JP2022095413A - ドレッシング工具 - Google Patents
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Abstract
【課題】研削砥石のドレッシングを簡略化するために、ドレッシング工具の厚さを測定することなくドレッシング工具の厚さを把握できるドレッシング工具を提供する。【解決手段】ドレッシングボードの上面側にそれぞれの深さが異なる複数の溝が形成されている。これにより、研削砥石のドレッシングによってドレッシングボードの上面側が削られてドレッシングボードの厚さが減少すると、ドレッシングボードの上面側に形成されている複数の溝の数が減少する。そのため、ドレッシングボードの上面側を視認して残存する複数の溝の個数を認識することで、実際にドレッシング工具の厚さを測定することなくドレッシング工具の厚さを把握できる。その結果、研削砥石のドレッシングが簡略化される。【選択図】図1
Description
本発明は、研削砥石をドレッシングするドレッシングボードを備えるドレッシング工具に関する。
IC(Integrated Circuit)及びLSI(Large Scale Integration)等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このチップは、例えば、表面に多数のデバイスが形成されたウェーハを薄化した後に個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。
ウェーハを薄化する方法としては、例えば、環状に離散して配置された複数の研削砥石を備える研削ホイールとウェーハの表面側を吸引保持するチャックテーブルとを有する研削装置による研削が挙げられる。
この研削装置においては、研削ホイール及びチャックテーブルのそれぞれを回転させながら研削砥石の研削面及びウェーハの裏面に水等が供給された状態で研削砥石及びウェーハを接触させる(例えば、特許文献1参照)。これにより、研削砥石の研削面によってウェーハの裏面側が研削されてウェーハが薄化される。
研削砥石は、例えば、気孔が内在するビトリファイドボンド又はレジンボンド等のボンド材と、ボンド材に分散されたダイヤモンド又は立方晶窒化ホウ素(cBN:cubic Boron Nitride)等の砥粒とを有する。そして、ウェーハは、研削砥石の研削面に露出した砥粒によって削られる。
ただし、未使用の研削砥石においては、研削砥石の研削面に砥粒が十分に露出していないことがある。また、研削ホイールに含まれる複数の研削砥石のそれぞれの研削面が同一平面上に位置していないこともある。
さらに、研削によって生じた研削屑が研削砥石の研削面に付着すると、研削砥石の研削面に砥粒が十分に露出しない(目詰まりする)ことがある。また、研削を繰り返し行うことで研削面に露出した砥粒が摩耗する(目潰れする)こともある。
これらの場合、研削装置における研削効率が低下するおそれがある。そのため、研削装置においては、適宜のタイミングで、複数の研削砥石の研削面側を削って研削に適した状態に整える処理(ドレッシング)が行われることが多い。
このようなドレッシングは、例えば、研削砥石を回転させながらチャックテーブルに吸引保持されたドレッシング工具のドレッシングボードに研削砥石の研削面を接触させることによって行われる(例えば、特許文献2参照)。
研削砥石のドレッシングを行うと、ドレッシングボードの研削砥石との接触面側も削られる。そのため、研削砥石のドレッシングを繰り返し行うことでドレッシングボードの厚さは減少する。
ドレッシングボードの厚さが減少したにも関らずチャックテーブルと研削砥石との間隔等の条件を変更することなく研削砥石のドレッシングが行われる場合、研削砥石の研削面側が十分に削られない。すなわち、この場合には、研削砥石の適切なドレッシングが行われない。
研削砥石の適切なドレッシングを行うためには、事前にドレッシングボードを含むドレッシング工具の厚さを把握することが必要になる。そのため、研削砥石のドレッシングは、ドレッシングボードを含むドレッシング工具の厚さが測定された後に行われることが多い。
この点に鑑み、本発明の目的は、研削砥石のドレッシングを簡略化するために、ドレッシング工具の厚さを測定することなくドレッシング工具の厚さを把握できるドレッシング工具を提供することである。
本発明の一側面によれば、研削砥石をドレッシングするためのドレッシングボードと、該ドレッシングボードが上面に固定された支持プレートと、を備え、該ドレッシングボードの上面側には、それぞれの深さが異なる複数の溝が形成されているドレッシング工具が提供される。
