JP3558298B2 - 電極集合体、icソケット、icテスター、および電極集合体の製造方法 - Google Patents
電極集合体、icソケット、icテスター、および電極集合体の製造方法 Download PDFInfo
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】
この発明は、電極集合体、ICソケット、ICテスター、および電極集合体の製造方法に係り、とくにICテスター等に用いて好適な電極集合体、ICソケット、およびICテスターに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この発明の対象となる分野における従来技術の第1の例として、ICの特性を評価及び測定する場合に用いられるソケット等を挙げることができる。このソケット及びソケット等の測定電気回路との接続部品としては、次のような技術が用いられる。即ち、
1.ゴムコネクターを用いる方法
この方法は、図11Aに示したような半楕円形の絶縁性シリコンゴム500を芯材とし、その表面に、ポリイミドフィルム501のベース(フレキシブル基板)にメッキで形成した電極502を成形法で一体化したゴムコネクター503を用い、このゴムコネクター503を、図11Bに示したように、2枚の印刷回路基板504及び505に挟み、これらの印刷配線基板504及び505の電極と前記ゴムコネクター503の電極502とを接続する方法である。
2.射出成形/板バネ構造のソケットを用いる方法
これは、図12に示したように、モールドで成形された四角形のソケットベース601の内部四辺に板バネ602を多数埋め込み、図示していないが、QFP型のような表面実装型ICを装着した場合、ICのリードがソケット600の板バネ602に押しつけられて接触し、板バネ602の弾性により導通をとる構造になっている。
3.コンタクトピンを用いる方法
これは、図13に示したように、片側又は両側に絶縁樹脂701をコーティングした導電板702を単位ユニットとし、これを重ね合わせてコンタクトピン700を構成し、このコンタクトピン700にICのリードを接触させて導通をとる方法である。
4.プローブ方式
ICのリードの1本毎にプローブピンをタッチさせて接続を得る方法である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これらの従来技術には、それぞれ次のような欠点がある。即ち、前記1項のゴムコネクター503を用いる方法では、
1.成形法で製作するため、作れる形状に制限がある
2.フレキシブル基板を使用しているため、それを直角に折曲げられない
3.少量、他品種生産が困難
4.電極をメッキで作るため、硬質のICリードを繰り返し接触させるには不向 きである
5.絶縁性シリコンゴム500の硬度を選択できない
6.電極502の厚さが数10μmなので、電流容量、機械的な耐摩耗性等に限 界がある
等の欠点があり、
前記2項の射出成形/板バネ構造のソケット600を用いる方法では、
1.樹脂の流れに大きく依存するため、電極である板バネ602のピッチを0. 5mmピッチ以下にすることは非常に困難
と言う欠点があり
前記3項のコンタクトピン700を用いる方法では、
1.絶縁樹脂701の膜厚をコントロールするのが難しい
という欠点があり、更にまた、
前記4項のプローブ方式では、
1.多額のコストが掛かる
2.保守管理に困難を伴う
3.プローブピンが放射状にレイアウトされているため、寸法が大きくなる
4.プローブビンの変形に注意を払わなければならない
5.バーンイン用には使用できない
等の欠点がある。
本発明はこのような問題点を一掃しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
それ故、この発明では、金属板と絶縁板とを複数枚交互に積層した多層積層体から、その多層積層体の積層方向に、ブロック状に裁断して、積層ブロックとし、積層ブロックには、その構成要素である金属板に貫通角孔を施して電極保持器にして、ファインピッチのICソケット等のICテスターに完成させている。
【0006】
【作用】
従って、この発明によれば、電極を容易にファインピッチ化できるので、特にファインピッチ電極を有するICテスターの電極に幅広く応用できる。
【0007】
【実施例】
以下、図を用いて、この発明の電子部品、その応用装置及びそれらの製造方法を説明する。
図1はこの発明の第1の実施例である電極保持器及び電極集合体の製造方法の各工程を示す斜視図であり、図2は図1の電極集合体を保持するためのソケットベースの構造を示す斜視図であり、図3は図1の電極集合体を図2のソケットベースに組み込んだ、この発明の第1の実施例であるIC用ソケットの斜視図である。
【0008】
図1Aにおいて、先ず電極保持器を構成する材料を用意する。符号1は絶縁板を示す。この絶縁板1は、接着剤の厚みも含めて0.15mmの板厚の、例えば、ガラスエポキシ樹脂を用いる。符号2は金属板を示し、これもやはり接着剤の厚みも含めて0.15mmの板厚の、前記絶縁板1と同一面積の、例えば、銅を用いる。これらを一枚毎に交互に重ね合わせて接着し、多層に積層して、同図Bに示したような多層積層体3に仕上げる。この工程では、各層間に気泡が生じないように真空プレスを行いながら接着するとよい。次に、同図Cに示したように、前記多層積層体3を、その積層方向に、そしてその長手方向に直角に裁断して、短冊状の積層ブロック4を切り出す。この裁断された積層ブロック4の構造は、結果的には、二平面からなり、前記金属板2が断面角形の金属板になっていて、これら複数の角形金属板が所定のピッチで互いに平行に配列され、これらの角形金属板間が絶縁樹脂で埋め尽くされ、これらの角形金属板と絶縁樹脂とで前記二平面を形成し、前記角形金属板が両平面にわたって露出している状態になっている。なお、この実施例では、多層積層体3の幅を、図2に示した、後述するソケットベース9の凹部10の幅に等しい寸法に予め定めた絶縁板1と金属板2とを用いて構成したが、紙の寸法を表す、例えば、A4版の大きさの絶縁板1と金属板2とを積層して構成し、前記凹部10の幅の寸法に合うように、その多層積層体の幅方向に裁断して、同図Bのような幅寸法の多層積層体3を得るようにしてもよいことは言うまでもない。
【0009】
切り出された積層ブロック4は90度回転させて、切断面を上に向け、積層状態が上方から見える状態で、図示していないが、エッチング装置或いは放電加工装置に設置して、この積層ブロック4を、その切断面表面からエッチング加工或いは放電加工を行う。このような加工を施すことにより、同図Dに示したように、積層ブロック4の金属板2の下部がほぼ40〜50%程度残るように、その金属板2を上部から取り除く。
【0010】
次の工程では、再度エッチング或いは放電加工により、同図Eに示したように、積層ブロック4に残された各金属板2に、コンタクトピン7の下部に設けられた、配線基板へのマウント用の配線端子8を挿入できる貫通角孔5を、その各残留金属板2の上端面に対して直角に設けて電極保持器6を完成する。そしてこれらの各貫通角孔5にコンタクトピン7の断面角型の配線端子8を挿入し、接着固定して電極集合体20が完成する(同図F)。
