JP2022148256A - 半導体装置の製造方法、プログラム及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられた基板支持部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に成膜補助ガスを供給する成膜補助ガス供給部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
を有するように構成される基板処理装置において、
前記基板を、前記成膜補助ガス供給部のガス供給口からの距離が第1距離である第1位置に設定して、成膜補助ガスを供給して前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる工程と、
前記基板を、前記原料ガス供給部のガス供給口からの距離が前記第1距離とは異なる第2距離である第2位置に移動させて、原料ガスを供給して前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する工程と、
を有する技術が提供される。
(1)基板処理装置の構成
図1に示されているように、基板処理装置100は、処理容器202を備えている。処理容器202は、例えば横断面が円形であり扁平な密閉容器として構成されている。また、処理容器202は、例えばアルミニウム(Al)やステンレス(SUS)などの金属材料により構成されている。処理室である処理容器202内には、基板としてのウエハWを処理する処理空間205と、ウエハWを処理空間205に搬送する際にウエハWが通過する搬送空間206とが形成されている。処理容器202は、上部容器202aと下部容器202bで構成される。上部容器202aと下部容器202bの間には仕切り板208が設けられる。
シャワーヘッド230の蓋231に設けられたガス導入孔231aと連通するよう、蓋231にはガス供給管242が接続される。ガス供給管242には、第1ガス供給管243a、第2ガス供給管244a及び第3ガス供給管245aが接続されている。
第1ガス供給管243aには、上流方向から順に、第1ガス供給源243b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)243c、及び開閉弁であるバルブ243dが設けられている。
第2ガス供給管244aには、上流方向から順に、第2ガス供給源244b、MFC244c、及びバルブ244dが設けられている。
第3ガス供給管245aには、上流方向から順に、第3ガス供給源245b、MFC245c、及びバルブ245dが設けられている。
処理容器202の雰囲気を排気する排気部を説明する。処理容器202には、処理空間205に連通するよう、排気管262が接続される。排気管262は、処理空間205の側方に設けられる。排気管262には、処理空間205内を所定の圧力に制御する圧力制御器であるAPC(Auto Pressure Controller)266が設けられる。APC266は開度調整可能な弁体(図示せず)を有し、コントローラ280からの指示に応じて排気管262のコンダクタンスを調整する。排気管262においてAPC266の上流側にはバルブ267が設けられる。バルブ267の下流には、排気管262の圧力を計測する圧力モニタ部268が設けられる。
基板処理装置100は、基板処理装置100の各部の動作を制御するコントローラ280を有している。
次に、基板処理装置100を使用して、半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、ウエハW上に薄膜を形成する処理を実施する方法の例について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置100を構成する各部の動作はコントローラ280により制御される。
ウエハWを、シャワーヘッド230の貫通孔234aからの距離が第1距離Aである第1位置に設定して、吸着補助ガスを供給してウエハW上に吸着補助ガスを吸着させる工程と、
ウエハWを、シャワーヘッド230の貫通孔234aからの距離が第1距離Aとは異なる第2距離Bである第2位置に移動させて、原料ガスを供給してウエハW上に所望膜厚の薄膜を形成する工程と、
を有する。
基板処理装置100では基板載置台212をウエハWの搬送位置まで下降させることにより、基板載置台212の貫通孔214にリフトピン207を貫通させる。その結果、リフトピン207が、基板載置台212表面よりも所定の高さ分だけ突出した状態となる。続いて、ゲートバルブ149を開き、図示しないウエハ移載機を用いて、処理室内にウエハW(処理基板)を搬入し、リフトピン207上にウエハWを移載する。これにより、ウエハWは、基板載置台212の表面から突出したリフトピン207上に水平姿勢で支持される。
(吸着補助ガス供給:ステップS11)
次に、基板載置台212を上昇させることにより、ウエハWを、図2で示されるように、貫通孔234aからの距離が第1距離Aとなる第1位置に移動させる。
所定時間が経過した後、第1ガス供給管243aのバルブ243dを閉じ、吸着補助ガスの供給を停止する。このとき、排気管262のバルブ267、APC266は開いたままとして、真空ポンプ269により処理空間205内を真空排気し、処理空間205内に残留する未反応の吸着補助ガスや反応副生成物を処理空間205内から排除する(残留ガス除去)。なお、このとき、不活性ガスとしてのN2ガスの処理空間205内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理空間205内に残留する未反応の吸着補助ガスや反応副生成物を処理空間205内から排除する効果を高めることができる。なお、このとき貫通孔234aからウエハWまでの距離は、第1距離Aに維持される。
(第1原料ガス供給:ステップS13)
次に、基板載置台212を上昇させることにより、ウエハWを、図1で示されるように、貫通孔234aからの距離が第1距離Aとは異なる第2距離Bとなる第2位置に移動させる。第2距離Bは、例えば第1距離Aよりも短い距離である。
所定時間が経過した後、第2ガス供給管244aのバルブ244dを閉じ、第1原料ガスの供給を停止する。このとき、排気管262のバルブ267、APC266は開いたままとして、真空ポンプ269により処理空間205内を真空排気し、処理空間205内に残留する未反応もしくは第1原料の吸着に寄与した後の第1原料ガスや反応副生成物を処理空間205内から排除する(残留ガス除去)。なお、このとき、不活性ガスとしてのN2ガスの処理空間205内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理空間205内に残留する未反応もしくは第1原料の吸着に寄与した後の第1原料ガスや反応副生成物を処理空間205内から排除する効果を高めることができる。なお、本工程では貫通孔234aからウエハWまでの距離は、第2距離Bに維持される。
