JP2018527463A5

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Info

Publication number: JP2018527463A5
Application number: JP2018507595A
Authority: JP
Filing date: 2016-07-27
Publication date: 2019-08-29
Anticipated expiration: 2036-07-27

Description

本発明の特定の特徴を本明細書および図面において説明されてきたが、当業者であれば多くの改変態様、要素の置換および変更、および均等物を容易に想到されよう。従って、添付の特許請求の範囲は、本発明の精神の範囲に含まれる、あらゆるそのような修正および変更を含むことが意図されていることを理解されたい。
本発明は、例えば、以下を提供する：
（項目１）
基板上に金属パターンを形成する方法であって、
金属表面を化学的に活性化させる活性化剤を有する化学的表面活性化溶液を前記基板に結合された前記金属表面上に適用するステップと、
活性化された前記金属表面上にエッチレジストインクをノンインパクト印刷して、所定のパターンに従ってエッチレジストマスクを生成するステップであって、前記エッチレジストインク中の少なくとも１つのインク成分が、活性化された前記金属表面と化学反応を起こして前記エッチレジストインクの液滴を固定化する、該ステップと、
前記エッチレジストマスクで覆われていない非マスクの金属部分を除去するエッチングプロセスを行うステップと、
前記エッチレジストマスクを除去するステップとを含むことを特徴とする方法。
（項目２）
項目１に記載の方法であって、
前記金属パターンは、５０μｍ未満の幅を有する金属線を含むことを特徴とする方法。
（項目３）
項目１に記載の方法であって、
前記エッチレジストマスクは、５０μｍ未満の幅を有する線を含むことを特徴とする方法。
（項目４）
項目１に記載の方法であって、
前記金属パターンは、３０μｍ未満の幅を有する金属線を含むことを特徴とする方法。
（項目５）
項目１に記載の方法であって、
前記エッチレジストマスクは、３０μｍ未満の幅を有する線を含むことを特徴とする方法。
（項目６）
項目１に記載の方法であって、
印刷する前に、溶媒を用いて前記金属表面から前記化学的表面活性化溶液を除去するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
（項目７）
項目１に記載の方法であって、
前記化学反応を起こす前記インク成分はアニオン成分であることを特徴とする方法。
（項目８）
項目１に記載の方法であって、
活性化された前記金属表面との化学反応を起こす前記インク成分は、アクリレート、ホスフェート、スルホネートまたはそれらの混合物から選択されるポリマー成分であることを特徴とする方法。
（項目９）
項目１に記載の方法であって、
前記活性化剤は、銅塩、第二鉄塩、クロム硫酸、過硫酸塩、亜塩素酸ナトリウムおよび過酸化水素の少なくとも１つまたはそれらの混合物を含むことを特徴とする方法。
（項目１０）
項目１に記載の方法であって、
前記適用するステップは、約１０〜６０秒間、前記化学的表面活性化溶液を含む槽に前記金属表面を浸漬するステップを含むことを特徴とする方法。
（項目１１）
項目１に記載の方法であって、
前記適用するステップは、前記化学的表面活性化溶液を前記金属表面の上にスプレーするステップを含むことを特徴とする方法。
（項目１２）
項目１に記載の方法であって、
前記ノンインパクト印刷が、インクジェット印刷を含むことを特徴とする方法。

Claims

基板上に金属パターンを形成する方法であって、
無機活性化剤を含む化学的表面活性化水溶液を前記基板に結合された前記金属層の表面上に適用するステップであって、前記無機活性化剤は、前記金属層を化学的に活性化させて、前記表面において前記金属層から金属のイオンを形成する、ステップと、
前記金属層を化学的に活性化させた後に、前記金属層の前記表面上にエッチレジストインクをノンインパクト印刷して、所定のパターンに従ってエッチレジストマスクを生成するステップであって、前記エッチレジストインクの液滴が前記金属層の前記表面に当たるときに、前記エッチレジストインク中の少なくとも１つのインク成分が、前記金属層と化学反応を起こして前記エッチレジストインクの液滴を固定化する、該ステップと、
前記金属層の、前記エッチレジストマスクで覆われていない部分を除去するエッチングプロセスを行うステップと、
前記エッチレジストマスクを除去して前記金属パターンを形成するステップとを含むことを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記エッチングプロセスを行うステップによって形成される前記金属パターンは、５０μｍ未満の幅を有する複数の金属線を含むことを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記ノンインパクト印刷から生成される前記エッチレジストマスクは、５０μｍ未満の幅を有する複数の線を含むことを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記エッチングプロセスを行うステップによって形成される前記金属パターンは、３０μｍ未満の幅を有する複数の金属線を含むことを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記ノンインパクト印刷から生成される前記エッチレジストマスクは、３０μｍ未満の幅を有する線を含むことを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
印刷する前に、溶媒を用いて、前記金属層の活性化された前記表面から前記化学的表面活性化水溶液を除去するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記化学反応を起こす前記インク成分はアニオン成分であることを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記金属層の活性化された前記表面との化学反応を起こす前記インク成分は、アクリレート、ホスフェート、スルホネートまたはそれらの任意の組み合わせを含むポリマー成分であることを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記無機活性化剤は、銅塩、第二鉄塩、クロム硫酸、過硫酸塩、亜塩素酸ナトリウムおよび過酸化水素の少なくとも１つまたはそれらの混合物を含むことを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記化学的表面活性化水溶液を適用するステップは、約１０〜約６０秒間、前記化学的表面活性化水溶液を含む槽に前記金属表面を浸漬するステップを含むことを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記化学的表面活性化水溶液を適用するステップは、前記化学的表面活性化水溶液を前記金属表面の上にスプレーするステップを含むことを特徴とする方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記金属層の活性化された前記表面上に前記エッチレジストインクをノンインパクト印刷するステップが、インクジェット印刷を含むことを特徴とする方法。