JP2022051078A - 検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のワークを効率よく検査することのできる処理シーケンスを提供する。【解決手段】一のワークについての検査処理シーケンスでは、第１保持部が待機位置でワークを第１姿勢で受け入れ検査位置に移動して、検査部がワークを検査した後、第１保持部が待機位置に移動して退避機構がワークを第１保持部から退避させる。第２保持部が待機位置で退避機構からワークを第２姿勢で受け取り検査位置に移動して、検査部がワークを検査した後、第２保持部が待機位置に移動して検査済みのワークを排出する。複数のワークについて検査処理シーケンスを実行するときには、待機位置において、退避機構が第１のワークを第１保持部から退避させた後に第１保持部が第２のワークを受け入れ、第２のワークを保持する第１保持部が検査位置に移動するとともに、第２保持部が待機位置に移動して退避機構から第１のワークを受け取る。【選択図】図５

Description

この発明は、検査対象となるワークを撮像し、その撮像結果に基づき当該ワークを検査する検査装置および検査方法に関するものであり、特にワークの姿勢を変更してその前後で検査を行う技術に関する。

例えば機械部品などのワークの外観を検査する技術として、ワークを撮像し、その撮像結果を画像処理することによって欠陥等を検出する技術が知られている。例えば特許文献１に記載の技術では、同一形状の複数のワークを順次効率よく検査する方法および装置が記載されている。この技術では、検査対象のワークを保持する２組の保持テーブルが設けられている。これらが交互にプリアライメント位置と検査位置とに移動することで、プリアライメント位置ではワークの搬入、搬出および位置合わせ処理を行いつつ、検査位置ではワークを撮像して検査を行うことにより、検査処理のサイクルタイムの短縮が図られている。

特開２０１８－１５１２４５号公報

上記従来技術では、外部からワークを受け入れてこれを撮像し、検査済みのワークを搬出するまでにワークの姿勢変化が発生しない。このため、例えばワークを保持するチャック機構によって遮蔽されたりカメラの死角に入ったりすることで、ワークの少なくとも一部については検査がなされないことになる。特定の保持状態では検査できない部位についても検査を行うためには、検査途中でワークの姿勢を変更し、その前後で撮像を行うことが望まれる。

この場合、検査処理シーケンスに、ワークの姿勢変更のための処理ステップと、姿勢変更後のワークの検査のための処理ステップとを組み入れることが必要となり、１つのワークを検査するのに要する処理時間は必然的に増大する。異なる姿勢での検査をそれぞれ異なる検査装置で行うことも考えられるが、装置規模が大幅に増大することになる。

従来技術と同程度の装置規模の検査装置を用いて複数のワークを順次検査する場合には、各ワークに対する処理を適切に組み合わせて並行処理を行うことでサイクルタイムの短縮を図ることができる余地がある。しかしながら、それを実現するための具体的な装置構成や方法については、これまで実用化されるに至っていない。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、ワークを撮像して検査する検査装置および検査方法において、複数のワークを効率よく検査することのできる処理シーケンスを提供することを目的とする。

この発明の一の態様は、上記目的を達成するため、それぞれがワークを保持可能な第１保持部および第２保持部と、前記第１保持部および前記第２保持部を移動させて、予め定められた検査位置および待機位置のそれぞれに対し選択的に前記第１保持部および前記第２保持部を位置決めする位置決め機構と、前記第１保持部および前記第２保持部のうち前記検査位置に位置決めされた一方に保持されている前記ワークを撮像し、撮像結果に基づき前記ワークを検査する検査部と、前記第１保持部および前記第２保持部のうち前記待機位置に位置決めされた一方に保持されている前記ワークを受け取って一時的に退避させる退避機構と、前記位置決め機構、前記検査部および前記退避機構を制御して所定の検査処理シーケンスを実行する制御部とを備えている。

前記検査処理シーケンスでは、一の前記ワークについて、前記第１保持部が前記待機位置で前記ワークを第１姿勢で受け入れ前記検査位置に移動して、前記検査部が前記ワークを検査した後、前記第１保持部が前記待機位置に移動して前記退避機構が前記ワークを前記第１保持部から退避させ、前記第２保持部が前記待機位置で前記退避機構から前記ワークを前記第１姿勢と異なる第２姿勢で受け取り前記検査位置に移動して、前記検査部が前記ワークを検査した後、前記第２保持部が前記待機位置に移動して検査済みの前記ワークを排出する。

また、この発明の他の一の態様は、ワークを撮像し、その撮像結果に基づき前記ワークを検査する検査方法において、上記目的を達成するため、一の前記ワークに対する検査処理シーケンスとして、第１保持部が、所定の待機位置で前記ワークを第１姿勢で保持する工程と、前記ワークを保持する前記第１保持部が所定の検査位置に移動する工程と、
撮像装置を有する検査部が、前記検査位置の前記第１保持部に保持される前記ワークを撮像し、撮像結果に基づき前記ワークを検査する工程と、前記第１保持部が前記待機位置に移動し、退避機構が前記ワークを前記第１保持部から一時的に退避させる工程と、前記第１保持部が前記待機位置から移動するとともに、前記第２保持部が前記待機位置に移動して前記退避機構から前記ワークを前記第１姿勢と異なる第２姿勢で受け取り保持する工程と、前記ワークを保持する前記第２保持部が前記検査位置に移動する工程と、前記検査部が、前記検査位置の前記第２保持部に保持される前記ワークを撮像し、撮像結果に基づき前記ワークを検査する工程と、前記第２保持部が前記待機位置に移動し、検査済みの前記ワークを排出する工程とを順番に実行する。

これらの発明において、複数の前記ワークについて前記検査処理シーケンスを実行するときには、前記待機位置において、前記退避機構が第１の前記ワークを前記第１保持部から退避させた後に前記第１保持部が第２の前記ワークを受け入れ、前記第２のワークを保持する前記第１保持部が前記検査位置に移動するとともに、前記第２保持部が前記待機位置に移動して前記退避機構から前記第１のワークを受け取る。

このように構成された発明では、１つのワークに対しては、以下のようにして検査が行われる。
（１）第１保持部が、待機位置において第１姿勢のワークを受け入れる。
（２）第１保持部が検査位置に移動し、検査位置においてワークが撮像され検査される。
（３）第１保持部が待機位置に移動し、ワークを一時的に退避させた状態で、第２保持部が待機位置に移動して第２姿勢のワークを受け取る。
（４）第２保持部が検査位置に移動し、検査位置においてワークが撮像され検査される。
（５）第２保持部が待機位置に移動し、検査済みのワークが排出される。

上記した一連の処理により、ワークは第１姿勢での検査を受けた後、その姿勢が第２姿勢に変更されて再び検査される。すなわち、上記処理ステップ（２）では第１姿勢のワークが検査され、処理ステップ（４）では第２姿勢のワークが検査される。

