JP2022039631A - 異方導電性コネクター及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の導電線が含まれる複数の突出部を所望の位置に高い精度で備えた異方導電性コネクター及びその製造方法を提供する。【解決手段】Ｙ軸方向に配列した複数の貫通窓（４）を備えた窓開きコアシート（５）を得て、前記窓開きコアシートの表面及び裏面の両方から前記窓開きコアシートを挟持する支持部材（６）を、Ｙ軸方向に沿って、前記複数の貫通窓を跨いで且つ各貫通窓の一部のみを覆うように取り付け、前記窓開きコアシートの前記各貫通窓の窓枠をなす領域のうち、前記支持部材で覆われていない領域の一部を、切断線（Ｌ１）及び切断線（Ｌ２）に沿って除去し、前記各貫通窓の窓枠のうち、Ｘ軸方向に延在する枠部（４ａ）のみを残すことにより、支持部材付き（６）の異方導電性コネクターを得ることを含む、異方導電性コネクターの製造方法。【選択図】図９

Description

本発明は、異方導電性コネクター及びその製造方法に関する。

従来、電子デバイス同士を接続するために、微細な電極同士を接続するシート状の圧接型コネクター（以下、異方導電性シート）が用いられている。一般に、異方導電性シートは複数の導電部と、導電部同士を絶縁する絶縁部とを有し、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続する。異方導電性シートの製造方法として特許文献１には、金属線を平行に配線した複数のシートを、基板に対して一定の角度で傾けて金属線が互いに平行になるように積層した後、基板面に平行かつ金属線を横切る所定の幅で切断する方法が開示されている。

第一デバイスと第二デバイスの組み合わせとして、第一デバイスが回路基板や半導体装置等の製品であり、第二デバイスが前記製品を検査する検査電子装置である例が挙げられる。製品が有する金属端子（電極端子）は、平坦面に配置されている場合に限られず、嵌合型のメカコネクタ（雄雌コネクタ、Ｍｉｃｒｏ－ＣＮ）のように、樹脂モールド本体の凹部の奥まった箇所に配置されている陥没電極の場合もある。後者の場合、製品と検査電子装置とを電気的につなぐ異方導電性シートには、製品の陥没電極に到達し得る高さの突出電極を備えることが求められる。このような突出電極を構成する凸部を複数備えた異方導電性シートの製造方法が特許文献２に開示されている。

特開平６－２５１８４８号公報 特開２０１４－１７５１４８号公報

特許文献２の製造方法では、突出電極を構成する凸部同士のピッチが一定になり難い問題があった。具体的には、異方導電性シートの主面（接続面）の面方向に複数配置された凸部同士のピッチが、シート本体の一方の端から他方の端へ見て徐々にずれることがあった。その問題は、シート本体が、一方の端から他方の端へ向けて、２種類の異なる樹脂フィルムが所定のピッチで繰り返すフィルム積層体であることに起因する。つまり、第一の樹脂フィルムが凹部（平坦部）を構成し、第二の樹脂フィルムが凸部を構成するとき、各樹脂フィルムの厚みばらつきがあると、シート本体の一方の端から他方の端に向けて、その厚みばらつきが累積し、凹部と凸部のピッチずれを引き起こすことになる。

本発明は、複数の導電線が含まれる複数の突出部を所望の位置に高い精度で備えた異方導電性コネクター及びその製造方法を提供する。

［１］ エラストマーによって形成された樹脂シートと、前記樹脂シートの内部において前記樹脂シートがなす平面に沿い、任意の第一方向に長さ方向を揃えて並列に配置された複数の導電線と、を有するコアシートを準備し、
前記コアシートの平面視で、前記第一方向を横切る第二方向に配列した複数の貫通窓を前記コアシートに形成することにより、窓開きコアシートを得て、
前記窓開きコアシートの表面及び裏面の両方から前記窓開きコアシートを挟持する支持部材を、前記第二方向に沿って、前記複数の貫通窓を跨いで且つ各貫通窓の一部のみを覆うように取り付け、
前記窓開きコアシートの前記各貫通窓の窓枠をなす領域のうち、前記支持部材で覆われていない領域の一部を除去し、前記各貫通窓の窓枠のうち、前記第一方向に延在する枠部のみを残すことにより、前記支持部材付きの異方導電性コネクターを得ることを含む、異方導電性コネクターの製造方法。
［２］ 支持部材と、前記支持部材の第一面から第二面へ貫通し、前記第一面及び前記第二面からそれぞれ突出する突出部を有する探針を複数備え、
前記探針は、前記支持部材を貫通し、前記第一面及び前記第二面から突出するエラストマー製の被覆材と、前記被覆材の突出方向に沿って前記被覆材を貫通し、前記被覆材の内部で並列に配置された複数の導電線と、を有し、
前記第一面の平面視で、前記複数の探針が有する各被覆材の外形が四角形であり、かつ、各四角形の互いに対応する辺の向きが平行である、異方導電性コネクター。