【0011】
前記コンタクトピン7は、各残留金属板2の上端面に安定して接触する角棒状基部12と、この基部12の下面の、前記貫通角孔5の位置に対応した位置から下方に一体的に形成された前記の配線端子8と、前記基部12の上方一端部から連結部13を介して同一のクランク形状をした同一の大きさで形成された電極14とから構成されていて、この電極14の先端部15は基部12との間に形成されたスリット16により自由端になっていて、バネが付与されている。このようなコンタクトピン7は、厚さ約0.15mmのベリリュームカッパーの薄板に、多数の前記コンタクトピン7の形状をマスキングし、エッチングにより一挙に製作することができる。
【0012】
なお、前記の各貫通角孔5は、図1Eでは電極保持器6の中心に、即ち、残留の金属板2の中央部に設けたように図示されているが、残留の各金属板2毎に中央部からずらして千鳥状に設けたり、中央部及び中央部から前後両側に同一寸法だけずらした位置に設けるようにして、配線基板への配線端子8をマウントする場合における配線基板上の配線パターン作成に余裕を持たせて、半田付け時にパターンブリッジが生じないようにすることができる。
【0013】
このために、図2に示したソケットベース9の凹部10に3本の、等間隔で互いに平行な、貫通した溝孔11を形成して、このようなソケットベース9の凹部10に、図1Eで完成した電極集合体20を図3に図示したように設置し、接着固定した場合に、前述した千鳥状或いは中央部及び中央部から前後両側に同一寸法だけずらして設けた配線端子8が、それぞれの溝孔11に挿入、貫通し、ソケットベース9の下方に全ての配線端子8の先端が露出するように構成されている。このようにしてファインピッチ電極を有するQFP型IC用ソケットが完成する。測定或いは検査しようとするIC(以下、「試料IC」と記す)のアウターリードが前記コンタクトピン7の電極14の先端部15と弾性的に接触して良好な接触を保ことができる。
【0014】
以上のように、この発明の第1の実施例によれば、長方形の板厚0.15mmの薄板からなる絶縁板1及びこの絶縁板1と同形の、やはり板厚0.15mmの薄板からなる金属板2を交互に積層して接着し、この多層積層体3を、その積層方向に、かつその長手方向にに直角に裁断し、その裁断された積層ブロック4の切断面を上部に向け、上部よりエッチング或いは放電加工を行って金属板2の下部をほぼ2分の1を残して上部の金属板2を取り除き、残部の金属板2に一部を再度上部よりエッチング或いは放電加工を行って金属板2に貫通角孔5を設けて、0.3mmピッチのファインピッチの電極保持器6を作成し、この電極保持器6にコンタクトピン7を挿入し、接着固定した電極集合体20をソケットベース9に組み込んでファインピッチ電極を有するIC用ソケットを完成させている。このIC用ソケットは、そのコンタクトピン7の間隔を一定に、かつ精度良く保つことができる。
【0015】
しかし、この第1の実施例の電極保持器6を製造するに当たって、前述のように、積層ブロック4の金属板2の上部のほぼ2分の1をエッチング或いは放電加工により取り除いて絶縁板1の上部をバリヤとし、残部の金属板2にエッチング或いは放電加工により貫通角孔5を設けるような加工方法は、複雑な加工になる上に、2度も金属板2にエッチング或いは放電加工を行わねばならず、加工工数が2倍必要になり、それだけ製造上のロスの発生が大きいという課題を残している。
【0016】
そこで、この第1の実施例の電極保持器6の製造方法に改良を加えたのが、次に説明する第2の実施例である電極保持器の製造方法及びその製造方法によって得られた電極保持器及び電極集合体である。
図4はこの発明の第2の実施例である電極保持器及び電極集合体の製造方法の各工程を示す斜視図であり、図5は図4の電極集合体を図2のソケットベースに組み込んだ、この発明の第2の実施例であるIC用ソケットの斜視図である。
なお、図1乃至図3の説明部分と同一部分には同一の符号を用いて説明する。
【0017】
図4A、図4B及び図4Cの工程は図1A、図1B及び図1Cの工程と同一であるので、その詳細な説明を省略するが、図4が図1と異なる点は、例えば、ガラスエポキシ樹脂からなる絶縁板1が多層積層体3の両端面に存在していることである。これは後述するように、金属板2に貫通角孔5を形成するので、その金属板2の表面が露出しないようにするためである。また図1では、絶縁板1と金属板2とを接着し、積層する場合に接着剤を用いたが、この実施例では、図4Bの工程で真空加熱成形することにより、絶縁板1のガラスエポキシ樹脂の表面が溶融して金属板2と接着し、多層積層体3が形成される。ガラスエポキシ樹脂と銅とは良く馴染み、接着し、剥離し難い。
【0018】
図4Cで多層積層体3の積層方向に、そしてその長手方向に所定間隔で裁断した短冊状の積層ブロック4は90度回転させて、切断面、即ち、積層状態が上方から見える状態にし、図示していないが、エッチング装置に装着してエッチングを行うことにより、図4Dに示すように積層ブロック4の金属板2(この実施例の場合は、金属板というよりも金属線に近い)に貫通角孔5を形成し、電極保持器6Aが完成する。これらの貫通角孔5は、図示したように、中心及び中心から前後両側に同量だけずらした位置に設けたり、中心からずらせて千鳥状に設けるようにしたのは、第1の実施例で説明した理由と同様である。即ち、図示していないが、配線基板3にソケットベース9をマウントするが、その場合に配線基板上の回路パターン作成に余裕を持たせることができ、また半田付け時の配線端子8の間隔に余裕を持たすことができるので、半田ブリッジの対策になる。
【0019】
次に、図4Eに示したように、電極保持器6Aの各貫通角孔5にコンタクトピン7を挿入し、図4Fに示すように、接着剤17でコンタクトピン7の基部12の下部と電極保持器6の上部とを接着、固定し、更に各コンタクトピン7の基部12間を接着剤17又は樹脂を流し込み、硬化させて固定すると電極集合体20Aが完成する。
【0020】
この電極集合体20Aは、図5に示したように、ソケットベース9の各凹部10に埋設する。凹部10にはその凹部10のほぼ全長にわたって3本の貫通した溝孔11が形成されていて、これらの溝孔11に、例えば、図4Dに示されたような貫通角孔5の配置と同様に配置された各コンタクトピン7の配線端子8が挿入され、それらがソケットベース9の下部に貫通して突出するように構成されている。このようにして、ファインピッチ電極を有するICを測定、検査できるQFP型IC用ソケットが得られる。
【0021】
以上のように、この第2の実施例によれば、第1の実施例と同様に、コンタクトピン7の間隔をファインピッチで一定に、かつ精度良く保つことができることに変わりはないが、一度のエッチング加工で電極保持器6を製作することができので、製造し易く、かつ安価にできるという利点がある。
【0022】
次に、この発明の第3の実施例を説明する。この第3の実施例もファインピッチ電極を有するICを測定、検査するためのIC用テスターに関するもので、以下の説明は、コンタクトピン、ファインピッチ電極集合体、IC用ソケット等に及ぶものである。
