JP7319140B2 - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Description
上記成膜源は、蒸着材料を収容する蒸発容器を有し、上記蒸発容器から対象物に向けて上記蒸着材料を噴出する。
上記検知センサは、上記成膜源から噴出する上記蒸着材料の蒸着速度を検知する。
上記加熱装置は、上記蒸発容器に収容された上記蒸着材料を加熱する。
上記記憶装置は、上記蒸発容器の構造、上記蒸着材料の種類及び量、及び上記蒸着材料の蒸着経過時間に応じた、上記蒸着速度と上記加熱装置の加熱電力との関係を格納する。
上記制御装置は、上記蒸着材料の上記対象物への蒸着を進行させる際、上記記憶装置から上記関係を取得し、上記蒸着経過時間に応じて、上記蒸着速度の目的値に対応した加熱電力で上記加熱装置を作動する制御を行い、上記目的値と上記検知センサが検知した蒸着速度とに偏差が生じた場合、上記偏差を零に漸近させる補償演算結果を上記加熱電力に加算して上記加熱装置を制御する。
成膜装置。
上記の成膜方法では、蒸発容器の構造、蒸着材料の種類及び量、及び上記蒸着材料の蒸着経過時間に応じた、上記蒸着材料の蒸着速度と加熱装置の加熱電力との関係が取得される。
上記蒸着材料の上記対象物への蒸着を進行させる際、上記蒸着経過時間に応じて、上記蒸着速度の目的値に対応した加熱電力で上記加熱装置を作動する制御を行い、上記目的値と検知センサが検知した蒸着速度とに偏差が生じた場合、上記偏差を零に漸近させる補償演算結果を上記加熱電力に加算して上記加熱装置が制御される。
10…真空容器
20…成膜源
20s…蒸発容器
20m…蒸着材料
30…加熱装置
40…検知センサ
41b…本体
41c…水晶振動子
41s…シャッタ
41h…開口
50…温度センサ
60…制御装置
61…記憶装置
90…基板
90d…成膜対象面
91…基板ホルダ
92…基板搬送機構
Claims (5)
- 蒸着材料を収容する蒸発容器を有し、前記蒸発容器から対象物に向けて前記蒸着材料を噴出する成膜源と、
前記成膜源から噴出する前記蒸着材料の蒸着速度を検知する検知センサと、
前記蒸発容器に収容された前記蒸着材料を加熱する加熱装置と、
前記蒸発容器の構造、前記蒸着材料の種類及び量、及び前記蒸着材料の蒸着経過時間に応じた、前記蒸着速度と前記加熱装置の加熱電力との関係が格納された記憶装置と、
前記蒸着材料の前記対象物への蒸着を進行させる際、蒸着開始から蒸着終了までフィードフォワード制御によって前記加熱電力を制御し、
前記フィードフォワード制御においては、前記記憶装置から前記関係を取得し、前記関係から、蒸着時間を複数に分割し、前記蒸着時間が分割された複数の分割点のそれぞれにおける前記加熱電力を互いに直線状に結んだデータに基づき、前記蒸着経過時間に応じて、前記蒸着速度の目的値に対応した加熱電力で前記加熱装置を作動する制御を行い、
前記蒸着経過時間において、前記目的値と前記検知センサが検知した蒸着速度とに偏差が生じた場合には帰還制御を利用し、
前記帰還制御においては、前記偏差を零に漸近させる補償演算結果を前記目的値に対応した前記加熱電力の15%以内で前記加熱電力に加算して前記加熱装置を制御する制御装置と
を具備する成膜装置。 - 請求項1に記載された成膜装置であって、
前記制御装置は、
前記蒸着経過時間において定期的に前記帰還制御で用いられる伝達関数の設定値を変更して、前記加熱装置を制御する
成膜装置。 - 請求項1または2に記載された成膜装置であって、
前記制御装置は、
前記蒸着材料を前記対象物に形成する際に、定期的に前記帰還制御を停止して前記加熱装置を制御する
成膜装置。 - 蒸着材料を蒸発容器に収容し、前記蒸着材料を加熱装置により加熱し、前記蒸発容器から対象物に向けて前記蒸着材料を噴出させて前記対象物に前記蒸着材料を堆積する成膜方法において、
前記蒸着材料の前記対象物への蒸着を進行させる際、蒸着開始から蒸着終了までフィードフォワード制御によって前記加熱電力を制御し、
前記フィードフォワード制御においては、蒸発容器の構造、蒸着材料の種類及び量、及び前記蒸着材料の蒸着経過時間に応じた、前記蒸着材料の蒸着速度と加熱装置の加熱電力との関係を取得し、前記関係から、蒸着時間を複数に分割し、前記蒸着時間が分割された複数の分割点のそれぞれにおける前記加熱電力を互いに直線状に結んだデータに基づき、前記蒸着経過時間に応じて、前記蒸着速度の目的値に対応した加熱電力で前記加熱装置を作動する制御を行い、
前記蒸着経過時間において、前記目的値と検知センサが検知した蒸着速度とに偏差が生じた場合には帰還制御を利用し、
前記帰還制御においては、前記偏差を零に漸近させる補償演算結果を前記目的値に対応した前記加熱電力の15%以内で前記加熱電力に加算して前記加熱装置を制御する
を具備する成膜方法。 - 請求項4に記載された成膜方法であって、
前記関係を前記蒸着材料を前記対象物に蒸着する際に即時的に取得する
成膜方法。
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JP2019154381A JP7319140B2 (ja) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | 成膜装置及び成膜方法 |
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JP2019154381A JP7319140B2 (ja) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | 成膜装置及び成膜方法 |
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JP2021031739A JP2021031739A (ja) | 2021-03-01 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050115502A1 (en) | 2003-10-08 | 2005-06-02 | Mark George | System and method for feedforward control in thin film coating processes |
JP2010077519A (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Hoya Corp | レンズの成膜方法及び蒸着装置 |
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- 2019-08-27 JP JP2019154381A patent/JP7319140B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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US20050115502A1 (en) | 2003-10-08 | 2005-06-02 | Mark George | System and method for feedforward control in thin film coating processes |
JP2010077519A (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Hoya Corp | レンズの成膜方法及び蒸着装置 |
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