処理空間205内の残留ガスを除去した後、第3ガス供給管245aのバルブ245dを開き、第3ガス供給管245a内に第2原料ガスを流す。第2原料ガスは第3ガス供給管245aから流れ、MFC245cにより流量調整される。流量調整された第2原料ガスは、第3ガス供給管245aを経由して、ガス供給管242、ガス導入孔231a、バッファ空間232、貫通孔234aを介して、処理空間205内に供給され、排気管262から排気される。
所定時間が経過した後、第3ガス供給管245aのバルブ245dを閉じ、第2原料ガスの供給を停止する。このとき、排気管262のバルブ267、APC266は開いたままとして、真空ポンプ269により処理空間205内を真空排気し、処理空間205内に残留する未反応もしくは膜の形成に寄与した後の第2原料ガスや反応副生成物を処理空間205内から排除する(残留ガス除去)。なお、本工程では貫通孔234aからウエハWまでの距離は、第2距離Bに維持される。
上述したステップS13~S16を1サイクルとして、このサイクルを所定回数(n回)、1回以上行うことにより、ウエハW上に所望膜厚の薄膜が形成される。
次に、基板載置台212を下降させ、基板載置台212の表面から突出させたリフトピン207上にウエハWを支持させる。その後、ゲートバルブ149を開き、ウエハ移載機を用いてウエハWを処理容器202の外へ搬出する。その後、基板処理工程を終了する場合は、不活性ガス供給系から処理容器202内に不活性ガスを供給することを停止する。
<吸着補助ガス供給工程>
供給量:5~1000sccm
圧力:133~13332Pa
処理温度:50~600℃
<第1原料ガス供給工程>
供給量:100~1000sccm
圧力:1333~13332Pa
処理温度:50~600℃
<第2原料ガス供給工程>
供給量:100~1000sccm
圧力:1333~13332Pa
処理温度:50~600℃
(a)吸着補助処理工程では吸着補助ガスをウエハ面内に均等に吸着させるためにガス供給口からのガス流れの影響を受けにくい第1位置で行う。
(b)薄膜形成工程では処理空間205内のガス置換を容易にするため、ウエハWを第2位置として処理空間205の容積を減少させて行う。
(c)吸着補助ガスが熱分解容易な場合、熱影響を低減可能な第1位置で吸着補助処理工程を行う。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果が得られる。
(a)ウエハW表面上への原料ガスの吸着性を向上させて、ウエハの面内均一性が向上された膜を形成することが可能となる。
(b)特に、ウエハW表面上への初期段階での原料ガスの吸着性を向上させて、連続性のある薄膜を形成することが可能となる。
次に、本開示の第1実施形態で好適に用いられる基板処理シーケンスの変形例について説明する。
図5は、図4で示した基板処理シーケンスの変形例を示した図である。
図5に示すように、本変形例では、ウエハWに対して、上述したステップS11~S17を1サイクルとして、このサイクルを所定回数(m回)、1回以上行う。すなわち、ウエハW上に吸着補助ガスを吸着させる吸着補助処理工程(S11、S12)と、ウエハW上に所望膜厚の薄膜を形成する薄膜形成工程(S13~S16)を順に行うサイクルを所定回数(n回)行うサイクル(S17)を所定回数(m回)、1回以上行う。これにより、ウエハWの表面上に所望膜厚の薄膜を形成することが可能となる。本ステップのように、薄膜形成工程を所定回数(n回)行う毎に吸着補助処理工程(S11、S12)を行うことにより、第1原料ガスのウエハW表面上の少なくとも一部への吸着が補助されることとなり、第1原料ガスに含まれる第1原料の吸着性を向上させて、連続性のある面内均一性が向上された所望膜厚の薄膜を形成することが可能となる。また、スループットを向上させることができる。
図6は、図4で示した基板処理シーケンスの変形例を示した図である。
図6に示すように、本変形例では、ウエハWに対して、上述したステップS11~S16を1サイクルとして、このサイクルを所定回数(n回)行う。すなわち、ウエハW上に吸着補助ガスを吸着させる吸着補助処理工程(S11、S12)と、ウエハW上に所望膜厚の薄膜を形成する薄膜形成工程(S13~S16)と、を順に行うサイクルを所定回数(n回)、1回以上行う。これにより、ウエハWの表面上に所望膜厚の薄膜を形成することが可能となる。本ステップのように、薄膜形成工程(S13~S16)を行う毎に吸着補助処理(S11、S12)を行うことにより、第1原料ガスのウエハW表面上の少なくとも一部への吸着が補助されることとなり、第1原料ガスに含まれる第1原料の吸着性を向上させて、連続性のある面内均一性が向上された所望膜厚の薄膜を形成することが可能となる。
[第2実施形態]
次に、図7を用いて、本開示の第2実施形態について説明する。ここでは、主として、上述した第1実施形態との相違点について説明し、その他の点については説明を省略する。
以下に、本開示の好ましい態様について付記する。
本開示の一態様によれば、
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられた基板支持部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に成膜補助ガスを供給する成膜補助ガス供給部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
を有するように構成される基板処理装置において、
前記基板を、前記成膜補助ガス供給部のガス供給口からの距離が第1距離である第1位置に設定して、成膜補助ガスを供給して前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる工程と、
前記基板を、前記原料ガス供給部のガス供給口からの距離が前記第1距離とは異なる第2距離である第2位置に移動させて、原料ガスを供給して前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
付記1に記載の方法であって、
前記原料ガスは、第1原料ガスと第2原料ガスを含み、
前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する工程では、
前記第1原料ガスを供給して前記基板上に第1原料を吸着させる工程と、
前記第2原料ガスを供給して前記基板上に吸着した第1原料と第2原料を反応させる工程と、
を含むサイクルを1回以上行う。
付記2に記載の方法であって、
前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる工程と、
