JP2022032813A - シリコーン接着剤組成物、及びシリコーンゴム硬化物 - Google Patents
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Abstract
【課題】高接着力、高強度、高い伸び率、かつ基材からの剥離が可能であるシリコーン接着剤組成物。【解決手段】（Ａ）ケイ素原子に結合したアルケニル基を２個以上有するオルガノポリシロキサン、（Ｂ１）下記式（１）で示され、ｎが１～３の整数である直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン、TIFF2022032813000026.tif42160（Ｂ２）ケイ素原子に結合した水素原子を３個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン（（Ａ）成分中のアルケニル基の個数に対する、（Ｂ１）及び（Ｂ２）成分中のヒドロシリル基の合計個数の比が０．９～２．５）、（Ｃ）ナノシリカ粒子、及び（Ｄ）白金族金属系触媒を含む、シリコーン接着剤組成物。【選択図】なし
Description
本発明はシリコーン接着剤組成物、及び易解体性のシリコーンゴム硬化物に関する。
シリコーン樹脂組成物は、耐熱性、耐寒性、耐候性、電気絶縁性等の信頼性に優れ、低弾性かつ低応力であることから電子部品等の接着剤に用いられている。特に、シリコーンゴム組成物を耐熱性や耐寒性が求められるような過酷な条件の接着剤として使用する場合、接着材層は高接着力であることに加え、低弾性かつ高い伸び率を有することが望ましい。このような接着剤として、例えば、特許文献１記載のシリコーンゲル組成物が開示されている。
また、近年では使用済みの基材の再利用が行われており、例えば、特許文献２、３では接着樹脂層を洗浄によって静電チャック基材より除去し、基材を再利用する方法について示されている。
従来の静電チャック用接着剤は、基材から除去する際に溶剤等を用いた洗浄工程が必要であり、高い接着性と容易な剥離性を両立する接着剤の開発が求められている。しかし、例えば上記特許文献１記載のシリコーン組成物では、高い伸び及び接着力を有する硬化物を与えるが、静電チャック基材からの剥離が困難である。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、高接着力であるにも関わらず、基材からの剥離が可能であり、さらに高強度、高い伸び率を有する硬化物を与えることができるシリコーン接着剤組成物を提供することを目的とする。さらに、２液化した際の常温での保存安定性に優れるシリコーン接着剤組成物を提供することを目的とする。
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、下記（Ａ）～（Ｄ）成分を含む付加反応硬化型シリコーン接着剤組成物であり、（Ｃ）ナノシリカ粒子を配合すること、及び（Ｂ１）下記特定の直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサンを含有することにより、上記課題を解決できることを見出し本発明に至った。
即ち、本発明は、
（Ａ）ケイ素原子に結合したアルケニル基を１分子中に２個以上有する、オルガノポリシロキサン １００質量部
（Ｂ）下記（Ｂ１）成分及び下記（Ｂ２）成分
（Ｂ１）下記式（１）で示され、ｎが１～３の整数である直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサンから選ばれ、ｎの値が異なる２種以上
（式中、Ｒ１は、互いに独立に、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基であり、Ｒ２は互いに独立に、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基、または炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、Ｒ２のうち少なくとも１つは炭素数６～１２の芳香族炭化水素基である）
（Ｂ２）ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に３個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン
上記（Ａ）成分中のケイ素原子結合アルケニル基の個数に対する、該（Ｂ１）及び（Ｂ２）成分中のヒドロシリル基の合計個数の比が０．９～２．５となる量
（Ｃ）ナノシリカ粒子 ５～４０質量部、及び
（Ｄ）白金族金属系触媒 触媒量
を含む、シリコーン接着剤組成物を提供する。
（Ａ）ケイ素原子に結合したアルケニル基を１分子中に２個以上有する、オルガノポリシロキサン １００質量部
（Ｂ）下記（Ｂ１）成分及び下記（Ｂ２）成分
（Ｂ１）下記式（１）で示され、ｎが１～３の整数である直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサンから選ばれ、ｎの値が異なる２種以上
（Ｂ２）ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に３個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン
上記（Ａ）成分中のケイ素原子結合アルケニル基の個数に対する、該（Ｂ１）及び（Ｂ２）成分中のヒドロシリル基の合計個数の比が０．９～２．５となる量
（Ｃ）ナノシリカ粒子 ５～４０質量部、及び
（Ｄ）白金族金属系触媒 触媒量
を含む、シリコーン接着剤組成物を提供する。
本発明のシリコーン接着剤組成物から得られるシリコーンゴム硬化物は、高接着力であるにもかかわらず、易解体性を有するため基材からの剥離が可能であり、さらに高強度、及び高い伸び率を有する。該シリコーンゴム硬化物を接着剤に用いれば、基材の再利用を容易に行うことができる。さらに、本発明のシリコーン接着剤組成物は、２液化した際の常温での保存安定性にも優れる。
以下、本発明をより詳細に説明する。
［（Ａ）アルケニル基含有オルガノポリシロキサン］