好ましくは、該支持プレートの上面は、複数の溝のそれぞれの深さに関する情報が視認可能な態様で示される複数の箇所を含み、該複数の箇所のそれぞれには、該複数の溝のうち最も近接する溝の深さに関する情報が示されている。
本発明においては、ドレッシングボードの上面側にそれぞれの深さが異なる複数の溝が形成されている。これにより、研削砥石のドレッシングによってドレッシングボードの上面側が削られてドレッシングボードの厚さが減少すると、浅い溝が失われ、ドレッシングボードの上面側に形成されている複数の溝の数が減少する。
そのため、本発明においては、ドレッシングボードの上面側を視認して残存する複数の溝の個数を認識することで、実際にドレッシング工具の厚さを測定することなくドレッシング工具の厚さを把握できる。その結果、研削砥石のドレッシングが簡略化される。
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1(A)は、ドレッシング工具の一例を模式的に示す平面図であり、図1(B)は、ドレッシング工具の一例を模式的に示す正面図である。
図1(A)及び図1(B)に示されるドレッシング工具2は、互いに平行な円状の上面及び下面を有する円盤状のドレッシングボード4と、互いに平行な上面及び下面を有し、この上面にドレッシングボード4が固定された円盤状の支持プレート6とを備える。
なお、ドレッシングボード4及び支持プレート6は、ドレッシングボード4の下面の中心と支持プレートの上面の中心とが接触するように固定されている。また、ドレッシングボード4の上面及び下面の直径は、支持プレート6の上面及び下面の直径よりも短い。
ドレッシングボード4は、例えば、炭化珪素(SiC)からなるグリーンカーボランダム(GC)砥粒又は酸化アルミニウム(Al2O3)からなるホワイトアランダム(WA)砥粒をビトリファイドボンド又はレジンボンドからなる結合材に混錬した後に焼成して形成される。また、支持プレート6は、例えば、ポリ塩化ビニル等からなる。
さらに、ドレッシングボード4の上面側には、上面からのそれぞれの深さ(下面からのそれぞれの高さ)が異なる複数の溝(図1(A)及び図1(B)においては、一例として、30個の溝)8が形成されている。複数の溝8のそれぞれは、ドレッシングボード4の外縁からドレッシングボード4の上面又は下面の径方向に沿って延在する。
なお、複数の溝8のそれぞれの当該方向に沿った長さは、概ね等しく、また、ドレッシングボード4の上面及び下面の半径よりも短い。また、複数の溝8は、ドレッシングボード4の周方向に沿って概ね等間隔に設けられている。
より具体的には、図1(A)及び図1(B)に示されるドレッシングボード4の厚さは、1100μmであり、また、支持プレート6の厚さは、1000μmである。そして、ドレッシングボード4の上面側には、深さ30μmの溝8aと、溝8aと隣接するように設けられた深さ900μmの溝8bと、隣接する溝との深さの差が30μmとなる28個の溝とが設けられている。
そのため、例えば、深さ30μmの溝8aと、当該28個の溝に含まれる深さ480μmの溝8cとは、平面視において、ドレッシングボード4の上面の中心点を中心として点対称の位置に配置されている。同様に、深さ900μmの溝8bと、当該28個の溝に含まれる深さ450μmの溝8dとは、平面視において、ドレッシングボード4の上面の中心点を中心として点対称の位置に配置されている。
また、支持プレート6の上面は、複数の溝8の深さに関する情報が視認可能な態様で示される複数の箇所10を含む。そして、複数の箇所10のそれぞれには、複数の溝8のうち最も近接する溝8の深さに関する情報が示されている。
より具体的には、図1(A)及び図1(B)に示される支持プレート6の上面は、30個の溝8の深さに関する情報が視認可能な態様で示される30個の箇所10を含む。30個の箇所10は、ドレッシングボード4よりも外側に位置し、かつ、ドレッシングボード4の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。また、30個の箇所10のそれぞれには、30個の溝8のうち最も近接する溝8の深さに関する情報として、この溝8の底面と支持プレート6の下面との間隔が示されている。
例えば、深さ30μmの溝8aに最も近接する箇所10aには、溝8aの底面と支持プレート6の下面との間隔(1100μm(ドレッシングボードの厚さ)+1000μm(支持プレートの厚さ)-30μm=2070μm)が示されている。同様に、深さ900μmの溝8bに最も近接する箇所10bには、溝8bの底面と支持プレート6の下面との間隔(1100μm+1000μm-900μm=1200μm)が示されている。