本発明の異方導電性コネクターの製造方法によれば、異方導電性コネクターの接続面の所望の位置に高い精度で、複数の導電線が含まれる複数の突出部を配置することができる。この結果、陥没電極を有する雌型コネクター等のデバイスに対して容易にかつ正確に接続することが可能な異方導電性コネクターが得られる。

コアシートの一例を形成する様子を示す断面図である。 コアシート３の平面図である。 導電線２が残留する貫通窓４を備えた、窓開きコアシート５の平面図である。 導電線２が除去された貫通窓４を備えた、窓開きコアシート５の平面図である。 図４のＡ－Ａ矢視の断面図である。 窓開きコアシート５に支持部材６を取り付ける様子を示す断面図である。 支持部材６付きの窓開きコアシート５の平面図である。 図７のＢ－Ｂ矢視の断面図である。 切断線Ｌ１及び切断線Ｌ２で貫通窓４の窓枠の一部を切断する様子を示す平面図である。 異方導電性コネクター１０の平面図である。 図１０のＣ－Ｃ矢視の断面図である。 異方導電性コネクター２０の平面図である。 異方導電性コネクター１０が有する支持部材６の第一面６ａを平面視した平面図である。 雌型コネクターの一例の平面図である。 雌型コネクターにおいて一定のピッチで形成されている複数の陥没電極１０２の各々に対して、異方導電性コネクター２０の複数の探針Ｑの導電線２が接触している様子を示す斜視図である。

≪異方導電性コネクターの製造方法≫
本発明の第一態様は、次の第一工程～第四工程を含む、異方導電性コネクターの製造方法である。
第一工程は、エラストマーによって形成された樹脂シートと、前記樹脂シートの内部において前記樹脂シートがなす平面に沿い、任意の第一方向に長さ方向を揃えて並列に配置された複数の導電線と、を有するコアシートを準備する工程である。
第二工程は、前記コアシートの平面視で、前記第一方向を横切る第二方向に配列した複数の貫通窓を前記コアシートに形成することにより、窓開きコアシートを得る工程である。
第三工程は、前記窓開きコアシートの表面及び裏面の両方から前記窓開きコアシートを挟持する支持部材を、前記第二方向に沿って、前記複数の貫通窓を跨いで且つ各貫通窓の一部のみを覆うように取り付ける工程である。
第四工程は、前記窓開きコアシートの前記各貫通窓の窓枠をなす領域のうち、前記支持部材で覆われていない領域の一部を除去し、前記各貫通窓の窓枠のうち、前記第一方向に延在する枠部のみを残すことにより、前記支持部材付きの異方導電性コネクターを得る工程である。

以下、図面を参照して具体的に説明するが、図の寸法は説明の便宜のために実際とは異なる。また、本明細書において、「下限値～上限値」の数値範囲は、特に他の意味であることを明記しない限り、「下限値以上、上限値以下」の数値範囲を意味する。また、本明細書において、各部材の「厚さ」は、デジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段を用いて測定対象の断面を観察し、５箇所の厚さを測定し、平均した値である。

＜第一実施形態＞
まず、エラストマー製樹脂シートと、前記樹脂シートの内部において前記樹脂シートがなす平面に沿い、長さ方向が任意の一方向に揃えられ、分散して並列に配置された複数の導電線と、を有するコアシートを準備する。例えば、次の方法によって予め作製したコアシートを使用することができる。

図１（ａ）に示す様に、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製シートを基材シートＶとして用い、基材シートＶの一方の主面Ｖａに、未硬化状態のエラストマーからなる厚さｈ１の第一の樹脂層１を形成する。

