JP2022086589A - 蒸着装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板に蒸着物質を放出する蒸着源と、
前記蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する監視手段と、
を備えた蒸着装置であって、
前記監視手段が搭載される台座部材を備え、
前記台座部材は、冷却媒体が流れる流路を有する、
ことを特徴とする蒸着装置が提供される。
図1は本発明の一実施形態に係る成膜装置1の概略図である。なお、各図において矢印X及びYは互いに直交する水平方向を示し、矢印Zは垂直方向(鉛直方向)を示す。成膜装置1は、搬送装置2と、複数の蒸着装置3A及び3B(以下、両者を総称する場合、又は、区別しない場合は蒸着装置3と表す)と、を備える。複数の蒸着装置3A及び3BはX方向に並べて配置されており、搬送装置2はこれら蒸着装置3A及び3Bの上方に配置されている。
図1~図2(B)に加えて、図3~図5(B)を参照してシャッタ7と回動ユニット8の構造について説明する。主に、図3を参照する。図3は蒸着装置3の内部構造を示す概略図であり、図2(A)のA-A線断面図に相当する。回動ユニット8は、一対の駆動ユニットDU1及びDU2(以下、両者を総称する場合、又は、区別しない場合は駆動ユニットDUと表す)と、駆動ユニットDU1及びDU2に支持された支持部材30とを備え、蒸着源6の延設方向(本実施形態ではY方向)の回動中心線AL周りにシャッタ7を回動する。シャッタ7を回動することで、平行移動させる構成に比べて、防着板4に囲まれた狭い空間で蒸着源6の開閉動作を行うことができる。
監視装置9について図3、図4を参照して説明する。監視装置9は台座部材13に搭載されており、台座部材13はソースチャンバ5の底部に立設された支柱15に支持されている。本実施形態の場合、一つの台座部材13に二つの監視装置9が搭載されている。監視装置9は取り付け部材9cを介して交換可能に台座部材13に固定される。
次に、電子デバイスの一例を説明する。以下、電子デバイスの例として有機EL表示装置の構成を例示する。
上記実施形態では、一つの蒸着源6に対して二つのシャッタ7を設けたが、一つの蒸着源6に対して一つのシャッタ7を設けた構成でもよい。また、一つの支持部材30に対して二つの駆動ユニットDU1、DU2を設けたが、一つの支持部材30に対して一つの駆動ユニットDUを設けてもよい。
Claims (10)
- 基板に蒸着物質を放出する蒸着源と、
前記蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する監視手段と、
を備えた蒸着装置であって、
前記監視手段が搭載される台座部材を備え、
前記台座部材は、冷却媒体が流れる流路を有する、
ことを特徴とする蒸着装置。 - 請求項1に記載の蒸着装置であって、
前記監視手段と前記蒸着源との間に介在するように前記台座部材に設けられ、前記監視手段を前記蒸着源に露出させる窓部を有する壁部材を有し、
前記壁部材は、前記冷却媒体が流れる流路を有する、
ことを特徴とする蒸着装置。 - 請求項2に記載の蒸着装置であって、
前記台座部材の前記流路と、前記壁部材の前記流路とは、前記台座部材と前記壁部材との接続部分において連通している、
ことを特徴とする蒸着装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の蒸着装置であって、
前記監視手段は、前記蒸着源から放出される蒸着物質が付着するように配置された水晶振動子を備える、
ことを特徴とする蒸着装置。 - 基板を搬送する搬送装置と、
前記基板に蒸着物質を蒸着する蒸着装置と、を備え、
前記基板を搬送しながら蒸着を行うインライン型の成膜装置であって、
前記蒸着装置は、
前記基板の搬送方向と交差する方向に延設され、前記基板に蒸着物質を放出する蒸着源と、
前記蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する監視手段と、
前記監視手段が搭載される台座部材と、を備え、
前記台座部材は、冷却媒体が流れる流路を有する、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項5に記載の成膜装置であって、
前記蒸着装置は、
前記監視手段と前記蒸着源との間に介在するように前記台座部材に設けられ、前記監視手段を前記蒸着源に露出させる窓部を有する壁部材を有し、
前記壁部材は、前記冷却媒体が流れる流路を有する、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項5又は請求項6に記載の成膜装置であって、
前記台座部材及び前記監視手段は、前記蒸着源に対して、前記蒸着源の延設方向の側方に配置されている、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項5乃至請求項7のいずれか一項に記載の成膜装置であって、
前記蒸着装置は、
シャッタと、
前記蒸着源と前記基板との間の位置を含む移動軌道上で前記シャッタを回動する回動手段と、を備え、
前記蒸着源の延設方向に沿う前記シャッタの回動中心を形成する回転軸と、
前記回転軸に接続され、前記シャッタを支持する支持部材と、
を含み、
前記回転軸は、前記蒸着源に対して、前記蒸着源の延設方向の側方に配置され、
前記台座部材及び前記監視手段は、前記回転軸に対して、前記回転軸の径方向の側方に配置されている、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項5乃至請求項8のいずれか一項に記載の成膜装置を用いた成膜方法であって、
前記搬送装置によって前記基板を搬送する搬送工程と、
搬送されている前記基板に、前記蒸着装置によって蒸着を行う蒸着工程と、を有する
ことを特徴とする成膜方法。 - 請求項5乃至請求項8のいずれか一項に記載の成膜装置を用いた電子デバイスの製造方法であって、
前記搬送装置によって前記基板を搬送する搬送工程と、
搬送されている前記基板に、前記蒸着装置によって蒸着を行う蒸着工程と、を有する
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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