JP2022067447A - 光架橋性樹脂、絶縁層およびこれを備えた有機トランジスタ - Google Patents
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Abstract
Description
式(1)中のR1におけるC1~C6のアルキル基としては特に制限がなく、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基等を挙げることができ、好ましくはメチル基またはエチル基を挙げることができる。
式(1)中のL1における2価の連結基としては、放射線で容易に構造変化を起こさない2価の有機基であれば特に制限がなく、例えば、酸素原子、硫黄原子、置換アルキレン基、置換アリーレン基、カルボニル基、アルキルアミノ基等を挙げることができ、好ましくは酸素原子、置換アルキレン基、置換アリーレン基からなる群の一種を挙げることができる。
式(1)中のAr1におけるC6~C19のアリール基としては特に制限がなく、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基等を挙げることができ、好ましくはフェニル基またはナフチル基を挙げることができる。
式(A)または(B)中のAr2におけるC6~C19のアリール基としては特に制限がなく、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基等を挙げることができ、好ましくはフェニル基またはナフチル基を挙げることができる。
式(A)または(B)中のR2~R5におけるC1~C6のアルキル基としては特に制限がなく、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基等を挙げることができ、好ましくはメチル基またはエチル基を挙げることができる。
式(2)中のR6におけるC1~C6のアルキル基としては特に制限がなく、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基等を挙げることができ、好ましくはメチル基またはエチル基を挙げることができる。
式(2)中のAr3におけるC6~C19のアリール基としては特に制限がなく、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基等を挙げることができ、好ましくはフェニル基またはナフチル基を挙げることができる。
式(3)中のA1~A4におけるシクロヘテロアルキル基としては特に制限がなく、例えば、2-フリル基、3-フリル基、1-チアシクロヘキサン-4-イル、テトラヒドロチオフェン-2-イル、テトラヒドロチオフェン-3-イル、テトラヒドロチオフェン-4-イル、テトラヒドロピラン-4-イル、テトラヒドロピラン-3-イル、テトラヒドロピラン-2-イル等を挙げることができ、好ましくは2-フリル基、3-フリル基、テトラヒドロチオフェン-2-イル、テトラヒドロチオフェン-3-イル、テトラヒドロチオフェン-4-イルからなる群の1種を挙げることができる。
JNM-ECZ400S FT-NMR(日本電子(株)製)を用いて測定した。なお、樹脂の組成は、樹脂の重水素化クロロホルム溶剤中でのプロトン核磁気共鳴分光(1H-NMR)スペクトル分析より求めた。
<数平均分子量の測定>
ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)(東ソー株式会社製、商品名HLC-802A)を用い、THF(テトラヒドロフラン)を溶剤とし標準ポリスチレン換算値として求めた。
<スピンコート>
スピンコーター(ミカサ株式会社製、商品名オプティコートMS-A100)を用いた。
<UV照射>
(株)ジーエス・ユアサ コーポレーション製UV-System、CSN-40A-2を用い、UV強度4.0kWの条件で、搬送速度を変えてUV照射時間を調整した。
<膜厚測定>
ブルカー社製DektakXTスタイラスプロファイラーを用いて測定した。
<真空蒸着>
アルバック機工社製 小型真空蒸着装置VTR-350M/ERHを用いた。
<樹脂の溶解性>
テスト溶剤をシクロペンタノンとし、シクロペンタノンに溶解した場合に「溶解」、溶解しない場合には「不溶」と評価した。