基材シートＶはＰＥＴシートに限られず、公知の樹脂シートが適用可能である。基材シートの厚さは、充分な剛性を得る観点から、例えば２５μｍ～２５０μｍとすることができる。未硬化の第一の樹脂層１を形成する方法は、公知方法が適用される。例えば、各種のコーターを用いて、未硬化の樹脂を基材シートＶの一方の主面Ｖａに塗工する方法が挙げられる。また、ロールから繰り出した基材シートＶの一方の主面Ｖａに前記未硬化状態のエラストマーを連続的に塗工する方法が挙げられる。前記未硬化状態は、硬化が未完全の状態であり、半硬化状態を含む。

第一の樹脂層１を形成するエラストマーとしては、例えば、シリコーンゴム、ウレタンゴム、イソプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、天然ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、スチレンブタジエンゴム等が挙げられる。これらの中でも、硬化後の寸法変化や反りが生じ難く、圧縮永久歪が小さく、耐熱性が高い、シリコーンゴムが好ましい。シリコーンゴムは、縮合型、付加型のいずれでもよい。

第一の樹脂層１を構成する樹脂には、公知の添加剤、例えば樹脂の重合を促す触媒、樹脂同士の架橋を促す架橋剤、抗酸化剤、染料、顔料、充填剤、レベリング剤等を適量で添加してもよい。また、未硬化の樹脂の塗工性を向上させるために希釈溶剤を添加してもよい。

第一の樹脂層１の厚さｈ１は、後段で樹脂層１の一方の主面１ａに配置する導電線の直径ｒ１より薄くてもよいし、導電線の直径ｒ１と同じ又は導電線の直径ｒ１より厚くてもよく、例えば、５μｍ～５００μｍ程度とすることができる。
第一の樹脂層１のサイズは、例えば、縦×横＝１０ｍｍ×１０ｍｍ～３００ｍｍ×３００ｍｍ程度とすることができる。

次に、図１（ｂ）に示す様に、第一の樹脂層１の一方の主面１ａに複数本の導電線２の長さ方向を任意の一方向に揃えて配置する。図示例では、各導電線２の長さ方向は紙面垂直方向に揃えている。各導電線２の長さ方向は、互いに略平行であることが好ましく、完全に平行であることがより好ましい。
本明細書において「略平行である」とは、任意の導電線同士の交差角が±５°の範囲内で平行であることを意味する。
導電線２同士のピッチ（中心間距離）ｐは、例えば、１０μｍ～１００μｍとすることができる。

導電線２を第一の樹脂層１の主面１ａに配置する方法は、公知方法が適用される。例えば、上述のようにロールから繰り出した基材シートＶに連続的に形成した第一の樹脂層１の主面１ａに対して、任意のピッチでボビンに巻回された複数の導電線２をボビンから繰り出して、第一の樹脂層１の主面１ａに一定のピッチで連続的に配置する方法が挙げられる。各導電線２の長さは、例えば、第一の樹脂層１の主面１ａの一端から他端までとすることが好ましい。

導電線２の直径は、例えば、５μｍ～５０μｍとすることができる。
導電線２の材料は、導電性物質であればよく、公知の導電線が適用される。具体的な導電性物質としては、例えば、真鍮、銅、銀、金、プラチナ、パラジウム、タングステン、ベリリウム銅、りん青銅、ニッケルチタン合金等の金属、カーボンナノチューブ、カーボンナノチューブ紡績糸等の炭素材料が挙げられる。

導電線２は、前記導電性物質からなる芯線の外周を被覆する被覆層を有していてもよい。被覆層の材料としては、例えば、金、銀、ニッケル、銅等が挙げられる。芯線の材料と被覆層の材料は互いに異なることが好ましい。なお、導電線２の直径は被覆層を含む直径である。

導電線２の長さ方向に対して直交する方向の断面の形状は、特に制限されず、略円形、略楕円形、略四角形、その他の多角形等が挙げられる。安定した接続を得る観点から、略円形又は略楕円形であることが好ましい。導電線２の直径は、前記断面を含む最小円の直径である。
本明細書において、「最小円の直径」は、測定顕微鏡等の拡大観察手段を用いて、３０個の測定対象について、各々の断面を含む最小円の直径を測定した値の平均値である。

第一の樹脂層１の一方の主面１ａに各導電線２を任意の間隔で配置した後、各導電線２を覆うように第二の樹脂層１を積層する。具体的には、図１（ｃ）に示す様に、別の基材シートＶの主面に未硬化状態のエラストマーからなる第二の樹脂層１を形成し、これを第一の樹脂層１の一方の主面１ａに被せて押圧し、第一の樹脂層１及び第二の樹脂層１を硬化させる方法が挙げられる。

