JP2022079453A - 金属表面上のエッチレジストパターンの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
カチオン性反応性成分(固定化反応性成分)の例としては、限定しないが、ポリアミド、例えばポリエチレンイミン、二価金属塩、有機酸または無機酸の両方、ビニルピロリドン、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドのヘテロポリマー、並びにメタクリロイルアミノプロピルラウリルジメチルアンモニウムクロライド、ポリ第四級アミン、および天然の形態かまたはアンモニウム塩として存在するポリアミン等が挙げられる。
本発明は、例えば、以下を提供する:
(項目1)
方法であって、
第1の反応性成分を含む第1の液体組成物を金属表面上に適用してプライマー層を形成するステップと、
ノンインパクト印刷プロセスによる像様の印刷により前記プライマー層上に第2の反応性成分を含む第2の液体組成物を適用して所定のパターンに従ってエッチレジストマスクを生成するステップとを含み、
前記第2の液体組成物の液滴が前記プライマー層に接触すると、前記第2の反応性成分は液滴を固定化するように前記第1の反応性成分と化学反応を起こすことを特徴とする方法。
(項目2)
項目1に記載の方法であって、
前記第1の反応性成分は固定化反応性成分であり、前記第2の反応性成分はエッチレジスト反応性成分であることを特徴とする方法。
(項目3)
項目1に記載の方法であって、
前記第1の反応性成分はエッチレジスト反応性成分であり、前記第2の反応性成分は固定化反応性成分であることを特徴とする方法。
(項目4)
項目2または3に記載の方法であって、
前記固定化反応性成分および前記エッチレジスト反応性成分は水溶性であり、化学反応は水および酸性エッチ溶液に不溶性の二成分材料を生成することを特徴とする方法。
(項目5)
項目1に記載の方法であって、
前記化学反応に関与しなかった前記プライマー層の部分を除去するステップと、
前記エッチレジストマスクで覆われていない露出した金属部分を除去するために、金属エッチング溶液を用いてエッチングプロセスを実行するステップとを更に含むことを特徴とする方法。
(項目6)
項目5に記載の方法であって、
前記プライマー層の部分を除去するステップと、前記エッチングプロセスを実行するステップとが同時に実施されることを特徴とする方法。
(項目7)
項目1に記載の方法であって、
前記第1の液体組成物の適用が、ノンインパクト印刷によって像様に行われることを特徴とする方法。
(項目8)
項目1に記載の方法であって、
前記第1の反応性成分および前記第2の反応性成分のいずれか一方が固定化成分であり、
前記固定化成分は、ポリエチレンイミン、二価の金属塩、酸、ビニルピロリドンのヘテ
ロポリマー、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド、メタクリロイルアミノプロピルラウリルジメチルアンモニウムクロライド、ポリ四級アミン、天然形態かまたはアンモニウム塩として存在するポリアミン、またはそれらの任意の混合物の少なくとも1つを含むことを特徴とする方法。
(項目9)
項目1に記載の方法であって、
前記第1の反応性成分および前記第2の反応性成分のいずれか一方は、アクリレート、スチレンアクリレート、ホスフェート、スルホネートおよびそれらの任意の混合物の少なくとも1つを含むエッチレジスト成分であることを特徴とする方法。
(項目10)
金属層上にエッチングレジストマスクを適用するための二液型インク組成物セットであって、
固定化反応性成分を含む第1の液体組成物と、
エッチレジスト反応性成分を含む第2の液体組成物とを含み、
前記固定化反応性成分および前記エッチレジスト反応性成分は化学反応を起こして水および酸性エッチ溶液に不溶性の二成分材料を形成することができることを特徴とする二液型インク組成物セット。
(項目11)
項目10に記載の二液型インク組成物セットであって、
前記固定化成分は、ポリエチレンイミン、二価の金属塩、酸、ビニルピロリドンのヘテロポリマー、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド、メタクリロイルアミノプロピルラウリルジメチルアンモニウムクロライド、ポリ四級アミン、天然形態かまたはアンモニウム塩として存在するポリアミン、またはそれらの任意の混合物の少なくとも1つを含むことを特徴とする二液型インク組成物セット。
(項目12)
項目10に記載の二液型インク組成物セットであって、
前記エッチレジスト成分は、アクリレート、スチレンアクリレート、ホスフェート、スルホネートおよびそれらの任意の混合物の少なくとも1つを含むことを特徴とする二液型インク組成物セット。
Claims (21)
- 方法であって、
第1の反応性ポリマー成分を含む第1の組成物を基板の金属層上に堆積させるステップと、
前記基板の選択された部分上に第2の反応性ポリマー成分を含む第2の組成物を堆積させて、前記第1の反応性ポリマー成分と前記第2の反応性ポリマー成分との間の化学反応により、前記金属層の選択された領域を保護するためのパターンで二成分材料マスクを形成するステップと、