本発明の（Ａ）成分であるアルケニル基含有オルガノポリシロキサンは、ケイ素原子に結合したアルケニル基を２個以上、好ましくは２～４個有するオルガノポリシロキサンであり、直鎖状でも分岐構造を有していてもよい。好ましくは、下記式（２）で示され２５℃における粘度が１０～１，０００，０００ｍＰａ・ｓである、直鎖状オルガノポリシロキサンである。また、２５℃における粘度が異なる２種類以上の直鎖状オルガノポリシロキサンを併用することがより好ましい。
（式中、Ｒ６は、互いに独立に、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基であり、Ｒ４及びＲ５は互いに独立に、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基、または炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、Ｒ５のうち１つ以上は炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、ｘは１０～５，０００の数、ｙは１～１００の数である）
［（Ａ）アルケニル基含有オルガノポリシロキサン］
本発明の（Ａ）成分であるアルケニル基含有オルガノポリシロキサンは、ケイ素原子に結合したアルケニル基を２個以上、好ましくは２～４個有するオルガノポリシロキサンであり、直鎖状でも分岐構造を有していてもよい。好ましくは、下記式（２）で示され２５℃における粘度が１０～１，０００，０００ｍＰａ・ｓである、直鎖状オルガノポリシロキサンである。また、２５℃における粘度が異なる２種類以上の直鎖状オルガノポリシロキサンを併用することがより好ましい。
Ｒ６は、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基、好ましくは炭素数１～３の飽和脂肪族炭化水素基である。飽和脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、及びブチル基等のアルキル基；シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等のシクロアルキル基、などが挙げられる。これらの中でも、メチル基が好ましい。
Ｒ４及びＲ５は、互いに独立に、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基、または炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、Ｒ５のうち少なくとも１つは炭素数６～１２の芳香族炭化水素基である。好ましくは炭素数１～３の飽和脂肪族炭化水素基、及び炭素数６～８の芳香族炭化水素基から選ばれる基である。飽和脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、及びブチル基等のアルキル基；シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等のシクロアルキル基、などが挙げられる。これらの中でも、メチル基が好ましい。芳香族炭化水素基の例としては、フェニル基、トリル基、ナフチル基、及びビフェニル基等のアリール基や、ベンジル基、フェニルエチル基、及びフェニルプロピル基等のアラルキル基などが挙げられる。これらの中でも、フェニル基が好ましい。
ｘは１０～５，０００の数であり、好ましくは１００～２，０００の数、より好ましくは１００～１，０００の数である。
ｙは１～１００の数であり、好ましくは５～５０の数である。
前記アルケニル基含有オルガノポリシロキサンは、ＪＩＳ Ｋ ７１１７－１：１９９９に準拠してブルックフィールド形回転粘度計により測定される２５℃での粘度１０～１００，０００ｍＰａ・ｓを有することが好ましく、より好ましくは１００～５０，０００ｍＰａ・ｓ、さらに好ましくは１，０００～３０，０００ｍＰａ・ｓを有するのがよい。粘度が１０ｍＰａ・ｓ未満であると、組成物が脆くなる恐れがあり、１００，０００ｍＰａ・ｓ超えでは、作業性が悪くなる恐れがある。
さらに、前記直鎖状オルガノポリシロキサンのうち、粘度が異なる直鎖状オルガノポリシロキサンを２種類以上併用することが好ましく、２種類を併用することがより好ましい。２種類の直鎖状オルガノシロキサンを併用する場合は、粘度が低い方のオルガノポリシロキサンの粘度に対し粘度が高い方のオルガノシロキサンの粘度が１．５～５００倍であることが好ましい。
３種類以上の直鎖状オルガノシロキサンを併用する場合は、最も低い粘度を有するオルガノポリシロキサンの粘度に対し、最も高い粘度を有するオルガノシロキサンの粘度が２～５００倍であり、それぞれのオルガノポリシロキサンの粘度の比が１．５倍以上離れていることが好ましい。
このような粘度の異なる２種以上の直鎖状オルガノポリシロキサンを併用することで、良好な作業性と高い伸び率の両立が可能になる。
前記直鎖状オルガノポリシロキサンとしては、例えば以下のものを例示できるが、これらだけに限定されるものではない。
（式中、ｘ及びｙは上述した通りである）
［（Ｂ）オルガノハイドロジェンポリシロキサン］
本発明において（Ｂ）オルガノハイドロジェンポリシロキサンは、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２つ有し、且つ、ケイ素原子に結合した芳香族炭化水素基を有する直鎖状のオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）と、１分子中にケイ素原子に結合した水素原子を３個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）の併用である。
上記（Ｂ１）成分は、下記式（１）で示されｎが１～３の整数である直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサンから選ばれる、ｎの値が異なる２種以上である。
（式中、Ｒ１は、互いに独立に、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基であり、Ｒ２は互いに独立に、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基または炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、Ｒ２のうち少なくとも１つは炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、ｎは１～３の整数である）
