヘッド１０等を統括的に制御する。

搬送機構４は、制御ユニット３によって制御されて媒体ＳをＹ軸方向に搬送するものであり、搬送ローラー４ａを有する。すなわち搬送機構４は、搬送ローラー４ａが回転することで媒体ＳをＹ軸方向に搬送する。なお媒体Ｓを搬送する搬送機構４は、搬送ローラー４ａを備えるものに限られず、例えば、ベルトやドラムによって媒体Ｓを搬送するものであってもよい。

移動機構５は、制御ユニット３によって制御されて複数の記録ヘッド１０を含むヘッドユニット１００をＸ軸方向に往復移動させる。なお移動機構５によってヘッドユニット１００が往復移動するＸ軸方向は、媒体Ｓが搬送されるＹ軸方向に交差する方向である。

具体的には、本実施形態の移動機構５は、搬送体６と搬送ベルト７とを具備する。搬送体６は、ヘッドユニット１００が収容される略箱形の構造体、いわゆるキャリッジであり、搬送ベルト７に固定されている。搬送ベルト７は、Ｘ軸方向に沿って架設された無端ベルトである。そして、制御ユニット３による制御のもと搬送ベルト７が回転することで、ヘッドユニット１００が搬送体６と共にＸ軸方向に沿って往復移動する。なお搬送体６は、ヘッドユニット１００と共に液体容器２を搭載する構成であってもよい。

ヘッドユニット１００が備える各記録ヘッド１０は、液体容器２から供給されるインクを複数のノズルから媒体Ｓに噴射する。そして記録装置１では、移動機構５による媒体Ｓの搬送と、搬送体６の反復的な往復とに並行して複数の各記録ヘッド１０が媒体Ｓにインクを噴射することで、媒体Ｓの表面に所望の画像が形成される。

また詳しくは後述するが、記録装置１は、各記録ヘッド１０内に冷却用の気体を供給するための送気機構５０を備えている。

次に、ヘッドユニット１００が備える記録ヘッド１０の構成について説明する。

図２は、記録ヘッド１０の概略構成を示す分解斜視図である。図３は、記録ヘッド１０の概略構成を示す上面図である。なお図３においては配線部材２３９Ａ，２３９Ｂ及びホルダー２４０の図示を省略している。図４は、記録ヘッド１０の概略構成を示す断面図であり、図３のＡ－Ａ′線に対応する。図５及び図６は、記録ヘッド１０の概略構成を示す拡大断面図であり、図５は図３のＡ－Ａ′線に対応し、図６は図３のＢ－Ｂ′線に対応する。図７は、記録ヘッド１０の概略構成を示す断面図であり、図３のＣ－Ｃ′線に対応する。図８及び図９は、供給路部材３０を構成する第１部材３００及び接続ユニット３２０の側面図である。

これら図２～図９に示すように、記録ヘッド１０は、液体の一例であるインクを噴射可能なヘッド本体２０と、ヘッド本体２０に固定される供給路部材３０と、を具備する。

ヘッド本体２０は、流路ユニット２１０と、複数の圧電アクチュエーター２３１を有するアクチュエーターユニット２３０と、このアクチュエーターユニット２３０を内部に収容可能なケース２５０と、を具備する。

流路ユニット２１０には、図５及び図６に示すように、液体であるインクが供給される流路が形成される。流路ユニット２１０は、流路形成基板２１１、振動板２１２及びノズルプレート２１３を具備する。これら流路形成基板２１１、振動板２１２及びノズルプレート２１３は、Ｚ軸方向に積層されている。

流路形成基板２１１は、例えば、シリコン単結晶基板等からなり、複数の圧力室２１４が形成されている。本実施形態では、流路形成基板２１１には、複数の圧力室２１４がＹ軸方向に配置されて構成された圧力室列が、Ｘ軸方向にずれて２列に配置されている。すなわち流路形成基板２１１には、Ｘ軸方向にずれて２つの圧力室２１４が配置されていると共に、Ｙ軸方向に沿って複数の圧力室２１４が配置されている。

なお各圧力室列を構成する複数の圧力室２１４は、Ｘ軸方向の位置が同じ位置となるように、Ｙ軸方向に沿った直線上に配置されている。Ｙ軸方向で互いに隣り合う圧力室２１４は、隔壁２１５によって区画されている。なお圧力室２１４の配置は特に限定されるものではない。

また本実施形態の圧力室２１４は、Ｘ軸方向の長さがＹ軸方向の長さよりも長い、例えば、長方形に形成されている。もちろん、Ｚ軸方向に見た平面視における圧力室２１４の形状は、特に限定されず、平行四辺形状、多角形状、円形状、オーバル形状等であってもよい。ここでいうオーバル形状とは、長方形状を基本として長手方向の両端部を半円状とした形状をいい、角丸長方形状、楕円形状、卵形状などが含まれるものとする。

また流路形成基板２１１には、各圧力室２１４のＸ軸方向の一端部側に、各圧力室２１４にインクを供給するためのマニホールド２１６と、各圧力室２１４とマニホールド２１６とを連通する個別流路２１７とが設けられている。本実施形態では、マニホールド２１６は、圧力室２１４の列毎に独立して設けられている。すなわち流路形成基板２１１には、圧力室２１４の各列に対応する第１マニホールド２１６Ａ及び第２マニホールド２１６Ｂが設けられている。

そして、このような流路形成基板２１１の一方面側には振動板２１２が設けられ、他方面側にはノズルプレート２１３が設けられている。すなわち流路形成基板２１１の圧力室２１４が開口する－Ｚ方向側の面は、振動板２１２で封止され、流路形成基板２１１の＋Ｚ方向側の面はノズルプレート２１３によって塞がれている。ノズルプレート２１３には、各圧力室２１４に対応する複数のノズル２１８が穿設されている。ノズル２１８と圧力室２１４とは、流路形成基板２１１をＺ軸方向に貫通して設けられたノズル連通孔２１９を介して連通している。

振動板２１２は、例えば、樹脂フィルム等の弾性材料からなる弾性膜２２０と、この弾性膜２２０を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２２１との複合板で形成されており、弾性膜２２０が流路形成基板２１１に接合されている。弾性膜２２０の樹脂フィルムの材料としては、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）などを採用できる。支持板２２１の金属材料等としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などを採用できる。

振動板２１２の各圧力室２１４に対向する領域内には、後述する圧電アクチュエーター２３１の先端部が当接する島部２２２が形成されている。振動板２１２の各圧力室２１４の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部２２３が形成され、その結果、薄肉部２２３の内側にそれぞれ島部２２２が形成されている。本実施形態では、支持板２２１を部分的にエッチングによって除去することによって薄肉部２２３が形成されており、即ち、薄肉部２２３は、振動板２１２の圧力室２１４に対向する部分のうち弾性膜２２０のみで構成される領域である。

また振動板２１２の各マニホールド２１６、つまり第１マニホールド２１６Ａ及び第２マニホールド２１６Ｂに対向する領域には、薄肉部２２３と同様に、支持板２２１がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜２２０のみで構成されるコンプライアンス部２２４が設けられている。各マニホールド２１６内に圧力変化が生じた際に、このコンプライアンス部２２４を構成する弾性膜２２０が変形することによってその圧力変化を吸収し、各マニホールド２１６内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。

ヘッド本体２０は、図２等に示すように、各圧力室２１４に対応する複数の圧電アクチュエーター２３１を有するアクチュエーターユニット２３０を備えている。本実施形態では、圧力室２１４が、流路形成基板２１１に２列に設けられているため、ヘッド本体２０は、アクチュエーターユニット２３０として、各列に対応する第１アクチュエーターユニット２３０Ａ及び第２アクチュエーターユニット２３０Ｂを備えている。

第１アクチュエーターユニット２３０Ａは、複数の圧電アクチュエーター２３１Ａが一体的に形成される圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａと、この圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａが固定される固定板２３３Ａと、を備えている。同様に、第２アクチュエーターユニット２３０Ｂは、複数の圧電アクチュエーター２３１Ｂが一体的に形成される圧電アクチュエーター形成部材２３２Ｂと、この圧電アクチュエーター形成部材２３２Ｂが固定される固定板２３３Ｂと、を備えている。