そして、この第3の実施例は、第1及び第2の実施例の電極集合体20Aを中心に改良を加えたもので、その改良を加えたコンタクトピン及び電極集合体を元にIC用ソケットやプローブ方式のIC用テスター等を発明したものである。
【0023】
第1及び第2の実施例のIC用ソケットで試料であるICの各種テストを行う場合には、図1Eに示した電極14の先端部15にICのアウターリードを接触させて行うが、この接触は良好に行われなければならず、そのためにスリット16を形成して先端部15を自由端にし、アウターリードの上下方向の寸法の多少のばらつきに対しては、そのバネでばらつきを吸収するようになっている。
しかし、この電極14の先端部15は自由端であるがために、また各電極14の先端部15がピッチ方向にも振れ、またコンタクトピン7の製作途中で発生する曲がりにより、アウターリードとの接触不良を起こすことがある。
この接触が確実に行われるように改良を加えたのが、次に説明する第3の実施例である。
【0024】
以下、第3の実施例を図を用いて説明する。図6はこの発明のコンタクトピンの実施例を示す斜視図であり、図7は図6のコンタクトピンを構成要素にしたファインピッチの、この発明の電極集合体の斜視図であり、図8は図7の電極集合体を搭載するためのソケットベース及びこのソケットベースに一部を除いてその電極集合体を搭載した、この発明のIC用ソケットを示す斜視図であり、図9は図7のIC用ソケットをIC用テスターとして使用した態様を示し、同図Aは斜視図で表されている同図Bのコンセントに、この発明のIC用ソケットをはめ込んだ状態で、図7のX−X線上で切った断面拡大図であり、そして同図CはQFP型ICを、同図Dは押圧具を示す斜視図であり、図10は図7の電極集合体で構成した、この発明のIC用テスターの断面図である。
なお、図1乃至図5の説明部分と同一部分には同一の符号を用いて説明する。
【0025】
先ず、図6を用いて、この発明の1つであるコンタクトピンについて説明する。同図Aにおいて、符号30は全体としてコンタクトピンを示す。このコンタクトピン30は基部31と、この基部31の下面中央部から下方に、そして基部31の下縁に垂直に伸びた配線端子32と、基部31の上面からループ状に形成され、その端部33が基部31の側端部34より突出するように形成された弾性部35と、そしてこの弾性部35の前記端部33に連結した、前記配線端子32と平行なテストピン36とから構成されている。このテストピン36と前記弾性部35の端部33との連結は、テストピン36の上端より少し下側の上端部で行われ、その連結部より下側のテストピン36の長さは、後述する電極保持器6Bの下面より少なくとも長く突出する長さに構成する。
このコンタクトピン30は、図6Aのように、配線端子32を基部31の下面中央部から下方に伸びるように設けたが、この配線端子32は、図6Bのように、配線端子32をテストピン36に対して遠い基部31の下面に設けたものと、図6Cのように、配線端子32をテストピン36に近い基部31の下面に設けたものとの3種類を用意する。
なお、これらのコンタクトピン30は、厚さ約0.15mmのベリリュウムカッパーをエッチング加工により製作し、金メッキを施して完成させた。従って、各配線端子32、テストピン36等は断面角型になる。
【0026】
次に、図7を用いて、この発明の電極集合体を説明する。符号40は全体として電極集合体を示す。また、符号6Bは電極保持器を示し、この電極保持器6Bは、その製造方法及び構造は、図4の第2の実施例で説明したものと実質的に同じであるので、それらの詳細な説明を省略するが、電極保持器6Aと異なる点は、積層ブロック4に、例えば、千鳥状に開けられた貫通角孔5の他に、角型の貫通の電極振れ止め兼ガイド孔41を、各金属板2に、積層ブロック4の積層方向に直角に、かつ一直線上に形成した点である。この電極振れ止め兼ガイド孔41の大きさは、前記テストピン36の太さより極僅かに大きく開けられているだけである。このような各電極振れ止め兼ガイド孔41に各コンタクトピン30のテストピン36を挿入し、また千鳥状に開けられた前記各貫通角孔5に各コンタクトピン30の配線端子32を挿入し、各コンタクトピン30の基部31の底面等を接着剤17で電極保持器6Bの各金属板2に接着、固定し、更に各基部31の間にエポキシ樹脂42を埋めてぐらつかないように固め、電極集合体40を完成さす。図7から明らかなように、テストピン36は電極保持器6Bの下面より下方に突出している。この実施例では、この下方に突出しているテストピン36の長さは、配線端子32の長さより短く形成してあり、後記の図10に示したIC用テスターに組み込んだ場合に取り扱いやすい構成にしている。しかし、このテストピン36の長さの特定は必須要件ではない。図7で一番手前に現れているコンタクトピン30は図6Aに示したコンタクトピン30である。
【0027】
図8は、ソケットベース9Aの凹部10Aを除いて、他の凹部10に電極集合体40を搭載したIC用ソケットを示している。ソケットベース9Aは、図2のソケットベース9とほぼ同様に構成されているが、その凹部10A(凹部10も同様)の底面には、電極集合体40の千鳥状の3本の配線端子32が貫通、挿入される3本の溝孔11が形成されている他に、各凹部10Aの底面の内側に、そのほぼ全長にわたって、電極集合体40のテストピン36が上下に運動できるように、テストピン36の逃げ用溝孔43が形成されている。この逃げ用溝孔43は、この実施例では貫通孔で形成したが、必ずしも貫通孔でなくてもよく、テストピン36の電極保持器6Bから下方に突出した長さと、その上下運動の移動距離の長さを加えた寸法よりほんの少し深い穴であってもよい。このような各凹部10Aの溝孔11及び逃げ用溝穴43にそれぞれ配線端子32とテストピン36を挿入して、電極集合体40を搭載、固定すると、QFP型IC用ソケット37が完成する。
【0028】
この第3の実施例のIC用ソケット37は、図9Aに示したようなIC用テスターで、例えば、QFP型ICの測定、検査等を行うのに供せられる。IC用ソケット37は、同図A及びBに示したようなコンセント38の上部中心に設置される。このコンセント38は上面中央部に十字状の台板39が形成されていて、IC用ソケット37の底面に形成された同形状の凹部が嵌まり込み、IC用ソケット37の位置決めができるように構成されている。また、この十字状の台板39の各先端には、各配線端子32が嵌め合わされる角型配線管47が貫通角孔48に埋設されている。台板39の中央には、同図Cに示したようなQFP型IC44を搭載するIC用ステージ50が、これを常時上方に押し上げようとするコイルバネ39を介して、支持台49で支持されて設置されている。符号56はリード線56で測定回路が構成されている印刷配線基板に接続される。
【0029】
QFP型IC44は前記IC用ステージ50に載置されると、そのP型IC44の各アウターリード45は各テストピン36の上部の電極46の上端に載置され、同図Dに示した押圧具54の各押圧片55で押さえられる。曲げ加工により各アウターリード45の折り曲げやコンタクトピン30に多少のばらつきがあってもコンタクトピン30の弾性部35の弾力の存在によりテストピン36が矢印Yの上下方向に、電極振れ止め兼ガイド孔41にガイドされて移動し、また、IC用ステージ50がコイルバネ39で上下方向に移動できること、及び押圧具54の存在により、アウターリード45とテストピン36の電極46とは良好に接触させることができる。そしてまた、電極振れ止め兼ガイド孔41にテストピン36が挿入されているので、電極46が横方向に振れることがないので、QFP型IC44の各アウターリード45と各コンタクトピン30のテストピン36の電極46とは確実に接触させることができる。