本発明において（Ｂ）オルガノハイドロジェンポリシロキサンは、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２つ有し、且つ、ケイ素原子に結合した芳香族炭化水素基を有する直鎖状のオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）と、１分子中にケイ素原子に結合した水素原子を３個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）の併用である。
上記（Ｂ１）成分は、下記式（１）で示されｎが１～３の整数である直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサンから選ばれる、ｎの値が異なる２種以上である。
Ｒ１は、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基であり、好ましくは炭素数１～３の飽和脂肪族炭化水素基から選ばれる基である。飽和脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、及びブチル基等のアルキル基；シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等のシクロアルキル基、などが挙げられる。これらの中でも、メチル基が好ましい。
Ｒ２は炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基または炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、Ｒ２のうち少なくとも１つは炭素数６～１２の芳香族炭化水素基である。好ましくは炭素数６～８の芳香族炭化水素基から選ばれる基である。飽和脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、及びブチル基等のアルキル基；シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等のシクロアルキル基、などが挙げられる。これらの中でも、メチル基が好ましい。芳香族炭化水素基としては、フェニル基、トリル基、ナフチル基、及びビフェニル基等のアリール基や、ベンジル基、フェニルエチル基、及びフェニルプロピル基等のアラルキル基などが挙げられる。これらの中でも、フェニル基が好ましい。
ｎは１～３の整数であり、好ましくは１または２の整数である。本発明の（Ｂ１）成分は、上記式（１）で示されｎが１～３の整数である直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサンから選ばれる、ｎの値が異なる２種以上の組み合わせであることを特徴とする。すなわち、ｎが１のシロキサンとｎが２のシロキサンの組合せ、ｎが１のシロキサンとｎが３のシロキサンの組合せ、ｎが２のシロキサンとｎが３のシロキサンの組合せ、ｎが１のシロキサンとｎが２のシロキサンとｎが３のシロキサンの組合せから選ばれる。中でも、ｎが１のシロキサンとｎが２のシロキサンの組合せ、ｎが２のシロキサンとｎが３のシロキサンの組合せが好ましく、中でもｎが１のシロキサンとｎが２のシロキサンの組合せが最も好ましい。
該２種以上のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの配合比は特に制限されるものでないが、特にはｎ＝１のシロキサンとｎ＝２のシロキサンの組合せの場合には、ｎ＝１のシロキサンとｎ＝２のシロキサンの合計質量に対するｎ＝２のシロキサンの割合が、２％以上５０％未満であるのがよく、好ましくは３％～４５％、より好ましくは５％～４０％であるのがよい。
このように、ｎの数が異なるオルガノハイドロジェンポリシロキサンを２種類以上併用することで、高い伸び率と２液化した場合の高い保存安定性を達成できる。
該２種以上のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの配合比は特に制限されるものでないが、特にはｎ＝１のシロキサンとｎ＝２のシロキサンの組合せの場合には、ｎ＝１のシロキサンとｎ＝２のシロキサンの合計質量に対するｎ＝２のシロキサンの割合が、２％以上５０％未満であるのがよく、好ましくは３％～４５％、より好ましくは５％～４０％であるのがよい。
このように、ｎの数が異なるオルガノハイドロジェンポリシロキサンを２種類以上併用することで、高い伸び率と２液化した場合の高い保存安定性を達成できる。
該（Ｂ１）直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサンは例えば、下記式で表される化合物が挙げられる。
（Ｂ２）成分は、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に３個以上、好ましくは３～５０個、特に好ましくは５～４０個、さらに好ましくは５～２０個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンである。Ｒ３
２ＳｉＯ２／２単位及びＲ３
３ＳｉＯ１／２単位を必須に含む、直鎖又は分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサンがよく、特に好ましくはＲ３
２ＳｉＯ２／２単位及びＲ３
３ＳｉＯ１／２単位からなる直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサンが好ましい。シロキサン単位数は３～１００個、好ましくは３～５０個、特に好ましくは５～４０個、さらに好ましくは５～２０個有するであるのがよい。
