KR20220154021A - 자세 변화 장치 및 성막 장치 - Google Patents

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캐논 톡키 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 기판에 먼지가 부착되는 것을 방지하는 기술을 제공하는 것.
[해결 수단] 기판 캐리어의 자세를 변화시키는 자세 변화 장치로서, 상기 기판 캐리어를 회동시키는 회동 수단을 구비하고, 상기 회동 수단은, 상기 기판 캐리어를 사이에 두도록 하여 배치된 복수의 롤러와, 상기 복수의 롤러 중 적어도 하나에 설치되고, 상기 롤러를 개별적으로 둘러싸는 집진 커버를 포함한다. 상기 집진 커버는, 상기 회동 수단에 의한 상기 기판 캐리어의 회동 시에, 상기 집진 커버의 저부 측으로부터 천정부 측으로 먼지가 이동하는 것을 규제하는 규제 벽부를 포함한다.

Description

자세 변화 장치 및 성막 장치{POSTURE CHANGING DEVICE AND FILM FORMING APPARATUS}
본 발명은 기판 캐리어의 자세 변화 장치 및 성막 장치에 관한 것이다.
유기 EL 디스플레이 등의 제조에 있어서는, 기판 상에 유기 재료나 금속 재료 등의 증착 물질이 증착된다. 처리에 따라서는 기판의 상하를 반전시킬 필요가 생기기 때문에, 처리 장치 사이에 기판의 자세를 변화시키는 장치가 설치되어 있다(특허문헌 1 등).
특허문헌 1: 한국특허공개 제10-2015-0100999호 공보
기판을 기판 캐리어에 탑재하여 반송하는 시스템에서는, 기판 캐리어와 함께 기판의 상하를 반전시킨다. 기판 캐리어의 자세를 변화시킬 때에, 먼지(파티클)가 비산하여 기판에 부착되는 것은 바람직하지 않다.
본 발명은, 기판에 먼지가 부착되는 것을 방지하는 기술을 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면,
기판 캐리어의 자세를 변화시키는 자세 변화 장치로서,
상기 기판 캐리어를 회동시키는 회동 수단을 구비하고,
상기 회동 수단은,
상기 기판 캐리어를 사이에 두도록 하여 배치된 복수의 롤러와,
상기 복수의 롤러 중 적어도 하나에 설치되고, 상기 롤러를 개별적으로 둘러싸는 집진 커버를 포함하고,
상기 집진 커버는,
상기 롤러의 둘레면이 노출된 천정부와,
상기 롤러의 둘레면에 대향하도록 형성된 저부와,
상기 저부로부터 이격되어 배치되고, 상기 회동 수단이 상기 기판 캐리어를 회동시킬 때, 상기 저부 측의 먼지가 상기 천정부 측으로 이동하는 것을 규제하는 규제 벽부를 포함하는
것을 특징으로 하는 자세 변화 장치가 제공된다.
또한, 본 발명에 의하면,
기판 캐리어의 자세를 변화시키는 자세 변화 장치로서,
상기 기판 캐리어를 회동시키는 회동 수단과,
상기 기판 캐리어를 반송하는 복수의 반송 롤러와,
상기 복수의 반송 롤러를, 반송 위치와, 상기 회동 수단이 회동할 때에 상기 회동 수단 또는 상기 기판 캐리어와의 간섭을 회피하는 퇴피 위치의 사이에서 이동하는 이동 수단을 구비하는
것을 특징으로 하는 자세 변화 장치가 제공된다.
또한, 본 발명에 의하면, 상기 자세 변화 장치와,
기판 캐리어에 보유지지되어 있는 기판에, 증착 물질을 증착하는 증착 장치를 구비하는
것을 특징으로 하는 성막 장치가 제공된다.
본 발명에 의하면, 기판에 먼지가 부착되는 것을 방지하는 기술을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 성막 장치의 레이아웃 도면이다.
도 2는 증착 장치의 설명도이다.
도 3은 자세 변화 장치의 설명도이다.
도 4는 자세 변화 장치의 설명도이다.
도 5의 (A) 및 (B)는 자세 변화 장치의 동작 설명도이다.
도 6의 (A) 및 (B)는 자세 변화 장치의 동작 설명도이다.
도 7의 (A) 및 (B)는 자세 변화 장치의 동작 설명도이다.
도 8의 집진 커버의 분해 사시도이다.
도 9의 (A) ∼ (C)는 보유지지 유닛의 회동시의 집진 커버의 자세 변화 양태를 나타내는 설명도이다.
도 10은 다른 실시형태의 집진 커버의 자세 변화 양태를 나타내는 설명도이다.
도 11의 (A)는 유기 EL 표시 장치의 전체도이고, (B)는 1화소의 단면 구조를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 실시형태를 상세하게 설명한다. 한편, 이하의 실시형태는 청구범위에 따른 발명을 한정하는 것이 아니다. 실시형태에는 복수의 특징이 기재되어 있지만, 이들 복수의 특징 모두가 반드시 발명에 필수적인 것인 것은 아니고, 또한, 복수의 특징은 임의로 조합되어도 된다. 나아가, 첨부 도면에 있어서는, 동일 또는 마찬가지의 구성에 동일한 참조 번호를 붙이고, 중복된 설명은 생략한다.
<제1 실시형태>
<성막 장치의 개요>
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 성막 장치(1)의 레이아웃 도면이다. 한편, 각 도면에 있어서 화살표(Z)는 상하 방향(중력방향)을 나타내고, 화살표(X) 및 화살표(Y)는 서로 직교하는 수평 방향을 나타낸다. 성막 장치(1)는, 기판(G)에 증착 물질을 성막하는 장치이며, 마스크(M)를 사용하여 소정의 패턴의 증착 물질의 박막을 형성한다. 특히 본 실시형태의 성막 장치(1)는, 기판(G)을 반송하면서, 증착 장치에 의해 기판(G)에 증착 물질을 증착하는 성막 방법을 실행 가능한, 인라인형의 성막 장치이다.
성막 장치(1)에서 성막이 행해지는 기판(G)의 재질은, 글래스, 수지, 금속 등의 재료를 적절히 선택 가능하며, 글래스 상에 폴리이미드 등의 수지층이 형성된 것이 바람직하게 사용된다. 증착 물질로서는, 유기 재료, 무기 재료(금속, 금속 산화물 등) 등의 물질이다. 성막 장치(1)는, 예를 들면 표시 장치(플랫 패널 디스플레이 등)나 박막 태양 전지, 유기 광전 변환 소자(유기 박막 촬상 소자) 등의 전자 디바이스나, 광학 부재 등을 제조하는 제조 장치에 적용 가능하며, 특히, 유기 EL 패널을 제조하는 제조 장치에 적용 가능하다.
성막 장치(1)는, 기판 캐리어(100)를 사용하여 기판(G) 및 마스크(M)를 반송하는 장치이다. 기판 캐리어(100)는, 예를 들면, 기판(G)을 보유지지하는 기구 및 마스크(M)를 보유지지하는 기구를 구비한다. 기판(G)을 보유지지하는 기구는, 예를 들면 정전척이며, 마스크(M)를 보유지지하는 기구는, 예를 들면 자기 흡착척이다. 마스크(M)는 기판(G)과 겹치도록 기판 캐리어(100)에 보유지지되며, 기판(G)은 기판 캐리어(100)와 마스크(M)의 사이에 보유지지된다. 기판 캐리어(100), 기판(G) 및 마스크(M)는 판 형상의 형태이며, 수평 자세로 반송된다.