この処理では、第１姿勢のワークは第１保持部によって保持され、第２姿勢のワークは第２保持部によって保持される。言い換えれば、第１保持部はワークを第１姿勢で保持することができれば足り、ワークを第２姿勢で保持するための機能を要しない。同様に、第２保持部はワークを第２姿勢で保持することができれば足り、ワークを第１姿勢で保持するための機能を要しない。このため、第１および第２保持部はワーク姿勢に特化された構造とすることが可能である。これにより、複雑な形状のワークであっても、必要な姿勢で確実に保持し検査に供することができる。

一方、このようにワーク姿勢に特化された保持構造は、ワークの姿勢変更に際しては新たな制約を生じさせる。すなわち、待機位置に位置決めされた第１保持部からワークが取り出されその姿勢が変更された後、ワークは第２保持部に受け渡される必要がある。そのため、ワークを受け渡した後の第１保持部は待機位置から移動し、新たに第２保持部が待機位置に到来する必要がある。

このときに第１保持部がワークを保持していなければ、ワークは手待ち状態となり処理の進行に寄与しない。そこで本発明では、待機位置において第１保持部から第１のワークが取り出された後、第１保持部が第２のワークを受け入れてから移動を開始する。これは、上記処理ステップ（３）を次のように書き換えたことに相当する。
（３ａ）第１保持部が待機位置に移動し、「第１の」ワークを一時的に退避させた状態で、「第１保持部が第２のワークを受け入れた後に」、第２保持部が待機位置に移動して第２姿勢の「第１の」ワークを受け取る。

このようにすると、第２保持部が待機位置に移動して姿勢変更されたワークを受け取る動作と並行して、新たに第１保持部に保持された他のワーク（第２のワーク）を搬送することが可能となる。つまり、上記処理ステップ（３ａ）は、第１のワークに対する処理ステップ（３）の実行と並行して、第２のワークに対し処理ステップ（１）を実行することに他ならない。例えば第１保持部を検査位置に移動させることで、第２のワークに対する撮像を実行することができる。つまり、第１のワークに対する処理ステップ（３）の実行と並行して、第２のワークに対し処理ステップ（１）、（２）を実行可能である。

その後、処理ステップ（４）により第１のワークを保持する第２保持部が検査位置へ移動する際には、これと並行して、撮像後の第２のワークを保持する第１保持部を待機位置へ移動させることができる。つまり、第２のワークに対し処理ステップ（３ａ）を実行することができる。このとき待機位置に移動してくる第２保持部には、第２姿勢での撮像が終了した第１のワークが保持されている。これを排出して（すなわち第１のワークに対する処理ステップ（５））、第２保持部は第２姿勢に変更された第２のワークを保持することができる。このように、第２のワークに対する処理ステップ（３ａ）と、第１のワークに対する処理ステップ（４）、（５）とを並行して実行することができる。

以下、第２のワークに続いて処理される第３、第４、…のワークがある場合にも、先のワークに対する処理ステップ（３ａ）と並行して次のワークを受け入れて検査に供することで（次のワークに対する処理ステップ（１）、（２））、上記と同様に処理することができる。

このように、本発明の検査処理シーケンスでは、１つのワークに対する処理と他のワークに対する処理とを互いに干渉することなく並行して実行することができる。しかも、１つのワークに対する処理の内容および手順は当該ワークを単独で処理する場合と同じであり、他のワークに対する処理を組み込むために処理が滞ることはない。

以上のように、本発明の検査処理シーケンスでは、複数のワークを順次検査する場合でも、１つのワークに対する処理と、他のワークに対する処理とを並行して実行することができ、それらが互いに干渉しない。そのため、複数のワークを効率よく検査することが可能である。

本発明に係る検査装置の一実施形態の全体構成を示す平面図である。 ワークの形状およびその保持態様を例示する図である。 退避反転機構の構成例を示す図である。 図５で用いられる記号を説明するための図である。 本実施形態の検査処理シーケンスにおける状態遷移を示す図である。 この検査処理シーケンスを表すフローチャートである。 検査処理シーケンスの変形例における状態遷移を模式的に示す図である。 この変形例を表すフローチャートである。

以下、本発明の実施形態に係る検査装置の構成およびそれにより実行される検査方法について、図を参照しながら説明する。なお、本発明に係る検査方法は、複数のワークを扱う際の処理シーケンスに主たる特徴を有するものであり、装置各部の主要構成については概ね公知のものと同様のものを用いることができる。例えば、特許文献１に記載された検査装置の構成を適用することができる。そのため、装置各部の詳しい構造についての説明は省略する場合がある。

図１は本発明に係る検査装置の一実施形態の全体構成を示す平面図である。本実施形態の検査装置１の主要部は、搬入ユニット１０、検査ユニット２０、搬出ユニット３０、退避ユニット４０および制御ユニット５０に大別することができる。このうち搬入ユニット１０、検査ユニット２０、搬出ユニット３０および制御ユニット５０については、例えば特許文献１に記載の「ローディングユニット」、「ワーク保持ユニット」、「アンローディングユニット」および「制御ユニット」と同様の構成を採用することができる。このため、これらの構成についての詳しい説明は省略する。

言い換えれば、本実施形態の検査装置１は、特許文献１に記載された、ワークの片面のみを撮像し検査する検査装置に、ワークの姿勢を変更するための機構を付加し、姿勢変更プロセスを加味して検査処理シーケンスを最適化することで、主たる装置構成をそのまま引き継ぎながら、部分的な変更のみでワークの両面検査を可能にしたものと言うことができる。

この検査装置１は、検査対象物たるワークを受け入れ、これを撮像してその外観を検査する装置である。ワークとしては、金属製または樹脂製などの機械部品を適用することができ、特に歯車や羽根車などのように、対称軸まわりに回転対称な形状を有する部品をワークとして好適に適用可能である。

この検査装置１の構成および動作の概略について説明する。図１において白抜き矢印は、各部の動作によるワークＷの搬送経路を示し、点線矢印はその搬送がどの動作主体によって実現されるかを示している。

検査対象物（ワーク）Ｗは、オペレータまたは外部搬送ロボットにより、適宜のタイミングで外部から搬入ユニット１０の搬入ステージ１１に搬入される。搬入ユニット１０に設けられたローディング機構１２は、搬入ステージ１１から検査ユニット２０にワークＷを移載する。ローディング機構１２としては、ワークＷを保持可能なハンドを有する保持機構と、これを上下方向および水平方向に移動させる移動機構とを有する適宜の構造のものを用いることができる。

検査ユニット２０は、ワークＷを保持するための構成として、第１保持ステージ２１、第２保持ステージ２２を備えている。第１保持ステージ２１および第２保持ステージ２２は、鉛直方向の回転軸回りに回転可能な支持プレート２３に載置されており、支持プレート２３は位置決め機構２４により回転駆動される。

