JP2022147116A - 半導体装置 - Google Patents

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layer
metal layer
semiconductor
semiconductor device
bonding
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賢治 高田
Kenji Takada
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Toshiba Corp
Toshiba Electronic Devices and Storage Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Electronic Devices and Storage Corp
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Abstract

【課題】反りを抑制可能な半導体装置を提供する。【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、第1半導体層と、第1金属層と、接合層と、第2金属層と、第2半導体層と、を含む。前記第1金属層は、前記第1半導体層の上に設けられ、前記第1半導体層と接する。前記接合層は、前記第1金属層の上に設けられ、前記第1金属層と接し、導電性である。前記第2金属層は、前記接合層の上に設けられ、前記接合層と接する。前記第2半導体層は、前記第2金属層の上に設けられ、前記第2金属層と接し、半導体素子の少なくとも一部が設けられる。【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、半導体装置に関する。
金属層と半導体層とが積層された半導体装置においては、金属の熱膨張係数と半導体の熱膨張係数との差によって、反りが生じることがある。例えば、チップとして製造された半導体装置をパッケージ基板等に半田で実装する際に、温度変化によって半導体装置に反りが生じることがある。
特開2020-43164号公報
本発明の実施形態は、反りを抑制可能な半導体装置を提供する。
実施形態に係る半導体装置は、第1半導体層と、第1金属層と、接合層と、第2金属層と、第2半導体層と、を含む。前記第1金属層は、前記第1半導体層の上に設けられ、前記第1半導体層と接する。前記接合層は、前記第1金属層の上に設けられ、前記第1金属層と接し、導電性である。前記第2金属層は、前記接合層の上に設けられ、前記接合層と接する。前記第2半導体層は、前記第2金属層の上に設けられ、前記第2金属層と接し、半導体素子の少なくとも一部が設けられる。
実施形態に係る半導体装置を例示する断面図である。 実施形態に係る半導体装置の一部の材料を例示する表である。 図3(a)~(d)は、実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する断面図である。 図4(a)及び図4(b)は、ダイシング工程を例示する断面図である。 実施形態に係る別の半導体装置を例示する断面図である。 実施形態に係る別の半導体装置を例示する断面図である。 実施形態に係る別の半導体装置を例示する断面図である。
以下に、本発明の各実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
以下で説明する各実施形態について、各半導体領域のp形(第2導電形の一例)とn形(第1導電形の一例)を反転させて各実施形態を実施してもよい。
図1は、実施形態に係る半導体装置を例示する断面図である。
図1に表したように、実施形態に係る半導体装置100は、第1半導体層11、第1金属層21、接合層30、第2金属層22、及び第2半導体層12を有する。
実施形態の説明では、第1半導体層11から第2半導体層12へ向かう方向をZ方向とし、Z方向に対して垂直な1つの方向をX方向とし、Z方向及びX方向に垂直な方向をY方向(第3方向)とする。また、説明のために、第1半導体層11から第2半導体層12へ向かう方向を「上」と言い、その反対方向を「下」と言う。これらの方向は、第1半導体層11と第2半導体層12との相対的な位置関係に基づき、重力の方向とは無関係である。
第1金属層21は、第1半導体層11の上に設けられており、第1半導体層11と接している。接合層30は、第1金属層21の上に設けられており、第1金属層21と接している。第2金属層22は、接合層30の上に設けられており、接合層30と接している。第2半導体層12は、第2金属層22の上に設けられており、第2金属層22と接している。