기판 캐리어(100)는, 성막 경로(1A)와 리턴 경로(1B)를 순환적으로 (도시한 예에서는 반시계 방향으로) 반송된다. 반송 기구는 본 실시형태의 경우, 롤러 컨베이어이다. 성막 경로(1A)에는, 기판 반입실(110)이 설치되어 있다. 성막 장치(1)의 외부로부터 기판 반입실(110)에, 성막 대상의 기판(G)이 반입되고, 리턴 경로(1B)의 방향 전환 장치(125)로부터 기판 반입실(110)로 반입되는 기판 캐리어(100) 위에 겹쳐져, 보유지지된다. 기판(G)을 보유지지하는 기판 캐리어(100)는 자세 변화 장치(111)에 반송되고, 자세 변화 장치(111)에서 그 자세가 변경된다. 본 실시형태에서는, 기판(G)이 기판 캐리어(100) 위에 보유지지된 자세로부터, 기판(G)이 기판 캐리어(100) 아래에 보유지지되는 자세로, 기판 캐리어(100)가 180도 반전된다.
자세가 반전된 기판 캐리어(100)는, 얼라인먼트실(112)에 반송된다. 얼라인먼트실(112)에서는, 리턴 경로(1B)로부터 반송되는 마스크(M)와, 기판 캐리어(100)에 보유지지된 기판(G)과의 위치맞춤이 행해지고, 마스크(M)가 기판 캐리어(100)에 보유지지된다. 기판(G) 및 마스크(M)를 보유지지한 기판 캐리어(100)(100GM)는, 가속실(113)에서 소정의 반송 속도로 가속화되어, 증착 장치(114)로 반송된다. 여기서 기판(G)에 증착 물질이 성막된다. 그 후, 성막 완료된 기판(G) 및 마스크(M)를 보유지지한 기판 캐리어(100)(100GM)는, 감속실(115)에서 감속되어, 분리실(116)에서 마스크(M)가 기판 캐리어(100)로부터 분리된다. 분리된 마스크(M)는 리턴 경로(1B)의 마스크 장착실(121)로 반송된다.
마스크(M)가 분리된 기판 캐리어(100)는 자세 변화 장치(117)에 있어서 그 자세가 변경된다. 본 실시형태에서는, 기판(G)이 기판 캐리어(100) 아래에 보유지지된 자세로부터, 기판(G)이 기판 캐리어(100) 위에 보유지지되는 자세로, 기판 캐리어(100)가 180도 반전된다. 그 후, 기판 캐리어(100)는 기판 분리실(118)로 반송되고, 여기서 기판(G)이 기판 캐리어(100)로부터 분리된다. 분리된 기판(G)은 성막 장치(1)로부터 배출된다.
기판(G)이 분리된 기판 캐리어(100)는, 리턴 경로(1B)의 방향 전환 장치(119)로 반송된다. 기판 캐리어(100)는 자세 변화 장치(120)에 있어서 그 자세가 변경된다. 기판 캐리어(100)는 상하가 반전하도록 180도 반전된다. 기판 캐리어(100)는 마스크 장착실(121)에 반송되어, 마스크(M)가 기판 캐리어(100)에 보유지지된다. 마스크(M)를 보유지지한 기판 캐리어(100)(100M)는 반송 장치(122)에 의해 마스크 분리실(123)로 반송되고, 기판 캐리어(100)로부터 마스크(M)가 분리된다. 분리된 마스크(M)는 얼라인먼트실(112)로 반송된다.
마스크(M)가 분리된 기판 캐리어(100)는 자세 변화 장치(120)에 있어서 그 자세가 변경된다. 기판 캐리어(100)는 상하가 반전하도록 180도 반전된다. 그리고, 기판 캐리어(100)는 방향 전환 장치(125)를 경유하여 기판 반입실(110)로 반송된다. 이상의 처리를 반복함으로써 성막 처리가 순차 행해진다.
<증착 장치>
도 2는 증착 장치(114)의 설명도이다. 증착 장치(114)는, 기판(G) 및 마스크(M)를 보유지지한 기판 캐리어(100)를 반송하는 반송실(2a)을 형성하는 반송 챔버(2)와, 복수의 소스 챔버(3)를 구비한다. 복수의 소스 챔버(3)는 X 방향으로 나란히 배치되어 있고, 반송실(2a)은 이들 소스 챔버(3)의 상방에 위치하고 있다.
반송실(2a)은 사용시에 진공으로 유지되고, 그 X 방향의 일단부에는 반입구(2b)가, 타단부에는 반출구(2c)가 설치되어 있다. 기판(G) 및 마스크(M)를 보유지지한 기판 캐리어(100)는, 반입구(2b)로부터 반송실(2a) 내에 반입되고, 처리후에 반출구(2c)로부터 외부로 반출된다. 반입구(2b) 및 반출구(2c)에는 게이트 밸브(도시하지 않음)가 설치된다.
반송실(2a)에는, X 방향으로 배열된 복수의 반송 롤러(2d)가 설치되어 있다. 이 반송 롤러(2d)의 열은, Y 방향으로 이격되어 2열 배치되어 있다. 각 반송 롤러(2d)는 Y 방향의 회전축 주위로 회전한다. 기판 캐리어(100)는, 2열의 반송 롤러(2d)의 열에, 그 Y 방향의 양단부가 재치되고, 반송 롤러(2d)의 회전에 의해 X 방향으로 수평 자세로 반송된다.
각 소스 챔버(3) 내는, 사용시에 진공으로 유지되는 내부 공간을 형성한다. 소스 챔버(3)는, 상부에 개구부가 형성된 상자형을 가지고 있고, 개구부를 통해, 반송실(2a)과 소스 챔버(3)의 내부 공간이 연통하고 있다. 각 소스 챔버(3)에는 상방에 증착 물질을 방출하는 증착원(3a)이 설치되어 있다. 본 실시형태의 증착원(3a)은 소위 라인 소스이며, Y 방향으로 연장 설치되어 있다. 증착원(3a)은 증착 물질의 원재료를 수용하는 도가니나, 도가니를 가열하는 히터 등을 구비하고, 원재료를 가열하여 그 증기인 증착 물질을 반송실(2a)로 방출한다.
증착 장치(114)는, 반송 챔버(2) 내에서 기판(G) 및 마스크(M)를 보유지지한 기판 캐리어(100)를 반송하면서, 증착원(3a)에 의해 기판(G)에 증착 물질을 증착한다. 본 실시형태에서는, 복수의 소스 챔버(3)가 기판 캐리어(100)의 반송 방향으로 배치되어 있다. 3개의 소스 챔버(3)로부터 상이한 종류의 증착 물질을 방출하는 경우, 기판(G)에 상이한 증착 물질을 연속적으로 증착할 수 있다. 한편, 소스 챔버(3)의 수는 3개로 한정되지 않고, 1개 또는 2개이어도 되고, 4개 이상이어도 된다.