前記式において、Ｒ３は互いに独立して、水素原子、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基または炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、Ｒ３のうち少なくとも３つは水素原子である。ケイ素原子に結合する水素原子の結合箇所は特に制限されず、末端または分子鎖のケイ素原子のいずれに結合していてもよい。好ましくは分子鎖のケイ素原子に結合しているのがよい。尚、ＳｉＯ４／２単位及びＲ３ＳｉＯ３／２単位を、本発明の効果を損ねない範囲で少量含むことができる。
前記式において、Ｒ３は互いに独立して、水素原子、炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基または炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、Ｒ３のうち少なくとも３つは水素原子である。ケイ素原子に結合する水素原子の結合箇所は特に制限されず、末端または分子鎖のケイ素原子のいずれに結合していてもよい。好ましくは分子鎖のケイ素原子に結合しているのがよい。尚、ＳｉＯ４／２単位及びＲ３ＳｉＯ３／２単位を、本発明の効果を損ねない範囲で少量含むことができる。
当該（Ｂ２）オルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、例えば以下のものを例示できるが、これらに限定されるものではない。
（式中、ａ＝３～５０、ｂ＝０～２０、ｃ＝５～２０の数である）
本発明の組成物における上記（Ｂ１）成分及び（Ｂ２）成分の配合量は、（Ａ）成分のケイ素原子に結合したアルケニル基の個数に対する（Ｂ１）成分と（Ｂ２）成分のケイ素原子に結合した水素原子（以下、ヒドロシリル基という）の合計個数の比が０．９～２．５となる範囲で添加すればよく、好ましくは１．０～２．０の範囲で添加するのが良い。
（Ｂ１）成分及び（Ｂ２）成分の配合比は特に制限されないが、［（Ｂ１）成分のヒドロシリル基の個数］／［（Ｂ１）成分のヒドロシリル基の個数＋（Ｂ２）成分のヒドロシリル基の個数）］の割合が０．３～０．９の範囲であるのが好ましい。好ましくは０．３～０．８であり、より好ましくは０．４～０．７の範囲である。当該範囲でオルガノハイドロジェンポリシロキサンを添加することで、高い接着力を有しながらも基材から容易に離型可能な硬化物を与えるシリコーン接着剤組成物となることができる。
［（Ｃ）ナノシリカ粒子］
（Ｃ）成分はナノシリカ粒子である。該ナノシリカ粒子は、平均１次粒径が１～１００ｎｍであることが好ましく、より好ましくは平均１次粒径が５～５０ｎｍであることが好ましい。これらのナノシリカは１種単独でも、２種以上の組み合わせでもよい。なお、本発明において、平均１次粒径とは電子顕微鏡法（ＳＥＭ法）で測定し、算出した個数基準の平均粒径である。本発明のシリコーン接着剤組成物において該ナノシリカ粒子の量は、（Ａ）成分１００質量部に対して５～４０質量部であり、好ましくは５～３０質量部である。上記平均粒径を有するナノシリカを含有することにより、シリコーン樹脂硬化物の強度が向上し、高い伸び率と基材から容易に剥離が可能となるため好ましい。ナノシリカを含まないと、硬化物はゲル状となり、良好な機械的特性を有するゴム状硬化物を得ることができない。
（Ｃ）成分はナノシリカ粒子である。該ナノシリカ粒子は、平均１次粒径が１～１００ｎｍであることが好ましく、より好ましくは平均１次粒径が５～５０ｎｍであることが好ましい。これらのナノシリカは１種単独でも、２種以上の組み合わせでもよい。なお、本発明において、平均１次粒径とは電子顕微鏡法（ＳＥＭ法）で測定し、算出した個数基準の平均粒径である。本発明のシリコーン接着剤組成物において該ナノシリカ粒子の量は、（Ａ）成分１００質量部に対して５～４０質量部であり、好ましくは５～３０質量部である。上記平均粒径を有するナノシリカを含有することにより、シリコーン樹脂硬化物の強度が向上し、高い伸び率と基材から容易に剥離が可能となるため好ましい。ナノシリカを含まないと、硬化物はゲル状となり、良好な機械的特性を有するゴム状硬化物を得ることができない。
［（Ｄ）白金族金属系触媒］
（Ｄ）白金族金属系触媒は、本発明の（Ａ）成分と（Ｂ）成分の付加硬化反応を促進すればよく、公知の付加反応触媒が使用できる。例えば、白金系、パラジウム系、ロジウム系のものが挙げられる。コスト等を考慮して、白金、白金黒、塩化白金酸などの白金系のもの、例えば、Ｈ２ＰｔＣｌ６・ｐＨ２Ｏ、Ｋ２ＰｔＣｌ６、ＨＰｔＣｌ６・ｐＨ２Ｏ、Ｋ２ＰｔＣｌ４、Ｋ２ＰｔＣｌ４・ｐＨ２Ｏ、ＰｔＯ２・ｐＨ２Ｏ、ＰｔＣｌ４・ｐＨ２Ｏ、ＰｔＣｌ２、Ｈ２ＰｔＣｌ４・ｐＨ２Ｏ（ここで、ｐは、正の整数）等や、これらと、オレフィン等の炭化水素、アルコール又はビニル基含有オルガノポリシロキサンとの錯体等を例示することができる。これらの触媒は１種単独でも、２種以上の組み合わせでも使用することができる。
（Ｄ）白金族金属系触媒は、本発明の（Ａ）成分と（Ｂ）成分の付加硬化反応を促進すればよく、公知の付加反応触媒が使用できる。例えば、白金系、パラジウム系、ロジウム系のものが挙げられる。コスト等を考慮して、白金、白金黒、塩化白金酸などの白金系のもの、例えば、Ｈ２ＰｔＣｌ６・ｐＨ２Ｏ、Ｋ２ＰｔＣｌ６、ＨＰｔＣｌ６・ｐＨ２Ｏ、Ｋ２ＰｔＣｌ４、Ｋ２ＰｔＣｌ４・ｐＨ２Ｏ、ＰｔＯ２・ｐＨ２Ｏ、ＰｔＣｌ４・ｐＨ２Ｏ、ＰｔＣｌ２、Ｈ２ＰｔＣｌ４・ｐＨ２Ｏ（ここで、ｐは、正の整数）等や、これらと、オレフィン等の炭化水素、アルコール又はビニル基含有オルガノポリシロキサンとの錯体等を例示することができる。これらの触媒は１種単独でも、２種以上の組み合わせでも使用することができる。
触媒の配合量は触媒量であればよい。例えば、白金族金属系触媒を用いる場合には、上記（Ａ）～（Ｃ）成分の合計１００質量部に対して、白金族金属換算（質量）で好ましくは０．００００１～０．２質量部、より好ましくは０．０００１～０．０５質量部となる量であれば良い。
［（Ｅ）接着性付与剤］