【0030】
次に、図10に、図7に示した電極集合体40の一応用例として、プローブ方式によるIC用テスターとその使用態様を示した。QFP型IC44はIC用ステージ50の上面に搭載され、そのIC用ステージ50のほぼ中央部を貫通する孔51から矢印Yaの下方に空気を吸引することにより吸着、固定する。電極集合体40はそれぞれ4個のアダプターソケット52(図10には2個のアダプターソケット52だけ示されている)に搭載されている。各アダプターソケット52には測定用回路等を含んだテスターボード53が備え付けられている。
IC用ステージ50は各アダプターソケット52の中央に配置されていて、矢印Ybの上下方向に移動するよう構成されている。QFP型IC44をIC用ステージ50の所定の位置に固定し、このIC用ステージ50を上方に移動させると、QFP型IC44のアウターリード45はテストピン36の下部の電極47と接触し、測定、検査等を行うことができる。この実施例では、テストピン36がプローブピンとして使用されていることが判る。
この実施例のIC用テスターでも、前記IC用ソケットと同様に、テストピン36は電極振れ止め兼ガイド孔41にガイドされて移動するので、アウターリード45とテストピン36の電極47とは良好に接触させることができる。そしてまた、電極振れ止め兼ガイド孔41にテストピン36が挿入されているので、電極47が横方向に振れることがないので、QFP型IC44の各アウターリード45と各電極47とは確実に接触させることができる。
【0065】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、絶縁板と金属板とを多数、交互に積層して、多層積層体を形成し、これをその積層方向に、ブロック状に切断して、積層ブロックとし、積層ブロックには、その構成要素の金属板に貫通角孔を施して電極保持器にして、ファインピッチのICソケット等のICテスターを得ることができる。
【0066】
また本願の別の発明によれば、ICソケットのコンタクトピンの間隔を一定に、かつ精度良く保つことができるとともに、ファインピッチ電極のICソケット等のICテスターの製造を容易に、かつ安価に行うことができる。
また、電極保持器に至っては、高価な金型、薬品等が不要であり、多量に、しかも安価に製造でき、そして多品種、少量生産もできる。更にまた、絶縁板と金属板との厚みを変えることにより所望のピッチのファインピッチ電極ができる等の数々の優れた特長がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施例である電極保持器の製造方法の各工程を示す斜視図である。
【図2】図1の電極保持器を保持するためのソケットベースの構造を示す斜視図である。
【図3】図1の電極保持器を図2のソケットベースに組み込んだ状態を示す、この発明の第1の実施例であるICソケットの斜視図である。
【図4】この発明の第2の実施例である電極保持器及び電極集合体の製造方法の各工程を示す斜視図である。
【図5】図4の電極集合体を図2のソケットベースに組み込んだ、この発明の第2の実施例であるICソケットの斜視図である。
【図6】この発明のコンタクトピンの実施例を示す斜視図である。
【図7】図6のコンタクトピンを構成要素にしたファインピッチの、この発明の電極集合体の斜視図である。
【図8】図7の電極集合体を搭載するためのソケットベース及びこのソケットベースに一部を除いてその電極集合体を搭載した、この発明のICソケットを示す斜視図である。
【図9】図8のICソケットをICテスターとして使用した態様を示し、同図Aは斜視図で表されている同図Bにコンセントに、この発明のICソケットをはめ込んだ状態で、図8のX−X線上で切った断面拡大図であり、そして同図CはQFP型ICを、同図Dは押圧具を示す斜視図である。
【図10】図10は図7の電極集合体で構成した、この発明のICテスターの断面図である。
【図11】ゴムコネクターを用いる従来技術の測定方法を説明するための説明図で、同図Aはゴムコネクターの斜視図、同図Bは使用状態を示す分解斜視図である。
【図12】従来技術の測定方法に用いられる射出成形/板バネ構造のソケットの斜視図である。
【図13】従来技術の測定方法に用いられるコンタクトピンの断面図である。
【符号の説明】
1 絶縁板
2 金属板
3 多層積層体
4 積層ブロック
5 貫通角孔
6 電極保持器
6A 電極保持器
6B 電極保持器
6C 電極保持器
7 コンタクトピン
8 配線端子
9 ソケットベース
9A ソケットベース
10 凹部
10A 凹部
11 溝孔
30 コンタクトピン
31 基部
32 配線端子
35 弾性部
36 電極振れ止めピン兼テストピン
40 電極集合体
41 電極振れ止め兼ガイド孔
42 エポキシ樹脂
43 逃げ用溝穴
44 QFP型IC
45 アウターリード
46 電極
47 電極
50 ICステージ
52 アダプターソケット
53 テスターボード
【産業上の利用分野】
この発明は、電極集合体、ICソケット、ICテスター、および電極集合体の製造方法に係り、とくにICテスター等に用いて好適な電極集合体、ICソケット、およびICテスターに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この発明の対象となる分野における従来技術の第1の例として、ICの特性を評価及び測定する場合に用いられるソケット等を挙げることができる。このソケット及びソケット等の測定電気回路との接続部品としては、次のような技術が用いられる。即ち、
1.ゴムコネクターを用いる方法
この方法は、図11Aに示したような半楕円形の絶縁性シリコンゴム500を芯材とし、その表面に、ポリイミドフィルム501のベース(フレキシブル基板)にメッキで形成した電極502を成形法で一体化したゴムコネクター503を用い、このゴムコネクター503を、図11Bに示したように、2枚の印刷回路基板504及び505に挟み、これらの印刷配線基板504及び505の電極と前記ゴムコネクター503の電極502とを接続する方法である。
2.射出成形/板バネ構造のソケットを用いる方法
これは、図12に示したように、モールドで成形された四角形のソケットベース601の内部四辺に板バネ602を多数埋め込み、図示していないが、QFP型のような表面実装型ICを装着した場合、ICのリードがソケット600の板バネ602に押しつけられて接触し、板バネ602の弾性により導通をとる構造になっている。
3.コンタクトピンを用いる方法
これは、図13に示したように、片側又は両側に絶縁樹脂701をコーティングした導電板702を単位ユニットとし、これを重ね合わせてコンタクトピン700を構成し、このコンタクトピン700にICのリードを接触させて導通をとる方法である。
4.プローブ方式
