JPH09174398A - 研削装置及び研削砥石 - Google Patents
研削装置及び研削砥石Info
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- JPH09174398A JPH09174398A JP7339389A JP33938995A JPH09174398A JP H09174398 A JPH09174398 A JP H09174398A JP 7339389 A JP7339389 A JP 7339389A JP 33938995 A JP33938995 A JP 33938995A JP H09174398 A JPH09174398 A JP H09174398A
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】設置スペースをとることなく、かつ複雑な装置
を用いることなく加工能率を高めることができる研削装
置を提供すること。 【解決手段】被加工物Ｗの被加工面を荒加工研削した
後、仕上げ加工研削する研削装置１０において、被加工
物Ｗの被加工面に対し垂直な方向の回転軸回りに回転自
在に設けられたフランジ２１と、フランジ２１を回転軸
３１回りに回転駆動する回転駆動機構３０と、フランジ
２１の被加工物Ｗに対する位置決めをする位置決め機構
４０と、フランジ２１に取り付けられ、回転軸３１と同
軸的に配置され所定径の外径を有する円環状の荒加工用
砥石２３と、フランジ２１に取り付けられ、荒加工用砥
石２３と同心的に配置され所定径より大きい内径を有す
る円環状の仕上げ用砥石２５とを具備するようにした。
を用いることなく加工能率を高めることができる研削装
置を提供すること。 【解決手段】被加工物Ｗの被加工面を荒加工研削した
後、仕上げ加工研削する研削装置１０において、被加工
物Ｗの被加工面に対し垂直な方向の回転軸回りに回転自
在に設けられたフランジ２１と、フランジ２１を回転軸
３１回りに回転駆動する回転駆動機構３０と、フランジ
２１の被加工物Ｗに対する位置決めをする位置決め機構
４０と、フランジ２１に取り付けられ、回転軸３１と同
軸的に配置され所定径の外径を有する円環状の荒加工用
砥石２３と、フランジ２１に取り付けられ、荒加工用砥
石２３と同心的に配置され所定径より大きい内径を有す
る円環状の仕上げ用砥石２５とを具備するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドスライ
ダのスライダ等の被加工物を研削するための研削砥石及
びこの研削砥石を用いた研削装置に関する。
ダのスライダ等の被加工物を研削するための研削砥石及
びこの研削砥石を用いた研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来からスライダ等の被加工物の被加工
面を研削し、所望の形状とするために円板状の回転砥石
による研削加工が行われていた。このような研削加工で
は、加工能率を考慮して荒加工用の回転砥石と仕上げ加
工用の回転砥石とを順次用いるようにしていた。一方、
荒加工用の回転砥石及び仕上げ加工用の回転砥石とは、
それぞれ独立した砥石フランジに取り付けられており、
この砥石フランジを別々の装置に設けるか、２軸の回転
軸を有する装置で駆動するようにしていた。
面を研削し、所望の形状とするために円板状の回転砥石
による研削加工が行われていた。このような研削加工で
は、加工能率を考慮して荒加工用の回転砥石と仕上げ加
工用の回転砥石とを順次用いるようにしていた。一方、
荒加工用の回転砥石及び仕上げ加工用の回転砥石とは、
それぞれ独立した砥石フランジに取り付けられており、
この砥石フランジを別々の装置に設けるか、２軸の回転
軸を有する装置で駆動するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の独立し
た砥石フランジを備えた研削装置にあっては、次のよう