第１保持ステージ２１および第２保持ステージ２２は、支持プレート２３の回転軸に対して互いに回転対称な位置に設けられている。支持プレート２３の回転により第１保持ステージ２１および第２保持ステージ２２が取り得る位置のうち、図１において第１保持ステージ２１が占める位置を以下では「待機位置」と称し符号Ｐｗを付す。また、第２保持ステージ２２が占める位置を以下では「検査位置」と称し符号Ｐｉを付す。位置決め機構２４は、支持プレート２３を１８０度ずつ回転させることにより、第１保持ステージ２１が待機位置Ｐｗに、第２保持ステージ２２が検査位置Ｐｉにそれぞれ位置決めされた状態（図１に示す状態）と、これとは逆に第１保持ステージ２１が検査位置Ｐｉに、第２保持ステージ２２が待機位置Ｐｗにそれぞれ位置決めされた状態とを切り替えることができる。

検査ユニット２０へのワークＷの搬入および検査ユニット２０からのワークＷの搬出は、第１保持ステージ２１および第２保持ステージ２２のうち待機位置Ｐｗに位置決めされた一方に対して行われる。また、撮像結果に基づき外観検査を行うためのワークＷの撮像は、第１保持ステージ２１および第２保持ステージ２２のうち検査位置Ｐｉに位置決めされた一方に保持されたワークＷに対して行われる。

したがって、外部から搬入されたワークＷは、搬入ステージ１１から、第１保持ステージ２１および第２保持ステージ２２のうち待機位置Ｐｗに位置決めされた一方へ移載される。そして、ワークＷを受け入れた保持ステージが検査位置Ｐｉに移動してワークＷの撮像が行われる。このようにしてワークＷの検査が行われる。この目的のために、検査ユニット２０にはアライメント部２５および検査部２６が設けられている。

図示を省略するが、アライメント部２５には、待機位置Ｐｗの上方からワークＷを撮像するアライメント用カメラと、その撮像結果に基づきワークＷの位置を調整するアライメント機構とが設けられる。これらの構成およびその動作については、例えば特許文献１の記載を参考にすることができる。アライメント部２５の動作により、ワークＷは検査に適した適正位置に保持されることになる。これによりワークＷの検査を高精度に行うことが可能となる。

また、図示を省略するが、検査部２６には、検査位置Ｐｉの上方からワークＷを撮像するための検査用カメラと、検査用カメラが撮像した画像に対し画像処理を行って欠陥の有無を判断する画像処理部とが設けられている。ワークＷを種々の方向から撮像するために複数の検査用カメラが設けられてもよい。また、ワークＷと検査用カメラとの相対位置を変化させながら撮像が行われてもよい。ワークＷを撮像しその撮像結果に基づき欠陥等を検出し良否を判定する方法は公知であるので、ここでは説明を省略する。

検査位置ＰｉにおいてワークＷの検査が行われるが、検査位置ＰｉではワークＷの撮像が終了すれば足り、その後の画像処理や判定プロセスの実行に際しては、ワークＷを検査位置Ｐｉに留めておく必要はない。したがって、撮像が終了した時点で位置決め機構２４による切り替えを開始することができる。こうすることで、処理に要する時間の短縮を図ることが可能である。

検査後のワークＷは、これを保持する保持ステージが待機位置Ｐｗへ移動した後、搬出ユニット３０に排出される。具体的には、搬出ユニット３０に設けられたアンローディング機構３２が、待機位置ＰｗにあるワークＷを受け取って、搬出ユニット３０の搬出ステージ３１に移載する。アンローディング機構３２の構造についてはローディング機構１２と同様とすることができるが、後述するように、搬出時のワークＷは搬入時のワークＷとはその姿勢が異なっている場合があり、ワークＷを保持するための機構については扱うべきワークの姿勢に対応したものとするのが好ましい。

搬出ステージ３１に移載された検査済みのワークＷは、オペレータまたは外部搬送ロボットにより装置外へ搬出される。搬出後のワークＷの扱いは、検査結果に応じたものとなる。例えば、検査の結果、欠陥を含まない良品とされたワークと、欠陥が検出されたワークとが、異なる格納場所に格納されるようにすることができる。

これら一連の動作は、制御ユニット５０が予め用意された制御プログラムを実行し、上記した装置各部に所定の動作を行わせることによって実現される。以下では特に説明しないが、後述する各種の処理動作も、制御ユニット５０からの制御指令に応じて、図示しないものも含む装置各部が作動することにより実現されるものである。

以上はワークを単一の姿勢で撮像し検査するときの動作の流れである。しかしながら、このような撮像ではワークＷ全体の外観を検査することはできない。というのは、単一の姿勢での撮像では、ワークＷの一部が保持機構によって遮蔽されたりカメラの死角に入って撮像できなかったりすることがあるからである。

この問題を解決するために、この実施形態では、処理の過程でワークＷの姿勢を変更し、その前後でワークＷを撮像し検査を行うことが可能である。このためのワークＷの姿勢変更を、退避ユニット４０が担う。具体的には、退避ユニット４０に設けられた退避反転機構４１が、待機位置ＰｗにおいてワークＷを取り上げ、その姿勢を変更した上で待機位置Ｐｗへ戻す。この実施形態では、退避反転機構４１がワークＷを反転させることで、ワークＷの表側および裏側の両方を撮像し検査することが可能となっている。

図２はワークの形状およびその保持態様を例示する図である。ワークＷの形状は特に限定されないが、ここではその一例として、図２（ａ）に示すように、ワークＷは軸部Ｗａの上部に拡径部Ｗｂを介して歯車部Ｗｃを設けた機械部品であるとする。例えば鍛造や鋳造処理によってワークＷを形成可能である。

図２（ｂ）は第１保持ステージ２１の構造を示す。第１保持プレート２１の上面には、放射状に分散配置された可動部材２１１，２１２，２１３を有する第１チャック２１０が設けられている。具体的には、第１保持ステージ２１は、第１チャック２１０の各可動部材２１１～２１３の上端部がワークＷの拡径部Ｗｂの外周に当接することより、歯車部Ｗｃを上向きにしてワークＷを保持する。

一方、第２保持ステージ２２は、図２（ｃ）に示すように、その上面に放射状に分散配置された可動部材２２１，２２２，２２３を有する第２チャック２２０により、軸部Ｗａを上向きにして保持する。第１保持ステージ２１および第２保持ステージ２２は、図示しない昇降機構を介して支持プレート２３に取り付けられている。