ICのリードの1本毎にプローブピンをタッチさせて接続を得る方法である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これらの従来技術には、それぞれ次のような欠点がある。即ち、前記1項のゴムコネクター503を用いる方法では、
1.成形法で製作するため、作れる形状に制限がある
2.フレキシブル基板を使用しているため、それを直角に折曲げられない
3.少量、他品種生産が困難
4.電極をメッキで作るため、硬質のICリードを繰り返し接触させるには不向 きである
5.絶縁性シリコンゴム500の硬度を選択できない
6.電極502の厚さが数10μmなので、電流容量、機械的な耐摩耗性等に限 界がある
等の欠点があり、
前記2項の射出成形/板バネ構造のソケット600を用いる方法では、
1.樹脂の流れに大きく依存するため、電極である板バネ602のピッチを0. 5mmピッチ以下にすることは非常に困難
と言う欠点があり
前記3項のコンタクトピン700を用いる方法では、
1.絶縁樹脂701の膜厚をコントロールするのが難しい
という欠点があり、更にまた、
前記4項のプローブ方式では、
1.多額のコストが掛かる
2.保守管理に困難を伴う
3.プローブピンが放射状にレイアウトされているため、寸法が大きくなる
4.プローブビンの変形に注意を払わなければならない
5.バーンイン用には使用できない
等の欠点がある。
本発明はこのような問題点を一掃しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
それ故、この発明では、金属板と絶縁板とを複数枚交互に積層した多層積層体から、その多層積層体の積層方向に、ブロック状に裁断して、積層ブロックとし、積層ブロックには、その構成要素である金属板に貫通角孔を施して電極保持器にして、ファインピッチのICソケット等のICテスターに完成させている。
【0006】
【作用】
従って、この発明によれば、電極を容易にファインピッチ化できるので、特にファインピッチ電極を有するICテスターの電極に幅広く応用できる。
【0007】
【実施例】
以下、図を用いて、この発明の電子部品、その応用装置及びそれらの製造方法を説明する。
図1はこの発明の第1の実施例である電極保持器及び電極集合体の製造方法の各工程を示す斜視図であり、図2は図1の電極集合体を保持するためのソケットベースの構造を示す斜視図であり、図3は図1の電極集合体を図2のソケットベースに組み込んだ、この発明の第1の実施例であるIC用ソケットの斜視図である。
【0008】
図1Aにおいて、先ず電極保持器を構成する材料を用意する。符号1は絶縁板を示す。この絶縁板1は、接着剤の厚みも含めて0.15mmの板厚の、例えば、ガラスエポキシ樹脂を用いる。符号2は金属板を示し、これもやはり接着剤の厚みも含めて0.15mmの板厚の、前記絶縁板1と同一面積の、例えば、銅を用いる。これらを一枚毎に交互に重ね合わせて接着し、多層に積層して、同図Bに示したような多層積層体3に仕上げる。この工程では、各層間に気泡が生じないように真空プレスを行いながら接着するとよい。次に、同図Cに示したように、前記多層積層体3を、その積層方向に、そしてその長手方向に直角に裁断して、短冊状の積層ブロック4を切り出す。この裁断された積層ブロック4の構造は、結果的には、二平面からなり、前記金属板2が断面角形の金属板になっていて、これら複数の角形金属板が所定のピッチで互いに平行に配列され、これらの角形金属板間が絶縁樹脂で埋め尽くされ、これらの角形金属板と絶縁樹脂とで前記二平面を形成し、前記角形金属板が両平面にわたって露出している状態になっている。なお、この実施例では、多層積層体3の幅を、図2に示した、後述するソケットベース9の凹部10の幅に等しい寸法に予め定めた絶縁板1と金属板2とを用いて構成したが、紙の寸法を表す、例えば、A4版の大きさの絶縁板1と金属板2とを積層して構成し、前記凹部10の幅の寸法に合うように、その多層積層体の幅方向に裁断して、同図Bのような幅寸法の多層積層体3を得るようにしてもよいことは言うまでもない。
【0009】
切り出された積層ブロック4は90度回転させて、切断面を上に向け、積層状態が上方から見える状態で、図示していないが、エッチング装置或いは放電加工装置に設置して、この積層ブロック4を、その切断面表面からエッチング加工或いは放電加工を行う。このような加工を施すことにより、同図Dに示したように、積層ブロック4の金属板2の下部がほぼ40〜50%程度残るように、その金属板2を上部から取り除く。
【0010】
次の工程では、再度エッチング或いは放電加工により、同図Eに示したように、積層ブロック4に残された各金属板2に、コンタクトピン7の下部に設けられた、配線基板へのマウント用の配線端子8を挿入できる貫通角孔5を、その各残留金属板2の上端面に対して直角に設けて電極保持器6を完成する。そしてこれらの各貫通角孔5にコンタクトピン7の断面角型の配線端子8を挿入し、接着固定して電極集合体20が完成する(同図F)。
【0011】
前記コンタクトピン7は、各残留金属板2の上端面に安定して接触する角棒状基部12と、この基部12の下面の、前記貫通角孔5の位置に対応した位置から下方に一体的に形成された前記の配線端子8と、前記基部12の上方一端部から連結部13を介して同一のクランク形状をした同一の大きさで形成された電極14とから構成されていて、この電極14の先端部15は基部12との間に形成されたスリット16により自由端になっていて、バネが付与されている。このようなコンタクトピン7は、厚さ約0.15mmのベリリュームカッパーの薄板に、多数の前記コンタクトピン7の形状をマスキングし、エッチングにより一挙に製作することができる。
【0012】
なお、前記の各貫通角孔5は、図1Eでは電極保持器6の中心に、即ち、残留の金属板2の中央部に設けたように図示されているが、残留の各金属板2毎に中央部からずらして千鳥状に設けたり、中央部及び中央部から前後両側に同一寸法だけずらした位置に設けるようにして、配線基板への配線端子8をマウントする場合における配線基板上の配線パターン作成に余裕を持たせて、半田付け時にパターンブリッジが生じないようにすることができる。
【0013】
このために、図2に示したソケットベース9の凹部10に3本の、等間隔で互いに平行な、貫通した溝孔11を形成して、このようなソケットベース9の凹部10に、図1Eで完成した電極集合体20を図3に図示したように設置し、接着固定した場合に、前述した千鳥状或いは中央部及び中央部から前後両側に同一寸法だけずらして設けた配線端子8が、それぞれの溝孔11に挿入、貫通し、ソケットベース9の下方に全ての配線端子8の先端が露出するように構成されている。このようにしてファインピッチ電極を有するQFP型IC用ソケットが完成する。測定或いは検査しようとするIC(以下、「試料IC」と記す)のアウターリードが前記コンタクトピン7の電極14の先端部15と弾性的に接触して良好な接触を保ことができる。
【0014】
