JP2022129300A - テープ接合装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】副資材を用いることなく、２つのダイシングテープの端部同士を簡便に接合可能なテープ接合装置及び方法を提供する。【解決手段】ダイシングテープＤＴの端部同士を接合する接合部４は、後行のダイシングテープＤＴの端部においてテープ本体ＢをセパレータＳから剥離する上流側剥離ローラ４５と、先行のダイシングテープＤＴの端部においてテープ本体ＢをセパレータＳから剥離する下流側剥離ローラ４６と、先行のダイシングテープＤＴ２のセパレータＳと後行のダイシングテープＤＴ１のセパレータＳの端部同士を接合し、先行のダイシングテープＤＴ２のテープ本体Ｂと後行のダイシングテープＤＴ１のテープ本体Ｂの端部同士を接合する接合ユニット４８と、を備えている。【選択図】図３

Description

本発明は、第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合装置及び方法に関するものである。

半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「ワーク」という）をチップに割断する工程があり、その工程では、ワークに貼着されたダイシングテープが個々のチップの位置を拘束することにより、チップの割断を効率よく行うことができる。

特許文献１には、一方のシャフト１１に装着されたロールテープ２Ａを使い切っても、他方のシャフト１１に装着されたロールテープ２Ｂを使用可能なテープ貼着装置が記載されている。また、特許文献２には、粘着テープＴとセパレータＳとを接合テープＣＴを介して接合させる粘着テープ接合装置が記載されている。なお、符号は、各特許文献のものである。

特開２０１６－８１０４号公報 特開２０１４－１３３６１６号公報

しかしながら、特許文献１記載の装置では、テープ交換時に、各種ローラに巻回して所定軌道を通るようにセットされた使用済みのロールテープを取り除いた上で、新品のロールテープを所定軌道を通るように再びセットしなければならなかった。

また、特許文献２記載の装置では、先行の粘着テープと後行の粘着テープとの接合に副資材である接合テープを用意しなければいけなかった。

そこで、副資材を用いることなく、２つのダイシングテープの端部同士を簡便に接合させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るテープ接合装置は、第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合装置であって、第１のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する第１の剥離手段と、第２のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する第２の剥離手段と、前記第１、第２のダイシングテープのセパレータ同士を接合し、前記第１、第２のダイシングテープのテープ本体同士を接合する接合手段と、を備えている。

この構成によれば、副資材を用いることなく、第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合することができる。さらに、先行する第１、第２のダイシングテープの何れか一方の端部に後続する第１、第２のダイシングテープの他方の端部を接合させることにより、後行のダイシングテープを各種ローラに巻回させる煩雑なセッティング作業を省略して、第１、第２のダイシングテープの端部同士を簡便に接合することができる。

また、上記目的を達成するために、本発明に係るテープ接合方法は、第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合方法であって、第１のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する工程と、第２のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する工程と、前記第１、第２のダイシングテープのセパレータ同士を接合し、前記第１、第２のダイシングテープのテープ本体同士を接合する工程と、を含む。

この構成によれば、副資材を用いることなく、第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合することができる。さらに、先行する第１、第２のダイシングテープの何れか一方の端部に後続する第１、第２のダイシングテープの他方の端部を接合させることにより、後行のダイシングテープを各種ローラに巻回させる煩雑なセッティング作業を省略して、第１、第２のダイシングテープの端部同士を簡便に接合することができる。

本発明は、副資材を用いることなく、第１、第２のダイシングテープの端部同士を簡便に接合することができる。

本発明の一実施形態に係るテープ接合装置を適用したテープ貼付装置を示す斜視図。 使用済みダイシングテープを切断する工程を示す模式図。 先行のダイシングテープに後行のダイシングテープを接続する工程を示す模式図。

本発明の一実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。

図１は、テープ貼付装置１の斜視図である。テープ貼付装置１は、ダイシングテープＤＴのテープ本体ＢをワークＷ及びダイシングフレームＤＦに貼着するものである。ワークＷは、例えば、シリコンウェハ等の半導体基板であるが、これに限定されるものではない。ダイシングテープＤＴは、紫外線硬化テープ等である。