な問題があった。すなわち、砥石フランジを別々の装置
に取り付けると、広い設置スペースが必要となる。ま
た、２軸の回転軸を有する研削装置では、装置の製造コ
ストが高くなるという問題があった。さらに、被加工物
の移載等の段取り時間を必要とするため、加工能率が低
下する等の問題があった。
た砥石フランジを備えた研削装置にあっては、次のよう
な問題があった。すなわち、砥石フランジを別々の装置
に取り付けると、広い設置スペースが必要となる。ま
た、２軸の回転軸を有する研削装置では、装置の製造コ
ストが高くなるという問題があった。さらに、被加工物
の移載等の段取り時間を必要とするため、加工能率が低
下する等の問題があった。
【０００４】そこで本発明は、設置スペースをとること
なく、かつ複雑な装置を用いることなく加工能率を高め
ることができる研削装置及び研削砥石を提供することを
目的としている。
なく、かつ複雑な装置を用いることなく加工能率を高め
ることができる研削装置及び研削砥石を提供することを
目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項１に記載された発明は、被加工
物の被加工面を荒加工研削した後、仕上げ加工研削する
研削装置において、上記被加工物の被加工面に対し垂直
な方向の回転軸回りに回転自在に設けられた支持部と、
この支持部を上記回転軸回りに回転駆動する回転駆動機
構と、上記支持部の上記被加工物に対する位置決めをす
る位置決め機構と、上記支持部に取り付けられ、上記回
転軸と同軸的に配置され所定径の外径を有する円環状の
第１の砥石と、上記支持部に取り付けられ、上記第１の
砥石と同心的に配置され上記所定径より大きい内径を有
する円環状の第２の砥石とを具備するようにした。
達成するために、請求項１に記載された発明は、被加工
物の被加工面を荒加工研削した後、仕上げ加工研削する
研削装置において、上記被加工物の被加工面に対し垂直
な方向の回転軸回りに回転自在に設けられた支持部と、
この支持部を上記回転軸回りに回転駆動する回転駆動機
構と、上記支持部の上記被加工物に対する位置決めをす
る位置決め機構と、上記支持部に取り付けられ、上記回
転軸と同軸的に配置され所定径の外径を有する円環状の
第１の砥石と、上記支持部に取り付けられ、上記第１の
砥石と同心的に配置され上記所定径より大きい内径を有
する円環状の第２の砥石とを具備するようにした。
【０００６】請求項２に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、上記第１の砥石は上記仕上げ
加工研削を行う仕上げ加工砥石であり、上記第２の砥石
は上記荒加工研削を行う荒加工砥石であることとした。
記載された発明において、上記第１の砥石は上記仕上げ
加工研削を行う仕上げ加工砥石であり、上記第２の砥石
は上記荒加工研削を行う荒加工砥石であることとした。
【０００７】請求項３に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、上記回転駆動機構は、上記荒
加工研削時と上記仕上げ加工研削時とで回転数を変化さ
せることとした。
記載された発明において、上記回転駆動機構は、上記荒
加工研削時と上記仕上げ加工研削時とで回転数を変化さ
せることとした。
【０００８】請求項４に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、上記第１の砥石又は上記第２
の砥石は上記支持部に脱着可能に取り付けられているこ
ととした。
記載された発明において、上記第１の砥石又は上記第２
の砥石は上記支持部に脱着可能に取り付けられているこ
ととした。
【０００９】請求項５に記載された発明は、被加工物を
荒加工研削及び仕上げ加工研削する研削砥石において、
所定軸回りに回転自在に設けられた支持部と、この支持
部に上記所定軸を中心とし、所定径の外径を有する円環
状の第１の砥石と、上記支持部に上記第１の砥石と同心
