JP2020131398A - 研削ホイールのコンディション確認方法 - Google Patents
研削ホイールのコンディション確認方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020131398A JP2020131398A JP2019030845A JP2019030845A JP2020131398A JP 2020131398 A JP2020131398 A JP 2020131398A JP 2019030845 A JP2019030845 A JP 2019030845A JP 2019030845 A JP2019030845 A JP 2019030845A JP 2020131398 A JP2020131398 A JP 2020131398A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding wheel
- grinding
- workpiece
- holding table
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- 239000004575 stone Substances 0.000 abstract 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 32
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
11a 表面
11b 裏面
11c 溝(研削溝)
11d チッピング(欠け)
2 研削装置
4 保持テーブル(チャックテーブル)
4a 保持面
6 研削ユニット
8 スピンドル
10 マウント
12 研削ホイール
14 基台
16 研削砥石
18 撮像ユニット(カメラ)
20 制御部
Claims (1)
- 被加工物を保持面で保持する保持テーブルと、環状に配列された研削砥石を備える研削ホイールが装着される研削ユニットと、を備える研削装置の該保持テーブルによって該被加工物を保持する保持ステップと、
該保持テーブルを回転させず、且つ、該研削ホイールを回転させた状態で、該研削ホイールを該保持テーブルに向かって移動させることにより、該保持テーブルによって保持された該被加工物の表面側に該研削砥石を接触させ、該被加工物の表面側に円弧状の溝を形成する溝形成ステップと、
該被加工物の表面と該溝との境界領域に形成されたチッピングを検出する検出ステップと、
検出された該チッピングの情報に基づいて該研削ホイールのコンディションを判別する判別ステップと、を備えることを特徴とする研削ホイールのコンディション確認方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019030845A JP7146355B2 (ja) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | 研削ホイールのコンディション確認方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019030845A JP7146355B2 (ja) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | 研削ホイールのコンディション確認方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020131398A true JP2020131398A (ja) | 2020-08-31 |
JP7146355B2 JP7146355B2 (ja) | 2022-10-04 |
Family
ID=72277332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019030845A Active JP7146355B2 (ja) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | 研削ホイールのコンディション確認方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7146355B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09174398A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-08 | Toshiba Corp | 研削装置及び研削砥石 |
JPH10312979A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの切削状況の検出方法 |
JP2007096091A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェハ加工方法 |
JP2015036170A (ja) * | 2013-08-13 | 2015-02-23 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
-
2019
- 2019-02-22 JP JP2019030845A patent/JP7146355B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09174398A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-08 | Toshiba Corp | 研削装置及び研削砥石 |
JPH10312979A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの切削状況の検出方法 |
JP2007096091A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェハ加工方法 |
JP2015036170A (ja) * | 2013-08-13 | 2015-02-23 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7146355B2 (ja) | 2022-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN115673880A (zh) | 硬质晶片的磨削方法 | |
JP2008098351A (ja) | ウエーハの研削加工方法 | |
JP2008155292A (ja) | 基板の加工方法および加工装置 | |
JP2018060873A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP6192778B2 (ja) | シリコンウエーハの加工装置 | |
JP2011253936A (ja) | 研削装置 | |
JP7127994B2 (ja) | ドレッシングボード及びドレッシング方法 | |
JP7015139B2 (ja) | 被加工物の研削方法及び研削装置 | |
US20220088742A1 (en) | Grinding method for workpiece and grinding apparatus | |
JP7146355B2 (ja) | 研削ホイールのコンディション確認方法 | |
CN115246084A (zh) | 加工方法 | |
JP2013235876A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2022181245A (ja) | 研削評価方法 | |
JP7025249B2 (ja) | 被加工物の研削方法。 | |
JP2016078165A (ja) | 平研削砥石 | |
US20240025001A1 (en) | Workpiece grinding method | |
JP7301472B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
KR20230065689A (ko) | 피가공물의 연삭 방법 및 연삭 장치 | |
JP7427327B2 (ja) | ワークピースの研削方法 | |
KR20230084058A (ko) | 피가공물의 연삭 방법 | |
JP2022136373A (ja) | 被加工物の研削方法 | |
JP2023104444A (ja) | 被加工物の加工方法 | |
CN116100385A (zh) | 被加工物的磨削方法和磨削装置 | |
JP2022061903A (ja) | ドレッシング工具 | |
JP2022047801A (ja) | 原点位置設定方法及び研削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220921 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220920 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7146355 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |