JPH0693428A - 真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構 - Google Patents
真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構Info
- Publication number
- JPH0693428A JPH0693428A JP35595591A JP35595591A JPH0693428A JP H0693428 A JPH0693428 A JP H0693428A JP 35595591 A JP35595591 A JP 35595591A JP 35595591 A JP35595591 A JP 35595591A JP H0693428 A JPH0693428 A JP H0693428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter plate
- opening
- closing arm
- arm
- evaporation source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】シャッタ板の内面に堆積した蒸発粒子の堆積物
の除去作業を簡単にするとともに、歯車の噛み合わせ不
良をなくすことの出来るようにする。 【構成】回動アームを持つリンク機構と、このリンク機
構の開閉アーム２７の先端部にピン結合され、両側にロ
ーラ２９を持つシャッタ板２８と、このシャッタ板のロ
ーラの移動を案内する円弧状のガイドレール３０と、シ
ャッタ板が蒸発源を覆わなくなる位置まで開閉アームが
回動したとき、開閉アームを係止させる係止部３２とを
備え、開閉アームが係止部に係止しているとき、開閉ア
ームの先端部のピン結合の部分を支点として、開閉アー
ムを反転することを特徴とする。
の除去作業を簡単にするとともに、歯車の噛み合わせ不
良をなくすことの出来るようにする。 【構成】回動アームを持つリンク機構と、このリンク機
構の開閉アーム２７の先端部にピン結合され、両側にロ
ーラ２９を持つシャッタ板２８と、このシャッタ板のロ
ーラの移動を案内する円弧状のガイドレール３０と、シ
ャッタ板が蒸発源を覆わなくなる位置まで開閉アームが
回動したとき、開閉アームを係止させる係止部３２とを
備え、開閉アームが係止部に係止しているとき、開閉ア
ームの先端部のピン結合の部分を支点として、開閉アー
ムを反転することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は真空蒸着装置用蒸発源
のシャッタ機構に関するものである。
のシャッタ機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ
機構は図４および図５に示されており、これらの図にお
いて、回転駆動軸１の先端には駆動軸用かさ歯車２が設
けられている。回転従動軸３の先端にも従動軸用かさ歯
車４が設けられ、この従動軸用かさ歯車４は駆動軸用か
さ歯車２と歯合している。回転従動軸３の中央部には開
閉アーム５が取り付けられ、この開閉アーム５の先端部
はピン６によって補助アーム７の一端部とピン結合され
ている。補助アーム７の他端部にはシャッタ板８の後端
が固着され、そのシャッタ板８の左右両端には軸支ロー
ラ９が取り付けられ、その軸支ローラ９は真空蒸着装置
の壁に設けられたガイドローラ１０に案内されながら回
転し移動する。軸支ローラ９の移動により、シャッタ板
８も移動し、蒸発源１１を覆ったり、あるいは覆わなか
ったりしている。なお、これらの図中、回転駆動軸１の
一部、駆動軸用かさ歯車２、回転従動軸３、従動軸用か
さ歯車４、開閉アーム５、ピン６、補助アーム７、シャ
ッタ板８、軸支ローラ９、蒸発源１１は真空蒸着装置内
に配置されている。
機構は図４および図５に示されており、これらの図にお
いて、回転駆動軸１の先端には駆動軸用かさ歯車２が設
けられている。回転従動軸３の先端にも従動軸用かさ歯
車４が設けられ、この従動軸用かさ歯車４は駆動軸用か
さ歯車２と歯合している。回転従動軸３の中央部には開
閉アーム５が取り付けられ、この開閉アーム５の先端部
はピン６によって補助アーム７の一端部とピン結合され
ている。補助アーム７の他端部にはシャッタ板８の後端
が固着され、そのシャッタ板８の左右両端には軸支ロー
ラ９が取り付けられ、その軸支ローラ９は真空蒸着装置
の壁に設けられたガイドローラ１０に案内されながら回
転し移動する。軸支ローラ９の移動により、シャッタ板
８も移動し、蒸発源１１を覆ったり、あるいは覆わなか
ったりしている。なお、これらの図中、回転駆動軸１の
一部、駆動軸用かさ歯車２、回転従動軸３、従動軸用か
さ歯車４、開閉アーム５、ピン６、補助アーム７、シャ
ッタ板８、軸支ローラ９、蒸発源１１は真空蒸着装置内
に配置されている。
【０００３】このような真空蒸着装置用蒸発源のシャッ
タ機構において、回転駆動軸１の回転は、駆動軸用かさ