前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する工程と、
を含むサイクルを1回以上行う。
付記2に記載の方法であって、
前記成膜補助ガスは、前記第1原料ガスの前記基板表面上の少なくとも一部への吸着を補助する。
付記2に記載の方法であって、
前記成膜補助ガスは、前記第1原料ガスの前記基板表面上の少なくとも一部への吸着を阻害する。
付記1に記載の方法であって、
前記成膜補助ガスは、吸着補助ガスである。
付記1に記載の方法であって。
前記成膜補助ガスは、吸着阻害ガスである。
付記1に記載の方法であって、
前記成膜補助ガスは、熱分解容易なガスである。
本開示の他の態様によれば、
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられた基板支持部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に成膜補助ガスを供給する成膜補助ガス供給部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
を有するように構成される基板処理装置において、
前記基板を、前記成膜補助ガス供給部のガス供給口からの距離が第1距離である第1位置に設定して、成膜補助ガスを供給して前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる工程と、
前記基板を、前記原料ガス供給部のガス供給口からの距離が前記第1距離とは異なる第2距離である第2位置に移動させて、原料ガスを供給して前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する工程と、
を含むサイクルを1回以上行う半導体装置の製造方法が提供される。
付記9に記載の方法であって、
前記原料ガスは、第1原料ガスと第2原料ガスを含み、
前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する工程では、
前記第1原料ガスを供給して前記基板上に第1原料を吸着させる工程と、
前記第2原料ガスを供給して前記基板上に吸着した第1原料と第2原料を反応させる工程と、
を含むサイクルを1回以上行う。
付記10に記載の方法であって、
前記成膜補助ガスは、前記第1原料ガスの前記基板表面上の少なくとも一部への吸着を補助する。
付記10に記載の方法であって、
前記成膜補助ガスは、前記第1原料ガスの前記基板表面上の少なくとも一部への吸着を阻害する。
本開示のさらに他の態様によれば、
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられた基板支持部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に成膜補助ガスを供給する成膜補助ガス供給部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
を有するように構成される基板処理装置において、
前記基板を、前記成膜補助ガス供給部のガス供給口からの距離が第1距離である第1位置に設定して、成膜補助ガスを供給して前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる手順と、
前記基板を、前記原料ガス供給部のガス供給口からの距離が前記第1距離とは異なる第2距離である第2位置に移動させて、原料ガスを供給して前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する手順と、
をコンピュータにより前記基板処理装置に実行させるプログラムが提供される。
本開示のさらに他の態様によれば、
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられた基板支持部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に成膜補助ガスを供給する成膜補助ガス供給部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
前記基板を、前記成膜補助ガス供給部のガス供給口からの距離が第1距離である第1位置に設定して、成膜補助ガスを供給して前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる処理と、前記基板を、前記原料ガス供給部のガス供給口からの距離が前記第1距離とは異なる第2距離である第2位置に移動させて、原料ガスを供給して前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する処理と、を行わせるように、前記基板支持部と前記成膜補助ガス供給部と前記原料ガス供給部を制御することが可能なように構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
202、302 処理容器
212、310 基板載置台(基板支持部)
280 コントローラ(制御部)
Claims (5)
- 基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられた基板支持部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に成膜補助ガスを供給する成膜補助ガス供給部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
を有するように構成される基板処理装置において、
前記基板を、前記成膜補助ガス供給部のガス供給口からの距離が第1距離である第1位置に設定して、成膜補助ガスを供給して前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる工程と、
前記基板を、前記原料ガス供給部のガス供給口からの距離が前記第1距離とは異なる第2距離である第2位置に移動させて、原料ガスを供給して前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記原料ガスは、第1原料ガスと第2原料ガスを含み、
前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する工程では、
前記第1原料ガスを供給して前記基板上に第1原料を吸着させる工程と、
前記第2原料ガスを供給して前記基板上に吸着した第1原料と第2原料を反応させる工程と、
を含むサイクルを1回以上行う請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる工程と、
前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する工程と、