このように、第１保持ステージ２１に設けられた第１チャック２１１と、第２保持ステージ２２に設けられた第２チャック２２とは、それぞれ保持すべきワークＷの姿勢に特化した構造となっている。すなわち、第１チャック２１０は、歯車部Ｗｃが上向きとなる姿勢（ここでは「第１姿勢」と称する）でワークＷを保持することに特化した構造となっている。また、第２チャック２２０は、軸部Ｗａが上向きとなる姿勢（ここでは「第２姿勢」と称する）でワークＷを保持することに特化した構造となっている。

なお、以下では、ワークＷを歯車部Ｗｃが上向きとなる第１姿勢としたときに上方から見える側をワークＷの「表側」と称し、ワークＷを軸部Ｗａが上向きとなる第２姿勢としたときに上方から見える側をワークＷの「裏側」と称する。これらは区別のための便宜的な呼称である。

図３は退避反転機構の構成例を示す図である。退避反転機構４１は、例えば周知の多関節アームロボット４１１のアーム先端４１２に、ワークＷを保持可能なハンド機構４１３を装着したものを用いることができる。ハンド機構４１３の先端は、点線矢印で示すように開閉可能となっており、閉状態でワークＷを挟持することができる一方、開状態では該挟持を解除することができる。また破線矢印で示すように、アーム先端４１２に設けられた回転モータ（図示省略）により、ハンド機構４１３はアーム先端４１２に対し回転可能となっている。ハンド機構４１３がワークＷを保持しつつ回転することで、ワークＷの姿勢変更、具体的には反転が実現される。

退避反転機構４１は、第１保持ステージ２１および第２保持ステージ２２のうち待機位置Ｐｗに位置決めされた一方に保持されたワークＷを取り上げて反転させ、待機位置Ｐｗへ戻す。これにより、検査ユニット２０に供給されるワークＷが反転される。

搬入ユニット１０から検査ユニット２０へのワークＷの移載は、ワークＷを歯車部Ｗｃが上向きとなる第１姿勢に維持した状態で行われる。このため、検査ユニット２０では、第１姿勢に対応した第１チャック２１０を有する第１保持ステージ２１が待機位置Ｐｗに位置する状態でワークＷを受け入れる必要がある。

一方、ワークＷを反転する際には、第１姿勢のワークＷを保持する第１保持ステージ２１が待機位置Ｐｗに位置した状態で退避反転機構４１がワークＷを取り上げた後、反転されて第２姿勢となったワークＷはそのまま第１保持ステージ２１に戻すことはできず、第２保持ステージ２２に受け渡される必要がある。つまり、退避反転機構４１がワークＷを取り上げてから再び載置するまでの間に、位置決め機構２４による状態切り替えが行われる必要がある。

この点を踏まえ、かつ複数のワークＷに対する検査を効率よく行うことのできる本実施形態の検査処理シーケンスについて、次に説明する。本実施形態の検査処理シーケンスは図５および図６により表されるが、まず図５を理解するための記号の説明を、図４を参照して行う。

図４は図５で用いられる記号を説明するための図である。図４に示すように、図５ではワーク保持状態が２×２のマトリクスパターンＭにより表される。このうち上段は検査位置Ｐｉにおけるワーク保持状態を、下段は待機位置Ｐｗにおけるワーク保持状態を示す。また、マトリクスパターンＭのうち左欄は、該当位置に位置決めされたチャックの番号を示す。具体的には、「１」は第１チャック２１０を、「２」は第２チャック２２０を指している。例えば、左上欄に「１」、左下欄に「２」と記入されていれば、検査位置Ｐｉに第１チャック２１０があり、待機位置Ｐｗに第２チャック２２０があることを意味する。逆の場合についても同様に考えることができる。

また、マトリクスパターンＭの右欄には、保持されているワークＷを識別するための識別記号が示される。「－」はワークＷが保持されていないことを示す。また、ワークＷが保持されている場合には、「Ｗ」から始まる識別記号が示される。このうち「Ｗ」の右隣には、個々のワークを区別するために、処理順を表す連番（１，２，…）が入る。なお、以下の説明においては、この「Ｗ＋連番」を個々のワークＷを区別するための符号として用いることがある。

連番の右隣には、ワークが表側を上にしているか裏側を上にしているかを示す記号が入る。具体的には、ワークＷが表側を上にして保持されている場合には「ａ」、裏側を上にして保持されている場合には「ｂ」が記入される。

さらに、検査のための撮像が終了した検査済みワークについては、記号の末尾に「＊」が記入される。表側、裏側のそれぞれについて撮像が行われるから、この記号も表側、裏側のそれぞれに個別に付される。

例えば、最初に処理される未検査のワークＷ１が表側を上向きにして保持されるとき、その状態は記号「Ｗ１ａ」により表され、撮像後の状態は記号「Ｗ１ａ＊」により表される。この記号はワークＷ１の表側からの撮像が終了していることを示すものであり、裏側からの撮像が済んでいるか否かは示さない。同様に、二番目に処理されるワークＷ２が裏側を上向きにして保持されるとき、その状態は記号「Ｗ２ｂ」により表され、撮像後の状態は記号「Ｗ２ｂ＊」により表される。

上記を踏まえて、図５および図６を参照しながら本実施形態の検査処理シーケンスを説明する。図５は本実施形態の検査処理シーケンスにおける状態遷移を模式的に示す図であり、図６はこの検査処理シーケンスを表すフローチャートである。図５左端における「フェーズ」は、位置決め機構２４により実現される特定の位置決め状態において実行される一連の処理を包括する概念である。すなわち、位置決め機構２４による位置決め状態の切り替えが実行される度に、フェーズが１つずつ進行する。言い換えれば、図５には示されていないが、各フェーズ間で位置決め機構２４による切り替えが実行されている。

図５の左から二番目の欄は、各フェーズにおいてワークＷに対し行われる処理の内容を示している。このうち上段は検査位置Ｐｉでの処理内容を、下段は待機位置Ｐｗでの処理内容をそれぞれ示す。空欄は対象となるワークが存在せず処理が行われないことを示す。

図５の右欄では、上記したマトリクスパターンＭを用いてワーク保持状態が示される。このうち左側の図は当該フェーズの開始直後、つまり位置決め機構２４による切り替えの直後におけるワーク保持状態を示す。一方、右側の図は、当該フェーズの終了時、つまり位置決め機構２４によりさらなる切り替えが行われる直前におけるワーク保持状態を示している。これらの図により、当該フェーズでの処理により、ワーク保持状態がどのように遷移するかが示される。

＜フェーズ１＞
以下、本実施形態の検査処理シーケンス開始直後のフェーズ１から順番に、具体的な状態変化を追うこととする。フェーズ１の開始時点、つまり初期状態におけるマトリクスパターンは、左上欄に「２」、左下欄に「１」が記入され、右側の欄は「－」が記入されている。これは、待機位置Ｐｗに第１チャック２１０が、検査位置Ｐｉに第２チャック２２０が位置決めされ、いずれもワークＷを保持していない状態を示している。