<자세 변화 장치>
도 3 및 도 4를 참조하여 자세 변화 장치(111)에 대해 설명한다. 도 3은 자세 변화 장치(111)의 내부 구조를 Y 방향에서 본 도면이며, 도 4는 X 방향에서 본 도면이다. 자세 변화 장치(111)는, 사용시에 진공으로 유지되는 내부 공간을 형성하는 챔버(4)와, 챔버(4) 내에 배치된 복수의 반송 유닛(5)과, 챔버(4) 내에 배치된 보유지지 유닛(6)과, 챔버(4)의 외부로부터 보유지지 유닛(6)을 회동시키는 회동 유닛(8)과, 챔버(4)의 외부로부터 각 반송 유닛(5)을 Y 방향으로 이동하는 이동 유닛(9)을 구비한다. 한편, 편의적으로, 보유지지 유닛(6)을 회동 유닛(8)과 구별하여 표현하고 있지만, 보유지지 유닛(6)과 회동 유닛(8)은, 일체로 하여, 기판 캐리어(100)를 회동시키기 위한 수단을 구성해도 된다.
챔버(4)는, 그 X 방향의 일단부에 반입구(4a)를, 타단부에 반출구(4b)를 구비하고 있고, 기판(G) 및 마스크(M)를 보유지지한 기판 캐리어(100)는, 반입구(4a)로부터 챔버(4) 내에 반입되고, 자세 변화 후에 반출구(4b)로부터 외부로 반출된다. 반입구(4a) 및 반출구(4b)에는 이들을 개폐하는 게이트 밸브(4c, 4d)가 설치되어 있다.
반송 유닛(5)은, X 방향 및 Y 방향으로 이격되어 복수 설치되어 있다. 각 반송 유닛(5)은 X 방향으로 배열된 복수의 반송 롤러(5a)와, 반송 롤러(5a)를 회전하는 모터 등의 구동원을 구비한다. 각 반송 롤러(5a)는 캔틸레버 상태로 지지되며, Y 방향의 회전축 주위로 회전한다. 기판 캐리어(100)는, Y 방향으로 이격된 2열의 반송 롤러(5a)의 열에, 그 Y 방향의 양단부가 재치되고, 반송 롤러(5a)의 회전에 의해 X 방향으로 수평 자세로 반송된다.
각 반송 유닛(5)은, 이동 유닛(9)에 의해 도 4에 있어서 이점쇄선으로 나타내는 반송 위치와, 실선으로 나타내는 퇴피 위치의 사이를 Y 방향(반송 롤러(5a)의 롤러 축방향)으로 평행 이동한다. 반송 위치는, Y 방향에서 자세 변화 장치(111)의 중앙측의 위치이며, 퇴피 위치는 Y 방향에서 외측의 위치이다. 각 반송 유닛(5)은, 반송 위치에 있어서 기판 캐리어(100)를 반송한다. 퇴피 위치는, 회동 중인 보유지지 유닛(6)이나 회동 유닛(8)과, 반송 유닛(5)과의 간섭을 회피하는 위치이다.
이동 유닛(9)은 구동 기구(90)와 작동 축(91)을 포함한다. 구동 기구(90)는, 작동 축(91)을 Y 방향으로 진퇴시키는 전동 실린더 등의 액추에이터를 포함하고, 챔버(4)의 외부에 배치되어 있다. 작동 축(91)은 챔버(4)의 측벽에 형성된 개구(도시하지 않음)를 통과하여 챔버(4)의 안팎으로 연장 설치되어 있다. 시일 구조(92)는, 벨로우즈 등의 통형상 구조를 가지며, 챔버(4)의 측벽에 형성된 개구와 작동 축(91)을 시일하여 챔버(4) 내의 기밀성을 유지한다.
보유지지 유닛(6)은, Y 방향으로 이격된 한 쌍의 베이스 부재(60)를 갖는다. 각 베이스 부재(60)는 X-Z 평면을 따른 판 형상의 부재이다. 한 쌍의 베이스 부재(60) 사이에는 복수의 보(梁) 부재(60a)에 의해 연결되어 있고, 이들이 일체적으로 회동 중심선(81a) 주위로 회동한다.
보유지지 유닛(6)은, 기판 캐리어(100)를 사이에 두도록 하여 보유지지하는 복수의 보유지지 롤러(63)를 포함한다. 복수의 보유지지 롤러(63)는, X 방향으로 배열된 4열의 롤러 열을 구성하고 있다. 4열의 롤러 열은, Y 방향으로 이격된 2열의 롤러 열로 구분되고, 2열의 롤러 열은 상하로 이격된 롤러 열이다.
각 롤러 열은, Y 방향의 회전축 주위로, 롤러 지지 부재(61 또는 62)에 자유 회전 가능하게 지지되어 있다. 롤러 지지 부재(61)는 2개 설치되어 있고, 도 3 및 도 4의 예에서는 상측에 위치하고 있다. 2개의 롤러 지지 부재(61)는 Y 방향으로 이격되어 있고, 롤러 지지 부재(61)에 지지되는 보유지지 롤러(63)는, 롤러 지지 부재(61)의 내측 측면에 캔틸레버 상태로 지지되어 있다. 롤러 지지 부재(62)도 2개 설치되어 있고, 도 3 및 도 4의 예에서는 하측에 위치하고 있다. 2개의 롤러 지지 부재(62)는 Y 방향으로 이격되어 있고, 롤러 지지 부재(62)에 지지되는 보유지지 롤러(63)는, 롤러 지지 부재(62)의 내측 측면에 캔틸레버 상태로 지지되어 있다.
롤러 지지 부재(61 및 62)는, 복수의 가이드 유닛(65)을 통해 Z 방향으로 이동(승강) 가능하게 베이스 부재(60)에 지지되어 있다. 가이드 유닛(65)은, 예를 들면 신축식의 가이드 기구이며, 베이스 부재(60)에 고정되는 통체와, 통체에 Z 방향으로 진퇴 가능하게 지지된 로드를 가지며, 로드에 롤러 지지 부재(61, 62)가 고정된다. 베이스 부재(60)와 롤러 지지 부재(61 및 62)의 사이에는, 각각 승강 유닛(64)이 설치되어 있다. 본 실시형태의 승강 유닛(64)은 Z 방향으로 신축하는 액추에이터이며, 예를 들면 전동 실린더이다. 승강 유닛(64)의 신축에 의해, 롤러 지지 부재(61 및 62)를 베이스 부재(60)에 대해 승강할 수 있다.
그리고, 롤러 지지 부재(61)에 지지되는 복수의 보유지지 롤러(63)와, 롤러 지지 부재(62)에 지지되는 복수의 보유지지 롤러(63)에 의해, 기판 캐리어(100)의 Y 방향의 단부를 사이에 두도록 하여 기판 캐리어(100)가 지지된다. 도 3 및 도 4의 예에서는, 롤러 지지 부재(61)에 지지되는 복수의 보유지지 롤러(63)가 기판 캐리어(100)의 일방의 면 측(상측)에 위치하고, 롤러 지지 부재(62)에 지지되는 복수의 보유지지 롤러(63)가 기판 캐리어(100)의 타방의 면 측(하측)에 위치하고, 이들 보유지지 롤러(63)에 의해 기판 캐리어(100)를 상하에 끼워서 지지할 수 있다.
