JP2022062376A - エア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 55
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 56
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 39
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 39
- 230000003405 preventing effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 8
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 6
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 25
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 25
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Fluid-Damping Devices (AREA)
Abstract
Description
2 振動基台
3 振動制御架台
5 エア供給遮断機構部
11 エアスライダ
11A エアスライダ
11B エアスライダ
11C エアスライダ
11D エアスライダ
11E エアスライダ
11F エアスライダ
11G エアスライダ
11H エアスライダ
11I エアスライダ
12 取り付け面
13 エア室
14 スライダ本体
14A 円筒状突部
14B 他の部分
14C 上部円筒状突部
14D 下部円筒状突部
15 シール材
15A シール材
16 エアスライダ内エア流路
22 エア流路
23 エア源
24 振動センサ
25 コントローラ
26 レギュレータ
27 バルブ
31A 滑り材
31B 滑り材
31C 滑り材
32A テープ状部材
32 ネジ
33 スポンジ状部材
34 滑り材
35 球面座
36 ネジ
41 レベリングバルブ
42 レベリングバルブ本体
42a 接触子
44 レベリングバルブ流路
45 バルブ室
46 下部Oリング
47 下部支持体
48 上部Oリング
49 レベリングバネ
50 同圧誘導流路
50A 同圧誘導流路
51 長孔
Claims (14)
- 設置面側に配置する振動基台と、前記振動基台に対して水平自由に移動可能に配置されるとともに振動制御対象物を載置する振動制御架台と、
前記振動基台の振動に応じて前記振動制御架台を振動基台に対してエア源からのエア供給又はエア供給遮断により前記振動制御架台を水平自由に移動可能な浮上状態又は前記振動基台への着座状態とさせるエア供給遮断機構部と、
を有するエア浮上式の振動制御装置における前記エア供給遮断機構部の一部として用いる所要数のエアスライダであって、
前記エアスライダは、前記振動基台と前記振動制御架台との間に設置され、一方が取り付け面で、前記取り付け面が前記振動基台又は前記振動制御架台に固定されるとともに、前記取り付け面の反対面の周壁部に、前記振動基台又は前記振動制御架台と接する面との間にエア室を画してエア供給遮断時、前記接する面に端面が着座する円筒状突部を有するスライダ本体と、
前記エア室へエア源からのエアを供給するエア流路と、前記スライダ本体と前記接する面とにわたって前記エア室を囲むように配置されて前記円筒状突部を有するスライダ本体の中心に向かって、かつ、前記接する面に向かって角度をもって斜め状に配置されているエア漏れ防止用のシール材と、を有することを特徴とするエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。 - 前記スライダ本体におけるエア室内又はエア室の外側又は両方に、前記振動制御架台の振動基台に対する滑動を補助する滑り材を設けていることを特徴とする請求項1記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記スライダ本体における円筒状突部の振動基台側の部分を、前記振動制御架台の振動基台に対する滑動を補助する滑り材により形成し、この滑り材の一部と前記円筒状突部の他の部分との接合部分とにシール材の振動制御架台側の端部を挟み込んでいることを特徴とする請求項1又は2記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記スライダ本体における円筒状突部の振動基台側の部分を、前記振動制御架台の振動基台に対する滑動を補助する滑り材により形成し、この滑り材の一部と前記円筒状突部の他の部分との接合部分とにシール材の振動制御架台側の端部と粘弾性テープ状部材とを挟み込んでいることを特徴とする請求項1又は3記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記スライダ本体における円筒状突部の振動基台側の部分を、前記振動制御架台の振動基台に対する滑動を補助する滑り材により形成し、この滑り材の一部と前記円筒状突部の他の部分との接合部分とにシール材の振動制御架台側の端部を挟み込み、かつ、エア室内にスポンジ状部材を前記振動基台に接触させる状態で配置していることを特徴とする請求項1記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記スライダ本体における円筒状突部の外側に、前記振動制御架台の振動基台に対する滑動を補助する滑り材を設けていることを特徴とする請求項1の記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記エアスライダにおける取り付け面、スライダ本体は、球面座を介して前記振動制御架台へ接合されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記エアスライダは、一端でエア源に連通し他端でバルブ室に通じたレベリングバルブ流路と、バルブ室に配置されバルブ室内の底部分に隙間を有する位置に接するようにして配置した接触子と、バルブ室の上面と接触子の頂部とに固着され接触子を下方に押圧するレベリングバネと、を具備して構成したレベリングバルブを有し、前記スライダ本体と前記振動基台との間に前記振動制御架台の高さを一定に保持するようにしたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記エアスライダは、前記スライダ本体と前記振動基台との間に前記振動制御架台の高さを一定に保持するレベリングバルブを備えることを特徴とし、