この状態から、最初の検査対象であるワークＷ１が、搬入ユニット１０を介して検査ユニット２０に搬入される。具体的には、待機位置ＰｗにワークＷが搬入され、この位置にある第１チャック２１０により、表側を上向きにした第１姿勢でワークＷが保持される。ワークＷが保持されると、アライメント部２５によりアライメント処理が行われる。図５右端のマトリクスパターンに「Ｗ１ａ」と記載されているように、ここまでの処理により、最終的には、待機位置Ｐｗにある第１チャック２１０に最初のワークＷ１が表側を上向きにして、かつ未検査の状態で保持されることになる。

＜フェーズ２＞
位置決め機構２４による切り替えが行われた後のフェーズ２では、ワークＷ１を保持した第１チャック２１０が検査位置Ｐｉに移動する一方、ワークＷを保持しない第２チャック２２０が待機位置Ｐｗに移動する。この状態で、検査位置ＰｉにおいてワークＷ１が撮像され検査される。終了時のワーク識別記号「Ｗ１ａ＊」は、ワークＷ１の表側について撮像が終了したことを表している。以下、説明を繰り返さないが、マトリクスパターンについては上記と同様に解釈することができる。

＜フェーズ３＞
さらに切り替えが行われることで、フェーズ３では、表側について撮像済みのワークＷ１が第１チャック２１０とともに待機位置Ｐｗに移動してくる。この状態で、退避反転機構４１が、ワークＷ１を第１チャック２１０から取り外してハンド機構４１３により保持しつつこれを反転させる。

このとき待機位置Ｐｗには第１チャック２１０があるから、反転されたワークＷ１を載置することはできない。そこで、ワークＷ１については退避反転機構４１により保持した状態を維持することで一時的に退避させておき、代わりに、空いた第１チャック２１０には第２のワークＷ２が搬入される。搬入後のワークＷ２については、第１のワークＷ１と同様にアライメント処理が実行される。したがって、フェーズ３の実行後においては、待機位置Ｐｗにある第１チャック２１０に、次の検査対象である第２のワークＷ２が、その表側を上向きにした第１姿勢で保持された状態となる。

＜フェーズ４＞
この時点で位置決め機構２４による切り替えが行われると、新たに搬入されたワークＷ２が検査位置に移動してくるので、ワークＷ２の表側に対する撮像、検査を行うことができる。またこのとき、第２チャック２２０が待機位置Ｐｗに移動してくるので、退避機構４１が保持していたワークＷ１を第２チャック２２０に受け渡すことができる。このときワークＷ１は、裏側を上向きにした第２姿勢である。これによりワークＷ１の反転が完了する。なお、退避反転機構４１は、フェーズ３においてワークＷ１を保持して反転し、その状態を維持しているが、ワークの反転は第２チャック２２０に載置される前のどの時点で行われてもよい。

フェーズ４の終了時には、検査位置Ｐｉにある第１チャック２１０が撮像済みの第１姿勢のワークＷ２を保持し、待機位置Ｐｗにある第２チャック２２０に反転されて第２姿勢となった第１のワークＷ１が戻された状態となっている。図５からわかるように、これ以後の処理は第１チャック２１０、第２チャック２２０が共にワークＷを保持した状態で進行し、いずれかが手待ち状態となることはない。

＜フェーズ５＞
さらに位置決め機構２４による切り替えが行われフェーズ５に入ると、検査位置Ｐｉには、裏側を上向きにした第２姿勢のワークＷ１を保持する第２チャック２２０が位置決めされている。したがって、この状態でワークＷ１の裏側に対する撮像、検査を行うことができる。これにより、第１のワークＷ１については、表側（第１姿勢）、裏側（第２姿勢）の両方で撮像および検査が行われたことになる。

一方、待機位置Ｐｗでは、表側について検査が終了したワークＷ２が第１姿勢で第１チャック２１０により保持されている。これはフェーズ３におけるワークＷ１の状態と同じである。そこで、フェーズ３と同様に、退避反転機構４１がワークＷ２を第１チャック２１０から受け取って反転させ、その状態で保持することでワークＷ２を一時的に退避させる。

そして、空いた第１チャック２１０に新たに第３のワークＷ３が搬入され、アライメント処理が実行される。これにより、フェーズ５の終了時点では、検査位置Ｐｉに第２チャック２２０が位置して検査済みのワークＷ１を第２姿勢で保持し、待機位置Ｐｗでは第１チャック２１０が新たな未検査ワークＷ３を第１姿勢で保持した状態となる。

＜フェーズ６＞
位置決め機構２４による切り替えにより、両面について検査の終了したワークＷ１が待機位置に搬送されてくる。このワークＷ１については外部へ排出することができる。すなわち、搬出ユニット３０のアンローディング機構３２がワークＷ１を第２チャック２２０から受け取り、搬出ステージ３１に移載する。このときのワークＷ１は第２姿勢であるが、例えばアンローディング機構３２がワークＷ１を反転させ第１姿勢に戻すようにしてもよい。

待機位置Ｐｗではさらに、こうしてワークＷ１が搬出された第２チャック２２０に、退避反転機構４１により退避させられていたワークＷ２が戻される。このときのワークＷ２は裏側を上にした第２姿勢である。ワークＷ２に対してはアライメント処理が実行される。

＜フェーズ７以降＞
以後、上記と同様の処理を繰り返すことで、新たなワークの受け入れおよびアライメント、第１姿勢での撮像および検査、ワークの反転およびアライメント、第２姿勢での撮像および検査を、第４、第５、…のワークＷ４，Ｗ５，…についても順次実行することができる。１つのワークＷに対する処理の空きタイミングを埋めるように後のワークＷに対する処理が組み込まれるため、１つのワークＷに対する処理時間を増大させることなく複数のワークＷを効率よく検査することが可能である。具体的には、２つのフェーズごとに１つの検査済みワークＷが排出されることになる。

なお、上記した検査処理シーケンスにおいては、処理内容に応じて個々の処理に要する時間は異なっている。このため、長時間を要する処理とより短時間で済む処理とを組み合わせた場合には、一方の処理が終了してから他方の処理が終了するまでの間に幾らかの待ち時間が生じることがある。このため、複数のワークＷを検査する場合には、１つのワークＷのみを検査する場合比べて個々のワークＷに対する処理時間が増大することがあり得る。しかしながら、上記のように各処理を無駄なく組み合わせることで、このような処理時間の増大を最小限に抑えることは可能である。

上記した検査処理シーケンスをフローチャートで表したのが図６である。図６では、特に待機位置Ｐｗにおいて実行される処理を中央よりも左側に、特に検査位置Ｐｉにおいて実行される処理を中央よりも右側に記載することで、これらを容易に区別できるようにしている。