歯車２およびこれと歯合する従動軸用かさ歯車４を介し
て、回転従動軸３に伝達される。回転従動軸３が回転す
ると、開閉アーム５が回転する。開閉アーム５が回転す
ると、補助アーム７およびシャッタ板８が移動する。シ
ャッタ板８の移動は、ガイドローラ１０に案内される軸
支ローラ９の移動に従う。そして、シャッタ板８の移動
により、蒸発源１１がシャッタ板８で覆われたり、ある
いは覆わなかったりする。蒸発源１１がシャッタ板８に
より覆われた場合には、蒸発源１１より蒸発した蒸発粒
子がシャッタ板８の内面に付着して、そこに堆積するよ
うになる。そして、堆積した蒸発粒子をシャッタ板８の
内面より除去する場合には、シャッタ板８が蒸発源１１
を覆わなくなってから行う。
タ機構において、回転駆動軸１の回転は、駆動軸用かさ
歯車２およびこれと歯合する従動軸用かさ歯車４を介し
て、回転従動軸３に伝達される。回転従動軸３が回転す
ると、開閉アーム５が回転する。開閉アーム５が回転す
ると、補助アーム７およびシャッタ板８が移動する。シ
ャッタ板８の移動は、ガイドローラ１０に案内される軸
支ローラ９の移動に従う。そして、シャッタ板８の移動
により、蒸発源１１がシャッタ板８で覆われたり、ある
いは覆わなかったりする。蒸発源１１がシャッタ板８に
より覆われた場合には、蒸発源１１より蒸発した蒸発粒
子がシャッタ板８の内面に付着して、そこに堆積するよ
うになる。そして、堆積した蒸発粒子をシャッタ板８の
内面より除去する場合には、シャッタ板８が蒸発源１１
を覆わなくなってから行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空蒸着装置用
蒸発源のシャッタ機構は、上記のように蒸発源１１がシ
ャッタ板８で覆われた場合には、蒸発源１１より蒸発し
た蒸発粒子がシャッタ板８の内面に付着して、そこに堆
積するようになる。この堆積した蒸発粒子をシャッタ板
８の内面より除去する場合には、シャッタ板８が蒸発源
１１を覆わなくしてから行うが、シャッタ板８を反転し
て、シャッタ板８の内面を開放する手段が従来のものに
はないため、シャッタ板８に堆積した蒸発粒子の堆積物
を除去する除去作業が難しい問題があった。また、駆動
軸用かさ歯車２や従動軸用かさ歯車４も真空蒸着装置内
に配置されているため、これらの歯部にも蒸発粒子が堆
積し、歯車の噛み合わせが悪くなり、回転運動の伝達不
良が起こる問題があった。
蒸発源のシャッタ機構は、上記のように蒸発源１１がシ
ャッタ板８で覆われた場合には、蒸発源１１より蒸発し
た蒸発粒子がシャッタ板８の内面に付着して、そこに堆
積するようになる。この堆積した蒸発粒子をシャッタ板
８の内面より除去する場合には、シャッタ板８が蒸発源
１１を覆わなくしてから行うが、シャッタ板８を反転し
て、シャッタ板８の内面を開放する手段が従来のものに
はないため、シャッタ板８に堆積した蒸発粒子の堆積物
を除去する除去作業が難しい問題があった。また、駆動
軸用かさ歯車２や従動軸用かさ歯車４も真空蒸着装置内
に配置されているため、これらの歯部にも蒸発粒子が堆
積し、歯車の噛み合わせが悪くなり、回転運動の伝達不
良が起こる問題があった。
【０００５】この発明の目的は、従来の上記問題を解決
して、シャッタ板を反転して、シャッタ板の内面に堆積
した蒸発粒子の堆積物の除去作業を簡単にするととも
に、歯車の噛み合わせ不良をなくすることの出来る真空
蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構を提供することにあ
る。
して、シャッタ板を反転して、シャッタ板の内面に堆積
した蒸発粒子の堆積物の除去作業を簡単にするととも
に、歯車の噛み合わせ不良をなくすることの出来る真空
蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構
は、構成の一部に回動アームを持つリンク機構と、この
リンク機構の回動アームの先端部にピン結合され、両側
にローラを持つシャッタ板と、このシャッタ板のローラ
の移動を案内する円弧状のガイドレールと、前記シャッ
タ板が蒸発源を覆わなくなる位置まで回動アームが回動
したとき、回動アームを係止させる係止部とを備え、前
記開閉アームが係止部に係止しているとき、上記開閉ア
ームの先端部のピン結合の部分を支点として、上記開閉
アームを反転することを特徴としている。
に、この発明の真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構
は、構成の一部に回動アームを持つリンク機構と、この
リンク機構の回動アームの先端部にピン結合され、両側
にローラを持つシャッタ板と、このシャッタ板のローラ
の移動を案内する円弧状のガイドレールと、前記シャッ
タ板が蒸発源を覆わなくなる位置まで回動アームが回動
したとき、回動アームを係止させる係止部とを備え、前
記開閉アームが係止部に係止しているとき、上記開閉ア
ームの先端部のピン結合の部分を支点として、上記開閉
アームを反転することを特徴としている。
【０００７】