接合層30は、第1金属層21と第2金属層22とを接合する層である。接合層30は、導電性であり、例えば金属層である。接合層30は、第1金属層21及び第2金属層22のそれぞれと電気的に接続されている。言い換えれば、第1金属層21と第2金属層22とは、接合層30を介して電気的に接続されている。
第2半導体層12には、半導体素子(例えば後述する第1素子S1及び第2素子S2)の少なくとも一部が設けられている。半導体素子は、例えば電界効果トランジスタ(例えばMetal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor:MOSFET)である。第2半導体層12の上面には半導体素子の電極50及び絶縁層85が設けられている。ただし、第2半導体層12に設けられる半導体素子は、MOSFETに限らず、例えば絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(Insulated Gate Bipolar Transistor:IGBT)やダイオードなど任意の半導体素子でよい。
接合層30より下側の第1金属層21及び第1半導体層11が積層された下側積層構造41と、接合層30より上側の第2金属層22及び第2半導体層12が積層された上側積層構造42とは、例えば、接合層30を中心に対称の構造を有している。
第1半導体層11の厚さT11(Z方向に沿った長さ)は、第2半導体層12の厚さT12の例えば0.9倍以上1.1倍以下である。例えば、厚さT11は、厚さT12と同じであることが好ましい。厚さT11は、例えば10μm以上50μm以下であり、好ましくは45μm以下、より好ましくは30μm以下である。
第1金属層21の厚さT21は、第2金属層22の厚さT22の例えば0.9倍以上1.1倍以下である。例えば、厚さT21は、厚さT22と同じであることが好ましい。厚さT21は、例えば5μm以上10μm以下である。
接合層30の厚さT30は、例えば、第1金属層21の厚さT21よりも厚く、第2金属層22の厚さT22よりも厚い。厚さT30は、例えば10μm以上40μm以下である。
接合層30の密度(g/cm)は、第1金属層21の密度(g/cm)よりも低く、第2金属層22の密度(g/cm)よりも低い。例えば、接合層30中には、複数の空孔(ボイド)が分散して存在している。
実施形態に係る半導体装置の材料について説明する。
第1半導体層11及び第2半導体層12は、シリコンを含む。例えば、第1半導体層11及び第2半導体層12は、それぞれ、シリコンウェーハが個片化されたものである。第2半導体層12における不純物濃度は、第1半導体層11における不純物濃度よりも高くてもよい。
第1金属層21及び第2金属層22は、例えば、銀(Ag)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)及び金(Au)の少なくともいずれかを含む。第1金属層21及び第2金属層22は、例えばスパッタまたはめっきにより形成される。例えば、第1金属層21の熱膨張係数(線膨張率)は、第1半導体層11及び第2半導体層12のそれぞれの熱膨張係数よりも大きい。例えば、第2金属層22の熱膨張係数は、第1半導体層11及び第2半導体層12のそれぞれの熱膨係数よりも大きい。
接合層30は、例えば、銀及び銅の少なくともいずれかを含む。例えば、接合層30の熱膨張係数は、第1半導体層11及び第2半導体層12のそれぞれの熱膨係数よりも大きい。
図2は、実施形態に係る半導体装置の一部の材料を例示する表である。
図2の(1)~(6)は、それぞれ、第1金属層21、第2金属層22及び接合層30の材料の組合せの例である。
図2に表した(1)においては、第1金属層21、第2金属層22及び接合層30は、それぞれAgである。(2)においては、第1金属層21及び第2金属層22は、それぞれCuであり、接合層30はAgである。(3)においては、第1金属層21、第2金属層22及び接合層30は、それぞれCuである。このように、第1金属層21の材料と第2金属層22の材料とは、同じでもよい。接合層30の材料は、第1金属層21または第2金属層22の材料と同じでも良いし、異なっていてもよい。
第1金属層21及び第2金属層22は、積層構造を有していてもよい。例えば、図2に表した(4)においては、第1金属層21及び第2金属層22のそれぞれは、Ti層とNi層とAg層との積層構造、または、Ti層とCu層との積層構造である。例えば、第1金属層21のTi層、第1金属層21のNi、第1金属層21のAg層、接合層30(AgまたはCu)、第2金属層22のAg層、第2金属層22のNi層、第2金属層22のTi層が、この順で積層される。または、第1金属層21のTi層、第1金属層21のCu層、接合層30(AgまたはCu)、第2金属層22のCu層、第2金属層22のTi層が、この順で積層される。