보유지지 롤러(63)의 회전에 의해, 먼지(파티클)가 날아올라가서 기판(G)에 부착되는 것은 바람직하지 않다. 본 실시형태에서는, 각 보유지지 롤러(63)가 집진 커버(7)에 의해 개별 둘러싸여 있다. 집진 커버(7)의 상세한 것은 후술한다.
각 베이스 부재(60)에는 또한, 스톱퍼(66A 및 66B)가 설치되어 있다. 도 3 및 도 4의 예에서는 스톱퍼(66A)가 반입구(4a) 측에 위치하고, 스톱퍼(66B)가 반출구(4b) 측에 위치하고 있다. 스톱퍼(66A 및 66B)는, 각각, 롤러(69)와, 롤러(69)를 회전 가능하게 지지하는 스윙 암(68)과, 스윙 암(68)을 회동시키는 모터 등의 액추에이터(67)를 포함한다. 액추에이터(67)는 베이스 부재(60)에 고정되어 있고, 롤러(69)는 Y 방향의 회전축 주위로 자유 회전 가능하게 스윙 암(68)에 지지되어 있다. 스윙 암(68)의 회동에 의해, 롤러(69)는 기판 캐리어(100)의 반송 경로 상의 작동 위치와, 도 3 및 도 4에 도시되는 퇴피 위치와의 사이에서 이동된다. 작동 위치에 있어서 롤러(69)의 둘레면에 기판 캐리어(100)의 단부면을 당접함으로써 기판 캐리어(100)가 그 기판면 방향으로 변위하는 것을 규제한다. 또한, 롤러(69)를 퇴피 위치로부터 작동 위치로 이동시킬 때, 롤러(69)의 둘레면에서 기판 캐리어(100)의 단부면을 압압함으로써 기판 캐리어(100)를 보유지지 위치까지 이동시킬 수 있다.
이와 같이 본 실시형태의 보유지지 유닛(6)은, 2세트의 기구(베이스 부재(60), 롤러 지지 부재(61 및 62), 복수의 롤러(63), 복수의 승강 유닛(64), 복수의 가이드 유닛(65), 스톱퍼(66A 및 66B))가 Y 방향으로 이격되어 배치되어 있다. 그리고, 보유지지 유닛(6)은, 회동 유닛(8)에 의해 Y 방향의 회동 중심선(81a) 주위로 회동 가능하게 구성되어 있다.
회동 유닛(8)은 구동 유닛(80A)와 종동 유닛(80B)을 포함한다. 각 유닛(80A 및 80B)은, 회동 중심선(81a) 상에서 동축상에 설치된 회전축(81)을 구비한다. 각회전축(81)은 챔버(4)의 측벽에 형성된 개구(도시하지 않음)를 통과하여 챔버(4)의 안팎으로 연장 설치되어 있고, 일방의 회전축(81)은 2개의 베이스 부재(60) 중 일방에, 타방의 회전축(81)은 타방의 베이스 부재(60)에, 각각 고정되어 있다. 시일 구조(82)는, 벨로우즈 등의 통형상 구조를 가지며, 챔버(4)의 측벽에 형성된 개구와 회전축(81)을 시일하여 챔버(4) 내의 기밀성을 유지한다.
유닛(80A)은, 회전축(81)을 회전시키는 구동원인 모터나, 모터의 회전을 감속하여 회전축(81)에 전달하는 감속기 등을 포함한다. 유닛(80B)은 회전축(81)을 회전 가능하게 지지하는 베어링을 포함한다.
도 5의 (A)∼도 7의 (B)를 참조하여 자세 변화 장치(111)의 동작을 설명한다. 도 5의 (A)는, 기판(G)을 보유지지한 기판 캐리어(100)가 자세 변화 장치(111)에 반입되어 온 단계를 나타내고 있다. 기판(G)은 기판 캐리어(100)의 상측에 보유지지되어 있다. 각 반송 유닛(5)은 반송 위치에 위치하고 있고, 기판 캐리어(100)는 반송 롤러(5a) 상에서 반송되고 있다. 각 보유지지 롤러(63)는 기판 캐리어(100)로부터 이격되어 있다. 스톱퍼(66B)의 롤러(69)는 작동 위치에 위치하고 있다.
도 5의 (B)는 기판 캐리어(100)의 반입이 완료된 상태를 나타내고 있다. 게이트 밸브(4c, 4d)가 각각 반입구(4a), 반출구(4b)를 폐쇄한다. 하측의 승강 유닛(64)이 롤러 지지 부재(62)를 상승시킨다. 이에 의해 기판 캐리어(100)가, 롤러 지지 부재(62)에 지지된 복수의 보유지지 롤러(63)와 당접하여, 반송 유닛(5)로부터 상방으로 들어올려진다. 그리고, 기판 캐리어(100)는, 롤러 지지 부재(62)에 지지된 복수의 보유지지 롤러(63)에 의해 하측으로부터, 롤러 지지 부재(61)에 지지된 복수의 보유지지 롤러(63)에 의해 상측으로부터, 끼워진 상태가 된다.
도 6의 (A)에 나타내는 바와 같이 스톱퍼(66A)가 구동되어, 스톱퍼(66A)의 롤러(69)가 작동 위치로 이동된다. 롤러(69)가 기판 캐리어(100)의 단부면에 당접하여 기판 캐리어(100)를 X 방향으로 압압한다. 기판 캐리어(100)는 X 방향에서 도 6의 (A)의 우측으로, 스톱퍼(66B)의 롤러(69)와 당접하는 위치까지 이동한다. 기판 캐리어(100)의 이동 시에, 보유지지 롤러(63)는 기판 캐리어(100)의 이동에 따라 전동(轉動; 구름운동)한다. 기판 캐리어(100)는, 그 법선 방향(이 단계에서는 Z 방향)에 있어서 복수의 보유지지 롤러(63)에 협지되어 변위가 규제되고, 그 면방향(이 단계에서는 X 방향)에 있어서 스톱퍼(66A 및 66B)의 각 롤러(69)에 의해 변위가 규제된다. 계속해서, 이동 유닛(9)의 구동에 의해, 각 반송 유닛(5)은 퇴피 위치로 이동한다. 이에 의해, 각 반송 유닛(5)은 도 4에 나타낸 바와 같이, 베이스 부재(60)의 외측의, 보유지지 유닛(6)과 간섭하지 않는 위치로 이동하게 된다.
회동 유닛(8)의 구동에 의해, 도 6의 (B)에 나타내는 바와 같이 보유지지 유닛(6)이 회동된다. 보유지지 유닛(6)에 의해 기판 캐리어(100)는 그 법선 방향과 면방향에 있어서 변위가 규제되고 있으므로, 낙하하는 일은 없다. 도 7의 (A)는 회동이 완료된 상태를 나타낸다. 보유지지 유닛(6)은 180도 회동하여, 도 6의 (A)의 상태로부터 Z 방향 및 X 방향으로 반전하고 있다. 롤러 지지 유닛(62)이 상측에, 롤러 지지 유닛(61)이 하측에 각각 위치하고 있기 때문에, 회동의 전후에서, 롤러 지지 유닛(61)에 지지되어 있었던 복수의 보유지지 롤러(63)와, 롤러 지지 유닛(62)에 지지되어 있었던 복수의 보유지지 롤러(63)의, 기판 캐리어(100)에 대한 위치(위인지 아래인지)가 서로 바뀐다. 또한, 스톱퍼(66B)가 반입구(4a) 측에, 스톱퍼(66A)가 반출구(4b) 측에, 각각 위치하고 있고, 회동의 전후에서, 스톱퍼(66A)와 스톱퍼(66B)의 위치도 서로 바뀐다. 기판 캐리어(100)도 Z 방향 및 X 방향으로 반전되어, 기판(G)은 기판 캐리어(100)의 하측에 보유지지되어 있다. 이동 유닛(9)의 구동에 의해, 각 반송 유닛(5)은 퇴피 위치로부터 반송 위치로 이동한다.