固定板２３３Ａおよび固定板２３３Ｂのそれぞれは、Ｙ軸方向に沿って長尺な板状の部材であり、熱伝導率が１０．０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の材料、例えば金属材料で構成されている。本実施形態の固定板２３３Ａは、ステンレス鋼で構成されているが、アルミニウムやチタンなどで構成されていても構わない。固定板２３３Ｂは、固定板２３３Ａと同様の材料で構成されていればよい。以下の説明では、固定板２３３Ａと固定板２３３Ｂとを区別しない場合、単に固定板２３３と呼称する場合がある。

なお第１アクチュエーターユニット２３０Ａ及び第２アクチュエーターユニット２３０Ｂは、同様の構造であるため、ここでは第１アクチュエーターユニット２３０Ａについて説明し、第２アクチュエーターユニット２３０Ｂの説明は省略する。

図５及び図６に示すように、圧電アクチュエーター２３１Ａは、圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａに複数一体的に形成されている。すなわち圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａには、Ｘ軸方向に沿って配置された複数の圧電アクチュエーター２３１Ａが一体的に形成されている。

この圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａは、圧電体２３４と、圧電アクチュエーター２３１Ａの２つの極を構成する内部電極である個別内部電極２３５及び共通内部電極２３６とが、交互に積層されて形成されている。個別内部電極２３５は、隣接する圧電アクチュエーター２３１Ａと電気的に独立する個別電極を構成する。共通内部電極２３６は、隣接する圧電アクチュエーター２３１Ａと電気的に共通する共通電極を構成する。

そして、各圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａの＋Ｚ方向の端部側には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット２３７が形成されている。圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａは、＋Ｚ方向の端部側に形成されたこれら複数のスリット２３７によって櫛歯状に切り分けられている。複数のスリット２３７によって切り分けられた圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａの各部位が、「駆動素子」の一例である圧電アクチュエーター２３１Ａとして機能する。つまり圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａには、複数の圧電アクチュエーター２３１ＡがＹ軸方向に沿って並設されている。

また圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａは、－Ｚ方向側の端部付近において固定板２３３Ａに固定されている。すなわち圧電アクチュエーター形成部材２３２Ａは、複数の圧電アクチュエーター２３１Ａが形成された＋Ｚ方向の端部が自由端となるように固定板２３３Ａに接合されている。このため、圧電アクチュエーター２３１Ａを構成する個別内部電極２３５と共通内部電極２３６との間に電圧を印加すると、各圧電アクチュエーター２３１Ａは、固定板２３３Ａに接合されていない先端部側の領域が振動することになる。

そして、このような構成の第１アクチュエーターユニット２３０Ａには、図２等に示すように、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）等からなる配線部材２３８Ａが接続されている。配線部材２３８Ａは、第１アクチュエーターユニット２３０Ａの各圧電アクチュエーター２３１Ａに接続されている。また配線部材２３８Ａには、ＦＰＣ等からなる配線部材２３９Ａが接続されている。この配線部材２３９Ａを介して配線部材２３８Ａに印刷信号等が入力される。なお配線部材２３９Ａは、ケース２５０に固定されたホルダー２４０によって保持されている。そして、図７等に示すように、配線部材２３９Ａの－Ｚ方向側の端部にはコネクター２４２Ａが設けられている。このコネクター２４２Ａが記録ヘッド１０の外部に設けられた、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）などからなる外部の信号ケーブルと電気的に接続されることで、記録ヘッド１０が制御ユニット３からの印刷信号等を受信することができる。

この配線部材２３８Ａには、駆動ＩＣ等である第１駆動回路２４１Ａが搭載されている。つまり、本実施形態では、配線部材２３８Ａと第１駆動回路２４１Ａとは、ＣＯＦ（Chip On Film）を構成している。第１駆動回路２４１Ａは、配線部材２３９Ａを介して印刷信号が入力された際、所定の圧電アクチュエーター２３１Ａに対して駆動信号を供給する。この第１駆動回路２４１Ａは、各圧電アクチュエーター２３１Ａに対応する複数のスイッチング素子を含んで構成されており、配線部材２３９Ａを介して印刷信号が入力された際、これらスイッチング素子によって所定の圧電アクチュエーター２３１Ａに対して選択的に電圧を印加する。即ち、第１駆動回路２４１Ａは、印刷信号が入力された際に、複数の圧電アクチュエーター２３１Ａを選択的に駆動させる。

第１アクチュエーターユニット２３０Ａと同様、第２アクチュエーターユニット２３０Ｂには、第２駆動回路２４１Ｂが搭載された配線部材２３８Ｂが接続され、配線部材２３８Ｂには配線部材２３９Ｂが接続されている。配線部材２３８Ｂと第２駆動回路２４１ＢとはＣＯＦを構成している。

図７等に示すように、配線部材２３９Ｂは、配線部材２３９Ａと同様に、－Ｚ方向の端部にコネクター２４２Ｂを有する。なお、配線部材２３９Ａのコネクター２４２Ａと配線部材２３９Ｂのコネクター２４２Ｂとは、別々に独立して設けられてもよいし、共通のコネクターであってもよい。そして第２駆動回路２４１Ｂは、各圧電アクチュエーター２３１Ｂに対応する複数のスイッチング素子を含んで構成され、配線部材２３９Ｂを介して印刷信号が入力された際、これらスイッチング素子によって所定の圧電アクチュエーター２３１Ｂに対して選択的に電圧を印加する。

第１駆動回路２４１Ａは、Ｙ軸に沿って長尺な形状であり、－Ｘ方向を向く面で固定板２３３Ａに接触している。第１駆動回路２４１Ａと固定板２３３Ａとは、熱伝導グリスや接着剤、粘着剤などを介して固定されていてもよい。第１駆動回路２４１Ａと同様、第２駆動回路２４１Ｂは、Ｙ軸に沿って長尺な形状であり、＋Ｘ方向を向く面で固定板２３３Ｂに接触している。第２駆動回路２４１Ｂと固定板２３３Ｂとは、熱伝導グリスや接着剤、粘着剤などを介して固定されていてもよい。

これらのアクチュエーターユニット２３０が収容されるケース２５０は、流路ユニット２１０の－Ｚ方向側に設けられる。つまりケース２５０は、流路形成基板２１１に接合された振動板２１２上に接合されている。

このケース２５０は、アクチュエーターユニット２３０を収容する空間である収容部２５１を画定する。上述のようにヘッド本体２０は、第１アクチュエーターユニット２３０Ａ及び第２アクチュエーターユニット２３０Ｂを備えている。このため、ケース２５０には、第１駆動回路２４１Ａを含む第１アクチュエーターユニット２３０Ａが収容される空間である第１収容部２５１Ａと、第２駆動回路２４１Ｂを含む第２アクチュエーターユニット２３０Ｂが収容される空間である第２収容部２５１Ｂとが設けられている。これら第１収容部２５１Ａ及び第２収容部２５１Ｂは、ケース２５０をＺ軸方向に貫通して設けられ、Ｘ軸方向において隔壁２５２を介して並設されている。

第１収容部２５１Ａに収容された第１アクチュエーターユニット２３０Ａ及び第２収容部２５１Ｂに収容された第２アクチュエーターユニット２３０Ｂは、それぞれ所定位置に位置決めされた状態でケース２５０に固定されている。

また、このケース２５０には、インクタンク等である液体容器２内のインクを各マニホールド２１６に供給するための２つの液体導入路２５３が形成されている。流路形成基板２１１には第１マニホールド２１６Ａ及び第２マニホールド２１６Ｂが設けられているため、ケース２５０には、液体導入路２５３として、第１マニホールド２１６Ａにインクを供給するための第１液体導入路２５３Ａと、第２マニホールド２１６Ｂにインクを供給するための第２液体導入路２５３Ｂとが設けられている。

これら第１液体導入路２５３Ａ及び第２液体導入路２５３Ｂは、ケース２５０をＺ軸方向に貫通して設けられ、その一端側が第１マニホールド２１６Ａ及び第２マニホールド２１６Ｂに連通している。また第１液体導入路２５３Ａは、Ｙ軸方向においてはケース２５０の略中央部に配置され、Ｘ軸方向においては第１収容部２５１Ａよりも－Ｘ方向側に配置されている。一方、第２液体導入路２５３Ｂは、Ｙ軸方向においてはケース２５０の略中央部に配置され、Ｘ軸方向においては第２収容部２５１Ｂよりも＋Ｘ方向側に配置されている。

