JPH0217323Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は遮蔽型Ｘ線マイクロアナライザ等に
おける試料移送装置、特に放射性試料を真空状態
の試料交換室から試料室へ移送するのに適した試
料移送装置に関するものである。

〔従来の技術〕

Ｘ線マイクロアナライザ等の真空装置における
試料室に試料交換室から試料を導入する装置とし
て第７図に示すものがある。第７図は従来装置の
断面図であり、試料交換室１から試料室２へ手動
のトング３により試料ホルダ４を移送し、試料室
２のゴニオステージ５上に装着するようになつて
いる。６は遮蔽鉛、７はゲート弁である。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の装置では、トング３のスト
ロークが長くなり、自動交換機構に変換できない
ため、遮蔽型Ｘ線マイクロアナライザ等の放射性
試料を移送する装置には適用できないという問題
点があつた。

この考案は上記問題点を解決するためのもの
で、真空容器内で移送する台車に試料チヤツク機
構を設け、台車が両端部に移動したときに駆動軸
に係合させて回転力を試料チヤツク機構の回転軸
に伝え、試料チヤツク機構を開閉させることによ
り、ストロークが短くなり、装置全体をコンパク
トにして自動化できるとともに、安全に試料ホル
ダを移送することができる試料移送装置を提供す
ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案は真空容器内を移動する台車と、この
台車の一端部から伸びる試料チヤツク機構と、こ
の試料チヤツク機構内に設けられかつ回転により
前記試料チヤツク機構を開閉する回転軸と、前記
台車の移動方向に配置された駆動軸と、この駆動
軸の両端部に台車が移動したときに係合して駆動
軸の回転力を前記試料チヤツク機構の回転軸に伝
える係合機構とを備えたことを特徴とする試料移
送装置である。

〔実施例〕

以下、この考案を図面の実施例により説明す
る。第１図はこの考案の一実施例による試料移送
装置の試料チヤツク機構を省略した斜視図、第２
図は要部の水平断面図、第３図はそのＡ−Ａ断面
図、第４図はＢ−Ｂ断面図、第５図はＣ−Ｃ断面
図、第６図はそのＤ−Ｄ断面図である。

図において、１１は真空容器を形成する外筒
で、ケーシング１２に接続しており、これらは試
料交換室１を形成している。外筒１１内には上部
にフランジ部１３を有する半円筒状の内筒１４が
設けられ、台車１５が側面のコロ１６によりフラ
ンジ部１３をはさんで軸方向に移動するように設
けられている。

台車１５の下側に設けられた取付金具１７の両
側にチエーン１８が取付けられ、外筒１１両端部
のスプロケツト１９，２０にかけ渡されている。
スプロケツト１９はケーシング１２の大気側に取
付けられたモータ２１の入力軸２２に取付けられ
ている。またスプロケツト２０は他端の内筒１４
に設けられたブラケツト２０ａに取付けられてい
る。こうしてモータ２１の駆動力は入力軸２２、
スプロケツト１９、チエーン１８、取付金具１７
を介して台車１５に伝達され、台車１５が軸方向
に移動するようになつている。

台車１５の先端から伸びるように試料チヤツク
機構２３が取付けられている。試料チヤツク機構
２３は、台車１５から伸びるパイプ２４、このパ
イプ２４内に軸受２５，２６を介して支持された
回転軸２７、この回転軸２７の手前に取付けられ
た平歯車２８、回転軸２７の先端に形成されたね
じ部２９、このねじ部２９にねじ付けられたスラ
イダ３０、このスライダ３０に取付けられたピン
３１、パイプ２４の先端部のブロツク２４ａにピ
ン３２，３３により開閉可能に取付けられた爪３
４，３５、この爪３４，３５の基部両側に前記ピ
ン３１と係合するように設けられたピン３６，３
７、およびこのピン３６，３７とパイプ２４上の
ピン３８との間にかけ渡されたばね３９，４０か
らなる。こうして試料チヤツク機構２３は、回転
軸２７の回転によりスライダ３０がスラスト方向
に移動してピン３１を押し、爪３４，３５を閉じ
て、試料４１を装着した試料ホルダ４２をチヤツ
クし、ばね３９，４０により復元して試料ホルダ
４２をはなすようになつている。スライダ３０の
移動量の制限は図示しないマイクロスイツチによ
り行われる。

台車１５の先端部の下側に形成された支持部１
５ａには軸受４３により平歯車４４が支持されて
平歯車２８とかみ合つている。この平歯車４４を
貫通するように、台車１５の移動方向に駆動軸４
５が設けられている。駆動軸４５はブラケツト２
０ａに設けられた軸受４６および内筒１４の端部
に設けられた軸受４７により支持され、その先端
には笠歯車４８が設けられて笠歯車４９とかみ合
つている。笠歯車４９はケーシング１２下面に真
空シールされた入力軸５０に取付けられ、入力軸
５０の他端は大気側のモータ５１に接続してい
る。

駆動軸４５の両端部には溝５２，５３を有する
係合部５４，５５が取付けられ、台車１５の平歯
車４４から突出するピン５６が溝５２，５３に係
合し、駆動軸４５の回転力を平歯車４４，２８を
介して回転軸２７に伝えるようになつている。５
７，５８は台車１５のストローク制限信号をモー
タ２１，５１に入力するマイクロスイツチであ
る。