第1金属層21の材料と第2金属層22の材料とは、必ずしも同じでなくてもよい。例えば図2に表した(5)においては、第1金属層21はTi層とNi層とAg層との積層構造、または、Ti層とCu層との積層構造であり、第2金属層22はAgまたはCuである。例えば、第1金属層21のTi層、第1金属層21のNi層、第1金属層21のAg層、接合層30(AgまたはCu)、第2金属層22(AgまたはCu)が、この順で積層される。または、第1金属層21のTi層、第1金属層21のCu層、接合層30(AgまたはCu)、第2金属層22(AgまたはCu)が、この順で積層される。
(6)においては、第1金属層21は、Ag又はCuであり、第2金属層22はTi層とNi層とAg層との積層構造、または、Ti層とCu層との積層構造である。例えば、第1金属層21(AgまたはCu)、接合層30(AgまたはCu)、第2金属層22のAg層、第2金属層22のNi層、第2金属層22のTi層が、この順で積層される。または、第1金属層21(AgまたはCu)、接合層30(AgまたはCu)、第2金属層22のCu層、第2金属層22のTi層が、この順で積層される。
実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
図3(a)~(d)は、実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する断面図である。
まず、図3(a)に表した第1ウェーハW1、及び図3(b)に表した第2ウェーハW2を用意する。
図3(a)に表したように、第1ウェーハW1は、第1半導体層11と第1金属層21との積層構造を有し、サポート基板SP1により支持されている。具体的には、例えば、第1半導体層11となるシリコン基板の裏面11bに第1金属層21がめっきで形成されている。第1半導体層11の裏面11bとは反対側の表面11fには、接着剤A1で、例えばガラスのサポート基板SP1が貼り付けられている。
図3(b)に表したように、第2ウェーハW2は、第2半導体層12と第2金属層22との積層構造を有し、サポート基板SP2により支持されている。具体的には、例えば、第2半導体層12となるシリコン基板には半導体素子が形成されており、裏面12bに第2金属層22がめっきで形成されている。第2半導体層12の裏面12bとは反対側の表面12fには、表面メタル(例えば電極50)が設けられている。表面12fには、接着剤A2で、例えばガラスのサポート基板SP2が貼り付けられている。
図3(c)に表したように、第1ウェーハW1と第2ウェーハW2とを貼り合わせる。すなわち、第1金属層21と第2金属層22とを、接合層30となる接着剤で接合する。この接着剤は、例えば、金属(例えば銀又は銅)の粒子と溶剤とを含む。より具体的には、銀ペースト、銀シンタリングペースト、または銀ナノ焼結材などの導電性ダイアタッチ材を用いることができる。
例えば、第1金属層21の裏面21b(第1半導体層11とは反対側の面)及び第2金属層22の裏面22b(第2半導体層12とは反対側の面)の少なくともいずれかに、例えば銀ナノ焼結材を塗布し、裏面21bと裏面22bとを接着剤を介して対向させ、接着を行った後、サポート基板SP1、SP2を剥離し、加熱することで第1金属層21と第2金属層22とを接合する接合層30が形成される。
図3(d)に表したように、第1半導体層11の表面11fにダイシングテープDTを貼り付ける。そして、ダイシングブレードにより、第2半導体層12の表面12f側からダイシングテープDTに向かってウェーハをカットして、チップに個片化する(ダイシング工程)。これにより、半導体装置100が製造される。
または、例えば、第1金属層21の裏面21b及び第2金属層22の裏面22bの少なくともいずれかに、例えば銀ナノ焼結材を塗布する。裏面21bと裏面22bとを接着剤を介して対向させ、加熱する。これにより、第1金属層21と第2金属層22とを接合する接合層30が形成される。
図3(d)に表したように、接合層30によって接合された第1ウェーハW1及び第2ウェーハW2から、サポート基板SP1、SP2を剥離する。第1半導体層11の表面11fにダイシングテープDTを貼り付ける。そして、ダイシングブレードにより、第2半導体層12の表面12f側からダイシングテープDTに向かってウェーハをカットして、チップに個片化する(ダイシング工程)。これにより、半導体装置100が製造される。
実施形態の効果について説明する。