的に配置され上記所定径より大きい内径を有する円環状
の第２の砥石とを具備するようにした。
荒加工研削及び仕上げ加工研削する研削砥石において、
所定軸回りに回転自在に設けられた支持部と、この支持
部に上記所定軸を中心とし、所定径の外径を有する円環
状の第１の砥石と、上記支持部に上記第１の砥石と同心
的に配置され上記所定径より大きい内径を有する円環状
の第２の砥石とを具備するようにした。
【００１０】上記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。すなわち、請求項１に記載された発明では、所
定径の外径を有する円環状の第１の砥石と、第１の砥石
と同心的に配置され所定径より大きい内径を有する円環
状の第２の砥石とが同一の支持部に取り付けられている
ので、異なる粗さの砥石を共通の回転駆動機構及び位置
決め機構で回転駆動及び位置決めを行なうことができ、
装置を単純化できる。また、段取り時間も低減できる。
生じる。すなわち、請求項１に記載された発明では、所
定径の外径を有する円環状の第１の砥石と、第１の砥石
と同心的に配置され所定径より大きい内径を有する円環
状の第２の砥石とが同一の支持部に取り付けられている
ので、異なる粗さの砥石を共通の回転駆動機構及び位置
決め機構で回転駆動及び位置決めを行なうことができ、
装置を単純化できる。また、段取り時間も低減できる。
【００１１】請求項２に記載された発明では、第１の砥
石は仕上げ加工研削を行う仕上げ加工砥石であり、第２
の砥石は荒加工研削を行う荒加工砥石であることとした
ので、被加工物を一方向に送ることにより荒加工研削、
仕上げ加工研削の順で加工を行なうことができる。
石は仕上げ加工研削を行う仕上げ加工砥石であり、第２
の砥石は荒加工研削を行う荒加工砥石であることとした
ので、被加工物を一方向に送ることにより荒加工研削、
仕上げ加工研削の順で加工を行なうことができる。
【００１２】請求項３に記載された発明では、回転駆動
機構は、荒加工研削時と仕上げ加工研削時とで回転数を
変化させることができるので、被加工物に対する砥石の
速度を研削に最も適した速度とすることができる。
機構は、荒加工研削時と仕上げ加工研削時とで回転数を
変化させることができるので、被加工物に対する砥石の
速度を研削に最も適した速度とすることができる。
【００１３】請求項４に記載された発明では、第１の砥
石又は第２の砥石は支持部に脱着可能に取り付けられて
いるので、粗さの異なる砥石を別工程で製造することが
可能である。
石又は第２の砥石は支持部に脱着可能に取り付けられて
いるので、粗さの異なる砥石を別工程で製造することが
可能である。
【００１４】請求項５に記載された発明では、所定径の
外径を有する円環状の第１の砥石と、第１の砥石と同心
的に配置され所定径より大きい内径を有する円環状の第
２の砥石とが同一の支持部に取り付けられているので、
異なる粗さの砥石を共通の回転駆動機構及び位置決め機
構で回転駆動及び位置決めを行なうことができ、装置を
単純化できる。
外径を有する円環状の第１の砥石と、第１の砥石と同心
的に配置され所定径より大きい内径を有する円環状の第
２の砥石とが同一の支持部に取り付けられているので、
異なる粗さの砥石を共通の回転駆動機構及び位置決め機
構で回転駆動及び位置決めを行なうことができ、装置を
単純化できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１の（ａ）は本発明の一実施の
形態に係る研削装置１０を示す断面図である。また、図
１の（ｂ）は研削砥石２０の底面図である。研削装置１
０は、研削砥石２０と、この研削砥石２０を回転軸Ｃ回
りに回転駆動する回転駆動装置３０と、研削砥石２０の
図１中矢印Ｙ及びＺ方向の位置決め及びを行う位置決め
装置４０と、磁気ヘッドスライダ等の被加工物Ｗを載置
するとともに、図１中Ｘ方向に送る被加工物送り機構５
０と、研削液Ｓを供給する研削供給ノズル６０とを備え
ている。