このような構成のヘッド本体２０には、以下に説明する供給路部材３０を介して液体容器２からインクが供給される。すなわちヘッド本体２０には、液体容器２から供給路部材３０を介して第１液体導入路２５３Ａ及び第２液体導入路２５３Ｂにインクが導入される。導入されたインクは、第１液体導入路２５３Ａ及び第２液体導入路２５３Ｂからノズル２１８に至るまで充填される。そして記録ヘッド１０は、このようにヘッド本体２０内にインクが充填された状態で、圧電アクチュエーター２３１Ａ，２３１Ｂを選択的に駆動させることで、圧力室２１４の容積を変化させて所定のノズル２１８からインク滴を噴射する。

供給路部材３０は、ケース２５０の－Ｚ方向側に設けられる部材であり、図４等に示すように、液体容器２のインクをケース２５０の第１液体導入路２５３Ａに供給するための第１液体供給路３１Ａを備える。また供給路部材３０は、液体容器２のインクをケース２５０の第２液体導入路２５３Ｂに供給するための第２液体供給路３１Ｂを備える。

さらに、供給路部材３０は、図７等に示すように、第１収容部２５１Ａに連通して気体を第１収容部２５１Ａに供給するための第１気体供給路３２Ａと、第１収容部２５１Ａに連通して第１収容部２５１Ａ内の気体を外部に排出するための第１気体排出路３３Ａと、を備える。また供給路部材３０は、第２収容部２５１Ｂに連通して気体を第２収容部２５１Ｂに供給するための第２気体供給路３２Ｂと、第２収容部２５１Ｂに連通して第２収容部２５１Ｂ内の気体を外部に排出するための第２気体排出路３３Ｂと、を備える。

より具体的には、本実施形態に係る供給路部材３０は、第１部材３００及び第２部材３１０と、接続ユニット３２０とを備える。

第１部材３００には、詳しくは後述するが、第１液体供給路３１Ａ及び第２液体供給路３１Ｂの一部、第１気体供給路３２Ａ及び第２気体供給路３２Ｂの一部、及び第１気体排出路３３Ａ及び第２気体排出路３３Ｂの一部が形成される。

第２部材３１０は、図３の上面図において、第１収容部２５１Ａ及び第１気体排出路３３Ａと第１収容部２５１Ａとが連通する連通部分と、第２収容部２５１Ｂ及び第２気体排出路３３Ｂと第２収容部２５１Ｂとが連通する連通部分と、を囲むように第１部材３００とケース２５０との間に設けられる。この第２部材３１０は、ケース２５０の－Ｚ方向側の面に固定されており、第１部材３００を支持すると共に、第１気体供給路３２Ａ及び第２気体供給路３２Ｂを介して第１収容部２５１Ａ及び第２収容部２５１Ｂに供給される気体の外部への流出を規制する役割を果たす。

接続ユニット３２０は、第１部材３００の－Ｚ方向側に装着されて、第１液体供給路３１Ａ及び第２液体供給路３１Ｂの一部と、第１気体供給路３２Ａ及び第２気体供給路３２Ｂの一部と、第１気体排出路３３Ａ及び第２気体排出路３３Ｂの一部とが形成される。

第１部材３００は、より詳しくは、－Ｚ方向側の面に、接続ユニット３２０を装着する装着部３０１が設けられる本体部３０２を備える。

ここで、接続ユニット３２０は、アクチュエーターユニット２３０毎に設けられる。本実施形態では、供給路部材３０は、第１アクチュエーターユニット２３０Ａに対応する第１接続ユニット３２０Ａと、第２アクチュエーターユニット２３０Ｂに対応する第２接続ユニット３２０Ｂと、を備える。このため、第１部材３００の本体部３０２には、第１接続ユニット３２０Ａが装着される第１装着部３０１Ａと、第２接続ユニット３２０Ｂが装着される第２装着部３０１Ｂとが設けられている。

第１装着部３０１Ａは、本体部３０２の－Ｚ方向を向く面から＋Ｚ方向に凹んだ凹部形状を有しており、第１接続ユニット３２０Ａの一部が当該凹部に嵌まることで第１接続ユニット３２０Ａと第１装着部３０１Ａとが位置決めされている。第２装着部３０１Ｂは、本体部３０２の－Ｚ方向を向く面から＋Ｚ方向に凹んだ凹部形状を有しており、第２接続ユニット３２０Ｂの一部が当該凹部に嵌まることで第２接続ユニット３２０Ｂと第２装着部３０１Ｂとが位置決めされている。

第１接続ユニット３２０Ａは、図３及び図８に示すように、第１液体供給路３１Ａの一部を構成する中空の第１インク供給針３２１Ａと、第１気体供給路３２Ａの入口部分を構成する第１気体導入部３２２Ａが形成された第１筒状部３２３Ａと、第１気体排出路３３Ａの一部を構成する孔である第１気体排出部３２４Ａが形成された第２筒状部３２３Ｂと、を備え、これら第１インク供給針３２１Ａ、第１筒状部３２３Ａ及び第２筒状部３２３Ｂが、Ｙ軸方向に並設されて一体化されている。これらの並び方向は、特に限定されるものではないが、本実施形態では、＋Ｙ方向側から－Ｙ方向側へ向かって、第１気体導入部３２２Ａが形成された第１筒状部３２３Ａ、第１インク供給針３２１Ａ、第１気体排出部３２４Ａが形成された第２筒状部３２３Ｂの順で配置されている。

一方、第２接続ユニット３２０Ｂは、図３及び図９に示すように、第２液体供給路３１Ｂの一部を構成する中空の第２インク供給針３２１Ｂと、第２気体供給路３２Ｂの一部を構成する第２気体導入部３２２Ｂが形成された第３筒状部３２３Ｃと、第２気体排出路３３Ｂの一部を構成する第２気体排出部３２４Ｂが形成された第４筒状部３２３Ｄと、を備え、これらがＹ軸方向に並設されて一体化されている。これらの並び方向は、特に限定されるものではないが、本実施形態では、第１接続ユニット３２０Ａにおける並び方向とは逆に、－Ｙ方向側から＋Ｙ方向側へ向かって、第２気体導入部３２２Ｂが形成された第３筒状部３２３Ｃ、第２インク供給針３２１Ｂ、第２気体排出部３２４Ｂが形成された第４筒状部３２３Ｄの順で配置されている。

そして、このような構成の第１接続ユニット３２０Ａが第１部材３００の本体部３０２に設けられた第１装着部３０１Ａに装着され、第２接続ユニット３２０Ｂが本体部３０２に設けられた第２装着部３０１Ｂに装着される。

その結果、供給路部材３０には、Ｘ軸方向において、第１気体導入部３２２Ａと第２気体排出部３２４Ｂとが並設され、第１気体排出部３２４Ａと第２気体導入部３２２Ｂとが並設されている（図３参照）。

なお本体部３０２の第１装着部３０１Ａと第２装着部３０１Ｂとの間には、配線部材２３９Ａ，２３９Ｂを保持したホルダー２４０が挿通される挿通孔３０３がＺ軸方向に貫通して設けられる。この挿通孔３０３は、少なくともホルダー２４０及び配線部材２３９Ａ，２３９Ｂを挿通可能な大きさで設けられていればよいが、本実施形態では、コネクター２４２Ａおよび２４２Ｂを挿通可能な大きさで設けられている。

また図示は省略するが、第１部材３００と第１インク供給針３２１Ａ及び第２インク供給針３２１Ｂとの間にはフィルターが設けられている。フィルターは、液体であるインク中に含まれる異物や気泡を除去するためのものであり、複数の微細孔が設けられたものである。このようなフィルターとしては、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく織る又は編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたものなどを用いることができる。またフィルターは、不織布等を用いてもよく、その材料は特に限定されるものではない。

このように第１接続ユニット３２０Ａ及び第２接続ユニット３２０Ｂが装着される第１部材３００は、さらに、本体部３０２から＋Ｚ方向側に突出する複数の突出部３０４を備えている。

第１部材３００は、図４、図７～図９に示すように、本体部３０２から突出する突出部３０４として、第１液体供給路３１Ａの一部が形成される第１突出部３０４Ａと、第２液体供給路３１Ｂの一部が形成される第２突出部３０４Ｂと、第１気体供給路３２Ａの一部が形成される第３突出部３０４Ｃと、第２気体供給路３２Ｂの一部が形成される第４突出部３０４Ｄと、第１気体排出路３３Ａの一部が形成される第５突出部３０４Ｅと、第２気体排出路３３Ｂの一部が形成される第６突出部３０４Ｆと、を備えている。そして第１部材３００は、これら複数の突出部３０４がケース２５０に当接した状態で第２部材３１０を介してケース２５０に固定されている。