以上のように、この発明の第1の実施例によれば、長方形の板厚0.15mmの薄板からなる絶縁板1及びこの絶縁板1と同形の、やはり板厚0.15mmの薄板からなる金属板2を交互に積層して接着し、この多層積層体3を、その積層方向に、かつその長手方向にに直角に裁断し、その裁断された積層ブロック4の切断面を上部に向け、上部よりエッチング或いは放電加工を行って金属板2の下部をほぼ2分の1を残して上部の金属板2を取り除き、残部の金属板2に一部を再度上部よりエッチング或いは放電加工を行って金属板2に貫通角孔5を設けて、0.3mmピッチのファインピッチの電極保持器6を作成し、この電極保持器6にコンタクトピン7を挿入し、接着固定した電極集合体20をソケットベース9に組み込んでファインピッチ電極を有するIC用ソケットを完成させている。このIC用ソケットは、そのコンタクトピン7の間隔を一定に、かつ精度良く保つことができる。
【0015】
しかし、この第1の実施例の電極保持器6を製造するに当たって、前述のように、積層ブロック4の金属板2の上部のほぼ2分の1をエッチング或いは放電加工により取り除いて絶縁板1の上部をバリヤとし、残部の金属板2にエッチング或いは放電加工により貫通角孔5を設けるような加工方法は、複雑な加工になる上に、2度も金属板2にエッチング或いは放電加工を行わねばならず、加工工数が2倍必要になり、それだけ製造上のロスの発生が大きいという課題を残している。
【0016】
そこで、この第1の実施例の電極保持器6の製造方法に改良を加えたのが、次に説明する第2の実施例である電極保持器の製造方法及びその製造方法によって得られた電極保持器及び電極集合体である。
図4はこの発明の第2の実施例である電極保持器及び電極集合体の製造方法の各工程を示す斜視図であり、図5は図4の電極集合体を図2のソケットベースに組み込んだ、この発明の第2の実施例であるIC用ソケットの斜視図である。
なお、図1乃至図3の説明部分と同一部分には同一の符号を用いて説明する。
【0017】
図4A、図4B及び図4Cの工程は図1A、図1B及び図1Cの工程と同一であるので、その詳細な説明を省略するが、図4が図1と異なる点は、例えば、ガラスエポキシ樹脂からなる絶縁板1が多層積層体3の両端面に存在していることである。これは後述するように、金属板2に貫通角孔5を形成するので、その金属板2の表面が露出しないようにするためである。また図1では、絶縁板1と金属板2とを接着し、積層する場合に接着剤を用いたが、この実施例では、図4Bの工程で真空加熱成形することにより、絶縁板1のガラスエポキシ樹脂の表面が溶融して金属板2と接着し、多層積層体3が形成される。ガラスエポキシ樹脂と銅とは良く馴染み、接着し、剥離し難い。
【0018】
図4Cで多層積層体3の積層方向に、そしてその長手方向に所定間隔で裁断した短冊状の積層ブロック4は90度回転させて、切断面、即ち、積層状態が上方から見える状態にし、図示していないが、エッチング装置に装着してエッチングを行うことにより、図4Dに示すように積層ブロック4の金属板2(この実施例の場合は、金属板というよりも金属線に近い)に貫通角孔5を形成し、電極保持器6Aが完成する。これらの貫通角孔5は、図示したように、中心及び中心から前後両側に同量だけずらした位置に設けたり、中心からずらせて千鳥状に設けるようにしたのは、第1の実施例で説明した理由と同様である。即ち、図示していないが、配線基板3にソケットベース9をマウントするが、その場合に配線基板上の回路パターン作成に余裕を持たせることができ、また半田付け時の配線端子8の間隔に余裕を持たすことができるので、半田ブリッジの対策になる。
【0019】
次に、図4Eに示したように、電極保持器6Aの各貫通角孔5にコンタクトピン7を挿入し、図4Fに示すように、接着剤17でコンタクトピン7の基部12の下部と電極保持器6の上部とを接着、固定し、更に各コンタクトピン7の基部12間を接着剤17又は樹脂を流し込み、硬化させて固定すると電極集合体20Aが完成する。
【0020】
この電極集合体20Aは、図5に示したように、ソケットベース9の各凹部10に埋設する。凹部10にはその凹部10のほぼ全長にわたって3本の貫通した溝孔11が形成されていて、これらの溝孔11に、例えば、図4Dに示されたような貫通角孔5の配置と同様に配置された各コンタクトピン7の配線端子8が挿入され、それらがソケットベース9の下部に貫通して突出するように構成されている。このようにして、ファインピッチ電極を有するICを測定、検査できるQFP型IC用ソケットが得られる。
【0021】
以上のように、この第2の実施例によれば、第1の実施例と同様に、コンタクトピン7の間隔をファインピッチで一定に、かつ精度良く保つことができることに変わりはないが、一度のエッチング加工で電極保持器6を製作することができので、製造し易く、かつ安価にできるという利点がある。
【0022】
次に、この発明の第3の実施例を説明する。この第3の実施例もファインピッチ電極を有するICを測定、検査するためのIC用テスターに関するもので、以下の説明は、コンタクトピン、ファインピッチ電極集合体、IC用ソケット等に及ぶものである。
そして、この第3の実施例は、第1及び第2の実施例の電極集合体20Aを中心に改良を加えたもので、その改良を加えたコンタクトピン及び電極集合体を元にIC用ソケットやプローブ方式のIC用テスター等を発明したものである。
【0023】
第1及び第2の実施例のIC用ソケットで試料であるICの各種テストを行う場合には、図1Eに示した電極14の先端部15にICのアウターリードを接触させて行うが、この接触は良好に行われなければならず、そのためにスリット16を形成して先端部15を自由端にし、アウターリードの上下方向の寸法の多少のばらつきに対しては、そのバネでばらつきを吸収するようになっている。
しかし、この電極14の先端部15は自由端であるがために、また各電極14の先端部15がピッチ方向にも振れ、またコンタクトピン7の製作途中で発生する曲がりにより、アウターリードとの接触不良を起こすことがある。
この接触が確実に行われるように改良を加えたのが、次に説明する第3の実施例である。
【0024】
以下、第3の実施例を図を用いて説明する。図6はこの発明のコンタクトピンの実施例を示す斜視図であり、図7は図6のコンタクトピンを構成要素にしたファインピッチの、この発明の電極集合体の斜視図であり、図8は図7の電極集合体を搭載するためのソケットベース及びこのソケットベースに一部を除いてその電極集合体を搭載した、この発明のIC用ソケットを示す斜視図であり、図9は図7のIC用ソケットをIC用テスターとして使用した態様を示し、同図Aは斜視図で表されている同図Bのコンセントに、この発明のIC用ソケットをはめ込んだ状態で、図7のX−X線上で切った断面拡大図であり、そして同図CはQFP型ICを、同図Dは押圧具を示す斜視図であり、図10は図7の電極集合体で構成した、この発明のIC用テスターの断面図である。
なお、図1乃至図5の説明部分と同一部分には同一の符号を用いて説明する。
【0025】
先ず、図6を用いて、この発明の1つであるコンタクトピンについて説明する。同図Aにおいて、符号30は全体としてコンタクトピンを示す。このコンタクトピン30は基部31と、この基部31の下面中央部から下方に、そして基部31の下縁に垂直に伸びた配線端子32と、基部31の上面からループ状に形成され、その端部33が基部31の側端部34より突出するように形成された弾性部35と、そしてこの弾性部35の前記端部33に連結した、前記配線端子32と平行なテストピン36とから構成されている。このテストピン36と前記弾性部35の端部33との連結は、テストピン36の上端より少し下側の上端部で行われ、その連結部より下側のテストピン36の長さは、後述する電極保持器6Bの下面より少なくとも長く突出する長さに構成する。