チップを基板に半田で実装する場合等において、チップには熱が加わる。例えば、図1に表した下側積層構造41においては、第1半導体層11の熱膨張係数と第1金属層21の熱膨張係数との差によって、下側積層構造41を上に凸に反らせる応力が生じる。一方、上側積層構造42においては、第2半導体層12の熱膨張係数と第2金属層22の熱膨張係数との差によって、上側積層構造42を下に凸に反らせる応力が生じる。実施形態においては、このように互いに逆向きの反りが生じる下側積層構造41と上側積層構造42とが、接合層30によって接合されている。これにより、接合されたウェーハやチップの全体に生じる反りを抑制することができる。例えば、下側積層構造41を反らせる応力の少なくとも一部と、上側積層構造42を反らせる応力の少なくとも一部とが釣り合い、半導体装置の全体に働く応力を小さくすることができる。例えば、チップの強度劣化を抑制することができる。
また、既に述べたように、第1半導体層11の厚さT11は、第2半導体層12の厚さT12の0.9倍以上1.1倍以下である。第1金属層21の厚さT21は、第2金属層22の厚さT22の0.9倍以上1.1倍以下である。第1金属層21と第2金属層22とは、同一の金属材料を含む。すなわち、下側積層構造41と上側積層構造42とが、互いに似た構造である。これにより、反りをより抑制することができる。例えば、下側積層構造41を上に凸に反らせる応力の大きさと、上側積層構造42とを下に凸に反らせる応力の大きさと、の差を小さくすることができる。
接合層30の厚さT30は、第1金属層21の厚さT21及び第2金属層22の厚さT22のそれぞれよりも厚い。第1金属層21が薄いことにより、第1金属層21によって、図3(a)に示した第1ウェーハW1が反ることを抑制できる。第2金属層22が薄いことにより、第2金属層22によって、図3(b)に示した第2ウェーハW2が反ることを抑制できる。ウェーハの反りを抑制することで、半導体装置の製造効率の低下を抑制することができる。例えば、反りによってウェーハのハンドリングが困難になることが抑制できる。
また、例えば図5に関して後述するように、第1金属層21と第2金属層22と接合層30との積層体が、半導体素子の電極(または配線)となる場合、接合層30が厚いことにより、電流経路の断面積が大きくなり、電極の電気抵抗を低くすることができる。これにより、半導体素子の電気的特性を向上させることができる。
接合層30は、第1金属層21及び第2金属層22の少なくともいずれかと同一の金属材料を含む。これにより、接合層30と、第1金属層21及び第2金属層22の少なくともいずれかと、を電気的に接合しやすくなる。例えば、接合層30と金属層との界面の抵抗を抑制することができる。
上述したように、第2半導体層12には、半導体素子が設けられる。一方、第1半導体層11には、半導体素子が設けられていなくてもよい。第1半導体層11における不純物濃度は、第2半導体層12における不純物濃度よりも低くてもよい。これにより、第1半導体層11となる半導体基板(例えばシリコンウェーハ)に、第2半導体層12となる半導体基板(例えばシリコンウェーハ)よりも低コストな基板を用いることができる。第2半導体層12における不純物濃度が高いことで、第2半導体層12に設けられた半導体素子の電気的特性を向上させることができる。例えば、図5に関して後述するように、トランジスタのオン抵抗を小さくすることができる。
接合層30の密度は、第1金属層21及び第2金属層22のそれぞれの密度よりも低くても良い。このような接合層30は、例えば銀ナノ焼結材や銀ペーストなどによって形成することができる。すなわち、第1金属層21と第2金属層22とを、ナノ焼結材や銀ペーストなどを用いた簡易な方法で接合することができる。
なお、密度の高低は、各層に含まれる空孔(ボイド)の数や大きさから判断することができる。具体的には、例えば、接合層30の断面における単位面積あたりの空孔の総面積が、第1金属層21の断面における単位面積あたりの空孔の総面積よりも大きい場合、または、接合層30の断面において空孔が存在し、第1金属層21の断面において空孔が存在しない場合、接合層30の密度は、第1金属層21の密度よりも低いと見なすことができる。同様に、例えば、接合層30の断面における単位面積あたりの空孔の総面積が、第2金属層22の断面における単位面積あたりの空孔の総面積よりも大きい場合、または、接合層30の断面において空孔が存在し、第2金属層22の断面において空孔が存在しない場合、接合層30の密度は、第2金属層22の密度よりも低いと見なすことができる。これらの断面は、光学顕微鏡または走査電子顕微鏡(Scannning Electron Microscope:SEM)で観察することができる。
図4(a)及び図4(b)は、ダイシング工程を例示する断面図である。
図4(a)は、参考例に係る半導体装置190におけるダイシング工程を例示している。図4(b)は、実施形態に係る半導体装置100におけるダイシング工程を例示している。