テープ貼付装置１は、搬送部２と、貼付部３と、テープ接合部としての接合部４と、を備えている。

搬送部２は、ワークＷを保持する内周側テーブル２１と、ダイシングフレームＤＦを載置する外周側テーブル２２と、を備えている。

内周側テーブル２１の表面には、無数の気孔を有する多孔質材料からなる図示しない吸着体が埋設されている。吸着体の気孔の粗さは、例えば、＃４００又は＃８００等である。

内周側テーブル２１は、図示しない真空源及び圧縮空気源に切換自在に接続されている。真空源が起動すると、内周側テーブル２１に載置されたワークＷと吸着体の上面（吸着面）との間に負圧が供給されて、ワークＷが吸着面に吸着保持される。また、圧縮空気源が起動すると、ワークＷと吸着面との間に圧縮空気（リリースエアー）が供給されて、ワークＷと吸着面との吸着が解除される。

内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２は、スライダ２３に載置されており、所定の搬送方向に向かってスライド可能に構成されている。

貼付部３は、ダイシングテープＤＴを繰り出し可能に支持する送りローラ３１ａ，３１ｂと、ダイシングテープＤＴから剥離されたセパレータＳを巻き取ってダイシングテープＤＴに繰出力を付与する巻取ローラ３２と、ダイシングテープＤＴに張力を作用させるとともにダイシングテープＤＴの軌道を規制する第１～第６のガイドローラ３３ａ～３３ｆと、上下に昇降してテープ本体ＢをワークＷに貼付する押圧ローラ３４と、セパレータＳの軌道を規制するナイフプレート３５と、を備えている。なお、送りローラは、３個以上であっても構わない。

接合部４は、送りローラ３１ａ，３１ｂが側面から立設された昇降プレート４１を備えている。昇降プレート４１は、上下方向に昇降自在に設けられており、送りローラ３１ａ，３１ｂをダイシングテープＤＴを送り出し可能な繰出位置又は未使用のダイシングテープＤＴを収容する待機位置に切り換えることができる。

接合部４は、ダイシングテープＤＴをそれぞれ吸着保持可能な上流側保持部４２ａ，４２ｂと、下流側保持部４３と、を備えている。

上流側保持部４２ａ，４２ｂは、昇降プレート４１の側面から立設されている。上流側保持部４２ａは、送りローラ３１ａから繰り出されたダイシングテープＤＴを保持可能で在り、上流側保持部４２ｂは、送りローラ３１ｂから繰り出されたダイシングテープＤＴを保持可能である。上流側保持部４２ａ，４２ｂは、ダイシングテープＤＴの繰出方向Ｄに沿ってスライド可能に構成されている。

下流側保持部４３は、繰出位置に位置する送りローラ３１ａ，３１ｂに対して繰出方向Ｄの下流側に配置され、ダイシングテープＤＴを保持可能である。下流側保持部４３は、繰出方向Ｄに沿ってスライド可能に構成されている。

接合部４は、カッター４４を備えている。カッター４４は、上下方向にスライド可能に構成されており、カッター４４の刃先がダイシングテープＤＴに押し当てられることにより、カッター４４はダイシングテープＤＴを切断する。

接合部４は、第１の剥離手段としての上流側剥離ローラ４５と、第２の剥離手段としての下流側剥離ローラ４６と、を備えている。上流側剥離ローラ４５及び下流側剥離ローラ４６は、例えば樹脂製である。上流側剥離ローラ４５、下流側剥離ローラ４６は、繰出方向Ｄに沿ってスライド可能に構成されている。

上流側剥離ローラ４５は、回転軸Ａ１回りに回転可能に構成されている。上流側剥離ローラ４５の外周面には、針状部材４５ａが立設されている。針状部材４５ａは、後述するように、上流側剥離ローラ４５の径方向に対して繰出方向Ｄの上流側に傾斜して設けられている。

下流側剥離ローラ４６は、回転軸Ａ２回りに回転可能に構成されている。下流側剥離ローラ４６の外周面には、針状部材４６ａが立設されている。針状部材４６ａは、後述するように、下流側剥離ローラ４６の径方向に対して繰出方向Ｄの下流側に傾斜して設けられている。