本発明のシリコーン樹脂組成物は、上述した（Ａ）～（Ｄ）成分以外に、更に（Ｅ）接着付与剤を配合することができる。該（Ｅ）接着付与剤としては、加水分解性シリル基、及び被着体に対する親和性及び／又は反応性を有する官能基を有する化合物が挙げられる。前記化合物を添加することで、本発明の組成物に接着性を付与することができる。ここで、加水分解性シリル基としては、トリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基、トリプロポキシシリル基、トリイソプロペノキシシリル基などのトリアルコキシシリル基、ジメトキシメチルシリル基、ジメトキシエチルシリル基、ジメトキシフェニルシリル基、ジエトキシメチルシリル基、ジエトキシエチルシリル基、ジエトキシフェニルシリル基などのジアルコキシアルキルシリル基などが例示でき、また被着体に対する親和性及び／又は反応性を有する官能基としては、エポキシ基、アクリル基、メタクリル基、アミノ基、Ｎ－アルキルアミノ基、Ｎ－アリールアミノ基、メルカプト基、アルケニル基、及びヒドロシリル基などが挙げられる。
本発明のシリコーン樹脂組成物は、上述した（Ａ）～（Ｄ）成分以外に、更に（Ｅ）接着付与剤を配合することができる。該（Ｅ）接着付与剤としては、加水分解性シリル基、及び被着体に対する親和性及び／又は反応性を有する官能基を有する化合物が挙げられる。前記化合物を添加することで、本発明の組成物に接着性を付与することができる。ここで、加水分解性シリル基としては、トリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基、トリプロポキシシリル基、トリイソプロペノキシシリル基などのトリアルコキシシリル基、ジメトキシメチルシリル基、ジメトキシエチルシリル基、ジメトキシフェニルシリル基、ジエトキシメチルシリル基、ジエトキシエチルシリル基、ジエトキシフェニルシリル基などのジアルコキシアルキルシリル基などが例示でき、また被着体に対する親和性及び／又は反応性を有する官能基としては、エポキシ基、アクリル基、メタクリル基、アミノ基、Ｎ－アルキルアミノ基、Ｎ－アリールアミノ基、メルカプト基、アルケニル基、及びヒドロシリル基などが挙げられる。
該（Ｅ）接着付与剤としては、エポキシ基、（メタ）アクリル基、アミノ基、及びメルカプト基から選ばれる基を有するアルコキシシラン、クロロシラン又はこれらの（部分）共加水分解縮合物、アルケニル基又は水素原子（ヒドロシリル基）を有するアルコキシシラン、アルコキシシリル基含有イソシアヌル酸、ヒドロシリル基とアルコキシシリル基及び／又はエポキシ基とを有する環状シロキサン等が例示できる。
該（Ｅ）接着付与剤としては、例えば２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３－メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、Ｎ－（２－アミノエチル）－３－アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ－（２－アミノエチル）－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－（２－アミノエチル）－３－アミノプロピルトリエトキシシラン、３－アミノプロピルトリメトキシシラン、３－アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ－フェニル－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、３－メルカプトプロピルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、及びこれらアルコキシシラン及び／又は相当するクロロシランの（部分）共加水分解縮合物、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、及びトリメトキシシラン等、１，４－ブタンジオールジアクリレート、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールアクリレート、ポリエチレングリコール変性ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ビスフェノールＡ（ポリ）エトキシジアクリレート、ビスフェノールＡ（ポリ）プロポキシジアクリレート、ビスフェノールＦ（ポリ）エトキシジアクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジオキサングリコールジアクリレート（例えば、日本化薬（株）製、ＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ－６０４）、ジシクロペンタニルジメチレンジアクリレート（例えば、日本化薬（株）製、ＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ－６８４）、（ポリ）エチレングリコールジアクリレートヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールのε－カプロラクトン付加物のジアクリレート（例えば、日本化薬（株）製、ＫＡＹＡＲＡＤ ＨＸ－２２０、ＨＸ－６２０等）等を挙げることができる。
さらに（Ｅ）接着付与剤として、更に下記に示すようなイソシアヌル環やヒドロシリル基を有する環状のポリシロキサンに、加水分解性シリル基及び被着体に対する親和性及び／又は反応性を有する官能基を変性したものが挙げられる。
上記（Ｅ）接着付与剤は、１種単独でも２種以上の併用であってもよい。接着付与剤の量は、上記（Ａ）～（Ｃ）成分の合計１００質量部に対し０．００１～１０質量部であればよく、好ましくは０．００１～５質量部であればよい。
本発明のシリコーン接着剤組成物の調製方法は特に制限されないが、好ましくは、２液化して保存されるのがよい。例えば、上記（Ａ）成分の一部、（Ｃ）成分、及び（Ｄ）成分を混合した組成物（主剤成分）と、（Ａ）成分の残部、（Ｂ－１）成分、（Ｂ－２）成分及び任意成分である反応抑制剤を攪拌して得た組成物（硬化剤成分）とを夫々調製し、該主剤成分と硬化剤成分を混合することにより得られる。任意の（Ｅ）接着付与剤を配合する時機は特に制限されず、主剤成分と、硬化剤成分の、何れに配合してもよい。主剤成分と硬化剤成分の配合比は、得られるシリコーン接着剤組成物中の各成分の配合量が上述した範囲となるものであればよく、特に制限されない。このように本発明のシリコーン接着剤組成物は、主剤成分と硬化剤成分とを分けて調製した場合においても、常温での保存安定性に優れる。