図4(a)に表したように、半導体装置190は、金属層22r及び半導体層12rを有する。半導体層12rは、金属層22rの上に設けられている。半導体装置190には、第1半導体層11、第1金属層21及び接合層30が設けられていない。金属層22rの材料、半導体層12rの材料は、それぞれ、第2金属層22の材料、第2半導体層12の材料と同様である。金属層22rの厚さ(厚さB)は、第1金属層21、接合層30及び第2金属層22の合計の厚さと同じである。半導体層12rの厚さ(厚さA)は、第2半導体層12の厚さと同じである。ダイシングテープDTは、基材DT1の上に設けられた糊層DT2を有する。糊層DT2は、金属層22rと接触している。
ダイシングブレードにより、半導体層12rの上面12t側からダイシングテープDTに向かって、ウェーハをカットすることで、半導体装置190が製造される。ここで、金属は延性を有するため、金属層22rがダイシングテープDT上でカットされると、金属層22rが延びて、ばり23rが発生することがある。ばり23rは、半導体装置の不良の一因となり得る。例えば、ばり23rが金属層22rから離れてチップの表面に付着し、ショート不良が生じる可能性がある。
これに対して、図4(b)に表したように、実施形態に係る半導体装置100においては、第1金属層21及び第2金属層22は、第1半導体層11と第2半導体層12との間に配置されている。糊層DT2は、第1半導体層11と接触している。ダイシング工程において、第1金属層21及び第2金属層22は、ダイシングテープDTと接しておらず、脆性の第1半導体層11上に位置する。これにより、ダイシング工程において、第1金属層21及び第2金属層22が延びることが抑制され、ばりの発生を抑制できる。
図5は、実施形態に係る別の半導体装置を例示する断面図である。
図5に表した半導体装置101において、第2半導体層12に設けられた半導体素子は、MOSFETである。具体的には、第1素子S1及び第2素子S2の2つのMOSFETが設けられている。これ以外については、半導体装置101は、半導体装置100と同様である。
第2半導体層12は、ドリフト領域61(第1半導体領域)と、ベース領域62(第2半導体領域)と、ソース領域63(第3半導体領域)とを含む。半導体装置101は、さらにゲート絶縁膜81(第1絶縁膜)と、ゲート電極71(第1制御電極)を含む。第2半導体層12の上には、電極50として、ソース電極51(第1電極)が設けられている。第1素子S1は、ドリフト領域61の一部と、ベース領域62と、ソース領域63と、ゲート電極71と、ゲート絶縁膜81と、によって形成される縦型のMOSFETである。
ドリフト領域61は、第2金属層22の上に設けられ、第2金属層22と接している。ドリフト領域61は、n形(第1導電形)である。
ベース領域62は、ドリフト領域61の上に選択的に設けられている。ベース領域62は、p形(第2導電形)である。ソース領域63は、ベース領域62の上に選択的に設けられている。ソース領域63は、第1導電形(n形)である。例えば、ソース領域63における第1導電形の不純物濃度は、ドリフト領域61における第1導電形の不純物濃度よりも高い。例えば、ソース領域63は複数設けられ、複数のソース領域63は、X方向に並んでいる。
ゲート電極71は、ゲート絶縁膜81を介してドリフト領域61の上に設けられている。ゲート電極71は、ドリフト領域61の一部、ベース領域62、及びソース領域63の一部と、ゲート絶縁膜81を介して対向している。例えば、ゲート電極71及びゲート絶縁膜81は複数設けられる。複数のゲート電極71は、X方向に並んでおり、各ゲート電極71は、Y方向に延在している。
ドリフト領域61の上には、複数のトレンチT1が形成されている。複数のトレンチT1は、X方向において並び、各トレンチT1はY方向に延在している。各トレンチT1は、ソース領域63からベース領域62を通り、ドリフト領域61まで到達している。各トレンチT1内にゲート絶縁膜81が設けられ、そのゲート絶縁膜81の上にゲート電極71が設けられている。さらに各トレンチT1内において、ゲート電極71とソース電極51との間に絶縁部87が設けられている。
ソース電極51は、ソース領域63及びゲート電極71の上に設けられ、ソース領域63と電気的に接続されている。ソース電極51とゲート電極71とは、絶縁部87(第1絶縁部)により互いに電気的に絶縁されている。
第2半導体層12は、ベース領域64(第4半導体領域)と、ソース領域65(第5半導体領域)とをさらに含む。半導体装置101は、ゲート絶縁膜82(第2絶縁膜)と、ゲート電極72(第2制御電極)とをさらに含む。第2半導体層12の上には、電極50として、ソース電極52(第2電極)が設けられている。第2素子S2は、ドリフト領域61の一部と、ベース領域64と、ソース領域65と、ゲート電極72と、ゲート絶縁膜82と、によって形成される縦型のMOSFETである。