図１（ｄ）に示す様に、上記で得た第一の樹脂層１及び第二の樹脂層１が一体化してなる積層体をコアシートとして用いることができる。
また、前記積層体を複数枚重ねてコアシートとしてもよい。また、第一の樹脂層１の一方の主面１ａに未硬化の第二の樹脂層１を積層した後、第二の樹脂層１の第一の樹脂層１とは反対側の主面に、複数の導電線２を同様に配置し、これらの導電線２を覆うように第三の樹脂層１を積層することにより、導電線２が２段積層されたコアシートを得てもよい。同様に、導電線２が３段以上積層されたコアシートを得てもよい。
コアシート内に配置された各段の導電線２の本数は同じでもよいし、異なっていてもよい。コアシート内に配置された導電線２の長さ方向は揃っていることが好ましい。

コアシートの平面視の形状は特に制限されず、例えば、図２に示す様な、矩形のコアシート３とすることができる。矩形のコアシート３のサイズは、例えば、縦が０．８ｍｍ～１０ｍｍ、横が１ｍｍ～３０ｍｍ程度とすることができる。

コアシート３の内部に配置された複数の導電線２は、コアシート３の短辺に沿って平行に分散して配置されている。
以下の説明の便宜上、コアシート３の短辺と平行な方向を第一方向（図２のＸ軸方向）とし、これに直交するコアシート３の長辺と平行な方向を第二方向（図２のＹ軸方向）とする。

次に、図３に示す様に、コアシート３の平面視で、第一方向を横切る第二方向（Ｙ軸方向）に配列した複数の貫通窓４をコアシート３に形成することにより、窓開きコアシート５を得る。各貫通窓４は、コアシート３を構成する各樹脂層１の積層方向（図３の紙面奥行き方向）にくり貫いて形成されており、各貫通窓４を囲む樹脂層１が貫通窓の枠部４ａを構成している。

窓開きコアシート５に形成された矩形の各貫通窓４の大きさは互いに同じであってもよいし、異なっていてもよいが、同じであることが好ましい。
各貫通窓４の短辺はY軸方向に沿って互いに平行であることが好ましく、各貫通窓４の長辺はX軸方向に沿って互いに平行であることが好ましい。また、各貫通窓４の中心を通る直線はY軸方向に沿って平行であることが好ましい。

貫通窓４のＸ軸方向の長さは、コアシート３のＸ軸方向の長さよりも短く、例えば、０．５ｍｍ～５ｍｍ程度とすることができる。
貫通窓４のＹ軸方向の長さは、式：（コアシート３のＹ軸方向の長さ÷Ｙ軸方向に配列した貫通窓４の個数）で算出される長さよりも短く、例えば、０．１ｍｍ～１ｍｍ程度とすることができる。
貫通窓４のＸ軸方向に沿う枠部４ａの幅は、例えば０．０５ｍｍ～０．２ｍｍ程度とすることができる。

コアシート３に貫通窓４を形成する方法としては、例えば、貫通窓４の窓枠をなぞるようにレーザー光を照射し、窓枠の内部の樹脂層１を切り落とす方法が挙げられる。通常、樹脂を焼くことが可能なレーザー光は、金属を焼き切るために必要なエネルギーを有しないので、導電線２が金属製である場合、図３に示す様に、各貫通窓４内には第一方向に沿う複数の導電線２が差し渡された状態で残留することがある。

上記の貫通窓４内に露出した導電線２は不要であるので、図４に示す様に、切除する。切除する方法としては、例えば、金属線を焼き切ることが可能なレーザー光を照射する方法、金属線を溶解する溶液に接触させて化学的にエッチングする方法、刃物を用いて物理的に切断する方法等が挙げられる。

また、コアシート３に貫通窓４を形成する別の方法として、先端に刃が付いたくり貫き型をコアシート３の所定位置に押し当て、コアシート３の当該箇所を物理的に切除してくり貫くことにより、貫通窓４を形成する方法も例示できる。この方法によれば、樹脂層１と導電線２を一度のパンチング処理で切除できるので、前述したレーザー照射による段階的な切除方法よりも簡便な場合がある。