【作用】この発明においては、リンク機構が作動して、
その構成の一部である開閉アームが回動すると、シャッ
タ板の両側のローラが円弧状のガイドレールに案内され
ながら移動し、シャッタ板が蒸発源を覆ったり、あるい
は覆わなくなったりする。開閉アームが回動して、シャ
ッタ板が蒸発源を覆わなくなり、回動アームが係止部に
係止したとき、開閉アームの先端部のピン結合部を支点
として、シャッタ板を回動させると、シャッタ板が反転
し、シャッタ板の内面が開放され、シャッタ板の内面に
堆積した堆積物の除去作業がしやすくなる。なお、堆積
物の除去作業は炉内で行うか、又は、炉外搬出機構でシ
ャッタ板等を炉外に搬出して行なわれる。
その構成の一部である開閉アームが回動すると、シャッ
タ板の両側のローラが円弧状のガイドレールに案内され
ながら移動し、シャッタ板が蒸発源を覆ったり、あるい
は覆わなくなったりする。開閉アームが回動して、シャ
ッタ板が蒸発源を覆わなくなり、回動アームが係止部に
係止したとき、開閉アームの先端部のピン結合部を支点
として、シャッタ板を回動させると、シャッタ板が反転
し、シャッタ板の内面が開放され、シャッタ板の内面に
堆積した堆積物の除去作業がしやすくなる。なお、堆積
物の除去作業は炉内で行うか、又は、炉外搬出機構でシ
ャッタ板等を炉外に搬出して行なわれる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例は図１、図２およ
び図３に示されており、これらの図において、回動駆動
軸２１には回動駆動軸用レバー２２が結合され、回動駆
動軸２１の回動により、回動駆動軸用レバー２２が回動
する。回動駆動軸用レバー２２の先端部には駆動用ロッ
ド２３がピン結合され、回動駆動軸用レバー２２の回動
運動が駆動用ロッド２３で直線運動に変換されている。
駆動用ロッド２３の先端部には回動駆動アーム２４がピ
ン結合され、更に、回動駆動アーム２４の先端部には軸
受け２５に軸支された回動軸２６が固着されている。そ
して、回動軸２６には開閉アーム２７が固着され、開閉
アーム２７は回動軸２６を支点として回動軸２６ととも
に回動するようになっている。開閉アーム２７の先端部
にはシャッタ板２８がピン結合され、そのシャッタ板２
８の両側にはローラ２９が設けられ、そのローラ２９は
円弧状のガイドレール３０に案内されながら移動するよ
うになっている。シャッタ板２８が蒸発源３１を覆わな
くなる位置まで開閉アーム２７が回動したとき、開閉ア
ーム２７を係止させる係止部３２が配置されている。な
お、炉外搬出機構３３上に軸受け２５等が取り付けら
れ、炉外搬出機構３３の水平移動によって、回動駆動軸
２１、回動駆動軸用レバー２２、駆動用ロッド２３、回
動駆動アーム２４、軸受け２５、回動軸２６、開閉アー
ム２７、シャッタ板２８、ローラ２９、ガイドレール３
０、係止部３２が一体となって炉外に搬送されるように
なる。
しながら説明する。この発明の実施例は図１、図２およ
び図３に示されており、これらの図において、回動駆動
軸２１には回動駆動軸用レバー２２が結合され、回動駆
動軸２１の回動により、回動駆動軸用レバー２２が回動
する。回動駆動軸用レバー２２の先端部には駆動用ロッ
ド２３がピン結合され、回動駆動軸用レバー２２の回動
運動が駆動用ロッド２３で直線運動に変換されている。
駆動用ロッド２３の先端部には回動駆動アーム２４がピ
ン結合され、更に、回動駆動アーム２４の先端部には軸
受け２５に軸支された回動軸２６が固着されている。そ
して、回動軸２６には開閉アーム２７が固着され、開閉
アーム２７は回動軸２６を支点として回動軸２６ととも
に回動するようになっている。開閉アーム２７の先端部
にはシャッタ板２８がピン結合され、そのシャッタ板２
８の両側にはローラ２９が設けられ、そのローラ２９は
円弧状のガイドレール３０に案内されながら移動するよ
うになっている。シャッタ板２８が蒸発源３１を覆わな
くなる位置まで開閉アーム２７が回動したとき、開閉ア
ーム２７を係止させる係止部３２が配置されている。な
お、炉外搬出機構３３上に軸受け２５等が取り付けら
れ、炉外搬出機構３３の水平移動によって、回動駆動軸
２１、回動駆動軸用レバー２２、駆動用ロッド２３、回
動駆動アーム２４、軸受け２５、回動軸２６、開閉アー
ム２７、シャッタ板２８、ローラ２９、ガイドレール３
０、係止部３２が一体となって炉外に搬送されるように
なる。
【０００９】このような実施例においては、回動駆動軸
２１が回動すると、回動駆動軸用アーム２２が回動し
て、駆動用ロッド２３が直線運動を行う。駆動用ロッド
２３が直線運動をすると、回動駆動アーム２４が回動
し、回動軸２６がそれとともに回動するようになる。回
動軸２６が回動すると、開閉アーム２７が回動し、シャ
ッタ板２８のローラ２９が円弧状のガイドレール３０に
案内されながら移動し、シャッタ板２８が蒸発源３１を
覆うようになる。一方、開閉アーム２７が逆動作をした
場合には、蒸発源３１を覆っていたシャッタ板２８が蒸
発源３１が蒸発源を覆わなくなり、回動アーム２７が係