ベース領域64は、ドリフト領域61の上に選択的に設けられている。ベース領域64は、ベース領域62からX方向において離れている。ベース領域64は、p形(第2導電)である。ソース領域65は、ベース領域64の上に選択的に設けられている。ソース領域65は、第1導電形(n形)である。例えば、ソース領域65における第1導電形の不純物濃度は、ドリフト領域61における第1導電形の不純物濃度よりも高い。例えば、ソース領域65は複数設けられ、複数のソース領域65は、X方向に並んでいる。
ゲート電極72は、ゲート絶縁膜82を介してドリフト領域61の上に設けられている。ゲート電極72は、ドリフト領域61の一部、ベース領域64、及びソース領域65の一部と、ゲート絶縁膜82を介して対向している。例えば、ゲート電極72及びゲート絶縁膜82は複数設けられる。複数のゲート電極72は、X方向に並んでおり、各ゲート電極72は、Y方向に延在している。
ドリフト領域61の上には、複数のトレンチT2が形成されている。複数のトレンチT2は、X方向において並び、各トレンチT2はY方向に延在している。各トレンチT2は、ソース領域65からベース領域64を通り、ドリフト領域61まで到達している。各トレンチT1内にゲート絶縁膜82が設けられ、そのゲート絶縁膜82の上にゲート電極72が設けられている。さらに各トレンチT2内において、ゲート電極72とソース電極52との間に絶縁部88が設けられている。
ソース電極52は、ソース領域65及びゲート電極72の上に設けられ、ソース領域65と電気的に接続されている。ソース電極52とゲート電極72とは、絶縁部88(第2絶縁部)により互いに電気的に絶縁されている。絶縁層85は、ソース電極51とソース電極52との間に設けられている。
半導体装置101の動作を説明する。
半導体装置101は、ソース電極51とソース電極52との間に電圧が印加された状態で、ゲート電極71及びゲート電極72にゲートバイアスを印加することにより動作する。例えば、ゲート電極71、72にゲートバイアスを印加してMOSFETをオンにすると、電流は、図5に示した経路CPを通って、ソース電極51からソース電極52へ流れる。
すなわち、ソース電極51からドリフト領域61に向かって縦方向に流れた電流は、第2金属層22、接合層30、第1金属層21の少なくともいずれかを横方向に流れた後、ドリフト領域61からソース電極52へ縦方向に流れる。なお、上記とは逆方向の経路をたどって、ソース電極52からソース電極51へ電流を流してもよい。
第1金属層21、接合層30及び第2金属層22の積層体は、第1素子S1及び第2素子S2のそれぞれのドレイン電極としての役割を有する。すなわち、第1素子S1及び第2素子S2は、ドレイン電極を共有した構造を有する。
半導体装置101の材料について説明する。
第2半導体層12の材料としてシリコンが用いられる場合、n形不純物として、ヒ素、リン、またはアンチモンを用いることができる。p形不純物として、ボロンを用いることができる。例えば、シリコン半導体基板に、不純物をイオン注入することにより、ベース領域62、ソース領域63、ベース領域64、及びソース領域65を形成することができる。
ゲート電極71及びゲート電極72は、不純物がドープされたポリシリコンなどの導電材料を含む。
ソース電極51、及びソース電極52は、アルミニウム、銅、銀、チタン、タングステンなどの金属を含む。
ゲート絶縁膜81、ゲート絶縁膜82、絶縁層85、絶縁部87、絶縁部88は、酸化シリコンなどの絶縁材料を含む。
例えば、ドリフト領域61におけるn形不純物濃度は、第1半導体層11におけるn形不純物濃度よりも高い。ドリフト領域61におけるn形不純物濃度が高いことにより、ドリフト領域61の電気抵抗を小さくすることができる。これにより、MOSFETのオン抵抗を小さくすることができる。
ドレイン共通MOSFETにおいては、ドリフト領域61を薄くすることで、ドリフト領域61の電気抵抗を小さくすることができる。また、ドレイン電極を厚くすることで、ドレイン電極における電流経路の断面積が大きくなり、ドレイン電極の電気抵抗を小さくすることができる。これにより、MOSFETのオン抵抗を小さくすることができる。
ドレイン電極を厚くする際に、例えば、図4(a)に関して説明した半導体装置190のように、金属層22rを所望の厚さ(厚さB)に厚くする参考例も考えられる。ただし、単純に金属層22rを厚くするとウェーハの反りが大きくなる恐れがある。半導体層12rの厚さ(厚さA)が薄いとウェーハの強度が低下することもある。
これに対して、実施形態においては、導電性の接合層30によって接合された第1金属層21及び第2金属層22をドレイン電極としている。そのため、第1金属層21及び第2金属層22のそれぞれが、参考例における所望の厚さ(厚さB)よりも薄くても、第1金属層21、第2金属層22及び接合層30の合計の厚さを厚くして、ドレイン電極の電気抵抗を小さくすることができる。例えば、第1金属層21及び第2金属層22のそれぞれの厚さは、参考例における所望の厚さ(厚さB)の半分以下でよい。