〔作用〕

以上の構成において、モータ２１を駆動する
と、スプロケツト１９、チエーン１８により台車
１５に動力が伝えられ、台車１５は内筒１４に摺
動して軸方向に移動し、両端部においてピン５６
が係合部５４，５５の溝５２，５３に係合する。

試料の移送は、台車１５をケーシング１２の反
対側に後退させてピン５６を溝５３と係合させ、
この状態でモータ５１を駆動すると、その回転力
は入力軸５０、笠歯車４９，４８、駆動軸４５、
平歯車４４，２８を通して回転軸２７に伝えら
れ、これによりねじ部２９が回転してこれにかみ
合うスライダ３０が後退し、ばね３９，４０の引
張力によつて爪３４，３５が開く。

試料４１を装着した試料ホルダ４２をケーシン
グ１２内に爪３４，３５間に挿入してモータ５１
を逆転させると、ねじ部２９が逆転してスライダ
３０が前進し、ピン３１がピン３６，３７を押し
て爪３４，３５が閉じ、こうして試料チヤツク機
構２３が試料ホルダ４２をチヤツクする。

この状態でモータ２１を回転させて、台車１５
をケーシング１２側に前進させると、ピン５６は
溝５３から外れる。台車１５が進行することによ
り、試料チヤツク機構２３にチヤツクされた試料
ホルダ４２はケーシング１２を通つて試料室２に
入り、ゴニオステージ５上に装着される。

この状態でピン５６は係合部５４の溝５２に係
合するので、モータ５１を駆動すると、その回転
力は入力軸５０、笠歯車４９，４８、駆動軸４
５、平歯車４４，２８を通して回転軸２７に伝え
られ、スライダ３０が後退して爪３４，３５が開
く。この状態でモータ２１を駆動して台車１５を
後退させる。

試料ホルダ４２の取出は前記と逆の順序で行
い、台車１５の前進位置で試料チヤツク機構２３
が試料ホルダ４２をチヤツクし、この状態で台車
１５が後退して試料ホルダ４２をはなし、試料交
換を行う。

以上の装置では、真空内に試料チヤツク機構２
３を設けてチエーン等により駆動するため、真空
シールまたは遮蔽厚によるストロークが最少に抑
えられ、装置全体がコンパクト化し自動化が容易
であるとともに、真空内に動力源がないため、モ
ータ等の故障による手動切換作業が極めて容易で
ある。また試料ホルダの取出位置および試料ステ
ージ上の２位置に対応する駆動軸４５の両端部に
おいてのみ試料チヤツク機構２３と駆動軸４５が
接続して爪３４，３５が開閉可能であり、移動の
途中でモータ５１が誤まつて回転しても試料ホル
ダ４２の脱落は防止され、放射性試料による汚染
を防止でき、安全に試料の移送が行える。

なお、以上の説明において、台車１５の駆動の
ためにチエーン１８とスプロケツト１９，２０の
組合せを示したが、ワイヤーとプーリ等の組合せ
でもよい。また駆動軸４５との係合機構も溝５
２，５３とピン５６の組合せに限らず、他の組合
せでもよい。さらに本考案は遮蔽型Ｘ線マイクロ
アナライザに限らず、他の真空装置における試料
の移送に適用可能である。

〔考案の効果〕

この考案によれば、真空容器内で移送する台車
に試料チヤツク機構を設け、台車が両端部に移動
したときに駆動軸に係合させて回転力を試料チヤ
ツク機構の回転軸に伝え、試料チヤツク機構を開
閉させるようにしたので、ストロークが短くな
り、装置全体をコンパクトにして自動化できると
ともに、安全に試料ホルダを移送することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例の試料チヤツク機
構を省略した斜視図、第２図は要部の水平断面
図、第３図はそのＡ−Ａ断面図、第４図はＢ−Ｂ
断面図、第５図はＣ−Ｃ断面図、第６図はそのＤ
−Ｄ断面図、第７図は従来装置の断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１１は外筒、１２はケーシング、１４は内
筒、１５は台車、１８はチエーン、２１，５１は
モータ、２３は試料チヤツク機構、２４はパイ
プ、２７は回転軸、２８，４４は平歯車、２９は
ねじ部、３０はスライダ、３４，３５は爪、４２
は試料ホルダ、４５は駆動軸、４８，４９は笠歯
車、５２，５３は溝、５４，５５は係合部、５６
はピンである。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空容器内を移動する台車と、この台車の一
   端部から伸びる試料チヤツク機構と、この試料
   チヤツク機構内に設けられかつ回転により前記
   試料チヤツク機構を開閉する回転軸と、前記台
   車の移動方向に配置された駆動軸と、この駆動
   軸の両端部に台車が移動したときに係合して駆
   動軸の回転力を前記試料チヤツク機構の回転軸
   に伝える係合機構とを備えたことを特徴とする
   試料移送装置。 (2) 台車がチエーンまたはワイヤーによつて駆動
   されるものである実用新案登録請求の範囲第１
   項記載の試料移送装置。 (3) 試料チヤツク機構が回転軸にねじ付けられた
   スライダにより爪を開閉するものである実用新
   案登録請求の範囲第１項または第２項記載の試
   料移送装置。 (4) 係合機構がピンと溝の係合によるものである
   実用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項の
   いずれかに記載の試料移送装置。