그 후, 하측의 승강 유닛(64)이 롤러 지지 부재(61)를 강하시킨다. 이에 의해 기판 캐리어(100)가 반송 유닛(5) 상에 재치되고, 각 보유지지 롤러(63)는 기판 캐리어(100)로부터 이격된다. 스톱퍼(66A)의 롤러(69)가 작동 위치로부터 퇴피 위치로 이동된다. 게이트 밸브(4c, 4d)가 반입구(4a)와 반출구(4b)를 개방한다. 도 7의 (B)는, 기판 캐리어(100)를 반출시키는 단계를 나타내고 있다. 반송 유닛(5)의 구동에 의해 기판 캐리어(100)가 X 방향으로 반출된다. 반입시에는, 상측에 기판(G)이 보유지지되어 있었던 기판 캐리어(100)가, 하측에 기판(G)이 보유지지된 자세로 변화(반전)된 상태로 기판 캐리어(100)가 반출된다.
그 후, 스톱퍼(66B)의 롤러(69)를 퇴피 위치로 되돌리고, 스톱퍼(66A)의 롤러(69)를 작동 위치로 이동시키면, 자세 변화 장치(111)의 상태는, 보유지지 유닛(6)의 상하, 전후가 반전되어 있을 뿐 도 5의 (A)의 단계와 실질적으로 동일한 상태로 되어, 다음 기판 캐리어(100)의 반입이 가능해진다. 자세 변화 장치(111)의 그 후의 동작은 도 5의 (A)∼도 7의 (B)를 참조하여 설명한 동작과 실질적으로 동일하며, 순차 반입되어 오는 기판 캐리어(100)의 자세 변화를 반복하여 행할 수 있다.
<집진 커버>
집진 커버(7)의 구조에 대해 도 8을 참조하여 설명한다. 도 8은 집진 커버(7)의 분해 사시도이다. 도 8에 있어서의 집진 커버(7)의 자세는, 도 5의 (A)에 도시한 보유지지 유닛(6)의 자세에 있어서, 롤러 지지 부재(62)에 지지된 각 집진 커버(7)의 자세에 상당하고, 롤러 지지 부재(61)에 지지된 각 집진 커버(7)의 자세는 이것을 반전시킨 자세에 상당한다.
집진 커버(7)는, 보유지지 롤러(63)의 회전에 의해 생기는 먼지를 포착하여, 외부로 비산하는 것을 억제하는 상자 형상의 부재이다. 본 실시형태의 집진 커버는, 본체부(7A)와, 본체부재(7A)에 착탈 가능한 분리부(7B)를 구비하고 있다. 본체부(7A)가 롤러 지지 부재(61 또는 62)에 고정됨으로써, 집진 커버(7)가 롤러 지지 부재(61 또는 62)에 지지된다.
집진 커버(7)는, Z 방향에서 상하의 관계에 있는 저부(70) 및 천정부(71)와, X 방향을 좌우 방향으로 하여 좌측 측부(72) 및 우측 측부와, Y 방향을 전후 방향으로 하여 앞쪽의 전방부(前部)(73)를 구비한다. 한편, 본 실시형태의 집진 커버(7)는 전후 방향에서 뒤쪽이 되는 후방부(後部)는, 롤러 지지 부재(61 또는 62)에 의해 형성된다. 그러나, 집진 커버(7)가 고유의 후방부를 가지고 있어도 된다.
천정부(71)는 본체부(7A)의 좌우의 천정벽(71a, 71a)으로 형성된다. 좌우의 천정벽(71a, 71a)은 역방향으로 경사진 지붕형을 하고 있고, 좌우의 천정벽(71a)의 사이에는 간극(71b)이 형성되어 있다. 보유지지 롤러(63)의 둘레면(63a)의 일부는 간극(71b)으로부터 외부로 노출되고, 둘레면(63a)의 노출된 부분이 기판 캐리어(100)에 당접한다. 본 실시형태에서는 천정부(71)가 좌우의 천정벽(71a, 71a)을 가지며, 보유지지 롤러(63)의 둘레면(63a)을 부분적으로 덮는 형태로 하였지만, 천정부(71)는 전체적으로 개방된 형태이어도 된다. 그러나, 본 실시형태에 의하면, 먼지의 포착 성능 및 비산 방지 성능을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 좌우의 천정벽(71a)이 경사진 형태이지만 수평이어도 된다. 그러나, 본 실시형태에 의하면, 보유지지 롤러(63)의 둘레면(63a)의 노출을 적게 할 수 있어, 먼지의 포착 성능 및 비산 방지 성능을 향상시킬 수 있다.
저부(70) 및 좌우의 측부(72)는, 본체부(7A)에 의해 형성된 벽체이며, 저부(70)는 수평인 판 형상을 하고, 좌우의 측부(72)는 저부(70)로부터 세워 설치된 수직인 판 형상을 하고 있다. 저부(70) 및 좌우의 측부(72)는, 보유지지 롤러(63)의 둘레면(63a)의 주위에 위치하고 있고, 둘레면(63a)에 대향하고 있다. 저부(70) 상에는 영구자석(74)이 배치되어 있고, 철분(鐵粉) 등의 강자성체 먼지를 흡착하여 그 포착 성능을 향상시킨다.
전방부(73)는 분리부(7B)에 의해 형성된 벽체로서, 수직인 판 형상을 하고 있다. 분리부(7B)는, 좌우의 측부(72)와 겹치는 좌우의 귀부(76)를 가지고 있고, 귀부(76)에는 설치 홈(76a)이 설치되어 있다. 좌우의 측부(72)에는, 나사 구조에 의해 측부(72)에 장착되어 있는 고정 노브(77)가 설치되어 있다. 고정 노브(77)의 중간 부위를 설치 홈(76a)에 삽입하도록 하여, 분리부(7B)를 본체부(7A)에 장착하고, 고정 노브(77)를 측부(72)에 체결하면, 귀부(76)가 고정 노브(77)와 측부(72)의 사이에 협지되어, 분리부(7B)가 본체부(7A)에 고정된다. 이와 같이 하여 분리부(7B)가 본체부(7A)에 장착되면, 본체부(7A)의 전방부측의 개구가 전방부(73)에 의해 폐쇄되고, 전방부(73)는 롤러(63)의 단부면(63b)에 대향한다.
분리부(7B)는 전방부(73)에 접속된 트레이(75)를 가지고 있다. 트레이(75)에는 먼지가 낙하하여, 적재된다. 트레이(75)는 철 등의 강자성 재료로 이루어지고, 분리부(7B)를 본체부(7A)에 장착한 상태에서는, 트레이(75)가 자석(74) 위에 겹쳐진다. 트레이(75) 상의 철분 등의 강자성체 먼지는, 자석(74)의 자력에 의해 트레이(75)에 보유지지되기 쉬워진다. 분리부(7B)를 본체부(7A)로부터 떼어내면, 동시에 트레이(75)도 저부(70)로부터 떼어내지므로, 트레이(75)의 청소를 용이하게 행할 수 있다.