コアシート３に形成する各貫通窓４の大きさや形状はそれぞれ独立に任意に設定することができるが、後述するように等ピッチで突出部を形成できることから、互いに同じサイズの矩形又は四角形であることが好ましい。このとき各貫通窓４が有する４辺のうち少なくとも１辺は、コアシート３の外縁１ｚに平行であることが好ましい。

図４の例では、複数の同じ矩形の貫通窓４が第二方向（Ｙ軸方向）に沿って一定のピッチ（中心間距離）Ｐ１で設けられている。各貫通窓４が有する２つの短辺は、コアシート３の第二方向に沿う外縁１ｚに平行である。各貫通窓４が有する２つの長辺からなる枠部４ａは、コアシート３の第一方向に平行である。

図５は、図４のＡ－Ａ矢視の断面図である。枠部４ａの内部には第一方向（Ｘ軸方向）に沿う複数の導電線２が分散して並列に配置されている。

次に、図６に示す様に、窓開きコアシート５の表面５ａ及び裏面５ｂの両方から窓開きコアシート５を挟持する支持部材６を、第二方向（Ｙ方向）に沿って、複数の貫通窓４を跨いで且つ各貫通窓４の一部のみを覆うように取り付ける。
図示例では、平面視の外形が矩形の窓開きコアシート５に対して、第一の支持部材６Ａと第二の支持部材６Ｂが、それぞれ窓開きコアシート５の表面５ａと裏面５ｂから窓開きコアシート５を挟持している。

図７に示す窓開きコアシート５の平面視において、第一の支持部材６Ａと第二の支持部材６Ｂとは重なり、帯状の支持部材６として見える。第二方向（Ｙ軸方向）に見て、支持部材６の長さは窓開きコアシート５よりも長く、第一方向（Ｘ軸方向）に見て、支持部材６の長さは、窓開きコアシート５よりも短く、かつ各貫通窓４よりも短い。

第一の支持部材６Ａの窓開きコアシート５の表面５ａに面する表面は平坦である。一方、第二の支持部材６Ｂの窓開きコアシート５の裏面５ｂに面する表面には、第二方向に沿って、複数の凹部６ｘと複数の凸部６ｙが交互に形成されている。各凸部６ｙの第二方向のピッチＰ２は、貫通窓４同士の前記ピッチＰ１と同じである。さらに、各凸部６ｙの第二方向の幅は、各貫通窓４の第二方向の幅と同じである。各凸部６ｙの高さは、窓開きコアシート５の厚さと同じである。

図８は図７のＢ－Ｂ矢視の断面図である。第二の支持部材６Ｂの各凸部６ｙは、窓開きコアシート５の各貫通窓４に嵌合している。第二の支持部材６Ｂの各凸部６ｙの頂面は第一の支持部材６Ａに密着している。また、各凹部６ｘには、各貫通窓４の第一方向に沿う枠部４ａの一部が嵌合している。各貫通窓４は中心付近に嵌合した各凸部６ｙによって二つの領域に分けられている。

次に、図９に示す様に、窓開きコアシート５の各貫通窓４の窓枠をなす領域のうち、支持部材６で覆われていない領域の一部を除去し、各貫通窓４の窓枠のうち、第一方向（Ｘ軸方向）に延在する枠部４ａのみを残すことにより、図１０に示す支持部材６付きの異方導電性コネクター１０を得る。

不要な窓枠の領域を除去する方法は特に制限されず、例えば、図９の切断線Ｌ１及び切断線Ｌ２に沿って、刃物を押し当てるか又はレーザー照射する方法が挙げられる。切断線Ｌ１及び切断線Ｌ２はそれぞれ支持部材６の長さ方向に沿っており、第二方向（Ｙ軸方向）と平行である。

不要な窓枠の領域を除去した後に残る、第一方向に延在する各枠部４ａの第一方向の長さは互いに同じでもよいし、異なっていてもよい。その長さは特に制限されず、例えば、０．１ｍｍ～５ｍｍ程度とすることができる。

図１０に示す異方導電性コネクター１０にあっては、支持部材６のＸ軸の負方向に延在する複数の枠部４ａからなる突出部Ｊが突出し、さらに、支持部材６のＸ軸の正の方向に延在する複数の枠部４ｂからなる突出部Ｊが突出している。Ｘ軸（第一方向）に沿って一直線上にある各枠部４ａと各枠部４ｂは、支持部材６を貫通する一つながりの部材であり、探針Ｑを構成する。図１１は、図１０のＣ－Ｃ矢視の断面図であり、探針Ｑは支持部材６を貫通している。