エッチ溶液を堆積させて、前記二成分材料マスクによって保護されていない領域の前記金属層を除去するステップと、を含む方法。 - 前記第1の反応性ポリマー成分は固定化反応性成分であり、前記第2の反応性ポリマー成分はエッチレジスト反応性成分である、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の反応性ポリマー成分はエッチレジスト反応性成分であり、前記第2の反応性ポリマー成分は固定化反応性成分である、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の反応性ポリマー成分および前記第2の反応性ポリマー成分のうちの一方がカチオン性成分を含み、そして前記第1の反応性ポリマー成分および前記第2の反応性ポリマー成分のうちの他方がアニオン性成分を含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記カチオン性成分が、1個のイミン基、1個のアミン基、またはその両方を含み、
前記アニオン性成分が、1個のホスフェート基、1個のスルホネート基、1個のアクリレート基、またはこれらの任意の組み合わせを含む、請求項4に記載の方法。 - 前記二成分材料マスクは、水および前記エッチ溶液のうちの少なくとも1つに不溶性である、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第2の組成物を堆積させるステップの前に、前記金属層上に堆積された前記第1の組成物を乾燥させるステップをさらに含む、請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属層上に堆積された前記第1の組成物の前記化学反応を起こさない1つ以上の追加の成分を除去するステップを更に含む、請求項1から7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第1の組成物の1つ以上の追加の成分を除去するステップと、前記エッチ溶液を堆積させるステップと、が同時に実施される、請求項8に記載の方法。
- 前記エッチ溶液を堆積させるステップの後に、前記二成分材料マスクを除去するステップとを含む、請求項1から9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第1の組成物、前記第2の組成物、またはその両方が、インクジェット印刷によって堆積される、請求項1から10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属層が銅を含む、請求項1から11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第2の組成物が染料を更に含む、請求項1から12のいずれか1項に記載の方法。
- 方法であって、
第1のポリマー成分を含む第1の組成物を基板の金属層上に堆積させるステップと、
前記基板の選択された部分上に第2のポリマー成分を含む第2の組成物を堆積させて、前記第1のポリマー成分と前記第2のポリマー成分との間の化学反応により、前記金属層の選択された領域を保護するためのパターンで二成分材料マスクを形成するステップと、
前記二成分材料マスクによって保護されていない領域の前記金属層を除去するステップと、を含む方法。 - 前記第1の組成物を堆積させるステップの前に、前記第2の組成物を堆積させるステップを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記エッチ溶液を堆積させるステップの後に、前記二成分材料マスクを除去するステップ、を含む請求項14または15に記載の方法。
- 前記第2の組成物を堆積させるステップの前に、前記金属層上に堆積された前記第1の組成物を乾燥させるステップを含む、請求項14から16のいずれか1項に記載の方法。
- 方法であって、
第1のポリマー成分および酸を含む第1の組成物を基板の金属層上に堆積させるステップと、
前記基板の選択された部分上に第2のポリマー成分を含む第2の組成物を堆積させて、前記第1のポリマー成分と前記第2のポリマー成分との間の化学反応により、前記金属層の選択された領域を保護するためのパターンで二成分材料マスクを形成するステップと、
前記二成分材料マスクによって保護されていない領域の前記金属層を除去するステップと、を含む方法。 - 前記第2の組成物を堆積させるステップの前に、前記第1の組成物を堆積させるステップを含む、請求項18に記載の方法。
- 前記エッチ溶液を堆積させるステップの後に、前記二成分材料マスクを除去するステップを含む、請求項18または19に記載の方法。
- 前記第2の組成物を堆積させるステップの前に、前記金属層上に堆積された前記第1の組成物を乾燥させるステップを含む、請求項18から20のいずれか1項に記載の方法。
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