JP2022103731A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2022103731A5
JP2022103731A5 JP2020218543A JP2020218543A JP2022103731A5 JP 2022103731 A5 JP2022103731 A5 JP 2022103731A5 JP 2020218543 A JP2020218543 A JP 2020218543A JP 2020218543 A JP2020218543 A JP 2020218543A JP 2022103731 A5 JP2022103731 A5 JP 2022103731A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
cleaning
cleaning tool
fluid cylinder
force
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020218543A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2022103731A (ja
JP7653785B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2020218543A priority Critical patent/JP7653785B2/ja
Priority claimed from JP2020218543A external-priority patent/JP7653785B2/ja
Priority to TW110144172A priority patent/TWI841883B/zh
Priority to CN202111571492.6A priority patent/CN114695186A/zh
Priority to KR1020210187137A priority patent/KR102653153B1/ko
Publication of JP2022103731A publication Critical patent/JP2022103731A/ja
Publication of JP2022103731A5 publication Critical patent/JP2022103731A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7653785B2 publication Critical patent/JP7653785B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2020218543A 2020-12-28 2020-12-28 基板洗浄装置および基板洗浄方法 Active JP7653785B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020218543A JP7653785B2 (ja) 2020-12-28 2020-12-28 基板洗浄装置および基板洗浄方法
TW110144172A TWI841883B (zh) 2020-12-28 2021-11-26 基板洗淨裝置及基板洗淨方法
CN202111571492.6A CN114695186A (zh) 2020-12-28 2021-12-21 衬底洗净装置及衬底洗净方法
KR1020210187137A KR102653153B1 (ko) 2020-12-28 2021-12-24 기판 세정 장치 및 기판 세정 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020218543A JP7653785B2 (ja) 2020-12-28 2020-12-28 基板洗浄装置および基板洗浄方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2022103731A JP2022103731A (ja) 2022-07-08
JP2022103731A5 true JP2022103731A5 (enExample) 2023-06-30
JP7653785B2 JP7653785B2 (ja) 2025-03-31

Family

ID=82136388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020218543A Active JP7653785B2 (ja) 2020-12-28 2020-12-28 基板洗浄装置および基板洗浄方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7653785B2 (enExample)
KR (1) KR102653153B1 (enExample)
CN (1) CN114695186A (enExample)
TW (1) TWI841883B (enExample)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024091092A (ja) * 2022-12-23 2024-07-04 株式会社Screenホールディングス 基板洗浄装置および基板洗浄方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10340873A (ja) * 1997-06-10 1998-12-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JP2000188274A (ja) 1998-12-21 2000-07-04 Sony Corp 基板洗浄装置
JP3953716B2 (ja) 2000-08-01 2007-08-08 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置
JP4824664B2 (ja) * 2007-03-09 2011-11-30 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP4928343B2 (ja) * 2007-04-27 2012-05-09 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP5385537B2 (ja) 2008-02-26 2014-01-08 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
CN102592961A (zh) * 2011-01-12 2012-07-18 柏连企业股份有限公司 晶片下片排片机
JP5878441B2 (ja) * 2012-08-20 2016-03-08 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置及び基板処理装置
JP5904169B2 (ja) * 2013-07-23 2016-04-13 東京エレクトロン株式会社 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体
JP6210935B2 (ja) * 2013-11-13 2017-10-11 東京エレクトロン株式会社 研磨洗浄機構、基板処理装置及び基板処理方法
JP2015220402A (ja) 2014-05-20 2015-12-07 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法
JP6740065B2 (ja) * 2016-09-13 2020-08-12 株式会社Screenホールディングス 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法
JP6810631B2 (ja) * 2017-02-14 2021-01-06 株式会社Screenホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
TWI834489B (zh) * 2017-12-13 2024-03-01 日商東京威力科創股份有限公司 基板處理裝置
JP2019216153A (ja) * 2018-06-12 2019-12-19 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法及び洗浄装置
JP6895565B2 (ja) 2019-02-27 2021-06-30 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101134361B1 (ko) 마스크 용접장치용 클램프 유닛
JP3918556B2 (ja) 貼付けウエハ分離装置および貼付けウエハ分離方法
JP2022103731A5 (enExample)
CN110757089A (zh) 一种适应于不同管径管件的夹持装置
CN214503709U (zh) 可安装多种探针卡的测试探针台
CN109967416A (zh) 一种板材表面擦净装置
CN219649665U (zh) 显示屏生产用翻转夹具
CN119245592A (zh) 一种多功能发动机罩盖检具
CN111660006A (zh) 一种轴头工件抓夹翻转装置
CN216421780U (zh) 快速安装夹具
JP3726927B2 (ja) シリンダ式ワーク押付け固定装置
CN111318516A (zh) 板材清洗机的自动调节升降结构
CN222079287U (zh) 一种抓取轴承的机械爪
CN210427476U (zh) 一种超声波检测用探头支架
CN113770708A (zh) 一种缝纫机机壳底板自动拼装线
CN221984860U (zh) 一种管状零件固定夹具
CN216608123U (zh) 一种双头螺栓加工夹具
CN220740786U (zh) 一种汽车零部件检测用定位夹具
KR101716222B1 (ko) 인장시험기의 장력 부과장치
CN216117093U (zh) 一种自动化拉压力测试装置
CN216284189U (zh) 传感器振动失效台
CN222369482U (zh) 可控硅芯片加工用的定位点胶装置
CN117141618B (zh) 一种物料搬运机器人
KR200386399Y1 (ko) 삼각형 크레용 피스의 피복장치
CN221336312U (zh) 一种折弯机定位工装