JP2022037808A - p型III族窒化物半導体の製造方法 - Google Patents
p型III族窒化物半導体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022037808A JP2022037808A JP2020142146A JP2020142146A JP2022037808A JP 2022037808 A JP2022037808 A JP 2022037808A JP 2020142146 A JP2020142146 A JP 2020142146A JP 2020142146 A JP2020142146 A JP 2020142146A JP 2022037808 A JP2022037808 A JP 2022037808A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- concentration
- layer
- nitride semiconductor
- iii nitride
- algan
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 29
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 6
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 abstract description 47
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 144
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 83
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 229910019080 Mg-H Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000370 acceptor Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USZGMDQWECZTIQ-UHFFFAOYSA-N [Mg](C1C=CC=C1)C1C=CC=C1 Chemical compound [Mg](C1C=CC=C1)C1C=CC=C1 USZGMDQWECZTIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 can be increased Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
- H01L33/0066—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound
- H01L33/007—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound comprising nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/14—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
Description
まず、実施例1の発光素子の各層の構成について説明する。
次に、実施例1の発光素子の製造工程について説明する。なお、III 族窒化物半導体の結晶成長にはMOCVD法を用い、窒素源としてアンモニア、Ga源としてトリメチルガリウム、またはトリエチルガリウム、Al源としてトリメチルアルミニウムを用いる。また、n型ドーパントガスとしてシラン、p型ドーパントガスとしてビス(シクロペンタジエニル)マグネシウムを用いる。また、キャリアガスとして水素、窒素を用いる。
サファイアからなる基板上にAlNからなるバッファ層、アンドープのAlGaN、Mgドープのp-AlGaNを順に積層した試料を作製し、p-AlGaNのH濃度、Mg濃度、C濃度、H/Mgを二次イオン質量分析法(SIMS)、V族空孔およびIII 族サイトMgに起因する遷移をCLスペクトルによってそれぞれ測定した。
電子ブロック層14および第1pコンタクト層15A形成時のV/III 比を変化させて実施例1の発光素子を作製し、出力P0と順方向電圧Vfを測定した。
実施例1はp-AlGaNのキャリア濃度向上を図るものであったが、本発明はAlGaNだけでなく、AlN、AlInN、AlGaInNにも適用できる。つまり、Alを必須の構成要素とするIII 族窒化物半導体であれば適用できる。また、本発明はAlを必須の構成要素とするのであればAl組成の値は限られないが、Al組成が20%以上40%以下、または70%以上90%以下であればよりH/Mgが向上しやすく、キャリア濃度の向上もより容易となる。
11:バッファ層
12:nコンタクト層
13:発光層
14:電子ブロック層
15:pコンタクト層
16:透明電極
17:p電極
18:n電極
Claims (9)
- Alを必須の構成要素とするMgドープのp型III 族窒化物半導体の製造方法において、
p型化の熱処理前においてMg濃度に対するH濃度の比が50~100%となるようにMgドープのIII 族窒化物半導体を形成する、
ことを特徴とするp型III 族窒化物半導体の製造方法。 - 前記III 族窒化物半導体の成長温度は、1100℃以上であることを特徴とする請求項1に記載のp型III 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記III 族窒化物半導体のV/III 比は、2000~10000である、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のp型III 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記III 族窒化物半導体のMg濃度は、1×1018~2×1020/cm3 である、ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のp型III 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記III 族窒化物半導体のMg濃度は、7×1018~7×1019/cm3 である、ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のp型III 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記III 族窒化物半導体のAl組成は20%以上40%以下、または70%以上90%以下である、ことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のp型III 族窒化物半導体の製造方法。
- CLスペクトルにおける4.37~4.6eVにおけるピーク強度に対する3~3.8eVにおけるピーク強度の比が3以下である、ことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のp型III 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記III 族窒化物半導体の成長圧力は、10~60kPaである、ことを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載のp型III 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記III 族窒化物半導体のC濃度は、1×1017/cm3 以下である、ことを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載のp型III 族窒化物半導体の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020142146A JP7484572B2 (ja) | 2020-08-25 | 2020-08-25 | p型III族窒化物半導体の製造方法 |
CN202110884946.9A CN114122199A (zh) | 2020-08-25 | 2021-08-03 | p型第III族氮化物半导体的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020142146A JP7484572B2 (ja) | 2020-08-25 | 2020-08-25 | p型III族窒化物半導体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022037808A true JP2022037808A (ja) | 2022-03-09 |
JP7484572B2 JP7484572B2 (ja) | 2024-05-16 |
Family