このように実施形態によれば、第1金属層21及び第2金属層22の合計の厚さを厚くしつつ、第1金属層21及び第2金属層22のそれぞれの厚さを抑えることができるため、ドレイン電極の電気抵抗を小さくしつつ、接合前の第1ウェーハW1及び第2ウェーハW2における反りを抑制しやすい。例えばウェーハの反りによる強度の低下や製造効率の低下を抑制することができる。
図6は、実施形態に係る別の半導体装置を例示する断面図である。
図6に表した半導体装置102においては、第1金属層21、第2金属層22及び接合層30に凹凸が設けられている。具体的には、第1金属層21は、第1半導体層11と接する下面21uと、接合層30と接する上面21tと、を有する。半導体装置102では、上面21tに凹凸が設けられている。下面21uには凹凸が設けられなくてもよい。第2金属層22は、接合層30と接する下面22uと、第2半導体層12と接する上面22tと、を有する。半導体装置102では、下面22uに凹凸が設けられている。上面22tには凹凸が設けられなくてもよい。これ以外については、半導体装置102は、半導体装置100と同様である。
例えば、第1金属層21の上面21tにおける凹凸の最大高さは、第1金属層21の下面21uにおける凹凸の最大高さよりも高い。例えば、第2金属層22の下面22uにおける凹凸の最大高さは、第2金属層22の上面22tにおける凹凸の最大高さよりも高い。なお、凹凸の最大高さは、Z方向に平行な断面を観察したときに、凹凸の山頂部と谷底部との間のZ方向に沿った長さの最大値である。
接合層30と接する第1金属層21の上面21tに凹凸を設けることにより、接合層30と第1金属層21との接触面積を大きくすることができる。これにより、接合層30と第1金属層21との界面における電気抵抗を小さくすることができる。
同様に、接合層30と接する第2金属層22の下面22uに凹凸を設けることにより、接合層30と第2金属層22との接触面積を大きくすることができる。これにより、接合層30と第2金属層22との界面における電気抵抗を小さくすることができる。
なお、図6には、第1金属層21、第2金属層22及び接合層30に矩形状の凹凸が設けられている状態を示したが、凹凸の形状は、これに限ったものではなく、楔状や半円形状等の段差を生じる形状であっても良く、かつ、段差の周期も下面22uと上面21tとで揃っていなくとも、同様の効果を得ることができる。
図7は、実施形態に係る別の半導体装置を例示する断面図である。
図7に表したように半導体装置103においては、第1半導体層11の幅(X方向に沿った長さL11)と、第2半導体層12の幅(X方向に沿った長さL12)と、が異なる。長さL11は、長さL12よりも長い。言い換えれば、半導体装置103の側面SFには、棚部SP(段差部)が設けられている。これ以外については、半導体装置103は、半導体装置100と同様である。
このような半導体装置103は、ダイシング工程において、ステップカットを用いることで製造される。すなわち、例えば、ダイシング工程は、第1カット工程及び第2カット工程を含む。第1カット工程は、第1のブレードにより、第2半導体層12、第2金属層22、接合層30及び第1金属層21を切断する。このとき、第2半導体層12、第2金属層22、接合層30及び第1金属層21の切断面の位置を、切断位置P1とする。例えば、第1カット工程は、第1のブレードが第1半導体層11に達したときに終了とする。そのため、第1カット工程においては、第1半導体層11の上面の一部が切削されている。第2カット工程は、第1カット工程の後に、第1のブレードよりも薄い第2のブレードにより、第1半導体層11を切断する。このとき、第1半導体層11の切断面の位置を切断位置P2とする。第1カット工程における切断位置P1と、第2カット工程における切断位置P2との差に対応して、棚部SPが形成される。
このように、実施形態に係る半導体装置は、複数回に分けてダイシングしてもよい。これにより、第1半導体層11、第1金属層21及び接合層30等によって半導体装置が厚くなる場合でも、ウェーハを容易にダイシングすることができる。また、切断する対象によりブレードを使い分けることができるため、ダイシングの精度を向上させたり、ブレードの消耗を抑制することができる。
実施形態によれば、反りを抑制可能な半導体装置が提供できる。