なお、複数の溝8は、例えば、公知の切削装置を用いてドレッシングボード4を切削することで形成される。また、複数の溝8のそれぞれと支持プレート6の下面との間隔等の複数の溝8の深さに関する情報は、例えば、公知のレーザー加工装置を用いて支持プレート6の複数の箇所10を加工することによって印字される。
図2は、ドレッシング工具2を用いて研削砥石のドレッシングを行う研削装置の一例を模式的に示す斜視図である。図2に示される研削装置12は、ウェーハ等の被加工物又はドレッシング工具2を保持可能なチャックテーブル14を有する。チャックテーブル14は、例えば、セラミックス等からなる円盤状の枠体16を有する。
枠体16の上面側には円形状の開口を上端に持つ凹部が形成されており、この凹部にはセラミックス等からなる円盤状のポーラス板18が固定されている。ポーラス板18の上面は、中心が外縁よりも僅かに突出した円錐の側面に相当する形状に構成されており、この上面に被加工物又はドレッシング工具2が載置される。
ポーラス板18の下面側は、枠体16の内部に設けられた流路(不図示)及びバルブ(不図示)等を介して、エジェクタ等の吸引源(不図示)に接続されている。そのため、バルブを開いた状態で吸引源を動作させれば、ポーラス板18の上面に載置された被加工物又はドレッシング工具2がチャックテーブル14により吸引される。
さらに、チャックテーブル14は、水平方向移動機構(不図示)に連結されている。水平方向移動機構は、例えば、ボールねじ及びモータ等を有する。そして、水平方向移動機構が動作すると、チャックテーブル14は、水平方向に沿って移動する。
また、チャックテーブル14は、回転機構(不図示)に連結されている。回転機構は、例えば、スピンドル及びモータ等を有する。そして、回転機構が動作すると、チャックテーブル14は、保持面の中心を通り、かつ、鉛直方向又は鉛直方向に対して僅かに傾いた方向に沿った直線を回転軸として、図2に示される矢印aの方向に回転する。
チャックテーブル14の上方には、研削ユニット20が設けられている。研削ユニット20は、上端部がモータ等の回転駆動源に連結されているスピンドル22を有する。スピンドル22の下端部には、円盤状のホイールマウント24が固定されている。
ホイールマウント24には、ホイールマウント24を厚さ方向に貫通する複数の開口(不図示)が設けられている。複数の開口は、ホイールマウント24の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。また、複数の開口のそれぞれには、ボルト26が挿入されている。
ホイールマウント24の下部には、研削ホイール28が装着されている。具体的には、研削ホイール28は、環状の基台30を有する。そして、基台30の上部には、複数の雌ねじ部(不図示)が設けられており、各雌ねじ部にボルト26の下端部が螺合することで研削ホイール28がホイールマウント24の下部に装着される。
また、基台30の下端部には、基台30の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている複数の研削砥石32が固定されている。複数の研削砥石32の下面は、概ね同じ高さに配置されており、これらの下面が研削ユニット20の研削面となる。
さらに、スピンドル22は、鉛直方向移動機構(不図示)に連結されている。鉛直方向移動機構は、例えば、ボールねじ及びモータ等を有する。そして、鉛直方向移動機構が動作すると、スピンドル22、ホイールマウント24及び研削ホイール28は、鉛直方向に沿って移動する。
また、スピンドル22は、モータ等の回転駆動源(不図示)に連結されている。そして、回転駆動源が動作すると、スピンドル22は、鉛直方向に沿ってスピンドル22の中心を通る直線を回転軸として、図2に示される矢印bの方向に回転する。
研削装置12における研削砥石32のドレッシングは、例えば、以下の順序で行われる。まず、オペレータがドレッシング工具2を視認することでドレッシング工具2の厚さを把握する。
例えば、図3に示されるように、ドレッシングボード4の上面側に設けられた30個の溝8のうち9個が確認できず、21個の溝8が確認できる場合には、ドレッシング工具2の厚さが1800μm超1830μm以下であることをオペレータが把握できる。