図１０に示す様に、各探針Ｑの一方の端部Ｅ１には複数の導電線２の一方の端部が露出しており、各探針Ｑの他方の端部Ｅ２にも複数の導電線２の他方の端部が露出している。また、図１１に示す様に、個々の探針Ｑの内部において、一方の先端Ｅ１から他方の端部Ｅ２に貫通する複数の導電線２が並列に配置されている。

各探針Ｑの一方の端部Ｅ１及び他方の端部Ｅ２のエラストマー材料（被覆材７）を除去することにより、図１２に示す様に、各探針の一方の端部Ｅ１及び他方の端部Ｅ２において各導電線２を枠部４ａ及び枠部４ｂから突出させてもよい。各導電線２を突出させる方法としては、例えば、エラストマー材料を焼くことが可能で、各導電線２を焼くことのできないレーザー光を照射する方法が挙げられる。

≪支持部材付きの異方導電性コネクター≫
本発明の第二態様は、支持部材と、前記支持部材の第一面から第二面へ貫通し、前記第一面及び前記第二面からそれぞれ突出する突出部を有する探針を複数備え、前記探針は、前記支持部材を貫通し、前記第一面及び前記第二面から突出するエラストマー製の被覆材と、前記被覆材の突出方向に沿って前記被覆材を貫通し、前記被覆材の内部で並列に配置された複数の導電線と、を有し、前記第一面の平面視で、前記複数の探針が有する各被覆材の外形が四角形であり、かつ、各四角形の互いに対応する辺の向きが平行である、異方導電性コネクターである。
本態様の支持部材付きの異方導電性コネクターは、例えば、第一態様の製造方法によって製造することができる。

図１０に示す異方導電性コネクター１０は、支持部材６と、支持部材６の第一面６ａから第二面６ｂへ貫通し、第一面６ａ及び第二面６ｂから突出する突出部Ｊを有する探針Ｑを複数備えている。

探針Ｑは、支持部材６を貫通し、第一面６ａ及び第二面６ｂから突出するエラストマー製の被覆材７と、被覆材７の突出方向（図１２のＸ軸方向）に沿って被覆材７を貫通し、被覆材７の内部で並列に分散して配置された複数の導電線２と、を有する。
さらに、第一面６ａの平面視で、複数の突出部Ｊが有する各被覆材７の外形が四角形であり、かつ、各四角形の互いに対応する辺の向きが平行である。

図１３は、異方導電性コネクター１０の支持部材６の第一面６ａを平面視した部分拡大図である。
第一の突出部Ｊ１の被覆材７の外形は短辺７ａ及び長辺７ｂを有する矩形である。矩形の外形は第一面６ａに隙間なく密着している。その矩形の中には複数の導電線２の端部が露出している。第一の突出部Ｊ１に隣接する第二の突出部Ｊ２の被覆材７の外形も、同様に、短辺７ａ及び長辺７ｂを有する矩形であり、矩形の外形は第一面６ａに隙間なく密着している。ここで、第一の突出部Ｊ１の矩形の短辺７ａと、第二の突出部Ｊ２の矩形の短辺７ａは、互いに対応する辺であり、これらの辺の向きは互いに平行である。また、第一の突出部Ｊ１の矩形の長辺７ｂと、第二の突出部Ｊ２の矩形の長辺７ｂは、互いに対応する辺であり、これらの辺の向きも互いに平行である。

上記のように、支持部材６の第一面６ａ側から突出する各突出部Ｊの被覆材７の外形の向きが互いに揃った状態で固定されていることにより、各突出部ＪをＭｉｃｒｏ－ＣＮ等の雌型コネクターが有する電極端子に容易かつ正確に接触させることができる。図示しないが、支持部材６の第二面６ｂ側から突出する各突出部Ｊの被覆材７の外形も同様に、向きが互いに揃った状態で固定されており、第一面側の突出部Ｊと同様に使用することができる。