尚、反応抑制剤は従来公知のものであればよい。例えば、２，４，６，８－テトラテトラメチル－２，４，６，８－テトラビニルシクロテトラシロキサン、及び１－エチニル－１－シクロヘキサノール等が挙げられる。配合量は上記（Ａ）～（Ｃ）成分の合計１００質量部に対して、白金族金属換算（質量）で好ましくは０．００１～５質量部、より好ましくは０．０１～３質量部となる量であればよい。
尚、反応抑制剤は従来公知のものであればよい。例えば、２，４，６，８－テトラテトラメチル－２，４，６，８－テトラビニルシクロテトラシロキサン、及び１－エチニル－１－シクロヘキサノール等が挙げられる。配合量は上記（Ａ）～（Ｃ）成分の合計１００質量部に対して、白金族金属換算（質量）で好ましくは０．００１～５質量部、より好ましくは０．０１～３質量部となる量であればよい。
本発明のシリコーン接着剤組成物の硬化条件は、１００℃に加熱した後、さらに１５０℃で加熱して硬化することが望ましい。ステップキュアを行うことで、（Ｂ）成分が揮発して、硬化物にした場合の組成が崩れることを抑制することができる。本発明のシリコーン接着剤組成物から得られる硬化物は、高接着力であるにもかかわらず、易解体性を有するため基材からの剥離が可能であり、さらに高強度及び高い伸び率を有するシリコーンゴム硬化物である。従って、該シリコーンゴム硬化物を接着剤とすることにより、基材の再利用を容易に行うことができる。本発明のシリコーンゴム硬化物は静電チャック基材からの剥離も容易であり、静電チャック用の接着剤として好適に使用できる。
以下、実施例及び比較例を示し、本発明をより詳細に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。なお、部は質量部を示す。
［実施例１］
［実施例１］
主剤成分の調製
（Ａ）成分として、下記式（２－１）で示される直鎖状オルガノポリシロキサン（粘度１，０００ｍＰａ．ｓ、ビニル基当量０．０１３ｍｏｌ／１００ｇ）１００部、（Ｃ）成分として平均一次粒径が７ｎｍであるナノシリカ（日本アエロジル株式会社製：ＲＸ－３００）２２部とをプラネタリーミキサーを用いて混合した。さらに、この混合物を３本ロールで練ることでベースコンパウンドを得た。
得られたベースコンパウンド１２２部と、（Ａ）成分として式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン（粘度５，０００ｍＰａ．ｓ、ビニル基当量０．００６９ｍｏｌ／１００ｇ）３５部、（Ｄ）成分として塩化白金酸のオクチルアルコール変性溶液（白金元素含有率：１質量％）０．１部をよく撹拌して主剤成分を調製した。
（Ａ）成分として、下記式（２－１）で示される直鎖状オルガノポリシロキサン（粘度１，０００ｍＰａ．ｓ、ビニル基当量０．０１３ｍｏｌ／１００ｇ）１００部、（Ｃ）成分として平均一次粒径が７ｎｍであるナノシリカ（日本アエロジル株式会社製：ＲＸ－３００）２２部とをプラネタリーミキサーを用いて混合した。さらに、この混合物を３本ロールで練ることでベースコンパウンドを得た。
硬化剤成分の調製
（Ａ）成分として式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン８．０部と（Ｂ１）成分として下記式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン（ヒドロシリル基当量０．６０ｍｏｌ／１００ｇ）１．５部と下記式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン（ヒドロシリル基当量０．３８ｍｏｌ／１００ｇ）０．１３部、（Ｂ２）成分として下記式（３－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサン（ヒドロシリル基当量１．５５）０．２６部、更に反応抑制剤として１－エチニル－１－シクロヘキサノールを０．０３部、添加し、撹拌することで硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することで、シリコーン接着剤組成物を得た。
（Ａ）成分として式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン８．０部と（Ｂ１）成分として下記式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン（ヒドロシリル基当量０．６０ｍｏｌ／１００ｇ）１．５部と下記式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン（ヒドロシリル基当量０．３８ｍｏｌ／１００ｇ）０．１３部、（Ｂ２）成分として下記式（３－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサン（ヒドロシリル基当量１．５５）０．２６部、更に反応抑制剤として１－エチニル－１－シクロヘキサノールを０．０３部、添加し、撹拌することで硬化剤成分を調製した。
［実施例２］
主剤成分は、上記実施例１の手順を繰り返して調製した。
硬化剤成分は、（Ｂ１）成分として、上記式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を１．３部に変更し、上記式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を０．５部に変更した他は実施例１の手順を繰り返して硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することでシリコーン接着剤組成物を得た。
主剤成分は、上記実施例１の手順を繰り返して調製した。
硬化剤成分は、（Ｂ１）成分として、上記式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を１．３部に変更し、上記式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を０．５部に変更した他は実施例１の手順を繰り返して硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することでシリコーン接着剤組成物を得た。