次いで、水平方向及び鉛直方向の双方において、チャックテーブル14と研削ユニット20とを離隔させた状態で、ドレッシングボード4が上を向くようにドレッシング工具2をチャックテーブル14の保持面に載置する。
次いで、ドレッシング工具2がチャックテーブル14に吸引保持されるように吸引機構が動作する。次いで、チャックテーブル14の回転軸と複数の研削砥石32が配置されている環状の領域とが重なるように水平方向移動機構がチャックテーブル14を移動させる。
次いで、回転機構がチャックテーブル14を回転させるとともにスピンドル22の上端部に連結されているモータがスピンドル22、ホイールマウント24及び研削ホイール28を回転させる。
次いで、ドレッシング工具2の厚さを考慮して、研削砥石32の適切なドレッシングが行われる位置まで鉛直方向移動機構がスピンドル22、ホイールマウント24及び研削ホイール28を下降させる。これにより、研削砥石32がドレッシングされる。
上述のとおり、ドレッシング工具2においては、ドレッシングボード4の上面側にそれぞれの深さが異なる複数の溝8が形成されている。これにより、研削砥石32のドレッシングによってドレッシングボード4の上面側が削られてドレッシングボード4の厚さが減少すると、浅い溝(深さ30μmの溝8a等)が失われ、ドレッシングボード4の上面側に形成されている複数の溝8の数が減少する。
そのため、ドレッシング工具2においては、ドレッシングボード4の上面側を視認して残存する複数の溝8の個数を認識することで、実際にドレッシング工具2の厚さを測定することなくドレッシング工具2の厚さを把握できる。すなわち、研削砥石32のドレッシングを簡略化できる。
さらに、ドレッシング工具2においては、支持プレート6の上面は、複数の溝8の深さに関する情報(複数の溝8の底面と支持プレート6の下面との間隔)が視認可能な態様で示される複数の箇所10を含む。これにより、ドレッシング工具2においては、容易にドレッシング工具2の厚さを把握できる。
なお、ドレッシング工具2は、本発明の一態様であって、本発明のドレッシング工具はドレッシング工具2に限定されない。例えば、支持プレート6は、複数の箇所10を含まなくてもよい。すなわち、支持プレート6には、複数の溝8の深さに関する情報が視認可能な態様で示されていなくてもよい。
また、複数の溝8は、ドレッシングボード4の径方向に沿って延在していなくてもよく、例えば、複数の溝8の全てが平行になるように形成されていてもよい。また、ドレッシングボード4の厚さは、1100μmに限定されず、また、支持プレート6の厚さは、1000μmに限定されない。
また、ドレッシングボード4の上面側に形成される複数の溝8の数は30に限定されない。また、隣接する一対の溝8(隣接する溝8a及び溝8bは除く)の深さの差は、30μmに限定されない。
また、支持プレート6の上面の複数の箇所10に示される複数の溝8のそれぞれの深さに関する情報は、溝8の底面と支持プレート6の下面との間隔に限定されない。例えば、複数の箇所10には、複数の溝8のそれぞれの深さが示されてもよい。
その他、上述した実施形態及び変形例にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
2 :ドレッシング工具
4 :ドレッシングボード
6 :支持プレート
8(8a,8b,8c,8d):溝
10(10a,10b):箇所
12:研削装置
14:チャックテーブル
16:枠体
18:ポーラス板
20:研削ユニット
22:スピンドル
24:ホイールマウント
26:ボルト
28:研削ホイール
30:基台
32:研削砥石
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24:ホイールマウント
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30:基台
32:研削砥石
Claims (2)
- 研削砥石をドレッシングするためのドレッシングボードと、
該ドレッシングボードが上面に固定された支持プレートと、を備え、
該ドレッシングボードの上面側には、それぞれの深さが異なる複数の溝が形成されていることを特徴とするドレッシング工具。 - 該支持プレートの上面は、複数の溝のそれぞれの深さに関する情報が視認可能な態様で示される複数の箇所を含み、
該複数の箇所のそれぞれには、該複数の溝のうち最も近接する溝の深さに関する情報が示されていることを特徴とする請求項1に記載のドレッシング工具。
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