形態に係る研削装置１０を示す断面図である。また、図
１の（ｂ）は研削砥石２０の底面図である。研削装置１
０は、研削砥石２０と、この研削砥石２０を回転軸Ｃ回
りに回転駆動する回転駆動装置３０と、研削砥石２０の
図１中矢印Ｙ及びＺ方向の位置決め及びを行う位置決め
装置４０と、磁気ヘッドスライダ等の被加工物Ｗを載置
するとともに、図１中Ｘ方向に送る被加工物送り機構５
０と、研削液Ｓを供給する研削供給ノズル６０とを備え
ている。
【００１６】研削砥石２０は、円板状のフランジ２１
と、このフランジ２１の下面２１ａの外周に沿って取り
付けられた円筒状の砥石支持部２２と、この砥石支持部
２２の下端面に取り付けられた円環状の荒加工用砥石
（第２の砥石）２３と、フランジ２１の下面２１ａにフ
ランジ２１と同軸的に取り付けられた円筒状の砥石支持
部２４と、この砥石支持部２４の下端面に取り付けられ
た円環状の仕上げ加工用砥石（第１の砥石）２５とから
構成されている。なお、砥石支持部２４はフランジ２１
に対してボルト２６によりねじ止めされている。
と、このフランジ２１の下面２１ａの外周に沿って取り
付けられた円筒状の砥石支持部２２と、この砥石支持部
２２の下端面に取り付けられた円環状の荒加工用砥石
（第２の砥石）２３と、フランジ２１の下面２１ａにフ
ランジ２１と同軸的に取り付けられた円筒状の砥石支持
部２４と、この砥石支持部２４の下端面に取り付けられ
た円環状の仕上げ加工用砥石（第１の砥石）２５とから
構成されている。なお、砥石支持部２４はフランジ２１
に対してボルト２６によりねじ止めされている。
【００１７】荒加工用砥石２３の外径は２００ｍｍのレ
ジンボンドダイヤモンド砥石で番手１５００番程度のも
のであり、仕上げ加工用砥石２５の外径は１００ｍｍの
レジンボンドダイヤモンド砥石で番手３０００番程度の
ものを使用している。
ジンボンドダイヤモンド砥石で番手１５００番程度のも
のであり、仕上げ加工用砥石２５の外径は１００ｍｍの
レジンボンドダイヤモンド砥石で番手３０００番程度の
ものを使用している。
【００１８】回転駆動装置３０は、回転軸３１を図１中
矢印Ｒ方向に回転駆動する。また、荒加工研削時の荒加
工用砥石２３と仕上げ加工時の仕上げ加工用砥石２５の
周速度が一致するように回転速度が９０００ｒｐｍと１
８０００ｒｐｍとの２段階に切り換えられるように構成
されている。
矢印Ｒ方向に回転駆動する。また、荒加工研削時の荒加
工用砥石２３と仕上げ加工時の仕上げ加工用砥石２５の
周速度が一致するように回転速度が９０００ｒｐｍと１
８０００ｒｐｍとの２段階に切り換えられるように構成
されている。
【００１９】位置決め装置４０は、図１中矢印Ｚ方向に
沿って研削砥石２０を位置決めすることにより、後述す
る所定の切り込み量を与える機能を有している。被加工
物送り機構５０は、送りテーブル５１と、この送りテー
ブル５１により図１中矢印Ｘ方向に送り駆動されるバキ
ュームチャック５２と、このバキュームチャック５２に
吸着保持され被加工物Ｗがホットメルトワックス等で固
定された被加工物保持治具５３とを備えている。なお、
被加工物送り機構５０により図１の（ｂ）に示すように
二点鎖線で示す被加工物Ｗは研削砥石２０に対して、回
転軸Ｃを通るように構成されている。
沿って研削砥石２０を位置決めすることにより、後述す
る所定の切り込み量を与える機能を有している。被加工
物送り機構５０は、送りテーブル５１と、この送りテー
ブル５１により図１中矢印Ｘ方向に送り駆動されるバキ
ュームチャック５２と、このバキュームチャック５２に
吸着保持され被加工物Ｗがホットメルトワックス等で固
定された被加工物保持治具５３とを備えている。なお、
被加工物送り機構５０により図１の（ｂ）に示すように
二点鎖線で示す被加工物Ｗは研削砥石２０に対して、回
転軸Ｃを通るように構成されている。
【００２０】なお、図２は被加工物Ｗの研削前の研削砥
石２０のドレッシングを行う方法を示す図であり、図２
中７０は砥石を研削するためのＷＡ砥粒若しくはＧＣ砥