第１突出部３０４Ａの第１液体供給路３１Ａとケース２５０の第１液体導入路２５３Ａとを液密に接続するため、第１突出部３０４Ａとケース２５０との間に、不図示のエラストマーなどからなる弾性のシール部材を介在させてもよい。これは、第２突出部３０４Ｂについても同様である。

なお、各突出部３０４は、本実施形態では、それぞれ独立して本体部３０２から突出しているが、必ずしも独立していなくてもよい。すなわち、各突出部３０４は、隣接するもの同士が一体的に形成されていてよい。また、第３突出部３０４Ｃと、第４突出部３０４Ｄと、第５突出部３０４Ｅと、第６突出部３０４Ｆとは、ケース２５０に当接しないでケース２５０との間に隙間を空けるようにして配置されていてもよい。

第１突出部３０４Ａには、図４、図８に示すように、外部から液体であるインクが供給される第１液体供給路３１Ａを構成する第１貫通孔３０５Ａがその軸方向に貫通して設けられている。つまり、第１突出部３０４Ａは、本体部３０２から円筒状に突出して設けられている。第１貫通孔３０５Ａは、ケース２５０に形成された第１液体導入路２５３Ａに接続されている。この第１貫通孔３０５Ａは、第１突出部３０４Ａと共に本体部３０２を貫通して設けられて第１装着部３０１Ａに開口している。そして、第１貫通孔３０５Ａの第１装着部３０１Ａ側は、第１装着部３０１Ａに装着された第１インク供給針３２１Ａに接続される。

なお、第１インク供給針３２１Ａは、Ｘ軸方向において、第１液体導入路２５３Ａよりも－Ｘ方向側に配置されている。このため、第１突出部３０４Ａは、その先端側がＸ軸方向において供給路部材３０の中央側に近づくように傾斜して設けられている。

第２突出部３０４Ｂには、図４、図９等に示すように、液体であるインクが供給される第２液体供給路３１Ｂを構成する第２貫通孔３０５Ｂがその軸方向に貫通して設けられている。つまり、第２突出部３０４Ｂは、本体部３０２から円筒状に突出して設けられている。この第２貫通孔３０５Ｂは、ケース２５０に形成された第２液体導入路２５３Ｂに接続されている。また、第２貫通孔３０５Ｂは、第２突出部３０４Ｂと共に本体部３０２を貫通して設けられて第２装着部３０１Ｂに開口している。そして、第２貫通孔３０５Ｂの第２装着部３０１Ｂ側は、第２装着部３０１Ｂに装着された第２インク供給針３２１Ｂに接続される。

なお、第２インク供給針３２１Ｂは、Ｘ軸方向において、第２液体導入路２５３Ｂよりも＋Ｘ方向側に配置されている。このため、第２突出部３０４Ｂは、その先端側がＸ軸方向において供給路部材３０の中央側に近づくように傾斜して設けられている。

第３突出部３０４Ｃは、図７、図８等に示すように、気体を第１収容部２５１Ａに供給する第１気体供給路３２Ａを構成する孔である第１供給連通部３０６Ａがその軸方向に貫通して設けられている。つまり、第３突出部３０４Ｃは、本体部３０２から円筒状に突出して設けられている。そして、第１供給連通部３０６Ａは、ケース２５０に形成された第１収容部２５１Ａに接続されている。また、第１供給連通部３０６Ａは、第３突出部３０４Ｃと共に本体部３０２を貫通して設けられて第１装着部３０１Ａに開口している。第１供給連通部３０６Ａの第１装着部３０１Ａ側は、第１筒状部３２３Ａに形成された第１気体導入部３２２Ａに接続される。

なお、第１気体導入部３２２Ａが形成された第１筒状部３２３Ａは、Ｘ軸方向において、第１収容部２５１Ａよりも－Ｘ方向側に配置されている。このため、第１供給連通部３０６Ａが形成された第３突出部３０４Ｃは、第１気体導入部３２２Ａが形成された第１筒状部３２３Ａの延在方向であるＺ軸方向に対して傾斜して設けられている。本実施形態では、第３突出部３０４Ｃは、その先端側がＸ軸方向において供給路部材３０の中央側に近づくように傾斜して設けられている。

また、本実施形態では、第３突出部３０４Ｃは、図３の上面図において、第１突出部３０４Ａ等と略平行してＸ軸方向に延設されており、第１供給連通部３０６Ａは、Ｙ軸方向において、第１収容部２５１Ａの＋Ｙ方向側の端部付近に接続されている。

第４突出部３０４Ｄは、第１収容部２５１Ａ内の気体を外部に排出する第１気体排出路３３Ａを構成する孔である第１排出連通部３０７Ａがその軸方向に貫通して設けられている。つまり、第４突出部３０４Ｄは、本体部３０２から円筒状に突出して設けられている。そして、第１排出連通部３０７Ａは、ケース２５０に形成された第１収容部２５１Ａに接続されている。また、第１排出連通部３０７Ａは、第４突出部３０４Ｄと共に本体部３０２を貫通して設けられて第１装着部３０１Ａに開口している。第１排出連通部３０７Ａの第１装着部３０１Ａ側は、第２筒状部３２３Ｂに形成された第１気体排出部３２４Ａに接続される。

なお、第１気体排出部３２４Ａが形成された第２筒状部３２３Ｂは、Ｘ軸方向において、第１収容部２５１Ａよりも－Ｘ方向側に配置されている。このため、第１排出連通部３０７Ａが形成された第４突出部３０４Ｄは、第１気体排出部３２４Ａが形成された第２筒状部３２３Ｂの延在方向であるＺ軸方向に対して傾斜して設けられている。本実施形態では、第４突出部３０４Ｄは、その先端側がＸ軸方向において供給路部材３０の中央側に近づくように傾斜して設けられている。

また、本実施形態では、第４突出部３０４Ｄは、図３の上面図において、第１突出部３０４Ａ等と略平行してＸ軸方向に延設されており、第１排出連通部３０７Ａは、Ｙ軸方向において第１収容部２５１Ａの－Ｙ方向側の端部付近に接続されている。

第５突出部３０４Ｅは、図７、図９に示すように、気体を第２収容部２５１Ｂに供給する第２気体供給路３２Ｂを構成する孔である第２供給連通部３０６Ｂがその軸方向に貫通して設けられている。つまり、第５突出部３０４Ｅは、本体部３０２から円筒状に突出して設けられている。そして、第２供給連通部３０６Ｂは、ケース２５０に形成された第２収容部２５１Ｂに接続されている。また第２供給連通部３０６Ｂは、第５突出部３０４Ｅと共に本体部３０２を貫通して設けられて第２装着部３０１Ｂに開口している。第２供給連通部３０６Ｂの第２装着部３０１Ｂ側は、第３筒状部３２３Ｃに形成された第２気体導入部３２２Ｂに接続される。

なお、第２気体導入部３２２Ｂが形成された第３筒状部３２３Ｃは、Ｘ軸方向において、第２収容部２５１Ｂよりも＋Ｘ方向側に配置されている。このため、第２供給連通部３０６Ｂが形成された第５突出部３０４Ｅは、第２気体導入部３２２Ｂが形成された第３筒状部３２３Ｃの延在方向であるＺ軸方向に対して傾斜して設けられている。本実施形態では、第５突出部３０４Ｅは、その先端側がＸ軸方向において供給路部材３０の中央側に近づくように傾斜して設けられている。

また、本実施形態では、第５突出部３０４Ｅは、図３の上面図において、第２突出部３０４Ｂ等と略平行してＸ軸方向に延設されており、第２供給連通部３０６Ｂは、Ｙ軸方向において、第２収容部２５１Ｂの－Ｙ方向側の端部付近に接続されている。