洗浄、乾燥した30×30mm2のガラス(コーニング社製Eagle XG)上に、スピンコーターを用いて樹脂の溶液を乾燥後の膜厚が500nmとなるようにスピンコート成膜し、十分に乾燥させた。この絶縁層に所定の露光量となるように光源主波長405nmの紫外線を照射して絶縁層を光架橋した。この時点の膜厚を測定しT0とした。次に、この光架橋した絶縁層がコーティングされたガラス板をトルエンに60分浸漬後取り出し、ホットプレート上で加熱して溶剤を揮発させ、その膜厚を測定しT1とした。これらの膜厚測定値を用いて、残膜率を下記の式により算出し、残膜率95%以上で十分に架橋したと判断した。
残膜率=T1/T0×100(%)
洗浄、乾燥した30×30mm2のガラス(コーニング社製Eagle XG)に銀を真空蒸着し、厚み30nmの電極を形成した。その後、電極を形成した基材上に残膜率測定と同様の条件で絶縁層を成膜し、絶縁層上に金電極を真空蒸着してMIMコンデンサを作製した。銀-金電極間に電圧をかけて、絶縁破壊により電流が絶縁層内部を流れ始める電圧を測定し、絶縁層の膜厚で割った値を絶縁破壊強度とした。
有機トランジスタの一形態であるボトムゲート・ボトムコンタクト(BGBC)型素子を作製し、ケースレイ社製半導体パラメータアナライザーSCS4200を用い、ソース・ドレイン間電圧をマイナス20ボルトとして、ゲート電圧を変化させることにより、移動度、閾値電圧、オン電流/オフ電流比、漏洩電流、ソース・ドレイン間電流のヒステリシスを評価した。
<4-(4-ビニルベンジルオキシ)アセトフェノン(4-VBzAp)の合成>
300mLの3口反応器に、4-クロロメチルスチレン29g、4′-ヒドロキシアセトフェノン26g、炭酸水素ナトリウム16g、DMF110mLを仕込み、上部に冷却管、三方コックを取り付け、窒素置換した。上記反応液をオイルバスで100℃に加熱し、4時間撹拌し反応させた。反応液を室温まで冷却した後、1Lの水に注ぎ入れ反応物を沈殿させた。沈殿物を濾過し、水で2回洗浄した後乾燥させて白色固体を得た。得られた固体をエタノールにより再結晶して目的とする4-(4-ビニルベンジルオキシ)アセトフェノン(4-VBzAp)38gを得た。
1H-NMR(400MHz,CDCl3):δ7.94(d,芳香族,2H),7.41(q,芳香族,4H),7.00(d,芳香族,2H),6.73(dd,芳香族,1H), 5.76(d,CH2=C<,1H),5.27(d,CH2=C<,1H), 5.12(s,Ph-CH2-O-,2H),2.55(s,Ph-C(=O)-CH3,3H)
<樹脂の合成>
容量75mLのガラスアンプルに、スチレン1.3g、4-VBzAp4.7g、DMF20g、およびAIBN13mgを入れ、窒素置換と抜圧を繰り返したのち減圧状態で熔封した。このアンプルを60℃の恒温槽に入れ、20時間保持することによりラジカル重合を行った。重合反応終了後、アンプルから重合物を取り出し、200mLのメタノール中に滴下して樹脂を沈殿させた。沈殿物を濾過し、メタノールで2回洗浄した後、50℃で6時間真空乾燥することにより、2.7gの樹脂1-a(下記式)を得た。1H-NMR測定により、得られた樹脂1-aの共重合体組成は、4-VBzAp残基単位/スチレン残基単位=79/21(モル%)であることを確認した。なお、樹脂1-aの数平均分子量は41,000であった。
洗浄、乾燥した30×30mm2のガラス(基材)(コーニング社製Eagle XG)に銀を真空蒸着し、厚み50nmのゲート電極を形成した。電極が形成された基材の上に、得られた樹脂1-bのシクロペンタノン溶液(8wt%)を500rpm×5秒、2500rpm×20秒の条件でスピンコートし、90℃で3分間乾燥した後、紫外線を照射して架橋したゲート絶縁層を形成した。ゲート電極及びゲート絶縁層が形成された基材上に金を真空蒸着して厚み50nm、チャンネル長100μm、電極幅500μmのソース電極、及びドレイン電極を形成した。その後、直ちにペンタフルオロベンゼンチオール30mmol/Lの2-プロパノール溶液に浸漬し、5分間経過した時点で取り出し、2-プロパノールで洗浄後、ブロー乾燥した。その後、有機半導体(ジ-n-ヘキシルジチエノベンゾジチオフェン)の0.2wt%トルエン溶液をドロップキャストし、室温下(25℃)で自然乾燥させ有機半導体層を形成し、ボトムゲート・ボトムコンタクト(BGBC)型の有機トランジスタ素子を作製した。作製した有機トランジスタ素子性能の評価結果等を表1に示す。なお、ヒステリシスが見られないことについては、図3に示した。