좌우의 측부(72)에는, 저부(70)로부터 Z 방향으로 이격된 중간판(78)이 설치되어 있다. 좌측 측부(72)에 설치된 좌측 중간판(78)은 우측 측부(72)로 돌출하도록 형성되고, 우측 측부(72)에 설치된 우측 중간판(78)은 좌측 측부(72)로 돌출하도록 형성되어 있다. 좌우의 중간판(78)의 X 방향의 사이에는 개구(79)가 형성되고, 보유지지 롤러(63)로부터 먼지가 트레이(75)에 낙하하여 포착된다. 중간판(78)은 측부(72)의 Y 방향의 폭과 마찬가지의 폭을 가지며, 집진 커버(7)의 내부 공간을 저부(70) 측과 천정부(71) 측으로 구획하며, 보유지지 유닛(6)이 회동하여 상하가 반전한 경우에, 저부(70) 측에 축적된 먼지가 천정부(71) 측으로 이동하는 것을 규제하는 규제 벽부로서 기능한다.
본 실시형태의 중간판(78)은, 측부(72) 측의 단부인 고정부(78a)와, 반대측의 단부인 경사부(78b)를 갖는다. 고정부(78a)는 측부(72)에 고정되며, 측부(72)로부터 수평으로 연장하는 부분이다. 경사부(78b)는 고정부(78a)로부터 경사져서 연장하는 부분이다. 이와 같이 중간판(78)은, 측부(72) 측과 반대측의 단부가 저부(70)를 향해 만곡한 형상을 가지고 있다. 이 형상은, 보유지지 롤러(63)로부터 트레이(7)로 먼지가 낙하하기 쉬운 한편, 보유지지 유닛(6)이 회동하여 상하가 반전한 경우에, 트레이(7)로부터 천정부(71)로 먼지가 되돌아가기 어려운 효과를 발휘한다.
한편, 본 실시형태에서는, 중간판(78)을, 평판 형상의 고정부(78a)와, 평판 형상의 경사부(78b)에 의해 만곡시키는 형태로 하였지만, 호 형상으로 만곡한 형태이어도 된다. 또한, 본 실시형태에서는 중간판(78)을 측부(72)에 고정하였지만, 전방부(73)에 고정해도 된다.
도 9의 (A)∼도 9의 (C)를 참조하여 보유지지 유닛(6)의 회동 시의 집진 커버(7)의 양태에 대해 설명한다. 도 9의 (A)는 집진 커버(7)가 천정부(71)가 위이고, 저부(70)가 아래인 자세를 취하고 있는 상태를 나타내고 있다. 도 9의 (A)에 있어서의 집진 커버(7)의 자세는, 도 5의 (A)에 도시한 보유지지 유닛(6)의 자세에 있어서, 롤러 지지 부재(62)에 지지된 각 집진 커버(7)의 자세에 상당한다. 기판 캐리어(100)에 대해 롤러(63)는 하면에 당접한다. 롤러(63)의 회전에 의해 먼지가 발생하면, 중력에 의해 개구(79)를 통과하여 트레이(75)에 낙하하여 포착되어, 먼지(200)는 트레이(75) 상에 적재된다.
도 9의 (B)는, 도 9의 (A)의 상태로부터 보유지지 유닛(6)이 90도 회동하였을 때의 집진 커버(7)의 자세를 나타내고 있다. 보유지지 유닛(6)의 회동에 의해 집진 커버(7)도 회동한다. 트레이(75)에 포착된 먼지(200)의 양이 많은 경우, 도 9의 (B)에 나타내는 바와 같이 먼지는 중력에 의해 트레이(75)의 단부(하측)로 이동하고, 먼지의 일부는 트레이(75)로부터 삐져나와, 하측의 위치가 된 측부(72) 상으로 넘치는 경우도 있다.
도 9의 (C)는, 도 9의 (B)의 상태로부터 보유지지 유닛(6)이 90도 더 회동하였을 때의 집진 커버(7)의 자세를 나타내고 있고, 보유지지 유닛(6)이 Z 방향 및 X 방향으로 반전했을 때의 집진 커버(7)의 자세를 나타내고 있다. 집진 커버(7)는 천정부(71)가 아래이고, 저부(70)가 위인 자세가 된다. 도 9의 (C)에 있어서의 집진 커버(7)의 자세는, 도 7의 (A)에 도시한 보유지지 유닛(6)의 자세에 있어서, 롤러 지지 부재(62)에 지지된 각 집진 커버(7)의 자세에 상당한다. 기판 캐리어(100)에 대해 롤러(63)는 하면에 당접한다. 트레이(75)에 포착되어 있었던 먼지나, 도 9의 (B)의 자세에 있어서, 측부(72) 상으로 넘친 먼지는, 중력에 의해 천정부(71) 측으로 이동하려고 하지만, 중간판(78)에 의해 이것이 저지된다. 따라서, 먼지(200)가 간극(71b)으로부터 집진 커버(7)의 외부로 비산하여, 기판 캐리어(100)에 보유지지되어 있는 기판(G)에 부착되는 것이 방지된다.
<집진 커버의 다른 형태>
도 10의 (A)∼도 10의 (C)는 집진 커버(7)의 다른 구성예를 나타낸다. 도시한 예는, 도 8∼도 9의 (C)에 예시한 집진 커버(7)와, 중간판(78)의 구성만이 다르며, 중간판(78')을 가지고 있다. 중간판(78')은 측부(72)에 고정된 고정부(78a')와, 고정부(78a')에 대해 각도가 가변인 가동부(78b')를 가지고 있다.
고정부(78a')는 도 8의 고정부(78)에 상당하고, 가동부(78b')는 경사부(78b)에 상당하지만, 경사부(78b)는 고정부(78a)와 일체적으로 형성되며, 각도가 불변이었던 것에 대하여, 가동부(78b')는 힌지(78c)를 통해 고정부(78a')에 연결되어 있고, 각도가 가변이다. 힌지(78c)는 Y 방향의 회동 중심 주위로, 고정부(78a')에 대해 가동부(78b')를 회동 가능하게 연결하고 있고, 가동부(78b')의 각도 범위(회동 범위)에는 돌기편에 의해 구조적으로 제한이 가해져 있다. 본 실시형태에서는, 힌지(78c)를 사용하여 가동부(78b')의 각도를 가변으로 하였지만, 탄성체에 의해 각도를 가변으로 하는 구조이어도 된다.
도 10의 (A)는 도 9의 (A)의 상태에 상당하고, 집진 커버(7)가 천정부(71)가 위이고, 저부(70)가 아래인 자세를 취하고 있는 상태를 나타내고 있다. 가동부(78b')는 수평 방향에 대해 경사부(78b)와 마찬가지의 각도를 가지고 경사져 있다. 롤러(63)의 회전에 의해 먼지가 발생하면, 중력에 의해 트레이(75)에 낙하하여 포착되어, 먼지(200)는 트레이(75) 상으로 적재된다.