ID=80440766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020142146A Active JP7484572B2 (ja) | 2020-08-25 | 2020-08-25 | p型III族窒化物半導体の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7484572B2 (ja) |
CN (1) | CN114122199A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003264345A (ja) * | 2002-03-11 | 2003-09-19 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子 |
JP2005159341A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-16 | Showa Denko Kk | III族窒化物p型半導体の製造方法およびIII族窒化物半導体発光素子 |
JP2007165515A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Showa Denko Kk | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
JP2016039325A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | ウシオ電機株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
WO2016143653A1 (ja) * | 2015-03-06 | 2016-09-15 | 株式会社トクヤマ | Iii族窒化物積層体、及び該積層体を有する発光素子 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5046324B2 (ja) | 2007-02-01 | 2012-10-10 | 日本碍子株式会社 | MgドープIII族窒化物半導体のP型導電性向上方法およびP型III族窒化物半導体の製造方法 |
JP5953447B1 (ja) * | 2015-02-05 | 2016-07-20 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | Iii族窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
JP2017017172A (ja) | 2015-06-30 | 2017-01-19 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ、レーザアレイ、固体レーザ、情報取得装置、画像形成装置、及びレーザアレイの製造方法 |
JP2017028076A (ja) | 2015-07-22 | 2017-02-02 | 株式会社トクヤマ | Iii族窒化物発光素子の製造方法 |
JP6379265B1 (ja) | 2017-09-12 | 2018-08-22 | 日機装株式会社 | 窒化物半導体発光素子及び窒化物半導体発光素子の製造方法 |
CN113169255A (zh) * | 2018-12-14 | 2021-07-23 | 同和电子科技有限公司 | Iii族氮化物半导体发光元件及其制造方法 |
-
2020
- 2020-08-25 JP JP2020142146A patent/JP7484572B2/ja active Active
-
2021
- 2021-08-03 CN CN202110884946.9A patent/CN114122199A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003264345A (ja) * | 2002-03-11 | 2003-09-19 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子 |
JP2005159341A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-16 | Showa Denko Kk | III族窒化物p型半導体の製造方法およびIII族窒化物半導体発光素子 |
JP2007165515A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Showa Denko Kk | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
JP2016039325A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | ウシオ電機株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
WO2016143653A1 (ja) * | 2015-03-06 | 2016-09-15 | 株式会社トクヤマ | Iii族窒化物積層体、及び該積層体を有する発光素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114122199A (zh) | 2022-03-01 |
JP7484572B2 (ja) | 2024-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4966865B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP6466653B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子、および窒化物半導体ウェーハ | |
TWI659547B (zh) | Iii族氮化物半導體發光元件的製造方法 | |
KR20180036701A (ko) | Iii족 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조방법 | |
TWI499080B (zh) | 氮化物半導體結構及半導體發光元件 | |
TW201631797A (zh) | Iii族氮化物半導體發光元件及其製造方法 | |
JP5948698B2 (ja) | 紫外発光素子およびその製造方法 | |
CN109860358B (zh) | 一种氮化镓基发光二极管外延片及其制备方法 | |
JP2019087712A (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子とその製造方法 | |
JPH11220169A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体素子及びその製造方法 | |
CN101330121B (zh) | 氮化物半导体发光装置的制造方法 | |
KR20130022815A (ko) | 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조방법 | |
KR20130102210A (ko) | 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조방법 | |
TWI710145B (zh) | 氮化物半導體紫外線發光元件的製造方法及氮化物半導體紫外線發光元件 | |
TWI585993B (zh) | Nitride light emitting device and manufacturing method thereof | |
KR100850780B1 (ko) | 질화물계 반도체 발광소자의 제조방법 | |
JP7484572B2 (ja) | p型III族窒化物半導体の製造方法 | |
CN109473525B (zh) | 一种氮化镓基发光二极管外延片及其制作方法 | |
KR101313645B1 (ko) | 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조방법 | |
KR20070035660A (ko) | 질화물 반도체 발광소자 제조방법 | |
TW201633560A (zh) | 發光元件 | |
JP6071044B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
TW201501345A (zh) | 發光晶片及其製造方法 | |
JP2021197531A (ja) | 発光素子及びその製造方法 | |
JP6198004B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20220701 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220722 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240415 |