JP7051471B2 - 蒸着装置及び蒸着方法 - Google Patents
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Description
上記蒸着源は、上記真空容器内に設けられ、蒸着材料が収容される。
上記膜厚センサは、上記蒸着源に対向する水晶振動子と、上記水晶振動子を遮蔽可能なシャッタとを有する。
上記制御装置は、上記水晶振動子に堆積する蒸着材料の蒸着速度を定期的に検知することによって、基板に形成される上記蒸着材料の膜厚を制御する。
上記制御装置は、上記シャッタを開けた後に、上記水晶振動子によって検知された上記蒸着速度の変化量を算出し、上記変化量が目的値である場合には、上記シャッタを閉じて、上記蒸着速度に基づいて上記基板に形成される上記蒸着材料の上記膜厚を制御する。
上記シャッタを開けた後に、上記水晶振動子によって検知された上記蒸着速度の変化量が算出され、上記変化量が目的値である場合には、上記シャッタを閉じて、上記蒸着速度に基づいて上記基板に形成される上記蒸着材料の上記膜厚が制御される。
10…真空容器
20、20s…蒸着源
20m…蒸着材料
30…基板搬送機構
40…膜厚測定器
41、42…膜厚センサ
41s、42s…シャッタ
41b、42b…本体
41c、42c…水晶振動子
41h…開口
50…温度センサ
60…制御装置
90…基板
90d…成膜対象面
91…基板ホルダ
Claims (8)
- 真空容器と、
前記真空容器内に設けられ、蒸着材料が収容される蒸着源と、
前記蒸着源に対向する水晶振動子と、前記水晶振動子を遮蔽可能なシャッタとを有する膜厚センサと、
前記水晶振動子に堆積する蒸着材料の蒸着速度を定期的に前記シャッタを開けて検知することによって、基板に形成される前記蒸着材料の膜厚を制御する制御装置と
を具備し、
前記制御装置は、
前記シャッタを前記定期的に開けた後に、前記水晶振動子によって検知された前記蒸着速度の変化量を算出し、前記変化量が目的値である場合には、前記シャッタを閉じて、前記蒸着速度に基づいて前記基板に形成される前記蒸着材料の前記膜厚を制御し、前記水晶振動子の共振周波数の変動の要因によって前記変化量が目的値でないと判断した場合には、前記シャッタを開けた後の定められた許容時間内で、前記水晶振動子によって前記蒸着速度を再検知し、再検知された前記蒸着速度の変化量が目的値であるか否かの判断を行う
蒸着装置。 - 請求項1に記載された蒸着装置であって、
前記制御装置は、前記蒸着速度に基づく前記膜厚の制御に進む前に、前記蒸着速度と、前回に検知された蒸着速度との差を求め、前記差が目的値である場合には、前記シャッタを閉じて前記蒸着速度に基づく前記膜厚の制御に進む
蒸着装置。 - 請求項2に記載された蒸着装置であって、
前記制御装置は、前記許容時間内における前記変化量、または前記差が目的値でない場合には、前記シャッタを閉じ、前記シャッタを再び開けて前記変化量または前記差を再び求めるリトライ動作を実行する
蒸着装置。 - 請求項3に記載された蒸着装置であって、
前記制御装置は、前記リトライ動作が許容回数以下の場合には、前記水晶振動子を用いた前記膜厚の制御を停止し、前記蒸着源の温度が前記制御を停止する直前の温度で維持される制御を行う
蒸着装置。 - 蒸着材料が収容される蒸着源と、水晶振動子と、前記水晶振動子を遮蔽可能なシャッタとを有する膜厚センサとを用い、前記水晶振動子に堆積する前記蒸着材料の蒸着速度を定期的に前記シャッタを開けて検知することによって、基板に形成される前記蒸着材料の膜厚を制御する蒸着方法であって、
前記シャッタを前記定期的に開けた後に、前記水晶振動子によって検知された前記蒸着速度の変化量を算出し、前記変化量が目的値である場合には、前記シャッタを閉じて、前記蒸着速度に基づいて前記基板に形成される前記蒸着材料の前記膜厚を制御し、前記水晶振動子の共振周波数の変動の要因によって前記変化量が目的値でないと判断した場合には、前記シャッタを開けた後の定められた許容時間内で、前記水晶振動子によって前記蒸着速度を再検知し、再検知された前記蒸着速度の変化量が目的値であるか否かの判断を行う
蒸着方法。 - 請求項5に記載された蒸着方法であって、
前記蒸着速度に基づく前記膜厚の制御に進む前に、前記蒸着速度と、前回に検知された蒸着速度との差を求め、前記差が目的値である場合には、前記シャッタを閉じて前記蒸着速度に基づく前記膜厚の制御に進む
蒸着方法。 - 請求項6に記載された蒸着方法であって、
前記許容時間内における前記変化量または前記差が目的値でない場合には、前記シャッタを閉じ、前記シャッタを再び開けて前記変化量または前記差を再び求めるリトライ動作を実行する
蒸着方法。 - 請求項7に記載された蒸着方法であって、
前記リトライ動作が許容回数以下の場合には、前記水晶振動子を用いた前記膜厚の制御を停止し、前記蒸着源の温度が前記制御を停止する直前の温度で維持される
蒸着方法。
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