以上で説明した各実施形態における、各半導体領域の間の不純物濃度の相対的な高低については、例えば、SCM(走査型静電容量顕微鏡)を用いて確認することが可能である。なお、各半導体領域におけるキャリア濃度は、各半導体領域において活性化している不純物濃度と等しいものとみなすことができる。従って、各半導体領域の間のキャリア濃度の相対的な高低についても、SCMを用いて確認することができる。また、各半導体領域における不純物濃度については、例えば、SIMS(二次イオン質量分析法)により測定することが可能である。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、半導体装置に含まれる各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した半導体装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての半導体装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
11…第1半導体層
11b…裏面
11f…表面
12…第2半導体層
12b…裏面
12f…表面
12r…半導体層
12t…上面
21…第1金属層
21b…裏面
21t…上面
21u…下面
22…第2金属層
22b…裏面
22r…金属層
22t…上面
22u…下面
30…接合層
41…下側積層構造
42…上側積層構造
50…電極
51…ソース電極
52…ソース電極
61…ドリフト領域
62…ベース領域
63…ソース領域
64…ベース領域
65…ソース領域
71…ゲート電極
72…ゲート電極
81…ゲート絶縁膜
82…ゲート絶縁膜
85…絶縁層
87…絶縁部
88…絶縁部
100、101、102、103…半導体装置
A…厚さ
A1、A2…接着剤
B…厚さ
CP…経路
DT…ダイシングテープ
DT1…基材
DT2…糊層
L11、L12…長さ
P1、P2…切断位置
S1…第1素子
S2…第2素子
SF…側面
SP…棚部
SP1、SP2…サポート基板
T1、T2…トレンチ
T11、T12、T21、T22、T30…厚さ
W1…第1ウェーハ
W2…第2ウェーハ

Claims (9)

  1. 第1半導体層と、
    前記第1半導体層の上に設けられ、前記第1半導体層と接する第1金属層と、
    前記第1金属層の上に設けられ、前記第1金属層と接する導電性の接合層と、
    前記接合層の上に設けられ、前記接合層と接する第2金属層と、
    前記第2金属層の上に設けられ、前記第2金属層と接し、半導体素子の少なくとも一部が設けられた第2半導体層と、
    を備えた半導体装置。
  2. 前記接合層の密度は、前記第1金属層の密度よりも低い、請求項1記載の半導体装置。
  3. 第2半導体層における不純物濃度は、第1半導体層における不純物濃度よりも高い、請求項1または2に記載の半導体装置。
  4. 前記第1半導体層の厚さは、前記第2半導体層の厚さの0.9倍以上1.1倍以下である、請求項1~3のいずれか1つに記載の半導体装置。
  5. 前記第1金属層の厚さは、前記第2金属層の厚さの0.9倍以上1.1倍以下である、請求項1~4のいずれか1つに記載の半導体装置。
  6. 前記第1金属層及び前記第2金属層は、同一の金属材料を含む、請求項1~5のいずれか1つに記載の半導体装置。
  7. 前記接合層は、前記第1金属層及び前記第2金属層の少なくともいずれかと同一の金属材料を含む請求項1~6のいずれか1つに記載の半導体装置。
  8. 前記接合層は、前記第1金属層及び前記第2金属層のそれぞれよりも厚い、請求項1~7のいずれか1つに記載の半導体装置。
  9. 第1制御電極と、第2制御電極と、第1電極と、第2電極と、をさらに備え、
    前記第2半導体層は、
    前記第2金属層の上に設けられた第1導電形の第1半導体領域と、
    前記第1半導体領域の上に設けられた第2導電形の第2半導体領域と、
    前記第2半導体領域の上に設けられた第1導電形の第3半導体領域と、
    前記第1半導体領域の上に設けられ、前記第1半導体層から前記第2半導体層へ向かう方向と垂直な方向において前記第2半導体領域と離間した第2導電形の第4半導体領域と、
    前記第4半導体領域の上に設けられた第1導電形の第5半導体領域と、
    を含み、
    前記第1制御電極は、前記第2半導体領域と、第1絶縁膜を介して対向し、
    前記第1電極は、前記第3半導体領域及び前記第1制御電極の上に設けられ、前記第3半導体領域と電気的に接続され、前記第1制御電極と第1絶縁部により絶縁され、
    前記第2制御電極は、前記第4半導体領域と、第2絶縁膜を介して対向し、
    前記第2電極は、前記第5半導体領域及び前記第2制御電極の上に設けられ、前記第5半導体領域と電気的に接続され、前記第2制御電極と第2絶縁部により絶縁された請求項1~8のいずれか1つに記載の半導体装置。
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