このコンタクトピン30は、図6Aのように、配線端子32を基部31の下面中央部から下方に伸びるように設けたが、この配線端子32は、図6Bのように、配線端子32をテストピン36に対して遠い基部31の下面に設けたものと、図6Cのように、配線端子32をテストピン36に近い基部31の下面に設けたものとの3種類を用意する。
なお、これらのコンタクトピン30は、厚さ約0.15mmのベリリュウムカッパーをエッチング加工により製作し、金メッキを施して完成させた。従って、各配線端子32、テストピン36等は断面角型になる。
【0026】
次に、図7を用いて、この発明の電極集合体を説明する。符号40は全体として電極集合体を示す。また、符号6Bは電極保持器を示し、この電極保持器6Bは、その製造方法及び構造は、図4の第2の実施例で説明したものと実質的に同じであるので、それらの詳細な説明を省略するが、電極保持器6Aと異なる点は、積層ブロック4に、例えば、千鳥状に開けられた貫通角孔5の他に、角型の貫通の電極振れ止め兼ガイド孔41を、各金属板2に、積層ブロック4の積層方向に直角に、かつ一直線上に形成した点である。この電極振れ止め兼ガイド孔41の大きさは、前記テストピン36の太さより極僅かに大きく開けられているだけである。このような各電極振れ止め兼ガイド孔41に各コンタクトピン30のテストピン36を挿入し、また千鳥状に開けられた前記各貫通角孔5に各コンタクトピン30の配線端子32を挿入し、各コンタクトピン30の基部31の底面等を接着剤17で電極保持器6Bの各金属板2に接着、固定し、更に各基部31の間にエポキシ樹脂42を埋めてぐらつかないように固め、電極集合体40を完成さす。図7から明らかなように、テストピン36は電極保持器6Bの下面より下方に突出している。この実施例では、この下方に突出しているテストピン36の長さは、配線端子32の長さより短く形成してあり、後記の図10に示したIC用テスターに組み込んだ場合に取り扱いやすい構成にしている。しかし、このテストピン36の長さの特定は必須要件ではない。図7で一番手前に現れているコンタクトピン30は図6Aに示したコンタクトピン30である。
【0027】
図8は、ソケットベース9Aの凹部10Aを除いて、他の凹部10に電極集合体40を搭載したIC用ソケットを示している。ソケットベース9Aは、図2のソケットベース9とほぼ同様に構成されているが、その凹部10A(凹部10も同様)の底面には、電極集合体40の千鳥状の3本の配線端子32が貫通、挿入される3本の溝孔11が形成されている他に、各凹部10Aの底面の内側に、そのほぼ全長にわたって、電極集合体40のテストピン36が上下に運動できるように、テストピン36の逃げ用溝孔43が形成されている。この逃げ用溝孔43は、この実施例では貫通孔で形成したが、必ずしも貫通孔でなくてもよく、テストピン36の電極保持器6Bから下方に突出した長さと、その上下運動の移動距離の長さを加えた寸法よりほんの少し深い穴であってもよい。このような各凹部10Aの溝孔11及び逃げ用溝穴43にそれぞれ配線端子32とテストピン36を挿入して、電極集合体40を搭載、固定すると、QFP型IC用ソケット37が完成する。
【0028】
この第3の実施例のIC用ソケット37は、図9Aに示したようなIC用テスターで、例えば、QFP型ICの測定、検査等を行うのに供せられる。IC用ソケット37は、同図A及びBに示したようなコンセント38の上部中心に設置される。このコンセント38は上面中央部に十字状の台板39が形成されていて、IC用ソケット37の底面に形成された同形状の凹部が嵌まり込み、IC用ソケット37の位置決めができるように構成されている。また、この十字状の台板39の各先端には、各配線端子32が嵌め合わされる角型配線管47が貫通角孔48に埋設されている。台板39の中央には、同図Cに示したようなQFP型IC44を搭載するIC用ステージ50が、これを常時上方に押し上げようとするコイルバネ39を介して、支持台49で支持されて設置されている。符号56はリード線56で測定回路が構成されている印刷配線基板に接続される。
【0029】
QFP型IC44は前記IC用ステージ50に載置されると、そのP型IC44の各アウターリード45は各テストピン36の上部の電極46の上端に載置され、同図Dに示した押圧具54の各押圧片55で押さえられる。曲げ加工により各アウターリード45の折り曲げやコンタクトピン30に多少のばらつきがあってもコンタクトピン30の弾性部35の弾力の存在によりテストピン36が矢印Yの上下方向に、電極振れ止め兼ガイド孔41にガイドされて移動し、また、IC用ステージ50がコイルバネ39で上下方向に移動できること、及び押圧具54の存在により、アウターリード45とテストピン36の電極46とは良好に接触させることができる。そしてまた、電極振れ止め兼ガイド孔41にテストピン36が挿入されているので、電極46が横方向に振れることがないので、QFP型IC44の各アウターリード45と各コンタクトピン30のテストピン36の電極46とは確実に接触させることができる。
【0030】
次に、図10に、図7に示した電極集合体40の一応用例として、プローブ方式によるIC用テスターとその使用態様を示した。QFP型IC44はIC用ステージ50の上面に搭載され、そのIC用ステージ50のほぼ中央部を貫通する孔51から矢印Yaの下方に空気を吸引することにより吸着、固定する。電極集合体40はそれぞれ4個のアダプターソケット52(図10には2個のアダプターソケット52だけ示されている)に搭載されている。各アダプターソケット52には測定用回路等を含んだテスターボード53が備え付けられている。
IC用ステージ50は各アダプターソケット52の中央に配置されていて、矢印Ybの上下方向に移動するよう構成されている。QFP型IC44をIC用ステージ50の所定の位置に固定し、このIC用ステージ50を上方に移動させると、QFP型IC44のアウターリード45はテストピン36の下部の電極47と接触し、測定、検査等を行うことができる。この実施例では、テストピン36がプローブピンとして使用されていることが判る。
この実施例のIC用テスターでも、前記IC用ソケットと同様に、テストピン36は電極振れ止め兼ガイド孔41にガイドされて移動するので、アウターリード45とテストピン36の電極47とは良好に接触させることができる。そしてまた、電極振れ止め兼ガイド孔41にテストピン36が挿入されているので、電極47が横方向に振れることがないので、QFP型IC44の各アウターリード45と各電極47とは確実に接触させることができる。
【0065】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、絶縁板と金属板とを多数、交互に積層して、多層積層体を形成し、これをその積層方向に、ブロック状に切断して、積層ブロックとし、積層ブロックには、その構成要素の金属板に貫通角孔を施して電極保持器にして、ファインピッチのICソケット等のICテスターを得ることができる。