粒で形成されたドレッサー、７１はドレッサー７０を保
持するドレッサー保持治具を示している。
石２０のドレッシングを行う方法を示す図であり、図２
中７０は砥石を研削するためのＷＡ砥粒若しくはＧＣ砥
粒で形成されたドレッサー、７１はドレッサー７０を保
持するドレッサー保持治具を示している。
【００２１】このように構成された研削装置１０では、
次のようにして荒加工研削と仕上げ加工研削を行なう。
最初に図２に示すようにこれらの研削の前工程としてド
レッシングを行なう。すなわち、フランジ２１に砥石支
持部２２，２４を介して取り付けられた荒加工用砥石２
３，仕上げ加工用砥石２５との下端面の高さを揃える。
次のようにして荒加工研削と仕上げ加工研削を行なう。
最初に図２に示すようにこれらの研削の前工程としてド
レッシングを行なう。すなわち、フランジ２１に砥石支
持部２２，２４を介して取り付けられた荒加工用砥石２
３，仕上げ加工用砥石２５との下端面の高さを揃える。
【００２２】次に図３の（ａ）〜（ｃ）に示すように被
加工物Ｗの研削を行なう。図３の（ａ）に示すように位
置決め機構４０により所定の切り込み量δ１を研削砥石
２０に与え、回転駆動装置３０により９０００ｒｐｍで
回転駆動する。なお、この回転速度は荒加工用砥石２３
及び被加工物Ｗの剛性に基づいて決定されている。次に
被加工物送り機構５０によりバキュームチャック５２を
図３中矢印Ｘ方向に所定の速度で送り駆動する。このと
き、研削供給ノズル６０により研削液Ｓを加工部に吹き
付ける。研削砥石２０の荒加工用砥石２３が被加工物Ｗ
に接触し、荒加工研削が行われる。
加工物Ｗの研削を行なう。図３の（ａ）に示すように位
置決め機構４０により所定の切り込み量δ１を研削砥石
２０に与え、回転駆動装置３０により９０００ｒｐｍで
回転駆動する。なお、この回転速度は荒加工用砥石２３
及び被加工物Ｗの剛性に基づいて決定されている。次に
被加工物送り機構５０によりバキュームチャック５２を
図３中矢印Ｘ方向に所定の速度で送り駆動する。このと
き、研削供給ノズル６０により研削液Ｓを加工部に吹き
付ける。研削砥石２０の荒加工用砥石２３が被加工物Ｗ
に接触し、荒加工研削が行われる。
【００２３】被加工物Ｗが図３の（ｂ）に示す位置まで
進むと、荒加工研削は終了する。次に、位置決め機構４
０により所定の切り込み量δ２を研削砥石２０に与え、
回転駆動装置３０により１８０００ｒｐｍで回転駆動す
る。なお、回転速度を速めることで荒加工研削に比べて
仕上げ加工研削の能率が低下することはない。次に被加
工物送り機構５０によりバキュームチャック５２を図３
中矢印Ｘ方向に所定の速度で送り駆動する。このため、
研削砥石２０の仕上げ加工用砥石２５が被加工物Ｗに接
触し、仕上げ加工研削が行われる。
進むと、荒加工研削は終了する。次に、位置決め機構４
０により所定の切り込み量δ２を研削砥石２０に与え、
回転駆動装置３０により１８０００ｒｐｍで回転駆動す
る。なお、回転速度を速めることで荒加工研削に比べて
仕上げ加工研削の能率が低下することはない。次に被加
工物送り機構５０によりバキュームチャック５２を図３
中矢印Ｘ方向に所定の速度で送り駆動する。このため、
研削砥石２０の仕上げ加工用砥石２５が被加工物Ｗに接
触し、仕上げ加工研削が行われる。
【００２４】上述したように本実施の形態に係る研削装
置１０では、荒加工用砥石２３と仕上げ加工用砥石２５
とが同一のフランジ２１に同軸的に取り付けられている
ので、回転駆動装置３０及び位置決め機構４０を共通化
でき、装置の構成を単純化することができる。したがっ
て、研削装置１０の製造コストを低減できる。また、被
加工物を荒加工研削装置から仕上げ加工装置へ移載する
段取り時間を低減できる。
置１０では、荒加工用砥石２３と仕上げ加工用砥石２５
とが同一のフランジ２１に同軸的に取り付けられている
ので、回転駆動装置３０及び位置決め機構４０を共通化
でき、装置の構成を単純化することができる。したがっ