を含むサイクルを1回以上行う請求項2記載の半導体装置の製造方法。 - 基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられた基板支持部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に成膜補助ガスを供給する成膜補助ガス供給部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
を有するように構成される基板処理装置において、
前記基板を、前記成膜補助ガス供給部のガス供給口からの距離が第1距離である第1位置に設定して、成膜補助ガスを供給して前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる手順と、
前記基板を、前記原料ガス供給部のガス供給口からの距離が前記第1距離とは異なる第2距離である第2位置に移動させて、原料ガスを供給して前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する手順と、
をコンピュータにより前記基板処理装置に実行させるプログラム。 - 基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられた基板支持部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に成膜補助ガスを供給する成膜補助ガス供給部と、
前記基板支持部に基板を支持した状態で、前記処理室に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
前記基板を、前記成膜補助ガス供給部のガス供給口からの距離が第1距離である第1位置に設定して、成膜補助ガスを供給して前記基板上に成膜補助ガスを吸着させる処理と、前記基板を、前記原料ガス供給部のガス供給口からの距離が前記第1距離とは異なる第2距離である第2位置に移動させて、原料ガスを供給して前記基板上に所望膜厚の薄膜を形成する処理と、を行わせるように、前記基板支持部と前記成膜補助ガス供給部と前記原料ガス供給部を制御することが可能なように構成される制御部と、
を有する基板処理装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013135154A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Tokyo Electron Ltd | 成膜方法 |
JP2016046415A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 |
JP2020123673A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法 |
JP2021025087A (ja) * | 2019-08-05 | 2021-02-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69222110T2 (de) * | 1991-10-18 | 1998-03-05 | Koninkl Philips Electronics Nv | Verfahren zum Herstellen einer Halbeiteranordnung, wobei auf der Oberfläche einer Halbleiterscheibe aus einem Prozessgas eine Materialschicht abgeschieden wird |
JP4813480B2 (ja) * | 2005-06-13 | 2011-11-09 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法及び基板処理装置 |
JP5347294B2 (ja) * | 2007-09-12 | 2013-11-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5384291B2 (ja) | 2008-11-26 | 2014-01-08 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法及び基板処理装置 |
JP5131240B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2013-01-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
US20160194753A1 (en) * | 2012-12-27 | 2016-07-07 | Showa Denko K.K. | SiC-FILM FORMATION DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING SiC FILM |
JP5762602B1 (ja) | 2014-06-24 | 2015-08-12 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
JP6009513B2 (ja) * | 2014-09-02 | 2016-10-19 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
JP6240695B2 (ja) * | 2016-03-02 | 2017-11-29 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
JP6663400B2 (ja) * | 2017-09-11 | 2020-03-11 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013135154A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Tokyo Electron Ltd | 成膜方法 |
JP2016046415A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 |
JP2020123673A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法 |
JP2021025087A (ja) * | 2019-08-05 | 2021-02-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
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