接合部４は、先行する第１のダイシングテープＤＴ（以下、「先行のダイシングテープＤＴ１」という）と後続する第２のダイシングテープＤＴ（以下、「後行のダイシングテープＤＴ２」という）とを接合可能な接合ユニット４７を備えている。なお、接合ユニット４７による接合の態様は、熱圧着又は振動等の如何なるものであっても構わない。

テープ貼付装置１の動作は、図示しないコントローラを介して制御される。コントローラは、テープ貼付装置１を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。コントローラは、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ、メモリ等により構成される。なお、コントローラの機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作するものにより実現されても良い。

次に、テープ貼付装置１の動作について図面に基づいて説明する。

＜ワーク搬送＞
まず、ダイシングフレームＤＦが、図示しない搬送ハンド等により外周側テーブル２２上に移載される。

次に、ワークＷが、図示しない搬送ハンド等により内周側テーブル２１上に移載される。その後、圧縮空気源からワークＷと吸着面との間に負圧が供給されると、ワークＷが内周側テーブル２１に吸着される。ワークＷの上面とダイシングフレームＤＦの上面とは、略面一に設定される。

＜テープ貼付＞
次に、スライダ２３を駆動して、押圧ローラ３４の下方にテープ本体Ｂの一方端（貼り付け開始位置）が配置されるように、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２を移動させる。

次に、巻取ローラ３２が回転してダイシングテープＤＴを繰り出すとともに、押圧ローラ３４がテープ本体ＢをダイシングフレームＤＦに押し当てて所定の押圧力でテープ本体Ｂを貼着する。

その後、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２が所定の搬送方向に沿って移動すると、テープ本体ＢがダイシングフレームＤＦ及びワークＷに徐々に貼り進められる。

そして、テープ本体Ｂが、ダイシングフレームＤＦの他方端（貼り付け終了位置）まで達すると、ワークＷとダイシングフレームＤＦとが、テープ本体Ｂを介して一体に貼着される。

＜テープ接合＞
先行のダイシングテープＤＴ１を交換が必要な程度に使い切った場合には、後行のダイシングテープＤＴ２を接続する。以下では、送りローラ３１ａに支持されたダイシングテープＤＴを使い切った場合を例に説明するが、送りローラ３１ｂに支持されたダイシングテープＤＴを使い切った場合も同様である。

まず、先行のダイシングテープＤＴ１の残量が少なくなったことが検知された場合には、図２（ａ）に示すように、上流側保持部４２ａ及び下流側保持部４３が、先行のダイシングテープＤＴ１を吸着保持する。なお、ダイシングテープＤＴ１の残量は、例えば、送りローラ３１ａの回転数からダイシングテープＤＴの残量を算出する回転数センサを用いたり、ダイシングテープＤＴ１が少なくなったときに送りローラ３１ａを検知する金属検知センサ等である。

次に、図２（ｂ）に示すように、カッター４４が降下して、ダイシングテープＤＴ１を切断する。その後、昇降プレート４１が上昇して、送りローラ３１ａを待機位置に、送りローラ３１ｂを繰出位置にそれぞれ移動させる。なお、送りローラ３１ｂに支持されている後行のダイシングテープＤＴ２は、その端部を上流側保持部４２ｂに吸着保持されている。

次に、図３（ａ）に示すように、上流側剥離ローラ４５が後行のダイシングテープＤＴ２の近傍に移動し、針状部材４５ａの先端を後行のダイシングテープＤＴ２のテープ本体Ｂに食い込ませる。同様に、下流側剥離ローラ４６が先行のダイシングテープＤＴ１の近傍に移動し、針状部材４６ａの先端を先行のダイシングテープＤＴ１のテープ本体Ｂに食い込ませる。