［実施例３］
主剤成分は、上記実施例１の手順を繰り返して調製した。硬化剤成分は、（Ｂ１）成分として、上記式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を１．３部に変更し、上記式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を０．１１部に変更し、及び、（Ｂ－２）成分として上記式（３－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンの量を０．３５部に変更した他は実施例１の手順を繰り返して硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することでシリコーン接着剤組成物を得た。
主剤成分は、上記実施例１の手順を繰り返して調製した。硬化剤成分は、（Ｂ１）成分として、上記式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を１．３部に変更し、上記式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を０．１１部に変更し、及び、（Ｂ－２）成分として上記式（３－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンの量を０．３５部に変更した他は実施例１の手順を繰り返して硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することでシリコーン接着剤組成物を得た。
［実施例４］
主剤成分の調製
（Ａ）成分として、下記式（２－３）で示される直鎖状オルガノポリシロキサン（粘度１，８００ｍＰａ．ｓ、ビニル基当量０．０１５ｍｏｌ／１００ｇ）１００部、及び（Ｃ）成分として平均一次粒径が７ｎｍであるナノシリカ２５部とをプラネタリーミキサーを用いて混合した。さらに、この混合物を３本ロールで練ることでベースコンパウンドを得た。
得られたベースコンパウンド１２５部と（Ａ）成分として上記式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン（粘度５，０００ｍＰａ．ｓ、ビニル基当量０．００６９ｍｏｌ／１００ｇ）５４部、（Ｄ）成分として塩化白金酸のオクチルアルコール変性溶液（白金元素含有率：１質量％）０．１部をよく撹拌して主剤成分を調製した。
主剤成分の調製
（Ａ）成分として、下記式（２－３）で示される直鎖状オルガノポリシロキサン（粘度１，８００ｍＰａ．ｓ、ビニル基当量０．０１５ｍｏｌ／１００ｇ）１００部、及び（Ｃ）成分として平均一次粒径が７ｎｍであるナノシリカ２５部とをプラネタリーミキサーを用いて混合した。さらに、この混合物を３本ロールで練ることでベースコンパウンドを得た。
硬化剤成分の調製
（Ａ）成分として、上記式（２－３）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン８．０部、（Ｂ１）成分として上記式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン１．１部、及び下記式（１－３）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン（ヒドロシリル基当量０．２７ｍｏｌ／１００ｇ）０．０８部、さらに（Ｂ２）成分として、上記式（３－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサン（ヒドロシリル基当量１．５５）０．７部、更に反応抑制剤として１－エチニル－１－シクロヘキサノールを０．０３部添加し、撹拌することで硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することで、硬化性シリコーン樹脂組成物を得た。
（Ａ）成分として、上記式（２－３）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン８．０部、（Ｂ１）成分として上記式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン１．１部、及び下記式（１－３）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン（ヒドロシリル基当量０．２７ｍｏｌ／１００ｇ）０．０８部、さらに（Ｂ２）成分として、上記式（３－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサン（ヒドロシリル基当量１．５５）０．７部、更に反応抑制剤として１－エチニル－１－シクロヘキサノールを０．０３部添加し、撹拌することで硬化剤成分を調製した。
［実施例５］
主剤成分は、上記実施例４の手順を繰り返して調製した。
硬化剤成分は、上記実施例４において、（Ｂ１）成分である式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を０．９部、式（１－３）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を０．３部に変更した他は実施例４の手順を繰り返して硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することで、シリコーン接着剤組成物を得た。
主剤成分は、上記実施例４の手順を繰り返して調製した。
硬化剤成分は、上記実施例４において、（Ｂ１）成分である式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を０．９部、式（１－３）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサンの量を０．３部に変更した他は実施例４の手順を繰り返して硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することで、シリコーン接着剤組成物を得た。