なお、図６に示される各処理ステップのうち一部については、処理対象となるワークＷが存在しない場合があり得る。具体的には、複数のワークＷについて連続的に検査を行う場合の、最初のいくつかおよび最後のいくつかのワークを扱う場合である。このような場合には、当該処理ステップはスキップされるものとする。

ステップＳ１００では、装置各部が初期化される。具体的には、第１チャック２１０および第２チャック２２０がそれぞれ待機位置Ｐｗ、検査位置Ｐｉに位置決めされ、最初のワークＷ１が搬入ユニット１０の搬入ステージ１１に載置される。

この初期状態から、待機位置Ｐｗでは、この位置にある第１チャック２１０に対し、ワークＷの退避および反転（ステップＳ１０１）、新規ワークの搬入（ステップＳ１０２）およびアライメント処理（ステップＳ１０３）が順番に実行される。この時点では退避させるべきワークは存在しないので、ステップＳ１０１は実行されない。一方、第２チャック２２０が位置する検査位置Ｐｉでは、ワークに対する撮像および検査が実行される（ステップＳ１０４）。ただし、この時点ではまだワークが存在しない。

ステップＳ１１０において、位置決め機構２４による切り替えが実行される。これにより、第１チャック２１０は検査位置Ｐｉに、第２チャック２２０は待機位置Ｐｗに移動位置決めされる。

待機位置Ｐｗでは、第２チャック２２０に保持されている検査済みのワークＷが搬出ステージ３１へ搬出される（ステップＳ１１１）。検査対象であるワークＷの全てについて検査および搬出が終了していれば（ステップＳ１１２においてＹＥＳ）、処理は終了する。一方、処理が終了していなければ（ステップＳ１１２においてＮＯ）、さらに処理が続行される。

すなわち、退避反転機構４１により退避させられているワークＷを第２チャック２２０に戻し（ステップＳ１１３）、アライメント処理を行う（ステップＳ１１４）。検査位置Ｐｉでは、第１チャック２１０が保持するワークに対する撮像および検査が実行される（ステップＳ１１５）。これらの処理においても、対象となるワークが存在しなければ当該処理はスキップされる。

ステップＳ１２０において、位置決め機構２４による切り替えが実行される。これにより、第１チャック２１０は再び待機位置Ｐｗに、第２チャック２２０は検査位置Ｐｉに移動位置決めされる。そして、処理はステップＳ１０１、Ｓ１０４に戻って繰り返される。

このように、第１チャック２１０が待機位置Ｐｗに位置し第２チャック２２０が検査位置Ｐｉに位置するフェーズ（２Ｎ－１）（Ｎ＝１，２，…）と、第１チャック２１０が検査位置Ｐｉに位置し第２チャック２２０が待機位置Ｐｗに位置するフェーズ２Ｎとが交互に繰り返されることにより、検査ユニット２０内に処理対象となるワークＷが順次送り込まれ、それらに対する処理が実行される。そして、検査の完了したワークＷは順次排出される。定常状態では、検査装置１内では３つのワークＷに対する処理が並行して実行されていることになる。

上記の説明は、第１チャック２１０および第２チャック２２０がそれぞれ保持すべきワークＷの姿勢に特化され、互いに異なる形状を有することを前提とするものである。しかしながら、これらのチャックが同一の形状を有する、つまり両チャックが、第１姿勢、第２姿勢のいずれであってもワークＷを保持することができる構造を有している場合についても、全く同じ検査処理シーケンスを適用することが可能である。

ただし、上記実施形態がワークＷを反転する際に第１チャック２１０と第２チャック２２０との切り替えが必要になるのに対し、両チャックの形状が同じであればこのような切り替えは不要である。このため、上記とは異なる検査処理シーケンスを構成することは可能である。

図７は検査処理シーケンスの変形例における状態遷移を模式的に示す図であり、図８はこの変形例を表すフローチャートである。図７は図５と同じ表記ルールで記載されている。上記実施形態では、第１姿勢のワークＷは第１チャック２１０により、第２姿勢のワークＷは第２チャック２２０により保持されるという制約があったが、この変形例ではこの制約がない。この前提の下で最適と考えられる検査処理シーケンスを検討する。

＜フェーズ１＞
フェーズ１は上記実施形態と同様である。すなわち、待機位置Ｐｗに第１チャックが、検査位置Ｐｉに第２チャックがそれぞれ位置決めされた状態から、第１のワークＷ１が第１チャックに搬入される。

＜フェーズ２＞
ワークＷ１を保持する第１チャックが検査位置Ｐｉに移動することで、ワークＷ１の撮像が行われる。このとき待機位置Ｐｗにある第２チャックは、新たなワークを受け入れることが可能である。そこで、第２のワークＷ２を受け入れ、アライメント処理を行う。これにより、検査位置Ｐｉの第１チャックには撮像済みのワークＷ１が、待機位置Ｐｗの第２チャックには未撮像のワークＷ２が、それぞれ第１姿勢で保持された状態となる。

＜フェーズ３＞
第２チャックが検査位置Ｐｉに移動することで、ワークＷ２に対する撮像が可能となる。一方、待機位置Ｐｗでは、第１チャックからワークＷ１を受け取った退避反転機構４１が、ワークＷ１を反転してそのまま第１チャックに戻すことができる。したがって、検査位置Ｐｉでは撮像済みのワークＷ２が、待機位置Ｐｗでは反転されたワークＷ１が、それぞれ保持された状態となる。

＜フェーズ４＞
反転されたワークＷ１を保持する第１チャックが検査位置Ｐｉに移動することで、第２姿勢のワークＷ１に対する撮像、検査が行われる。これによりワークＷ１に対する検査は終了する。待機位置Ｐｗでは、ワークＷ２の反転が行われ、反転後のワークＷ２が第２チャックに保持された状態となる。

＜フェーズ５＞
反転されたワークＷ２を保持する第２チャックが検査位置Ｐｉに移動することで、第２姿勢のワークＷ２に対する撮像、検査が行われる。これによりワークＷ２に対する検査は終了する。待機位置Ｐｗでは、両面について検査が終了したワークＷ１が搬出され、これにより空いた第１チャックに新たなワークＷ３が搬入される。

＜フェーズ６＞
ワークＷ３が検査位置Ｐｉに搬送され、撮像および検査が行われる。これと入れ替わって、両面について検査が終了したワークＷ２が待機位置Ｐｗへ搬送され、搬出される。これにより空いた第２チャックには新たなワークＷ４が搬入される。

＜フェーズ７以降＞
以後、上記と同様の処理を繰り返すことで、各ワークＷに対する検査処理を順次実行することが可能である。図５の実施形態と比較すると、最初のワークＷ１がより早く検査済みとなって搬出される（つまり、単独のワークＷに対してはより処理時間が短い）というメリットはあるが、複数のワークを処理する場合には、４つのフェーズごとに２つのワークＷが排出されるという点から、サイクルタイムの向上には必ずしもつながらない。