<樹脂の合成>
容量75mLのガラスアンプルに、スチレン2.3g、4-VBzAp3.7g、DMF20g、およびAIBN15mgを入れ、窒素置換と抜圧を繰り返したのち減圧状態で熔封した。このアンプルを60℃の恒温槽に入れ、20時間保持することによりラジカル重合を行った。重合反応終了後、アンプルから重合物を取り出し、200mLのメタノール中に滴下して樹脂を沈殿させた。沈殿物を濾過し、メタノールで2回洗浄した後、50℃で6時間真空乾燥することにより、2.8gの樹脂2-a(下記式)を得た。1H-NMR測定により、得られた樹脂2-aの共重合体組成は、4-VBzAp残基単位/スチレン残基単位=42/58(モル%)であることを確認した。なお、樹脂2-aの数平均分子量は83,000であった。
樹脂2-bを用いた以外は実施例1と同様にして、絶縁層を形成後、有機トランジスタ素子を作製した。作製した有機トランジスタ素子性能の評価結果を表1に合わせて示す。実施例1と同様にゲート絶縁層、有機トランジスタ素子として優れた性能を有することが確認された。
<樹脂の合成>
容量75mLのガラスアンプルに、スチレン4.1g、4-VBzAp3.9g、DMF20g、およびAIBN23mgを入れ、窒素置換と抜圧を繰り返したのち減圧状態で熔封した。このアンプルを60℃の恒温槽に入れ、20時間保持することによりラジカル重合を行った。重合反応終了後、アンプルから重合物を取り出し、200mLのメタノール中に滴下して樹脂を沈殿させた。沈殿物を濾過し、メタノールで2回洗浄した後、50℃で6時間真空乾燥することにより、3.1gの樹脂3-a(下記式)を得た。1H-NMR測定により、得られた樹脂3-aの共重合体組成は、4-VBzAp残基単位/スチレン残基単位=33/67(モル%)であることを確認した。なお、樹脂3-aの数平均分子量は55,000であった。
樹脂3-bを用いた以外は実施例1と同様にして、絶縁層を形成後、有機トランジスタ素子を作製した。作製した有機トランジスタ素子性能の評価結果を表1に合わせて示す。実施例1と同様にゲート絶縁層、有機トランジスタ素子として優れた性能を有することが確認された。
<樹脂の合成>
容量75mLのガラスアンプルに、スチレン3.7g、4-VBzAp2.3g、DMF20g、およびAIBN21mgを入れ、窒素置換と抜圧を繰り返したのち減圧状態で熔封した。このアンプルを60℃の恒温槽に入れ、20時間保持することによりラジカル重合を行った。重合反応終了後、アンプルから重合物を取り出し、200mLのメタノール中に滴下して樹脂を沈殿させた。沈殿物を濾過し、メタノールで2回洗浄した後、50℃で6時間真空乾燥することにより、2.4gの樹脂4-a(下記式)を得た。1H-NMR測定により、得られた樹脂4-aの共重合体組成は、4-VBzAp残基単位/スチレン残基単位=23/77(モル%)であることを確認した。なお、樹脂4-aの数平均分子量は71,000であった。
樹脂4-bを用いた以外は実施例1と同様にして、絶縁層を形成後、有機トランジスタ素子を作製した。作製した有機トランジスタ素子性能の評価結果を表1に合わせて示す。実施例1と同様にゲート絶縁層、有機トランジスタ素子として優れた性能を有することが確認された。
樹脂1-aを用いた以外は実施例1と同様にして、溶解性、架橋性、絶縁性を評価した。樹脂1-aはUV照射により架橋せず、トルエンに対する残膜率は0であった。
樹脂1-aを用いた以外は実施例1と同様にして、絶縁層を形成後、有機トランジスタ素子を作製した。作製した有機トランジスタ素子性能の評価結果を表1に合わせて示す。該樹脂は有機半導体の成膜時に絶縁層が溶解し、良好な性状の有機半導体膜が形成されず、有機トランジスタ素子が動作しなかった。
Claims (7)
- 式(1)で表される反復単位が、下記式(3)または下記式(4)のいずれかで表される反復単位である請求項1または2に記載の光架橋性樹脂。
- 架橋処理された請求項1乃至3いずれか一項に記載の光架橋性樹脂。
- 請求項1乃至4いずれか一項に記載の光架橋性樹脂を含有する絶縁層。
- 請求項5に記載の絶縁層をゲート絶縁層として備えた有機トランジスタ。
- 請求項6に記載の有機トランジスタを備えた電子デバイス。
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