前記レベリングバルブは、前記振動制御架台の浮上時の平坦性を維持するために前記エアスライダのエア室内に、レベリングバルブ本体が配置され、その下側にレベリングバルブ本体よりも小径で、かつ、一体の接触子が振動基台に接離するように配置されたレベリングバルブ本体を具備し、このレベリングバルブ本体の外側のバルブ室に対して、エア流路に連通させたレベリングバルブ流路を経てエアを供給するように構成されていて、前記振動制御架台の浮上時においてレベリングバルブの開閉動作によりこの振動制御架台を一定の高さに保持することが可能となり、積載荷重が変化してもエアの供給圧を変更しなくても済むように構成されていることを特徴とする請求項1乃至7記載のいずれか1項に記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。 - 前記エアスライダのシール材には、前記振動基台側に位置して所要数のエア漏出用の穴が設けられていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記エアスライダは、前記振動制御架台の振動に応じて各エアスライダへのエアの供給圧を変化させることで、各エアスライダの滑り材と空気圧による支持の割合を変化させてエアスライダの摩擦力をコントロールできるように構成されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記エア供給遮断機構部は、このエア供給遮断機構部の一部であって、前記エア源からレギュレータ、電磁バルブ、絞り弁を介して前記各エアスライダに空気供給するように構成したことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記エア供給遮断機構部は、このエア供給遮断機構部の一部であって、前記エア源からエアタンク、レギュレータ、電磁バルブ、絞り弁を介して前記各エアスライダに空気供給するように構成したことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
- 前記エア供給遮断機構部は、このエア供給遮断機構部の一部であって、前記エア源から前記各エアスライダまでの第1の空気供給経路として、レギュレータ、電磁バルブ、絞り弁を備えた供給経路と、第2の空気供給経路として、レギュレータ、電磁バルブ、絞り弁を有し、第2の経路を各エアスライダの手前で第1の経路とT字の接続子で合流し、T字の手前でチェックバルブを配置し、前記第2の経路のバルブはタイマーを有しており、指定した時間だけ開くように構成したことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載のエア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020170341A JP2022062376A (ja) | 2020-10-08 | 2020-10-08 | エア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ |
TW110135327A TW202214972A (zh) | 2020-10-08 | 2021-09-23 | 空氣懸浮式之振動控制裝置中的空氣滑動器 |
CN202111171075.2A CN114294372A (zh) | 2020-10-08 | 2021-10-08 | 空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020170341A JP2022062376A (ja) | 2020-10-08 | 2020-10-08 | エア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022062376A true JP2022062376A (ja) | 2022-04-20 |
Family
ID=80964221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020170341A Pending JP2022062376A (ja) | 2020-10-08 | 2020-10-08 | エア浮上式の振動制御装置におけるエアスライダ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022062376A (ja) |
CN (1) | CN114294372A (ja) |
TW (1) | TW202214972A (ja) |
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- 2020-10-08 JP JP2020170341A patent/JP2022062376A/ja active Pending
-
2021
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A621 | Written request for application examination |
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