また、２つのフェーズで連続してワークＷが排出される一方で、続く２つのフェーズではワークＷの排出がないため、外部からの搬入および搬出におけるタイミング管理が難しくなるという問題が生じ得る。

上記した検査処理シーケンスをフローチャートで表したのが図８である。図８においても、特に待機位置Ｐｗにおいて実行される処理を中央よりも左側に、特に検査位置Ｐｉにおいて実行される処理を中央よりも右側に記載している。また、各処理ステップのうち、処理対象となるワークＷが存在しないものについてはスキップされる点も同じである。

ステップＳ２００では、上記実施形態と同様に各部が初期化されるとともに、繰り返し処理を適切に行うための内部パラメータｐが初期値１に設定される。待機位置Ｐｗでは、検査済みワークＷの搬出（ステップＳ２０１）、新規ワークＷの搬入（ステップＳ２０３）、アライメント処理（ステップＳ２０４）が順次行われる。ただし、全てのワークＷにつき検査が終了していれば（ステップＳ２０２）、処理は終了する。

一方、検査位置Ｐｉでは、ワークＷに対する撮像および検査が行われる（ステップＳ２０５）。初期状態では、待機位置Ｐｗには第１チャックが、検査位置Ｐｉには第２チャックが位置決めされている。

ステップＳ２１０において位置決め機構２４による切り替えを行い、内部パラメータｐを１つインクリメントする（ステップＳ２１１）。ここで、ｐが偶数であれば（ステップＳ２１２においてＹＥＳ）、ステップＳ２０１、Ｓ２０５に戻って上記処理を繰り返す。このとき、先の処理とは逆に、待機位置Ｐｗには第２チャックが、検査位置Ｐｉには第１チャックが位置決めされているため、処理対象は先の処理とは異なっている。

パラメータｐが奇数である場合には（ステップＳ２１２においてＮＯ）、待機位置ＰｗにあるワークＷに対し反転およびアライメント処理を実行する一方（ステップＳ２２１、Ｓ２２２）、検査位置ＰｉにあるワークＷに対しては撮像および検査を実行する。そして、位置決め機構２４による切り替え（ステップＳ２３０）およびパラメータｐのインクリメントを行い（ステップＳ２３１）、その値が偶数であれば（ステップＳ２３２においてＹＥＳ）ステップＳ２２１，Ｓ２２３に、奇数であれば（ステップＳ２３２においてＮＯ）ステップ２０１、Ｓ２０５に戻る。

このようにすると、フェーズ（４Ｎ＋１）（Ｎ＝０，１，…）、フェーズ（４Ｎ＋２）では検査済みのワークＷが搬出される一方、続くフェーズ（４Ｎ＋３）、フェーズ（４Ｎ＋４）ではワークが搬出されないという図７の検査処理シーケンスが実現される。このようにフローチャートが複雑になるという点においても、上記した実施形態に対し利点があるとは必ずしも言えない。

以上説明したように、上記実施形態の検査装置１では、第１保持ステージ２１および第２保持ステージ２２がそれぞれ本発明の「第１保持部」および「第２保持部」として機能しており、第１チャック２１０および第２チャック２２０が本発明の「保持機構」として機能している。また、退避反転機構４１が本発明の「退避機構」として機能する一方、制御ユニット５０が本発明の「制御部」として機能している。

また、上記実施形態では、搬入ユニット１０、特にローディング機構１２が本発明の「搬入機構」として機能している。また、搬出ユニット３０、特にアンローディング機構３２が本発明の「搬出機構」として機能している。また、アライメント部２５が本発明の「アライメント処理部」として機能する一方、退避反転機構４１のアーム先端４１２およびハンド機構４１３が一体として、本発明の「姿勢変更機構」として機能している。

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、歯車部Ｗｃを有するワークＷを検査対象とする検査装置に対して本発明を適用しているが、ワークＷの種類はこれに限定されるものではなく、本発明の「ワーク」には、各種の材料、形状のものが含まれ得る。

また、上記実施形態では、検査対象物がそのまま本発明の「ワーク」として検査処理に供されているが、例えば検査対象物の保護や姿勢維持の目的で、検査対象物が何らかの補助治具等に一体化されたものである場合には、それらの構造物を１つの「ワーク」として処理するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、ワークＷが反転されることにより第１姿勢と第２姿勢とが切り替えられるが、両姿勢の関係はこれに限定されない。例えば、第１姿勢と第２姿勢とがワークを９０度回転させた関係であってもよく、水平面内で所定の回転量だけ回転させた関係等であってもよい。

また、上記実施形態では、第１保持ステージ２１と第２保持ステージ２２とが、回転する支持プレート２３の回転軸に対し回転対称な位置に取り付けられている。このため、一方が検査位置に位置決めされるときには他方が自動的に待機位置に位置決めされる構成となっている。しかしながら、検査位置と待機位置との関係はこれに限定されるものではない。例えば、本発明の「第１保持部」と「第２保持部」とが互いに独立して移動可能な構成であれば、それらの移動経路に適宜検査位置および待機位置を設定することが可能である。

また、「第１保持部」および「第２保持部」がそれぞれ位置決めされる位置は、上記のように検査位置と待機位置との間で択一的に選択されるものでなくてもよい。例えばこれらとは異なる第３の位置に、「第１保持部」および「第２保持部」が位置決めされる構成であってもよい。

以上、具体的な実施形態を例示して説明してきたように、この発明において、第１保持部が第１姿勢のワークに対応する構造の保持機構を有し、第２保持部が第２姿勢のワークに対応する構造の保持機構を有するものであってもよい。本発明によれば、第１姿勢のワークは第１保持部により保持され、第２姿勢のワークは第２保持部により保持される。このため、各々の保持機構は、ワークが取るべき姿勢に特化されたものとすることが可能である。こうすることで、ワークを所望の姿勢で確実に保持し、安定かつ高精度な検査が可能となる。

また例えば、退避機構は、第１姿勢と第２姿勢との間でワークの姿勢を変化させる姿勢変更機構を有していてもよい。このような構成によれば、退避機構が、ワークを一時的に退避させる機能とワークの姿勢を変更する機能とを兼備することとなり、保持されているワークを退避させ再び載置する過程において、ワークの姿勢を変更することができる。

また例えば、待機位置に位置決めされた第１保持部に未検査のワークを搬入する搬入機構と、待機位置に位置決めされた第２保持部に保持される検査済みのワークを搬出する搬出機構とがさらに設けられてもよい。このような構成によれば、検査処理シーケンスの進行に応じた適切なタイミングで未検査のワークを搬入し、また検査済みのワークを搬出することが可能である。