【0066】
また本願の別の発明によれば、ICソケットのコンタクトピンの間隔を一定に、かつ精度良く保つことができるとともに、ファインピッチ電極のICソケット等のICテスターの製造を容易に、かつ安価に行うことができる。
また、電極保持器に至っては、高価な金型、薬品等が不要であり、多量に、しかも安価に製造でき、そして多品種、少量生産もできる。更にまた、絶縁板と金属板との厚みを変えることにより所望のピッチのファインピッチ電極ができる等の数々の優れた特長がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施例である電極保持器の製造方法の各工程を示す斜視図である。
【図2】図1の電極保持器を保持するためのソケットベースの構造を示す斜視図である。
【図3】図1の電極保持器を図2のソケットベースに組み込んだ状態を示す、この発明の第1の実施例であるICソケットの斜視図である。
【図4】この発明の第2の実施例である電極保持器及び電極集合体の製造方法の各工程を示す斜視図である。
【図5】図4の電極集合体を図2のソケットベースに組み込んだ、この発明の第2の実施例であるICソケットの斜視図である。
【図6】この発明のコンタクトピンの実施例を示す斜視図である。
【図7】図6のコンタクトピンを構成要素にしたファインピッチの、この発明の電極集合体の斜視図である。
【図8】図7の電極集合体を搭載するためのソケットベース及びこのソケットベースに一部を除いてその電極集合体を搭載した、この発明のICソケットを示す斜視図である。
【図9】図8のICソケットをICテスターとして使用した態様を示し、同図Aは斜視図で表されている同図Bにコンセントに、この発明のICソケットをはめ込んだ状態で、図8のX−X線上で切った断面拡大図であり、そして同図CはQFP型ICを、同図Dは押圧具を示す斜視図である。
【図10】図10は図7の電極集合体で構成した、この発明のICテスターの断面図である。
【図11】ゴムコネクターを用いる従来技術の測定方法を説明するための説明図で、同図Aはゴムコネクターの斜視図、同図Bは使用状態を示す分解斜視図である。
【図12】従来技術の測定方法に用いられる射出成形/板バネ構造のソケットの斜視図である。
【図13】従来技術の測定方法に用いられるコンタクトピンの断面図である。
【符号の説明】
1 絶縁板
2 金属板
3 多層積層体
4 積層ブロック
5 貫通角孔
6 電極保持器
6A 電極保持器
6B 電極保持器
6C 電極保持器
7 コンタクトピン
8 配線端子
9 ソケットベース
9A ソケットベース
10 凹部
10A 凹部
11 溝孔
30 コンタクトピン
31 基部
32 配線端子
35 弾性部
36 電極振れ止めピン兼テストピン
40 電極集合体
41 電極振れ止め兼ガイド孔
42 エポキシ樹脂
43 逃げ用溝穴
44 QFP型IC
45 アウターリード
46 電極
47 電極
50 ICステージ
52 アダプターソケット
53 テスターボード
Claims (12)
- 複数の断面角形の金属板が所定のピッチで互いにほぼ平行に配され、これら複数の金属板間に絶縁樹脂が介在されて積層構造になされ、これらの金属板の端面と絶縁樹脂板の端面とで形成される面一の底面を有し、
前記金属板に前記底面と直交するように貫通孔が形成され、該貫通孔を貫通するように電極を構成するコンタクトピンが挿入されていることを特徴とする電極集合体。 - 前記コンタクトピンは導電性材料から構成され、基部と、該基部から下方に延出された配線端子と、前記基部に弾性部を介して設けられた接触部とを具備することを特徴とする請求項1に記載の電極集合体。
- 前記接触部が前記配線端子とは逆方向に突出する先端部から構成されることを特徴とする請求項2に記載の電極集合体。
- 前記接触部が前記配線端子とほぼ同方向にかつほぼ平行に延出され、振れ止めを兼用するテストピンから構成されることを特徴とする請求項2に記載の電極集合体。
- 前記複数の金属板のそれぞれに複数の貫通孔が形成され、一方の貫通孔に配線端子が挿入されるとともに、他方の貫通孔にテストピンが移動自在に挿入されることを特徴とする請求項4に記載の電極集合体。
- 相対向する位置に設けられた少なくとも一対の凹部を有するソケットベースと、
複数の断面角形の金属板が所定のピッチで互いにほぼ平行に配され、これら複数の金属板間に絶縁樹脂が介在されて積層構造になされ、これらの金属板の端面と絶縁樹脂板の端面とで形成される面一の底面を有し、前記金属板に前記底面と直交するように貫通孔が形成され、該貫通孔を貫通するように電極を構成するコンタクトピンが挿入されている電極集合体と、
を具備し、前記電極集合体の底面が前記ソケットベースの凹部の底面に接するように前記ソケットベースの凹部内に前記電極集合体が固定されることを特徴とするICソケット。 - 前記ソケットベースの凹部に溝孔が形成され、該溝孔に前記コンタクトピンの下方に延出された配線端子が挿入されていることを特徴とする請求項6に記載のICソケット。
- 前記ソケットベースの凹部に複数本の溝孔が形成され、該溝孔に前記コンタクトピンの下方に延出された配線端子と振れ止めを兼用するテストピンとがそれぞれ挿入されていることを特徴とする請求項6に記載のICソケット。
- 相対向する位置に設けられた少なくとも一対の凹部を有するソケットベースと、
複数の断面角形の金属板が所定のピッチで互いにほぼ平行に配され、これら複数の金属板間に絶縁樹脂が介在されて積層構造になされ、これらの金属板の端面と絶縁樹脂板の端面とで形成される面一の底面を有し、前記金属板に前記底面と直交するように貫通孔が形成され、該貫通孔を貫通するように電極を構成するコンタクトピンが挿入されている電極集合体と、
前記ソケットベースのほぼ中央部に配され、その上にICを載置するICステージと、
を具備し、前記電極集合体の底面が前記ソケットベースの凹部の底面に接するように前記ソケットベースの凹部内に前記電極集合体が固定されるとともに、前記ソケットベースの貫通孔に挿入されたコンタクトピンの接触部が前記ステージ上のICの電極またはリードと接触し、しかも前記コンタクトピンの配線端子が測定回路に接続されることを特徴とするICテスター。 - 連続した金属板と絶縁樹脂板とを複数枚交互に積層して接着し、所定のピッチの多層積層体を形成し、
該多層積層体をその積層方向に所定の寸法でブロック状に切断し、しかも前記金属板の所定の位置に前記積層方向と直交するように貫通孔を形成し、該貫通孔に電極を構成するコンタクトピンを挿入することを特徴とする電極集合体の製造方法。 - 前記金属板の所定の位置をエッチングして貫通孔を形成することを特徴とする請求項10に記載の電極集合体の製造方法。
- 前記金属板と前記樹脂板とが連続して露出する端面の前記金属板をエッチングして上部を取除き、その後にさらに前記金属板の取除いた後の端面の所定の位置をエッチングして前記積層方向と直交する貫通孔を形成することを特徴とする請求項10に記載の電極集合体の製造方法。
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