て、研削装置１０の製造コストを低減できる。また、被
加工物を荒加工研削装置から仕上げ加工装置へ移載する
段取り時間を低減できる。
【００２５】また、研削砥石２０の砥石支持部２４は、
フランジ２１に対し、ボルト２６により脱着自在に形成
されているので、荒加工用砥石２３と、仕上げ加工用砥
石２５とを同じ工程で製造する必要がなく、別の装置で
独立して製造できる。
フランジ２１に対し、ボルト２６により脱着自在に形成
されているので、荒加工用砥石２３と、仕上げ加工用砥
石２５とを同じ工程で製造する必要がなく、別の装置で
独立して製造できる。
【００２６】図４は本実施の形態の変形例に係る研削砥
石２０Ａを示す底面図である。なお、本変形例において
は、上述した研削砥石２０と同一機能部分に記号Ａを付
して示し、詳細な説明は省略する。また、図４中二点鎖
線Ｗ１〜Ｗ３は被加工物Ｗを複数個組合せた被加工物
Ｗ′や大型の被加工物Ｗ′の研削砥石２０Ａに対する相
対位置を示している。
石２０Ａを示す底面図である。なお、本変形例において
は、上述した研削砥石２０と同一機能部分に記号Ａを付
して示し、詳細な説明は省略する。また、図４中二点鎖
線Ｗ１〜Ｗ３は被加工物Ｗを複数個組合せた被加工物
Ｗ′や大型の被加工物Ｗ′の研削砥石２０Ａに対する相
対位置を示している。
【００２７】本変形例では、荒加工用砥石２３Ａによる
荒加工研削を円滑に行なわせるために最も研削に適した
位置から研削を開始する場合について示している。すな
わち、上述した被加工物送り機構５０による図４中矢印
Ｘ方向への送り駆動とともに、位置決め機構４０によ
り、図４中矢印Ｙ方向への移動をも行なうようにしてい
る。このため、被加工物Ｗ′は最初に相対位置Ｗ１に位
置決めされ、被加工物送り機構５０による図４中矢印Ｘ
方向への送り駆動と、位置決め機構４０による図４中矢
印Ｙ方向への送り駆動が行われ、荒加工研削が行われる
とともに、相対位置Ｗ２に到達する。さらに、所定の切
り込み量が与えられた後、被加工物送り機構５０による
図４中矢印Ｘ方向への送り駆動が行われ、仕上げ加工研
削が行われるとともに、相対位置Ｗ３に到達する。
荒加工研削を円滑に行なわせるために最も研削に適した
位置から研削を開始する場合について示している。すな
わち、上述した被加工物送り機構５０による図４中矢印
Ｘ方向への送り駆動とともに、位置決め機構４０によ
り、図４中矢印Ｙ方向への移動をも行なうようにしてい
る。このため、被加工物Ｗ′は最初に相対位置Ｗ１に位
置決めされ、被加工物送り機構５０による図４中矢印Ｘ
方向への送り駆動と、位置決め機構４０による図４中矢
印Ｙ方向への送り駆動が行われ、荒加工研削が行われる
とともに、相対位置Ｗ２に到達する。さらに、所定の切
り込み量が与えられた後、被加工物送り機構５０による
図４中矢印Ｘ方向への送り駆動が行われ、仕上げ加工研
削が行われるとともに、相対位置Ｗ３に到達する。
【００２８】本変形例の研削砥石２０Ａによれば、被加
工物Ｗ′に対し、最も適した位置から研削加工を行なう
ことができる。なお、本発明は上述した各実施の形態に
限定されるものではない。すなわち上記実施の形態で
は、仕上げ加工用砥石としてレジンボンドダイヤモンド
砥石で番手３０００番程度のものを使用したが、さらに
微細なシリカを固めた砥石を用いるようにしてもよい。
また、位置決め機構は送りテーブルに対してフランジを
移動するようにしているが、送りテーブル側を移動する
ようにしてもよい。このほか本発明の要旨を逸脱しない
範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
工物Ｗ′に対し、最も適した位置から研削加工を行なう
ことができる。なお、本発明は上述した各実施の形態に
限定されるものではない。すなわち上記実施の形態で
は、仕上げ加工用砥石としてレジンボンドダイヤモンド
砥石で番手３０００番程度のものを使用したが、さらに
微細なシリカを固めた砥石を用いるようにしてもよい。