止部３２に係止するようになる。炉外搬出機構３３を水
平移動させて、シャッタ板２８等を炉外に搬送してか
ら、作業をするとよりやりやすくなる。開閉アーム２７
の先端部のピン結合部を支点として、シャッタ板２８を
回動させる。このようにすると、シャッタ板２８が反転
し、シャッタ板２８の内面が開放され、シャッタ板２８
の内面に堆積した堆積物の除去作業がしやすくなる。
２１が回動すると、回動駆動軸用アーム２２が回動し
て、駆動用ロッド２３が直線運動を行う。駆動用ロッド
２３が直線運動をすると、回動駆動アーム２４が回動
し、回動軸２６がそれとともに回動するようになる。回
動軸２６が回動すると、開閉アーム２７が回動し、シャ
ッタ板２８のローラ２９が円弧状のガイドレール３０に
案内されながら移動し、シャッタ板２８が蒸発源３１を
覆うようになる。一方、開閉アーム２７が逆動作をした
場合には、蒸発源３１を覆っていたシャッタ板２８が蒸
発源３１が蒸発源を覆わなくなり、回動アーム２７が係
止部３２に係止するようになる。炉外搬出機構３３を水
平移動させて、シャッタ板２８等を炉外に搬送してか
ら、作業をするとよりやりやすくなる。開閉アーム２７
の先端部のピン結合部を支点として、シャッタ板２８を
回動させる。このようにすると、シャッタ板２８が反転
し、シャッタ板２８の内面が開放され、シャッタ板２８
の内面に堆積した堆積物の除去作業がしやすくなる。
【００１０】ところで、上記実施例の開閉アーム２７を
回動させるリンク機構は、いかなる構成、例えば、直線
運動をする駆動用ロッド２３に回動アーム２７をピン結
合したものであってもよい。
回動させるリンク機構は、いかなる構成、例えば、直線
運動をする駆動用ロッド２３に回動アーム２７をピン結
合したものであってもよい。
【００１１】
【発明の効果】この発明においては、上記のように開閉
アームの先端部のピン結合部を支点として、手動でシャ
ッタ板を反転し、シャッタ板の内面が開放されるので、
シャッタ板の内面に堆積した堆積物の除去作業がしやす
くなる。また、シャッタ板の移動にはリンク機構が用い
られ、かさ歯車等が用いられていないので、歯車の噛み
合わせ不良による運動伝達不良が発生しなくなる。
アームの先端部のピン結合部を支点として、手動でシャ
ッタ板を反転し、シャッタ板の内面が開放されるので、
シャッタ板の内面に堆積した堆積物の除去作業がしやす
くなる。また、シャッタ板の移動にはリンク機構が用い
られ、かさ歯車等が用いられていないので、歯車の噛み
合わせ不良による運動伝達不良が発生しなくなる。
【図１】この発明の実施例の側面図
【図２】この発明の実施例の平面図
【図３】図１のＡ−Ａ線方向よりみた矢視図
【図４】従来の真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構を
示す側面図
示す側面図
【図５】従来の真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構を
示す平面図
示す平面図
２１・・・・・回動駆動軸 ２２・・・・・回動駆動軸用レバー ２３・・・・・駆動用ロッド ２４・・・・・回動駆動アーム ２５・・・・・軸受け ２６・・・・・回動軸 ２７・・・・・開閉アーム ２８・・・・・シャッタ板 ２９・・・・・ローラ ３０・・・・・ガイドレール ３１・・・・・蒸発源 ３２・・・・・係止部 ３３・・・・・炉外搬出機構
Claims (1)
- 【請求項１】構成の一部に開閉アームを持つリンク機構
と、このリンク機構の開閉アームの先端部にピン結合さ
れ、ローラを両側に持つシャッタ板と、このシャッタ板
のローラの移動を案内する円弧状のガイドレールと、前
記シャッタ板が蒸発源を覆わなくなる位置まで開閉アー
ムが回動したとき、開閉アームを係止させる係止部とを
備え、前記開閉アームが係止部に係止しているとき、上
記開閉アームの先端部のピン結合の部分を支点として、
上記開閉アームを反転することを特徴とする真空蒸着装
置用蒸発源のシャッタ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35595591A JPH0693428A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35595591A JPH0693428A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0693428A true JPH0693428A (ja) | 1994-04-05 |
Family
ID=18446590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35595591A Pending JPH0693428A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0693428A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102877028A (zh) * | 2011-07-13 | 2013-01-16 | 圆益Ips股份有限公司 | 蒸镀装置 |