第６突出部３０４Ｆは、第２収容部２５１Ｂ内の気体を外部に排出する第２気体排出路３３Ｂを構成する孔である第２排出連通部３０７Ｂがその軸方向に貫通して設けられている。つまり、第６突出部３０４Ｆは、本体部３０２から円筒状に突出して設けられている。そして、第２排出連通部３０７Ｂは、ケース２５０に形成された第２収容部２５１Ｂに接続されている。また第２排出連通部３０７Ｂは、第６突出部３０４Ｆと共に本体部３０２を貫通して設けられて第２装着部３０１Ｂに開口している。第２排出連通部３０７Ｂの第２装着部３０１Ｂ側は、第４筒状部３２３Ｄに形成された第２気体排出部３２４Ｂに接続される。

なお、第２気体排出部３２４Ｂが形成された第４筒状部３２３Ｄは、Ｘ軸方向において、第２収容部２５１Ｂよりも＋Ｘ方向側に配置されている。このため、第２排出連通部３０７Ｂが形成された第６突出部３０４Ｆは、第２気体排出部３２４Ｂが形成された第４筒状部３２３Ｄの延在方向であるＺ軸方向に対して傾斜して設けられている。本実施形態では、第６突出部３０４Ｆは、第５突出部３０４Ｅと同様に、その先端側がＸ軸方向において供給路部材３０の中央側に近づくように傾斜して設けられている。

また、本実施形態では、第６突出部３０４Ｆは、図３の上面図において、第２突出部３０４Ｂ等と略平行してＸ軸方向に延設されており、第２排出連通部３０７Ｂは、Ｙ軸方向において第２収容部２５１Ｂの＋Ｙ方向側の端部付近に接続されている。

このような構成の供給路部材３０において、第１インク供給針３２１Ａ及び第２インク供給針３２１Ｂには、図示は省略するが、例えば、供給チューブ等を介して液体容器２に接続されている。そして液体容器２のインクが供給チューブを介して第１インク供給針３２１Ａ及び第２インク供給針３２１Ｂに供給されるようになっている。これら第１インク供給針３２１Ａ及び第２インク供給針３２１Ｂと液体容器２との間には、インク圧を調整する調整機構が設けられていてもよい。

また、第１筒状部３２３Ａに形成された第１気体導入部３２２Ａ及び第３筒状部３２３Ｃに形成された第２気体導入部３２２Ｂには、記録装置１が備える送気機構５０が接続されている。すなわち送気機構５０は、供給路部材３０の第１気体供給路３２Ａ及び第２気体供給路３２Ｂに接続され、これら第１気体供給路３２Ａ及び第２気体供給路３２Ｂに冷却用の気体を送出する。

本実施形態では、送気機構５０は、気体を貯留する気体貯留部５１を備えている。第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂは、送気チューブ５２によってこの気体貯留部５１に接続されている。言い換えれば、気体貯留部５１から延設された送気チューブ５２は、第１筒状部３２３Ａ及び第３筒状部３２３Ｃにそれぞれ接続されている。

図示は省略するが、気体貯留部５１は、内部に貯留されている気体の温度を調整するための温調装置を備えている。温調装置は、例えば、気体貯留部５１内の気体の温度を検出する温度センサーと、気体貯留部５１内の温度を冷却する冷却機構と、温度センサーが検出した温度に基づいて、気体貯留部５１内の気体の温度が所望の温度になるように冷却機構を駆動させる制御装置と、を備える。そして、送気機構５０は、気体貯留部５１にて所定温度に調整した冷却用の気体を、送気チューブ５２を介して第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂに供給するように構成されている。なお、当該制御装置は、制御ユニット３とは別々でもよいし、共用であってもよい。また、温調装置は、気体貯留部５１ではなく、気体貯留部５１から記録ヘッド１０の間の任意の位置に設けられていてもよい。更に、記録装置１は、必ずしも温調装置を設けていなくてもよい。

また気体貯留部５１と第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂとは、送気チューブ５２によって気密に接続されている。これにより、送気機構５０は、気体貯留部５１内に貯留されている気体を第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂに良好に送気することができる。

本実施形態に係る送気機構５０は、送気チューブ５２の途中に送気ポンプ５３を備え、この送気ポンプ５３によって気体貯留部５１内の気体を第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂに送出する。送気機構５０によって送出する気体の種類は、特に限定されないが、例えば、空気、窒素やアルゴン等の不活性ガスを用いることが好ましく、特に、水蒸気量が４ｇ／ｍ^３以下である乾燥気体を用いることが好ましい。なお、乾燥気体の水蒸気量は、３ｇ／ｍ^３以下であることがより好ましく、１ｇ／ｍ^３以下であれば更に好ましい。

ところで、送気チューブ５２と第１筒状部３２３Ａ及び第３筒状部３２３Ｃとの接続方法は特に限定されないが、例えば、次のように接続することができる。図１０～図１２は、送気チューブ５２と第１筒状部３２３Ａとの接続方法を説明する拡大断面図である。

まずは図１０に示すように、送気チューブ５２として、外径が第１気体導入部３２２Ａの内径よりも若干細く、外径が第１筒状部３２３Ａと本体部３０２との間に配置されたＯリング５６の内径よりも若干太いものを採用する。更に、送気チューブ５２の先端、換言すれば送気チューブ５２の少なくともＯリング５６に挿入される部分には剛性を有する材料を採用する。すなわち、第１気体導入部３２２Ａ内に挿入した送気チューブ５２の先端部をこのＯリング５６に圧入する。これにより、送気チューブ５２と第１気体導入部３２２Ａとを気密に接続し、送気チューブ５２をＯリング５６によって保持することができる。

また、送気チューブ５２の外径が第１気体導入部３２２Ａの内径よりも若干細く、送気チューブ５２の先端が可撓性を有する材料である場合、図１１に示すように、Ｚ軸方向において、第１筒状部３２３Ａの一部に、第１気体導入部３２２Ａの内径が送気チューブ５２の外径よりも若干細い小径部３２５を設けるようにしてもよい。この小径部３２５に送気チューブ５２を圧入してはめ込むことで、送気チューブ５２と第１気体導入部３２２Ａとを気密に接続することができる。

また、その場合、小径部３２５の内径は、第１部材３００側ほど狭くなるように形成されていることが好ましい。すなわち、小径部３２５の内面が、いわゆるテーパー状に形成されていることが好ましい。これにより、送気チューブ５２を小径部３２５に挿入し易くなる。

また、図１２に示すように、送気チューブ５２として、内径が第１筒状部３２３Ａの外径よりも若干細いものを採用し、第１筒状部３２３Ａの外周部に送気チューブ５２を装着するようにしてもよい。すなわち、第１筒状部３２３Ａが送気チューブ５２に対して圧入されるようにしてもよい。このような構成としても、送気チューブ５２と第１気体導入部３２２Ａとを気密に接続することができる。

また、気体貯留部５１は、排気チューブ５４によって第１気体排出部３２４Ａ及び第２気体排出部３２４Ｂに接続されている。気体貯留部５１と第１気体排出部３２４Ａ及び第２気体排出部３２４Ｂとは、排気チューブ５４によって気密に接続されている。これにより、送気機構５０は、第１気体排出部３２４Ａ及び第２気体排出部３２４Ｂから排出される気体を、排気チューブ５４を介して気体貯留部５１内に送り込む。

本実施形態に係る送気機構５０は、排気チューブ５４の途中に排気ポンプ５５を備え、この排気ポンプ５５によって第１気体排出部３２４Ａ及び第２気体排出部３２４Ｂから排出される気体を気体貯留部５１内に送り込む。

なお、排気チューブ５４と第２筒状部３２３Ｂ及び第４筒状部３２３Ｄとの接続方法は特に限定されず、上述した送気チューブ５２と同様に接続すればよい。

そして、本実施形態に係る記録装置１では、このような送気機構５０によって、所定のタイミングで記録ヘッド１０内に冷却用の気体を強制的に循環させる。すなわち、送気機構５０によって、図３中に矢印で示すように、冷却用の気体を、気体供給路３２を介して収容部２５１内に供給し、さらに気体排出路３３から収容部２５１内の気体を外部に排出させる。

これにより、各収容部２５１の内部に気流が発生し、それに伴い、収容部２５１内に収容されている各アクチュエーターユニット２３０が冷却される。また、冷却用の気体が気体供給路３２から収容部２５１にダイレクトに供給されることで、アクチュエーターユニット２３０がより効果的に冷却される。したがって、記録ヘッド１０の温度上昇を抑制することができ、温度上昇によってインクの粘度が低下することで噴射特性が変化し、印刷品質が劣化してしまうのを抑制することができる。

