JP2022092404A - 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
水平な搬送方向に基板を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置の下方に配置され、前記基板に蒸着物質を蒸着する蒸着装置と、を備え、
前記基板を搬送しながら蒸着を行うインライン型の成膜装置であって、
前記搬送装置は、
前記基板の搬送空間を形成する搬送チャンバと、
前記搬送チャンバの天井部の内面を覆う複数の防着部材と、を備え、
前記搬送チャンバは、前記基板の搬入口を有する第一の端部を備え、
前記複数の防着部材は、
前記天井部の前記内面に沿って配置された第一の防着部材と、
前記第一の防着部材に対して、前記第一の端部の側に配置された第二の防着部材と、を含み、
前記第二の防着部材は、
前記第一の防着部材の側から前記第一の端部の側に延びる横壁部と、
前記横壁部から下方へ延びる縦壁部と、を有する、
ことを特徴とする成膜装置が提供される。
図1は本発明の一実施形態に係る成膜装置1の正面図、図2は成膜装置1の側面図である。図3は成膜装置1の内部構造を示す説明図である。なお、各図において矢印X及びYは互いに直交する水平方向を示し、矢印Zは垂直方向(鉛直方向)を示す。成膜装置1は、搬送装置2と、複数の蒸着装置3と、を備える。複数の蒸着装置3はX方向に並べて配置されており、搬送装置2はこれら蒸着装置3の上方に位置するよう、フレーム4に支持されている。フレーム4は複数の支柱4aと複数の支柱4aに支持された複数の梁4bとを備え、搬送装置2は梁4bに固定されている。
搬送チャンバ20とその防着構造について図1~図3に加えて、図5(A)及び図5(B)を参照して説明する。図5(A)及び図5(B)は搬送チャンバ20に設けられる防着部材8A~8C(総称する場合、区別しない場合は防着部材8と称す)、防着部材9A及び9B(総称する場合、区別しない場合は防着部材9と称す)、及び、防着部材10A及び10B(総称する場合、区別しない場合は防着部材10と称す)の取り外し例の説明図である。
防着部材9Aの構成は図6の構成に限られない。防着部材9Aの他の構成例について説明する。なお、以下の構成例は防着部材9Bについても適用可能である。
次に、電子デバイスの一例を説明する。以下、電子デバイスの例として有機EL表示装置の構成を例示する。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
Claims (11)
- 水平な搬送方向に基板を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置の下方に配置され、前記基板に蒸着物質を蒸着する蒸着装置と、を備え、
前記基板を搬送しながら蒸着を行うインライン型の成膜装置であって、
前記搬送装置は、
前記基板の搬送空間を形成する搬送チャンバと、
前記搬送チャンバの天井部の内面を覆う複数の防着部材と、を備え、
前記搬送チャンバは、前記基板の搬入口を有する第一の端部を備え、
前記複数の防着部材は、
前記天井部の前記内面に沿って配置された第一の防着部材と、
前記第一の防着部材に対して、前記第一の端部の側に配置された第二の防着部材と、を含み、
前記第二の防着部材は、
前記第一の防着部材の側から前記第一の端部の側に延びる横壁部と、
前記横壁部から下方へ延びる縦壁部と、を有する、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記横壁部と前記縦壁部とは、L字型を形成している、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記複数の防着部材は、
前記第二の防着部材の前記縦壁部の下端部から前記第一の端部の側へ延びる第三の防着部材を含む、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記第二の防着部材は、
前記縦壁部の下端部から前記第一の端部の側へ延びる下側横壁部を有する、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記第一の端部は、前記搬入口の周囲を補強する補強リブを有し、
前記補強リブは、前記第一の端部と前記縦壁部との間に位置している、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記搬送チャンバは、前記第二の防着部材を係止するフック部を有する、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記搬送チャンバは、
前記天井部の一部に相当する部分に開口部を有するチャンバ本体と、
前記開口部を塞ぐ蓋部材と、を備え、
前記第一の防着部材としての複数の防着部材が前記蓋部材に支持されている、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記搬送チャンバは、
前記基板の搬出口を有し、前記搬送方向で前記第一の端部と反対側の第二の端部を備え、
前記複数の防着部材は、
前記第一の防着部材に対して、前記第二の端部の側に配置された第四の防着部材と、を含み、
前記第四の防着部材は、
前記第一の防着部材の側から前記第二の端部の側に延びる横壁部と、
前記横壁部から下方へ延びる縦壁部と、を有する、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項8に記載の成膜装置であって、
前記複数の防着部材は、
前記第四の防着部材の前記縦壁部の下端部から前記第二の端部の側へ延びる第五の防着部材を含む、
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置を用いた成膜方法であって、
前記搬送装置によって前記基板を搬送する搬送工程と、
搬送されている前記基板に、前記蒸着装置によって蒸着を行う蒸着工程と、を有する、
ことを特徴とする成膜方法。 - 請求項1に記載の成膜装置を用いた電子デバイスの製造方法であって、
前記搬送装置によって前記基板を搬送する搬送工程と、
搬送されている前記基板に、前記蒸着装置によって蒸着を行う蒸着工程と、を有する、
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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