次に、図３（ｂ）に示すように、上流側剥離ローラ４５を回転させながら繰出方向Ｄの上流側にスライドさせることにより、後行のダイシングテープＤＴ２の端部において、テープ本体ＢをセパレータＳから巻き取るように剥離させる。同様に、下流側剥離ローラ４６を回転させながら繰出方向Ｄの下流側にスライドさせることにより、先行のダイシングテープＤＴ１の端部において、テープ本体ＢをセパレータＳから巻き取るように剥離させる。ここで、テープ本体Ｂの厚み寸法は、例えば約１５０μｍであり、セパレータＳの厚みは、例えば約４０μｍである。そして、先行のダイシングテープＤＴ１及び後行のダイシングテープＤＴ２の剥離量は、例えば、それぞれ７０～８０ｍｍ程度に設定される。

次に、図３（ｃ）に示すように、先行のダイシングテープＤＴ１と後行のダイシングテープＤＴ２とが互いに接近するように、上流側保持部４２ｂ及び下流側保持部４３をスライドさせることにより、先行のダイシングテープＤＴ１及び後行のダイシングテープＤＴ２の互いのセパレータＳの一部同士が重なる。その後、接合ユニット４７が、図３（ｄ）に示すように、セパレータＳ同士を接合させる。

次に、下流側剥離ローラ４６を回転しながら繰出方向Ｄの上流側にスライドさせ、先行のダイシングテープＤＴ１のテープ本体Ｂが、後行のダイシングテープＤＴ２のセパレータＳに重ねられる。その後、上流側剥離ローラ４５を回転しながら繰出方向Ｄの下流側にスライドさせ、後行のダイシングテープＤＴ２のテープ本体Ｂが、先行のダイシングテープＤＴ１のテープ本体Ｂに重ねられる。すなわち、先行のダイシングテープＤＴ１のテープ本体ＢとセパレータＳとの間に、後行のダイシングテープＤＴ２のセパレータＳが介在するように、ダイシングテープＤＴの端部同士が積層されている。セパレータＳ同士が重なる幅は、例えば３０ｍｍに設定される。

そして、図３（ｅ）に示すように、接合ユニット４７が、互いに重なり合うダイシングテープＤＴの端部同士において、先行のダイシングテープＤＴ１と後行のダイシングテープＤＴ２とを接合する。

このようにして、本実施形態に係るテープ貼付装置１は、接合部４が、後行のダイシングテープＤＴ２の端部においてテープ本体ＢをセパレータＳから剥離する上流側剥離ローラ４５と、先行のダイシングテープＤＴ１の端部においてテープ本体ＢをセパレータＳから剥離する下流側剥離ローラ４６と、先行のダイシングテープＤＴ２のセパレータＳと後行のダイシングテープＤＴ１のセパレータＳの端部同士を接合し、先行のダイシングテープＤＴ２のテープ本体Ｂと後行のダイシングテープＤＴ１のテープ本体Ｂの端部同士を接合する接合ユニット４７と、を備えている構成とした。

この構成によれば、副資材を用いることなく、ダイシングテープＤＴの端部同士を接合することができる。さらに、先行のダイシングテープＤＴ１の端部に後行のダイシングテープＤＴ２の端部を接合させることにより、後行のダイシングテープＤＴ２を第１～第６のガイドローラ３３ａ～３３ｆに巻回させる煩雑なセッティング作業を省略して、ダイシングテープＤＴの端部同士を簡便に接合することができる。

また、テープ貼付装置１は、上流側剥離ローラ４５、下流側剥離ローラ４６が、テープ本体Ｂに刺し込み可能な複数の針状部材４５ａ，４６ａが外周面に立設され、回転によりテープ本体ＢをセパレータＳから剥離させる構成とした。

この構成によれば、針状部材４５ａ，４６ａをテープ本体Ｂを突き刺して上流側剥離ローラ４５、下流側剥離ローラ４６を回転させるだけで、テープ本体ＢをセパレータＳから剥離することができる。

また、テープ貼付装置１は、針状部材４５ａが、上流側剥離ローラ４５の径方向に対して傾斜して設けられ、針状部材４６ａが、下流側剥離ローラ４６の径方向に対して傾斜して設けられている構成とした。