異方導電性コネクター１０の支持部材６の第一面６ａを平面視したとき、各突出部Ｊの被覆材７は、支持部材６の長さ方向であるＹ軸方向に沿って一直線状に配置されている。また、各突出部ＪのピッチＰ１（中心間距離）は一定である。また、各突出部Ｊの被覆材７の外形は互いに同一である。これらの構造であることにより、各突出部ＪをＭｉｃｒｏ－ＣＮ等の雌型コネクターが有する電極端子により容易かつより正確に接触させることができる。図示しないが、支持部材６の第二面６ｂ側から突出する各突出部Ｊのピッチ、各突出部Ｊの被覆材７の配置及び外形も、第一面６ａ側と同様である。

本態様の異方導電性コネクターは、図１２に示す異方導電性コネクター２０の様に、各突出部Ｊの突出方向（Ｘ軸方向）の先端において、被覆材７の表面から複数の導電線２が突出していてもよい。突出した導電線２は他のデバイスの電極端子に対する接触がさらに容易となるので好ましい。

≪異方導電性コネクターの使用方法≫
図１４は、雌型コネクターの一例であるＭｉｃｒｏ－ＣＮの上面図である。Ｙ軸方向に沿って中心に溝１０１が形成されており、溝の両側の土手に沿って複数の電極端子１０２が一定のピッチＰ１で設けられている。板バネからなる電極端子１０２のＲ形状のコンタクト面は、土手の頂部付近に位置するが、土手を構成する樹脂製モールド１０３の表面から一段下がった凹部に、陥没電極として設けられている。

図１５は、電極端子１０２のコンタクト面に対して、異方導電性コネクター２０の探針Ｑの先端にある複数の導電線２を接触させて電気的に接続した様子を模式的に表した部分拡大斜視図である。Ｙ軸方向に沿って一定のピッチＰ１で配置された複数の１０２に対して、異方導電性コネクター２０の支持部材６の第一面６ａに一定のピッチＰ１で設けられた各探針Ｑの導電線２を容易かつ正確に接触させることができる。
異方導電性コネクター２０の支持部材６の第二面６ｂに一定のピッチＰ１で突出している各探針Ｑには、検査用デバイス等の別の電極端子を接続することができる。

以上で説明した異方導電性コネクター１０，２０が有する支持部材６は、第一面６ａ側から平面視したときに帯状又は矩形状の外形であるが、支持部材６の外形はこれに限定されず、より面積の広い板状又はブロック状の部材であってもよい。また、支持部材６は別のホルダーによって保持されていてもよい。

Ｖ…基材シート、１…樹脂層、１ａ…一方の主面、２…導電線、３…コアシート、４…貫通窓、４ａ…枠部、４ｂ…枠部、５…窓開きコアシート、５ａ…表面、５ｂ…裏面、６…支持部材、７…被覆材、Ｑ…探針、Ｊ…突出部、１０…異方導電性コネクター、２０…異方導電性コネクター、１０１…溝、１０２…電極端子、１０３…樹脂製モールド

Claims (2)

1. エラストマーによって形成された樹脂シートと、前記樹脂シートの内部において前記樹脂シートがなす平面に沿い、任意の第一方向に長さ方向を揃えて並列に配置された複数の導電線と、を有するコアシートを準備し、
   前記コアシートの平面視で、前記第一方向を横切る第二方向に配列した複数の貫通窓を前記コアシートに形成することにより、窓開きコアシートを得て、
   前記窓開きコアシートの表面及び裏面の両方から前記窓開きコアシートを挟持する支持部材を、前記第二方向に沿って、前記複数の貫通窓を跨いで且つ各貫通窓の一部のみを覆うように取り付け、
   前記窓開きコアシートの前記各貫通窓の窓枠をなす領域のうち、前記支持部材で覆われていない領域の一部を除去し、前記各貫通窓の窓枠のうち、前記第一方向に延在する枠部のみを残すことにより、前記支持部材付きの異方導電性コネクターを得ることを含む、異方導電性コネクターの製造方法。
2. 支持部材と、前記支持部材の第一面から第二面へ貫通し、前記第一面及び前記第二面からそれぞれ突出する突出部を有する探針を複数備え、
   前記探針は、前記支持部材を貫通し、前記第一面及び前記第二面から突出するエラストマー製の被覆材と、前記被覆材の突出方向に沿って前記被覆材を貫通し、前記被覆材の内部で並列に配置された複数の導電線と、を有し、
   前記第一面の平面視で、前記複数の探針が有する各被覆材の外形が四角形であり、かつ、各四角形の互いに対応する辺の向きが平行である、異方導電性コネクター。

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