ここで、各アクチュエーターユニット２３０は、駆動回路２４１（２４１Ａ，２４１Ｂ）における温度上昇が起こり易く、この駆動回路２４１が収容部２５１内、つまり記録ヘッド１０の内部に収容されている構成では、記録ヘッド１０の温度上昇が特に起こり易い。

しかしながら、上記構成により収容部２５１内に冷却用の気体を強制的に循環させることで、駆動回路２４１の温度上昇を効果的に抑制することができる。したがって、駆動回路２４１の発熱等による記録ヘッド１０の温度上昇を抑制することができる。これにより、印刷動作に関するスループットの低減を抑制することができる。

また、本実施形態では、気体供給路３２及び気体排出路３３と収容部２５１とが連通する連通部分が、供給路部材３０を構成する第２部材３１０によって囲まれている。このため、気体供給路３２を介して収容部２５１に供給される気体の外部への流出が規制され、収容部２５１に冷却用の気体をより効率的に供給することができる。したがって、駆動回路２４１を含むアクチュエーターユニット２３０をより確実に冷却することができる。

さらに、第２部材３１０によって収容部２５１内への、記録ヘッド１０から噴射されたインクから発生して記録装置１内を浮遊するインクミストの侵入を抑制することができる。また、収容部２５１内に供給された冷却用の気体が記録ヘッド１０の外部に漏れ出すことによる記録装置１内の温度変化を抑制できる。その結果、この温度変化による印刷動作への悪影響を抑制することができる。

ちなみに、第２部材３１０とケース２５０との間は、密封されていてもよいが、若干の隙間、例えば、０．３ｍｍ程度の隙間が形成されていてもよい。このような隙間が存在していることで、収容部２５１内の過度の圧力上昇を抑制することができる。一方で、この程度の隙間であれば、収容部２５１内の気体が記録ヘッド１０の外部に漏れだす量は限定的であり、記録装置１内の温度変化も十分に小さく抑えられる。また、収容部２５１内の圧力が正圧であれば、第２部材３１０とケース２５０との間に若干の隙間が形成されていてもインクミスト侵入は抑制できる。

また、本実施形態に係る送気機構５０は、冷却用の気体を循環させている。すなわち、気体貯留部５１に貯留されている気体を送気チューブ５２及び気体供給路３２を介して収容部２５１内に収容した後、収容部２５１内の気体を気体排出路３３及び排気チューブ５４を介して気体貯留部５１に回収し、回収した気体を再び収容部２５１に供給している。したがって、冷却用の気体に対するインクミストや記録ヘッド１０の外部に存在する異物（例えば、紙粉等の塵芥である。）の混入を抑制することができる。つまり、異物やインクミストが混入していない気体を収容部２５１に供給することができる。よって、これら異物やインクミストによる記録ヘッド１０の故障を抑制することができる。

特に、送気チューブ５２と気体導入部３２２とが気密に接続され、また排気チューブ５４と気体排出部３２４とが気密に接続されていることで、冷却用の気体に対するインクミストや外部の異物の混入をより確実に抑制することができる。また、排気チューブ５４と気体排出部３２４とが気密に接続されているため、収容部２５１内に供給された気体が、記録ヘッド１０の外部且つ記録装置１の内部の空間、具体的には記録ヘッド１０が記録動作を行う空間に排出されるのを低減できる。そのため、記録ヘッド１０の外部の空間に排出された気体に起因する、ノズル２１８から噴射された液体の飛翔曲がりや、記録装置１の内部の当該空間の温度に変化を抑制することができる。

なお、排気チューブ５４は、必ずしも設けられていなくてもよく、収容部２５１内の気体は、気体排出路３３を介して記録ヘッド１０の外部に排出されるようにしてもよい。さらには、気体貯留部５１は、必ずしも設けられていなくてもよい。ただし、その場合には、インクミストの浮遊が極力少ない領域、例えば記録装置１の不図示の筐体の外部の空間から送気チューブ５２を延設して気体導入部３２２に接続することが好ましい。

また、本実施形態では、第１接続ユニット３２０Ａには、第１気体導入部３２２Ａと、第１インク供給針３２１Ａと、第１気体排出部３２４Ａとが、＋Ｙ側からこの順で配置されている。また第２接続ユニット３２０Ｂには、第２気体導入部３２２Ｂと、第２インク供給針３２１Ｂと、第２気体排出部３２４Ｂとが、－Ｙ側からこの順で配置されている。つまり、各気体導入部３２２及び気体排出部３２４とインク供給針３２１とは、固定板２３３を挟んで駆動回路２４１とは反対側に、駆動回路２４１の長手方向で固定板２３３の表面に沿って並設されている。

本実施形態では、第１気体導入部３２２Ａ、第１インク供給針３２１Ａ及び第１気体排出部３２４Ａと、第１駆動回路２４１Ａとの間には固定板２３３Ａが設けられているが、固定板２３３Ａは金属材料で構成されるとともに第１駆動回路２４１Ａと接触しているため、第１駆動回路２４１Ａの熱は固定板２３３Ａに熱伝導しやすい。同様に第２気体導入部３２２Ｂ、第２インク供給針３２１Ｂ及び第２気体排出部３２４Ｂと、第２駆動回路２４１Ｂとの間には固定板２３３Ｂが設けられているが、固定板２３３Ｂは金属材料で構成されるとともに第２駆動回路２４１Ｂと接触しているため、第２駆動回路２４１Ｂの熱は固定板２３３Ｂに熱伝導しやすい。

したがって、収容部２５１内に駆動回路２４１の長手方向で固定板２３３の表面に沿う気体の流れを発生させることで、固定板２３３を介して各駆動回路２４１を効率よく冷却することができる。また、気体導入部３２２及び気体排出部３２４とインク供給針３２１とが、このように並設されていることで、スペースを有効活用でき、記録ヘッド１０のＸ軸方向における大型化を抑制できる。

また、上述のように、第１気体導入部３２２Ａが形成された第１筒状部３２３Ａ、第１インク供給針３２１Ａ及び第１気体排出部３２４Ａが形成された第２筒状部３２３Ｂが、＋Ｙ方向側から－Ｙ方向側へこの順で配置されている。一方、第２気体導入部３２２Ｂが形成された第３筒状部３２３Ｃ、第２インク供給針３２１Ｂ及び第２気体排出部３２４Ｂが形成された第４筒状部３２３Ｄは、－Ｙ方向側から＋Ｙ方向側へこの順で配置されている。そして、第１気体導入部３２２Ａ及び第１気体排出部３２４Ａが接続される第１収容部２５１Ａと、第２気体導入部３２２Ｂ及び第２気体排出部３２４Ｂが接続される第２収容部２５１Ｂを画定する振動板２１２は、これら第１収容部２５１Ａ及び第２収容部２５１Ｂに共通している。

このようにＹ軸方向の一方側に第１気体導入部３２２Ａが配置され、Ｙ軸方向の他方側に第２気体導入部３２２Ｂが配置されていることで、これら第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂから収容部２５１に気体が供給される際、その風圧による振動板２１２の応力集中を抑制できる。その結果、振動板２１２がケース２５０から剥離するのを抑制できる。また、噴射特性のばらつきも低減することができる。

ところで、ヘッドユニット１００は、このような記録ヘッド１０が複数個並設されて構成されている。ヘッドユニット１００において、これら複数の記録ヘッド１０の配置は特に限定されないが、次のように配置されていることが好ましい。

各記録ヘッド１０では、上述のようにＹ軸方向の一方側に第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体排出部３２４Ｂが配置され、Ｙ軸方向の他方側に第１気体排出部３２４Ａと第２気体導入部３２２Ｂとが並設されている。

そこで、ヘッドユニット１００においては、図１３に示すように、隣り合う各記録ヘッド１０の第１気体導入部３２２Ａと第２気体導入部３２２Ｂとが近接し、第１気体排出部３２４Ａと第２気体排出部３２４Ｂとが近接するように、各記録ヘッド１０が、いわゆる千鳥状に配置されていることが好ましい。

第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂには、それぞれ接手６０によって送気チューブ５２が接続される。同様に、第１気体排出部３２４Ａ及び第２気体排出部３２４Ｂには、それぞれ接手６１によって排気チューブ５４が接続される。

第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂが隣り合うことで近接して配置されているため、それぞれに接続される接手６０，６１同士を近接して配置することができる。したがって、これら第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂに接続される送気チューブ５２を接手６０に近い部分まで共通化することができる。同様に、第１気体排出部３２４Ａ及び第２気体排出部３２４Ｂが隣り合うことで近接して配置されているためで、排気チューブ５４を接手６１に近い部分まで共通化することができる。