また例えば、本発明に係る検査装置および検査方法では、待機位置に第１保持部が位置決めされ検査位置に第２保持部が位置決めされた状態と、待機位置に第２保持部が位置決めされ検査位置に第１保持部が位置決めされた状態とが交互に切り替えられてもよい。このような構成によれば、第１保持部と第２保持部とを選択的に検査位置に位置決めする動作において、他方が自動的に待機位置に位置決めされることになる。そして、本発明に係る検査処理シーケンスは、このような構成に対しても有効に機能するものである。

また例えば、本発明に係る検査装置は、待機位置において、保持されるワークの位置を調整するアライメント処理部をさらに備えてもよい。また、本発明に係る検査方法は、待機位置において、第１保持部が受け入れたワークの位置を調整する工程をさらに備えてもよい。このような構成によれば、保持されるワークの位置が適正化されることにより、検査位置での撮像およびそれに基づくワークの検査をより精度よく行うことが可能となる。

この発明は、検査対象となるワークを撮像し、その撮像結果に基づき当該ワークを検査する検査装置および検査方法全般に適用することができる。特に、ワークの姿勢を変更してその前後で検査を行う検査技術に、好適に適用することができる。

１ 検査装置
１０ 搬入ユニット
１２ ローディング機構（搬入機構）
２１ 第１保持ステージ（第１保持部）
２２ 第２保持ステージ（第２保持部）
２４ 位置決め機構
２５ アライメント部（アライメント処理部）
２６ 検査部
３０ 搬出ユニット
３２ アンローディング機構（搬出機構）
４１ 退避反転機構（退避機構）
５０ 制御ユニット（制御部）
２１０ 第１チャック（保持機構）
２２０ 第２チャック（保持機構）
４１２ アーム先端（姿勢変更機構）
４１３ ハンド機構（姿勢変更機構）
Ｐｉ 検査位置
Ｐｗ 待機位置
Ｗ，Ｗ１，Ｗ２，… ワーク

Claims (9)

1. それぞれがワークを保持可能な第１保持部および第２保持部と、
   前記第１保持部および前記第２保持部を移動させて、予め定められた検査位置および待機位置のそれぞれに対し選択的に前記第１保持部および前記第２保持部を位置決めする位置決め機構と、
   前記第１保持部および前記第２保持部のうち前記検査位置に位置決めされた一方に保持されている前記ワークを撮像し、撮像結果に基づき前記ワークを検査する検査部と、
   前記第１保持部および前記第２保持部のうち前記待機位置に位置決めされた一方に保持されている前記ワークを受け取って一時的に退避させる退避機構と、
   前記位置決め機構、前記検査部および前記退避機構を制御して所定の検査処理シーケンスを実行する制御部と
   を備え、
   前記検査処理シーケンスでは、一の前記ワークについて、
   前記第１保持部が前記待機位置で前記ワークを第１姿勢で受け入れ前記検査位置に移動して、前記検査部が前記ワークを検査した後、前記第１保持部が前記待機位置に移動して前記退避機構が前記ワークを前記第１保持部から退避させ、
   前記第２保持部が前記待機位置で前記退避機構から前記ワークを前記第１姿勢と異なる第２姿勢で受け取り前記検査位置に移動して、前記検査部が前記ワークを検査した後、前記第２保持部が前記待機位置に移動して検査済みの前記ワークを排出し、
   複数の前記ワークについて前記検査処理シーケンスを実行するときには、
   前記待機位置において、前記退避機構が第１の前記ワークを前記第１保持部から退避させた後に前記第１保持部が第２の前記ワークを受け入れ、
   前記第２のワークを保持する前記第１保持部が前記検査位置に移動するとともに、前記第２保持部が前記待機位置に移動して前記退避機構から前記第１のワークを受け取る、
   検査装置。
2. 前記第１保持部は、前記第１姿勢の前記ワークに対応する構造の保持機構を有し、前記第２保持部は、前記第２姿勢の前記ワークに対応する構造の保持機構を有する請求項１に記載の検査装置。
3. 前記退避機構は、前記第１姿勢と前記第２姿勢との間で前記ワークの姿勢を変化させる姿勢変更機構を有する請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記待機位置に位置決めされた前記第１保持部に未検査の前記ワークを搬入する搬入機構と、
   前記待機位置に位置決めされた前記第２保持部に保持される検査済みの前記ワークを搬出する搬出機構と
   を備える請求項１ないし３のいずれかに記載の検査装置。
5. 前記位置決め機構は、前記待機位置に前記第１保持部が位置決めされ前記検査位置に前記第２保持部が位置決めされた状態と、前記待機位置に前記第２保持部が位置決めされ前記検査位置に前記第１保持部が位置決めされた状態とを切り替える請求項１ないし４のいずれかに記載の検査装置。
6. 前記待機位置において、保持される前記ワークの位置を調整するアライメント処理部を備える請求項１ないし５のいずれかに記載の検査装置。
7. ワークを撮像し、その撮像結果に基づき前記ワークを検査する検査方法において、
   一の前記ワークに対する検査処理シーケンスとして、
   第１保持部が、所定の待機位置で前記ワークを第１姿勢で保持する工程と、
   前記ワークを保持する前記第１保持部が所定の検査位置に移動する工程と、
   撮像装置を有する検査部が、前記検査位置の前記第１保持部に保持される前記ワークを撮像し、撮像結果に基づき前記ワークを検査する工程と、
   前記第１保持部が前記待機位置に移動し、退避機構が前記ワークを前記第１保持部から一時的に退避させる工程と、
   前記第１保持部が前記待機位置から移動するとともに、前記第２保持部が前記待機位置に移動して前記退避機構から前記ワークを前記第１姿勢と異なる第２姿勢で受け取り保持する工程と、
   前記ワークを保持する前記第２保持部が前記検査位置に移動する工程と、
   前記検査部が、前記検査位置の前記第２保持部に保持される前記ワークを撮像し、撮像結果に基づき前記ワークを検査する工程と、
   前記第２保持部が前記待機位置に移動し、検査済みの前記ワークを排出する工程と
   を順番に実行し、
   複数の前記ワークについて前記検査処理シーケンスを実行するときには、
   前記待機位置において、前記退避機構が第１の前記ワークを前記第１保持部から退避させた後に前記第１保持部が第２の前記ワークを受け入れ、
   前記第２のワークを保持する前記第１保持部が前記検査位置に移動するとともに、前記第２保持部が前記待機位置に移動して前記退避機構から前記第１のワークを受け取る、
   検査方法。
8. 前記待機位置において、前記第１保持部が受け入れた前記ワークの位置を調整する工程を備える請求項７に記載の検査方法。
9. 前記待機位置に前記第１保持部が位置決めされ前記検査位置に前記第２保持部が位置決めされた状態と、前記待機位置に前記第２保持部が位置決めされ前記検査位置に前記第１保持部が位置決めされた状態とを交互に切り替える請求項７または８に記載の検査方法。

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