この構成によれば、針状部材４６ａが先行のダイシングテープＤＴ１のテープ本体ＢをセパレータＳから剥離させ易く、針状部材４５ａが後行のダイシングテープＤＴ２のテープ本体ＢをセパレータＳから剥離させ易くなる。

また、本実施形態に係るテープ貼付装置１を用いたテープ接合方法は、ダイシングテープＤＴの端部同士を接合するテープ接合方法であって、後行のダイシングテープＤＴの端部においてテープ本体ＢをセパレータＳから剥離する工程と、先行のダイシングテープＤＴの端部においてテープ本体ＢをセパレータＳから剥離する工程と、先行のダイシングテープＤＴ２のセパレータＳと後行のダイシングテープＤＴ１のセパレータＳの端部同士を接合し、先行のダイシングテープＤＴ２のテープ本体Ｂと後行のダイシングテープＤＴ１のテープ本体Ｂの端部同士を接合する工程と、を含む構成とした。

この構成によれば、副資材を用いることなく、ダイシングテープＤＴの端部同士を接合することができる。さらに、先行のダイシングテープＤＴ１の端部に後行のダイシングテープＤＴ２の端部を接合させることにより、後行のダイシングテープＤＴ２を第１～第６のガイドローラ３３ａ～３３ｆに巻回させる煩雑なセッティング作業を省略して、ダイシングテープＤＴの端部同士を簡便に接合することができる。

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

例えば、接合部４は、先行のダイシングテープＤＴ１及び後行のダイシングテープＤＴ２においてテープ本体ＢをセパレータＳからそれぞれ剥離して、セパレータＳ同士を予め接合させた状態で、テープ本体Ｂ同士を接合させるものに限定されず、例えば、テープ本体ＢとセパレータＳとを互い違いに積層して状態で、セパレータＳ同士の接合とテープ本体Ｂ同士の接合を併せて行っても構わない。

また、上流側剥離ローラ４５、下流側剥離ローラ４６の構造は上述したものに限定されず、テープ本体ＢをセパレータＳから剥離可能なものであれば、如何なるものであっても構わない。

また、上流側保持部４２ａ，４２ｂ及び下流側保持部４３は、ダイシングテープＤＴを吸着保持するものに限定されず、例えば、ダイシングテープＤＴを表裏から把持するものであっても構わない。

１ ：テープ貼付装置
２ ：搬送部
２１ ：内周側テーブル
２２ ：外周側テーブル
２３ ：スライダ
３ ：貼付部
３１ａ：送りローラ
３１ｂ：送りローラ
３２ ：巻取ローラ
３３ａ～３３ｆ：第１～第６ガイドローラ
３４ ：押圧ローラ
３５ ：ナイフプレート
４ ：接合部（テープ接合装置）
４１ ：昇降プレート
４２ａ、４２ｂ：上流側保持部
４３ ：下流側保持部
４４ ：カッター
４５ ：上流側剥離ローラ（第１の剥離手段）
４５ａ：針状部材
４６ ：下流側剥離ローラ（第２の剥離手段）
４６ａ：針状部材
４７ ：接合ユニット

Claims (4)

1. 第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合装置であって、
   第１のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する第１の剥離手段と、
   第２のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する第２の剥離手段と、
   前記第１、第２のダイシングテープのセパレータ同士を接合し、前記第１、第２のダイシングテープのテープ本体同士を接合する接合手段と、
   を備えていることを特徴とするテープ接合装置。
2. 前記第１の剥離手段及び第２の剥離手段は、前記テープ本体に刺し込み可能な複数の針状部材が外周面に立設され、回転により前記テープ本体を前記セパレータから剥離させるローラであることを特徴とする請求項１に記載のテープ接合装置。
3. 前記針状部材は、前記ローラの径方向に対して傾斜して設けられていることを特徴とする請求項２に記載のテープ接合装置。
4. 第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合方法であって、
   第１のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する工程と、
   第２のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する工程と、
   前記第１、第２のダイシングテープのセパレータ同士を接合し、前記第１、第２のダイシングテープのテープ本体同士を接合する工程と、
   を含むことを特徴とするテープ接合方法。
   

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