したがって、送気チューブ５２及び排気チューブ５４の使用量を減らして低コスト化を図ることができる。また、送気チューブ５２及び排気チューブ５４の配設も容易となり、送気チューブ５２及び排気チューブ５４の様々なレイアウトも可能となる。

なお、図１３においては、近接して配置された第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂに接続される送気チューブ５２、近接して配置された第１気体排出部３２４Ａ及び第２気体排出部３２４Ｂに接続される排気チューブ５４だけを図示しているが、送気チューブ５２は、全ての第１気体導入部３２２Ａ及び第２気体導入部３２２Ｂにそれぞれ接続され、排気チューブ５４は、全ての第１気体排出部３２４Ａ及び第２気体排出部３２４Ｂにそれぞれ接続される。

（実施形態２）
図１４は、実施形態２に係る記録ヘッド１０の上面図であり、図１５は、図１４のＤ－Ｄ′線に対応する断面図である。なお図１４においては、配線部材２３９及びホルダー２４０の図示を省略している。また図中において実施形態１と同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

本実施形態は、固定板２３３Ａ及び固定板２３３Ｂと、第１気体排出路３３Ａ及び第２気体排出路３３Ｂの変形例であり、それ以外の構成は実施形態１と同様である。

上述のように実施形態１に係る固定板２３３Ａは、第１駆動回路２４１Ａと接触し、固定板２３３Ｂは、第２駆動回路２４１Ｂと接触している（図３、４、５、７等参照）。

これに対し、本実施形態に係る固定板２３３Ａは、図１４及び図１５に示すように、第１駆動回路２４１Ａに接触しておらず、固定板２３３Ｂは、第２駆動回路２４１Ｂに接触していない。本実施形態では、各固定板２３３の－Ｚ方向側の端部の位置が駆動回路２４１よりも＋Ｚ方向に位置する。すなわち、第１駆動回路２４１Ａの－Ｙ方向を向く面は、第１収容部２５１Ａ内に臨み、第２駆動回路２４１Ｂの＋Ｙ方向を向く面は、第２収容部２５１Ｂ内に臨む。

また、上述のように実施形態１に係る第１部材３００は、第１排出連通部３０７Ａが形成された第４突出部３０４Ｄと、第２排出連通部３０７Ｂが形成された第６突出部３０４Ｆと、を備えている（図３等参照）。

これに対し、本実施形態に係る第１部材３００Ａには、図１４及び図１５に示すように、第４突出部３０４Ｄ及び第６突出部３０４Ｆが設けられておらず、第１排出連通部３０７Ａ及び第２排出連通部３０７Ｂは、第１部材３００Ａの本体部３０２のみをＺ軸方向に貫通して設けられている。

このような構成でも、図１４の矢印に示すように、第１駆動回路２４１Ａの長手方向でその表面に沿う気体の流れを発生させることができるため、効率良く第１駆動回路２４１Ａを冷却することができる。また、第２駆動回路２４１Ｂの長手方向でその表面に沿う気体の流れを発生させることができるため、効率良く第２駆動回路２４１Ｂを冷却することができる。

また、本実施形態においても、第１収容部２５１Ａ内の気体は、第１排出連通部３０７Ａと第１気体排出部３２４Ａとを含む第１気体排出路３３Ａ及び排気チューブ５４を介して気体貯留部５１に回収される。同様に、第２収容部２５１Ｂ内の気体は、第２排出連通部３０７Ｂと第２気体排出部３２４Ｂとを含む第２気体排出路３３Ｂ及び排気チューブ５４を介して気体貯留部５１に回収される。

ただし、第１部材３００Ａには、第４突出部３０４Ｄ及び第６突出部３０４Ｆが設けられておらず、第１収容部２５１Ａと第１排出連通部３０７Ａとの間、第２収容部２５１Ｂと第２排出連通部３０７Ｂとの間には空間３３０が存在する。

したがって、第１収容部２５１Ａ内の気体は、この空間３３０に排出された後、第１排出連通部３０７Ａと第１気体排出部３２４Ａとを含む第１気体排出路３３Ａ及び排気チューブ５４を介して気体貯留部５１に回収される。同様に、第２収容部２５１Ｂ内の気体は、この空間３３０に排出された後、第２排出連通部３０７Ｂと第２気体排出部３２４Ｂとを含む第２気体排出路３３Ｂ及び排気チューブ５４を介して気体貯留部５１に回収される。

また、第４突出部３０４Ｄが設けられていないため、図１４の一点鎖線で示された矢印のように、第１供給連通部３０６Ａの第１収容部２５１Ａ側の開口から空間３３０を通じて第１排出連通部３０７Ａへ向かう気体の流れも発生している。この気体の流れによって、第１液体供給路３１Ａを構成する第１貫通孔３０５Ａ内のインクを冷却することができ、インクの粘度の低下をより抑制することができる。また、第６突出部３０４Ｆが設けられていないため、図１４の一点鎖線で示された矢印のように、第２供給連通部３０６Ｂの第２収容部２５１Ｂ側の開口から空間３３０を通じて第２排出連通部３０７Ｂへ向かう気体の流れも発生している。この気体の流れによって、第２液体供給路３１Ｂを構成する第２貫通孔３０５Ｂ内のインクを冷却することができ、インクの粘度の低下をより抑制することができる。

なお、第２部材３１０は、ケース２５０と第１部材３００との間に、その周りを囲むように設けられており、第１収容部２５１Ａと第１排出連通部３０７Ａとの間、第２収容部２５１Ｂと第２排出連通部３０７Ｂとの間に形成された空間３３０は、第２部材３１０によって実質的に塞がれている。したがって、この空間３３０は、第１気体排出路３３Ａ及び第２気体排出路３３Ｂの一部を構成するとも言える。

（実施形態３）
図１６は、実施形態３に係る記録ヘッド１０の上面図である。なお図中において上述の実施形態と同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

本実施形態に係る第１部材３００Ｂは、第１供給連通部３０６Ａが形成された第３突出部３０４Ｃ及び第２供給連通部３０６Ｂが形成された第５突出部３０４Ｅが、実施形態１と同様に、Ｙ軸方向においてその先端部が供給路部材３０の中央側に近づくように傾斜して設けられている。さらに、第１部材３００Ｂの第３突出部３０４Ｃ及び第５突出部３０４Ｅは、図１６に示すように、Ｘ軸方向においてもその先端部が供給路部材３０の中央側、つまり液体供給路３１側に近づくように傾斜して設けられている。

そして、第１駆動回路２４１Ａは、第３突出部３０４Ｃに形成された第１供給連通部３０６Ａの延長線上に配置されている。同様に、第２駆動回路２４１Ｂは、第５突出部３０４Ｅに形成された第２供給連通部３０６Ｂの延長線上に配置されている。

このような構成により、冷却用の気体を第１収容部２５１Ａ及び第２収容部２５１Ｂに供給する際、冷却用の気体が第１駆動回路２４１Ａ及び第２駆動回路２４１Ｂ付近に送り込まれるため、これら第１駆動回路２４１Ａ及び第２駆動回路２４１Ｂの温度上昇をより確実に抑制することができる。なお、実施形態１と同様に駆動回路２４１と固定板２３３とが接触している場合、つまり、供給連通部３０６と駆動回路２４１との間に固定板２３３が介在する場合であっても、固定板２３３が１０．０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の材料であれば、駆動回路２４１の熱は固定板２３３へ容易に熱伝導されるため、同様に効果を奏する。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。

例えば、上述の実施形態では、気体供給路３２を構成する供給連通部３０６及び気体排出路３３を構成する排出連通部３０７が、供給路部材３０に、Ｚ軸方向に対して傾斜して設けられた構成を例示したが（図４参照）、これら供給連通部３０６及び排出連通部３０７は、必ずしもＺ軸方向に対して傾斜していなくてもよく、例えば、図１７に示すように、Ｚ軸方向に平行する方向及びＺ軸方向に対して直交する方向に延設されていてもよい。