また、位置決め機構は送りテーブルに対してフランジを
移動するようにしているが、送りテーブル側を移動する
ようにしてもよい。このほか本発明の要旨を逸脱しない
範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
【００２９】
【発明の効果】請求項１に記載された発明によれば、所
定径の外径を有する円環状の第１の砥石と、第１の砥石
と同心的に配置され所定径より大きい内径を有する円環
状の第２の砥石とが同一の支持部に取り付けられている
ので、異なる粗さの砥石を共通の回転駆動機構及び位置
決め機構で回転駆動及び位置決めを行なうことができ、
装置を単純化できる。
定径の外径を有する円環状の第１の砥石と、第１の砥石
と同心的に配置され所定径より大きい内径を有する円環
状の第２の砥石とが同一の支持部に取り付けられている
ので、異なる粗さの砥石を共通の回転駆動機構及び位置
決め機構で回転駆動及び位置決めを行なうことができ、
装置を単純化できる。
【００３０】請求項２に記載された発明によれば、第１
の砥石は仕上げ加工研削を行う仕上げ加工砥石であり、
第２の砥石は荒加工研削を行う荒加工砥石であることと
したので、被加工物を一方向に送ることにより荒加工研
削、仕上げ加工研削の順で加工を行なうことができる。
の砥石は仕上げ加工研削を行う仕上げ加工砥石であり、
第２の砥石は荒加工研削を行う荒加工砥石であることと
したので、被加工物を一方向に送ることにより荒加工研
削、仕上げ加工研削の順で加工を行なうことができる。
【００３１】請求項３に記載された発明によれば、回転
駆動機構は、荒加工研削時と仕上げ加工研削時とで回転
数を変化させることができるので、被加工物に対する砥
石の速度を研削に最も適した速度とすることができる。
駆動機構は、荒加工研削時と仕上げ加工研削時とで回転
数を変化させることができるので、被加工物に対する砥
石の速度を研削に最も適した速度とすることができる。
【００３２】請求項４に記載された発明によれば、第１
の砥石又は第２の砥石は支持部に脱着可能に取り付けら
れているので、粗さの異なる砥石を別工程で製造するこ
とが可能である。
の砥石又は第２の砥石は支持部に脱着可能に取り付けら
れているので、粗さの異なる砥石を別工程で製造するこ
とが可能である。
【００３３】請求項５に記載された発明は、所定径の外
径を有する円環状の第１の砥石と、第１の砥石と同心的
に配置され所定径より大きい内径を有する円環状の第２
の砥石とが同一の支持部に取り付けられているので、異
なる粗さの砥石を共通の回転駆動機構及び位置決め機構
で回転駆動及び位置決めを行なうことができ、装置を単
純化できる。
径を有する円環状の第１の砥石と、第１の砥石と同心的
に配置され所定径より大きい内径を有する円環状の第２
の砥石とが同一の支持部に取り付けられているので、異
なる粗さの砥石を共通の回転駆動機構及び位置決め機構
で回転駆動及び位置決めを行なうことができ、装置を単
純化できる。
【図１】本発明の一実施の形態に係る研削装置を示す断
面図。
面図。
【図２】同装置による研削工程を示す断面図。
【図３】同装置による研削工程を示す断面図。
【図４】同実施の形態の変形例に係る研削装置の要部を
示す底面図。
示す底面図。
１０…研削装置 ２０，２０Ａ…研削砥石 ２１…フランジ ２２，２４…砥石支持部 ２３…荒加工用砥石 ２５…仕上げ加工用砥石 ３０…回転駆動装置 ４０…位置決め装置 ５０…被加工物送り機構 Ｗ…被加工物
Claims (5)
- 【請求項１】被加工物の被加工面を荒加工研削した後、
仕上げ加工研削する研削装置において、 上記被加工物の被加工面に対し垂直な方向の回転軸回り
に回転自在に設けられた支持部と、 この支持部を上記回転軸回りに回転駆動する回転駆動機
構と、 上記支持部の上記被加工物に対する位置決めをする位置
決め機構と、 上記支持部に取り付けられ、上記回転軸と同軸的に配置
され所定径の外径を有する円環状の第１の砥石と、 上記支持部に取り付けられ、上記第１の砥石と同心的に