| KR20140112861A (ko) * | 2013-03-14 | 2014-09-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 진공증착기 |
| JP2022086589A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | キヤノントッキ株式会社 | 蒸着装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 |
-
1991
- 1991-12-20 JP JP35595591A patent/JPH0693428A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102877028A (zh) * | 2011-07-13 | 2013-01-16 | 圆益Ips股份有限公司 | 蒸镀装置 |
| KR20140112861A (ko) * | 2013-03-14 | 2014-09-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 진공증착기 |
| JP2014177703A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Samsung Display Co Ltd | 真空蒸着器 |
| JP2022086589A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | キヤノントッキ株式会社 | 蒸着装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE102013109051A1 (de) | Kraftfahrzeugtürverschluss | |
| CN103527013A (zh) | 车门闭合器装置 | |
| CN208331698U (zh) | 一种多功能监控摄像头 | |
| JPH0693428A (ja) | 真空蒸着装置用蒸発源のシャッタ機構 | |
| CN211330562U (zh) | 一种工程造价用仪表防尘装置 | |
| US7194840B2 (en) | Closure operator having a handle that rotates as the closure rotates | |
| DE3017941A1 (de) | Transportvorrichtung fuer einen durchlaufofen | |
| EP1576251B1 (de) | Getriebe zum verschwenken einer fahrzeugt r oder fahrzeugkla ppe | |
| DE69918032T2 (de) | Verschlussmechanismus | |
| JP2723807B2 (ja) | 容器の反転排出装置 | |
| US3613312A (en) | Railway car plug door structure | |
| US2879558A (en) | Railway car side door operating gear | |
| GB2071203A (en) | Driving mechanism for lift doors | |
| KR20190121991A (ko) | 케이블 행거 장치 | |
| CN220310779U (zh) | 一种摩托车仪表生产喷漆装置 | |
| CN218369728U (zh) | 一种地铁用灭火器与垃圾箱组合装置 | |
| US5377588A (en) | Delivery for a sheet-fed printing press | |
| CN114962465A (zh) | 一种具有废油处理功能的轴承座 | |
| JPS596883Y2 (ja) | 汚泥沈殿槽における台車駆動式汚泥掻き寄せ装置 | |
| DE1803684C3 (de) | Vorrichtung zum automatischen Bilden einer Filmschleife in einem Schmalfilmprojektor | |
| JPH02110047A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JPH071496Y2 (ja) | 扉の開閉装置 | |
| KR950002747Y1 (ko) | 폐기물 적재함 덮개 개폐장치 | |
| DE2531310A1 (de) | Antriebseinrichtung fuer nachgreifer in bogenauslagen von druckmaschinen | |
| JPH0217323Y2 (ja) |