図１７に示す例では、供給路部材３０Ａは、Ｚ軸方向に積層されて第１板状部材３４１、第２板状部材３４２及び第３板状部材３４３と、第１板状部材３４１上に装着される接続ユニット３２０と、を備えている。なお図１７において、供給路部材３０Ａ以外の構成は、実施形態１と同様であり、第１接続ユニット３２０Ａ及び第２接続ユニット３２０Ｂは、第１板状部材３４１上に搭載されている。

そして、例えば、第１供給連通部３０６Ａは、第１気体導入部３２２Ａに対応して設けられて第１板状部材３４１及び第２板状部材３４２をＺ軸方向に貫通する第１供給貫通部３５１と、第１収容部２５１Ａに対応して設けられて第３板状部材３４３をＺ軸方向に貫通する第２供給貫通部３５２と、第３板状部材３４３の第２板状部材３４２側の面に設けられて第１供給貫通部３５１と第２供給貫通部３５２とを繋ぐ供給溝部３５３と、で構成されている。

また、例えば、第２排出連通部３０７Ｂは、第２気体排出部３２４Ｂに対応して設けられて第１板状部材３４１及び第２板状部材３４２をＺ軸方向に貫通する第１排気貫通部３６１と、第２収容部２５１Ｂに対応して設けられて第３板状部材３４３をＺ軸方向に貫通する第２排気貫通部３６２と、第３板状部材３４３の第２板状部材３４２側の面に設けられて第１排気貫通部３６１と第２排気貫通部３６２とを繋ぐ排気溝部３６３と、で構成されている。

勿論、供給路部材３０Ａをこのような構成とした場合でも、上述の実施形態と同様の効果が得られる。

また、上述した実施形態では、供給路部材３０に第１気体排出路３３Ａ及び第２気体排出路３３Ｂが形成された構成を例示したが、供給路部材３０に第１気体排出路３３Ａ及び第２気体排出路３３Ｂが形成されていない構成であってもよい。この場合、例えば、第１部材３００と第２部材３１０の間の隙間、ケース２５０と第２部材３１０の間の隙間、及び、挿通孔３０３のうち少なくとも１つから、気体供給路３２から収容部２５１に供給された冷却用の気体を記録ヘッド１０の外部へ排出する構成にしてもよい。このような構成であっても、記録ヘッド１０の内部に収容された駆動回路２４１を冷却することができる。

また、上述した実施形態では、圧力室に圧力変化を生じさせる駆動素子として、圧電体と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターを用いて説明したが、記録ヘッドがその内部に駆動回路を収容する構成であれば、駆動素子は、特に限定されるものではない。駆動素子は、例えば、電極及び圧電材料を成膜及びリソグラフィー法により積層形成した薄膜型、グリーンシートを添付する等の方法により形成される圧膜型などの撓み振動型の圧電アクチュエーターを用いることができる。また、駆動素子として、各圧力室に対応して設けられた発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することもできる。

また、上述した実施形態では、インクジェット式記録装置として、記録ヘッドがキャリッジに搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、インクジェット式記録装置は、この構成に限定されるものではない。インクジェット式記録装置は、例えば、記録ヘッドが固定されて、紙等の記録シートを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、いわゆるライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

なお、上述の実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。また本発明は、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

１…記録装置、２…液体容器、３…制御ユニット、４…搬送機構、４ａ…搬送ローラー、５…移動機構、６…搬送体、７…搬送ベルト、１０…記録ヘッド、２０…ヘッド本体、３０，３０Ａ…供給路部材、３１…液体供給路、３２…気体供給路、３３…気体排出路、５０…送気機構、５１…気体貯留部、５２…送気チューブ、５３…送気ポンプ、５４…排気チューブ、５５…排気ポンプ、５６…Ｏリング、６０，６１…接手、１００…ヘッドユニット、２１０…流路ユニット、２１１…流路形成基板、２１２…振動板、２１３…ノズルプレート、２１４…圧力室、２１５…隔壁、２１６…マニホールド、２１７…個別流路、２１８…ノズル、２１９…ノズル連通孔、２２０…弾性膜、２２１…支持板、２２２…島部、２２３…薄肉部、２２４…コンプライアンス部、２３０…アクチュエーターユニット、２３１…圧電アクチュエーター、２３２…圧電アクチュエーター形成部材、２３３…固定板、２３４…圧電体、２３５…個別内部電極、２３６…共通内部電極、２３７…スリット、２３８…配線部材、２３９…配線部材、２４０…ホルダー、２４１…駆動回路、２５０…ケース、２５１…収容部、２５２…隔壁、２５３…液体導入路、３００…第１部材、３０１…装着部、３０２…本体部、３０３…挿通孔、３０４…突出部、３０５…貫通孔、３０６…供給連通部、３０７…排出連通部、３１０…第２部材、３２０…接続ユニット、３２１…インク供給針、３２２…気体導入部、３２３…筒状部、３２４…気体排出部、３２５…小径部、３３０…空間、３４１…第１板状部材、３４２…第２板状部材、３４３…第３板状部材、３５１…第１供給貫通部、３５２…第２供給貫通部、３５３…供給溝部、３６１…第１排気貫通部、３６２…第２排気貫通部、３６３…排気溝部、Ｓ…媒体

Claims (12)

1. 複数の駆動素子のうちノズルから液体を噴射するための駆動信号を供給する駆動素子を選択するスイッチング素子を含む第１駆動回路と、
   前記第１駆動回路を収容する空間である第１収容部を画定するケースと、
   前記第１収容部に連通し気体を前記第１収容部へ供給するための第１気体供給路と、
   を備える、
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記第１収容部に連通し、前記第１収容部内の気体を外部に排出するための第１気体排出路を備える、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 外部から液体が供給される第１液体供給路を備え、
   前記第１気体供給路、前記第１液体供給路及び前記第１気体排出路は、前記第１駆動回路の長手方向に沿ってこの順に配置される、
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 複数の駆動素子のうちノズルから液体を噴射するための駆動信号を供給する駆動素子を選択するスイッチング素子を含む第２駆動回路を備え、
   前記ケースは、前記第１収容部とは隔壁を介して配置されて前記第２駆動回路を収容する空間である第２収容部を画定し、
   前記第２収容部に連通し、外部からの気体を前記第２収容部へ供給するための第２気体供給路と、
   前記第２収容部に連通し、前記第２収容部内の気体を外部に排出するための第２気体排出路と、
   外部から液体が供給される第２液体供給路と、
   を備え、
   前記第２気体供給路、前記第２液体供給路及び前記第２気体排出路が配置される方向は、前記第１気体供給路、前記第１液体供給路及び前記第１気体排出路が配置される方向とは逆方向である、
   ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第１収容部及び前記第２収容部を画定し、前記第１収容部及び前記第２収容部に共通する振動板を備える、
   ことを特徴とする請求項４の液体噴射ヘッド。
6. 前記ケースに固定されて前記第１気体供給路の少なくとも一部が形成される第１部材と、
   前記第１収容部及び前記第１気体供給路と前記第１収容部とを連通させる連通部分を囲むように前記第１部材と前記ケースとの間に配置される第２部材と、
   を備える、
   ことを特徴とする請求項１～５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記第１気体供給路は、外部から気体が導入される入口部分を構成する第１気体導入部と、前記第１気体導入部と前記第１収容部とを繋ぐ第１供給連通部と、を有し、
   前記第１供給連通部は、前記第１気体導入部の延在方向に対して傾斜して設けられ、
   前記第１駆動回路は、前記第１供給連通部の延長線上に配置されている、
   ことを特徴とする請求項１～６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 請求項１～７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記第１気体供給路に接続されて前記第１気体供給路に気体を送出する送気機構と、を備える、
   ことを特徴とする液体噴射装置。
9. 前記送気機構は、前記第１気体供給路へ送出する気体を貯留する気体貯留部を有する、
   ことを特徴とする請求項８に記載の液体噴射装置。
10. 前記気体貯留部と前記第１気体供給路とは、気密に接続されている、
    ことを特徴とする請求項９に記載の液体噴射装置。
11. 前記液体噴射ヘッドは、前記第１収容部に連通し、前記第１収容部内の気体を外部に排出するための第１気体排出路を備え、
    前記送気機構は、前記第１気体供給路と共に前記第１気体排出路に接続され、
    前記気体貯留部は、前記第１気体供給路へ送出する気体および前記第１収容部から前記第１気体排出路を介して排出された気体を貯留する
    ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の液体噴射装置。
12. 前記第１気体排出路と前記気体貯留部とは、気密に接続されている、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体噴射装置。
    

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