配置され上記所定径より大きい内径を有する円環状の第
２の砥石とを具備していることを特徴とする研削装置。 - 【請求項２】上記第１の砥石は上記仕上げ加工研削を行
う仕上げ加工砥石であり、上記第２の砥石は上記荒加工
研削を行う荒加工砥石であることを特徴とする請求項１
に記載の研削装置。 - 【請求項３】上記回転駆動機構は、上記荒加工研削時と
上記仕上げ加工研削時とで回転数を変化させることを特
徴とする請求項１に記載の研削装置。 - 【請求項４】上記第１の砥石又は上記第２の砥石は上記
支持部に脱着可能に取り付けられていることを特徴とす
る請求項１に記載の研削装置。 - 【請求項５】被加工物を荒加工研削及び仕上げ加工研削
する研削砥石において、 所定軸回りに回転自在に設けられた支持部と、 この支持部に上記所定軸を中心とし、所定径の外径を有
する円環状の第１の砥石と、 上記支持部に上記第１の砥石と同心的に配置され上記所
定径より大きい内径を有する円環状の第２の砥石とを具
備していることを特徴とする研削砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7339389A JPH09174398A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 研削装置及び研削砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7339389A JPH09174398A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 研削装置及び研削砥石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09174398A true JPH09174398A (ja) | 1997-07-08 |
Family
ID=18327013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7339389A Pending JPH09174398A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 研削装置及び研削砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09174398A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014042950A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
| KR20170133722A (ko) * | 2016-05-26 | 2017-12-06 | 주식회사 케이엔제이 | 반도체 패키지 슬리밍장치 및 방법 |
| JP2020131398A (ja) * | 2019-02-22 | 2020-08-31 | 株式会社ディスコ | 研削ホイールのコンディション確認方法 |
-
1995
- 1995-12-26 JP JP7339389A patent/JPH09174398A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014042950A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
| KR20170133722A (ko) * | 2016-05-26 | 2017-12-06 | 주식회사 케이엔제이 | 반도체 패키지 슬리밍장치 및 방법 |
| JP2020131398A (ja) * | 2019-02-22 | 2020-08-31 | 株式会社ディスコ | 研削ホイールのコンディション確認方法 |
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