도 10의 (B)는 도 9의 (B)의 상태에 상당하고, 도 10의 (A)의 상태로부터 보유지지 유닛(6)이 90도 회동하였을 때의 집진 커버(7)의 자세를 나타내고 있다. 이 때, 상측에 위치하고 있는 중간판(78')의 가동부(78b')는 그 자중에 의해 고정부(78a')에 대해 회동하고, 고정부(78a')와 가동부(78b')가 모두 수직인 자세로 되어 있다. 그 결과, 개구(79)가 절반 폐쇄된다. 하측에 위치하고 있는 중간판(78')에 대해서는 변화는 없다.
도 10의 (C)는 도 9의 (C)의 상태에 상당하고, 도 10의 (B)의 상태로부터 보유지지 유닛(6)이 90도 더 회동하였을 때의 집진 커버(7)의 자세를 나타내고 있다. 집진 커버(7)는 천정부(71)가 아래이고, 저부(70)가 위인 자세가 된다. 이 때, 도 10의 (B)의 단계에서 하측에 위치하고 있었던 중간판(78')의 가동부(78b')도 그 자중에 의해 고정부(78a')에 대해 회동하여, 고정부(78a')와 가동부(78b')가 모두 수평인 자세로 되어 있다. 그 결과, 개구(79)가 대략 전부 폐쇄된다. 트레이(75)에 포착되어 있었던 먼지나, 도 9의 (B)의 자세에 있어서, 측부(72) 상으로 넘친 먼지는, 중력에 의해 천정부(71) 측으로 이동하려고 하지만, 개구(79)가 폐쇄되어 있어, 중간판(78')에 의해 이것을 확실하게 저지할 수 있다. 따라서, 먼지(200)가 간극(71b)으로부터 집진 커버(7)의 외부로 비산하여, 기판 캐리어(100)에 보유지지되어 있는 기판(G)에 부착되는 것이 방지된다.
<롤러의 다른 형태>
전술한 형태에서는, 보유지지 유닛(6)이 복수의 보유지지 롤러(63)를 갖는 예를 설명하였다. 보유지지 롤러(63)와는 달리, 회동 유닛(8)은, 기판 캐리어(100)를 사이에 두도록 배치된 복수의 롤러를 구비하고 있어도 된다. 이들 롤러는, 예를 들면, 아이들 롤러이다. 어떤 상태에서, 기판 캐리어(100)의 하방에 있는 아이들 롤러는, 반송 롤러(5a)와 동일한 높이에 있다. 아이들 롤러 자신은 구동되지 않고, 주로 반송 롤러(5a)에의 기판 캐리어(100)의 하중을 분산할 목적으로 배치된다. 아이들 롤러는, 구동 수단과 연결되지 않기 때문에, 회동 유닛(8)과 함께 회동되도록 아이들 롤러를 구성하여도, 장치의 복잡화나 대형화를 회피할 수 있다. 따라서, 아이들 롤러가 기판 캐리어를 사이에 두도록 배치됨으로써, 장치의 간략화를 도모할 수 있다. 한편, 기판 캐리어(100)가 회동될 때에, 아이들 롤러가 기판 캐리어(100)를 보유지지하고 있지 않아도 된다.
전술한 형태에서 설명한 집진 커버(7)는, 아이들 롤러에도 설치해도 된다. 또한, 아이들 롤러에만 집진 커버(7)를 설치하고, 보유지지 롤러(63)에는, 커버를 설치하지 않는 구성으로 해도 된다. 예를 들면, 보유지지 유닛(6)의 보유지지부의 선단에 롤러를 사용하지 않는 경우 등을 들 수 있다.
<전자 디바이스>
다음으로, 전자 디바이스의 일례를 설명한다. 이하, 전자 디바이스의 예로서 유기 EL 표시 장치의 구성을 예시한다.
먼저, 제조하는 유기 EL 표시 장치에 대해 설명한다. 도 11의 (A)는 유기 EL 표시 장치(500)의 전체 도면, 도 11의 (B)는 1화소의 단면 구조를 나타내는 도면이다.
도 11의 (A)에 나타낸 바와 같이, 유기 EL 표시 장치(500)의 표시 영역(51)에는, 발광 소자를 복수 구비하는 화소(52)가 매트릭스 형상으로 복수 개 배치되어 있다. 상세한 것은 나중에 설명하지만, 발광 소자의 각각은, 한 쌍의 전극 사이에 끼워진 유기층을 구비한 구조를 가지고 있다.
한편, 여기서 말하는 화소란, 표시 영역(51)에 있어서 원하는 색의 표시를 가능하게 하는 최소 단위를 지칭한다. 컬러 유기 EL 표시 장치의 경우, 서로 다른 발광을 나타내는 제1 발광 소자(52R), 제2 발광 소자(52G), 및 제3 발광 소자(52B)의 복수의 부화소의 조합에 의해 화소(52)가 구성되어 있다. 화소(52)는, 적색(R) 발광 소자와 녹색(G) 발광 소자와 청색(B) 발광 소자의 3종류의 부화소의 조합으로 구성되는 경우가 많지만, 이에 한정되지 않는다. 화소(52)는 적어도 1종류의 부화소를 포함하면 되고, 2종류 이상의 부화소를 포함하는 것이 바람직하고, 3종류 이상의 부화소를 포함하는 것이 보다 바람직하다. 화소(52)를 구성하는 부화소로서는, 예를 들면, 적색(R) 발광 소자와 녹색(G) 발광 소자와 청색(B) 발광 소자와 황색(Y) 발광 소자의 4종류의 부화소의 조합이어도 된다.
도 11의 (B)는, 도 11의 (A)의 A-B 선에 있어서의 부분 단면 모식도이다. 화소(52)는, 기판(53) 상에 제1 전극(양극)(54)과, 정공 수송층(55)과, 적색층(56R)·녹색층(56G)·청색층(56B) 중 어느 하나와, 전자 수송층(57)과, 제2 전극(음극)(58)을 구비하는 유기 EL 소자로 구성되는 복수의 부화소를 가지고 있다. 이들 중 정공 수송층(55), 적색층(56R), 녹색층(56G), 청색층(56B), 전자 수송층(57)이 유기층에 해당한다. 적색층(56R), 녹색층(56G), 청색층(56B)은, 각각 적색, 녹색, 청색을 발하는 발광 소자(유기 EL 소자라고 기술하는 경우도 있음)에 대응하는 패턴으로 형성되어 있다.
또한, 제1 전극(54)은, 발광 소자마다 분리해서 형성되어 있다. 정공 수송층(55)과 전자 수송층(57)과 제2 전극(58)은, 복수의 발광 소자(52R, 52G, 52B)에 걸쳐 공통으로 형성되어 있어도 되고, 발광 소자마다 형성되어 있어도 된다. 즉, 도 11의 (B)에 나타내는 바와 같이, 정공 수송층(55)이 복수의 부화소 영역에 걸쳐 공통 층으로서 형성된 후에 적색층(56R), 녹색층(56G), 청색층(56B)이 부화소 영역마다 분리해서 형성되고, 나아가 그 위에 전자 수송층(57)과 제2 전극(58)이 복수의 부화소 영역에 걸쳐 공통 층으로서 형성되어 있어도 된다.
한편, 근접한 제1 전극(54) 사이에서의 쇼트를 방지하기 위해, 제1 전극(54) 사이에 절연층(59)이 설치되어 있다. 나아가, 유기 EL 층은 수분이나 산소에 의해 열화되기 때문에, 수분이나 산소로부터 유기 EL 소자를 보호하기 위한 보호층(600)이 설치되어 있다.
도 11의 (B)에서는 정공 수송층(55)이나 전자 수송층(57)이 하나의 층으로 나타내어져 있지만, 유기 EL 표시 소자의 구조에 따라, 정공 블록층이나 전자 블록층을 갖는 복수의 층으로 형성되어도 된다. 또한, 제1 전극(54)과 정공 수송층(55)의 사이에는 제1 전극(54)으로부터 정공 수송층(55)으로의 정공의 주입이 원활하게 행해지도록 하는 것이 가능한 에너지 밴드 구조를 갖는 정공 주입층을 형성해도 된다. 마찬가지로, 제2 전극(58)과 전자 수송층(57)의 사이에도 전자 주입층을 형성해도 된다.
적색층(56R), 녹색층(56G), 청색층(56B)의 각각은, 단일 발광층으로 형성되어 있어도 되고, 복수의 층을 적층함으로써 형성되어 있어도 된다. 예를 들면, 적색층(56R)을 2층으로 구성하고, 상측의 층을 적색의 발광층으로 형성하고, 하측의 층을 정공 수송층 또는 전자 블록층으로 형성해도 된다. 또는, 하측의 층을 적색의 발광층으로 형성하고, 상측의 층을 전자 수송층 또는 정공 블록층으로 형성해도 된다. 이와 같이 발광층의 하측 또는 상측에 층을 설치함으로써, 발광층에 있어서의 발광 위치를 조정하고, 광로 길이를 조정함으로써, 발광 소자의 색 순도를 향상시키는 효과가 있다.
한편, 여기서는 적색층(56R)의 예를 나타냈지만, 녹색층(56G)이나 청색층(56B)에서도 마찬가지의 구조를 채용해도 된다. 또한, 적층 수는 2층 이상이어도 된다. 나아가, 발광층과 전자 블록층과 같이 상이한 재료의 층이 적층되어도 되고, 예를 들면 발광층을 2층 이상 적층하는 등, 동일한 재료의 층이 적층되어도 된다.
이러한 전자 디바이스의 제조에 있어서, 전술한 성막 장치(1)가 적용 가능하며, 해당 제조 방법은, 기판(G)을 반송하는 반송 공정과, 반송되고 있는 기판(G)에 증착 장치(114)에 의해 각 층의 적어도 어느 하나의 층을 증착하는 증착 공정을 포함할 수 있다.
발명은 상기 실시형태에 제한되는 것이 아니고, 발명의 정신 및 범위로부터 이탈하지 않고서, 다양한 변경 및 변형이 가능하다. 따라서, 발명의 범위를 공개하기 위해 청구항을 첨부한다.
1: 성막 장치
6: 보유지지 유닛
63: 보유지지 롤러
7: 집진 커버
71: 천정부
70: 저부
78: 중간판
111: 자세 변화 장치
100: 기판 캐리어

Claims (11)

  1. 기판 캐리어의 자세를 변화시키는 자세 변화 장치로서,
    상기 기판 캐리어를 회동시키는 회동 수단을 구비하고,
    상기 회동 수단은,
    상기 기판 캐리어를 사이에 두도록 하여 배치된 복수의 롤러와,
    상기 복수의 롤러 중 적어도 하나에 설치되고, 상기 롤러를 개별적으로 둘러싸는 집진 커버를 포함하고,
    상기 집진 커버는,
    상기 롤러의 둘레면이 노출된 천정부와,
    상기 롤러의 둘레면에 대향하도록 형성된 저부와,
    상기 저부로부터 이격되어 배치되고, 상기 회동 수단이 상기 기판 캐리어를 회동시킬 때, 상기 저부 측의 먼지가 상기 천정부 측으로 이동하는 것을 규제하는 규제 벽부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  2. 기판 캐리어의 자세를 변화시키는 자세 변화 장치로서,
    상기 기판 캐리어를 회동시키는 회동 수단을 구비하고,
    상기 회동 수단은,
    상기 기판 캐리어를 사이에 두도록 하여 배치된 복수의 롤러와,
    상기 복수의 롤러 중 적어도 하나에 설치되고, 상기 롤러를 개별적으로 둘러싸는 집진 커버를 포함하고,
    상기 집진 커버는,
    상기 롤러의 둘레면에 대향하도록 형성된 저부와,
    상기 롤러의 둘레면에 대향하도록 상기 저부로부터 세워 설치된 좌측 측부 및 우측 측부와,
    상기 좌측 측부로부터 상기 우측 측부로 돌출하도록 형성된 좌측 중간판과,
    상기 우측 측부로부터 상기 좌측 측부로 돌출하도록 형성된 우측 중간판을 구비하는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 좌측 중간판의 우측의 단부가 상기 저부를 향해 만곡하고,
    상기 우측 중간판의 좌측의 단부가 상기 저부를 향해 만곡하고 있는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 좌측 중간판은, 상기 좌측 측부에 고정된 제1 고정부와, 상기 제1 고정부에 대해 각도가 가변인 제1 가동부를 포함하고,
    상기 우측 중간판은, 상기 우측 측부에 고정된 제2 고정부와, 상기 제2 고정부에 대해 각도가 가변인 제2 가동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 집진 커버의 자세가, 상기 저부가 하측인 자세인 경우, 상기 좌측 중간판과 상기 우측 중간판의 사이에 개구가 형성되도록 상기 제1 가동부와 상기 제2 가동부가 변위하고,
    상기 집진 커버의 자세가, 상기 저부가 상측인 자세인 경우, 상기 개구가 폐쇄되도록 상기 제1 가동부와 상기 제2 가동부가 변위하는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 저부에 자석이 배치되는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 저부 상에, 탈착 가능한 트레이가 배치되는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 캐리어를 반송하는 복수의 반송 롤러와,
    상기 복수의 반송 롤러를, 반송 위치와, 상기 회동 수단이 회동할 때에 상기 회동 수단 또는 상기 기판 캐리어와의 간섭을 회피하는 퇴피 위치의 사이에서 이동하는 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  9. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 롤러는,
    상기 기판 캐리어의 일방 측에 위치하는 복수의 제1 롤러와,
    상기 기판 캐리어의 타방 측에 위치하는 복수의 제2 롤러를 포함하고,
    상기 복수의 제1 롤러와 상기 복수의 제2 롤러는, 상기 회동 수단에 의한 회동에 의해 위치가 서로 바뀌는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  10. 기판 캐리어의 자세를 변화시키는 자세 변화 장치로서,
    상기 기판 캐리어를 회동시키는 회동 수단과,
    상기 기판 캐리어를 반송하는 복수의 반송 롤러와,
    상기 복수의 반송 롤러를, 반송 위치와, 상기 회동 수단이 회동할 때에 상기 회동 수단 또는 상기 기판 캐리어와의 간섭을 회피하는 퇴피 위치의 사이에서 이동하는 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 자세 변화 장치.
  11. 제1항 또는 제10항에 기재된 자세 변화 장치와,
    기판 캐리어에 보유지지되어 있는 기판에, 증착 물질을 증착하는 증착 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 성막 장치.
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