［比較例１］
主剤成分は、上記実施例１の手順を繰り返して調製した。
硬化剤成分は、上記実施例１において式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンを配合せず、式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンの量を２．５１部に変更した他は、実施例１の手順を繰り返して硬化剤成分を得た。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することで、シリコーン接着剤組成物を得た。
主剤成分は、上記実施例１の手順を繰り返して調製した。
硬化剤成分は、上記実施例１において式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンを配合せず、式（１－２）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンの量を２．５１部に変更した他は、実施例１の手順を繰り返して硬化剤成分を得た。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することで、シリコーン接着剤組成物を得た。
［比較例２］
（Ａ）成分として上記式（２－１）で示される直鎖状オルガノポリシロキサン１００部及び上記式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン３５部、及び（Ｄ）成分として塩化白金酸のオクチルアルコール変性溶液（白金元素含有率：１質量％）０．１部をポリエチレン樹脂製容器に入れよく撹拌して、主剤成分を調製した。
（Ａ）成分として上記式（２－１）で示される直鎖状オルガノポリシロキサン１００部及び上記式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン３５部、及び（Ｄ）成分として塩化白金酸のオクチルアルコール変性溶液（白金元素含有率：１質量％）０．１部をポリエチレン樹脂製容器に入れよく撹拌して、主剤成分を調製した。
硬化剤成分は、実施例１の手順を繰り返して調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を９：１の比率（質量比）で混合することで、シリコーン接着剤組成物を得た。
前記、主剤成分と硬化剤成分を９：１の比率（質量比）で混合することで、シリコーン接着剤組成物を得た。
［比較例３］
（Ａ）成分として、上記式（２－１）で示される直鎖状オルガノポリシロキサン１００部と上記式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン３５部、（Ｄ）成分として塩化白金酸のオクチルアルコール変性溶液（白金元素含有率：１質量％）０．１部をポリエチレン樹脂製容器に入れよく撹拌して、主剤成分を調製した。
（Ａ）成分として、上記式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン８．０部と、（Ｂ１）成分として上記式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン１．７部、及び（Ｂ２）成分として、ＳｉＯ４／２単位とＨＳｉＯ１／２単位で構成されるレジン構造のオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｍｗ＝４１１、ヒドロシリル基当量０．９４ｍｏｌ／１００ｇ）（３－２）を１．１部、更に反応抑制剤として１－エチニル－１－シクロヘキサノール０．０３部を添加し、撹拌することで硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を９：１の比率（質量比）で混合することでシリコーン接着剤組成物を得た。
（Ａ）成分として、上記式（２－１）で示される直鎖状オルガノポリシロキサン１００部と上記式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン３５部、（Ｄ）成分として塩化白金酸のオクチルアルコール変性溶液（白金元素含有率：１質量％）０．１部をポリエチレン樹脂製容器に入れよく撹拌して、主剤成分を調製した。
（Ａ）成分として、上記式（２－２）で表される直鎖状オルガノポリシロキサン８．０部と、（Ｂ１）成分として上記式（１－１）で表されるオルガノハイドロジェンシロキサン１．７部、及び（Ｂ２）成分として、ＳｉＯ４／２単位とＨＳｉＯ１／２単位で構成されるレジン構造のオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｍｗ＝４１１、ヒドロシリル基当量０．９４ｍｏｌ／１００ｇ）（３－２）を１．１部、更に反応抑制剤として１－エチニル－１－シクロヘキサノール０．０３部を添加し、撹拌することで硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を９：１の比率（質量比）で混合することでシリコーン接着剤組成物を得た。
［比較例４］
主剤成分は、実施例１の手順を繰り返して調製した。
硬化剤成分は、実施例１において、（Ｂ１）成分を配合せず、（Ｂ２）成分として、上記式（３－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンの量を０．９部に変更した他は、実施例１の手順を繰り返して、硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することで、シリコーン接着剤組成物を得た。
主剤成分は、実施例１の手順を繰り返して調製した。
硬化剤成分は、実施例１において、（Ｂ１）成分を配合せず、（Ｂ２）成分として、上記式（３－１）で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンの量を０．９部に変更した他は、実施例１の手順を繰り返して、硬化剤成分を調製した。
前記、主剤成分と硬化剤成分を１０：１の比率（質量比）で混合することで、シリコーン接着剤組成物を得た。
上記実施例及び比較例で得た各硬化剤成分について、下記の方法に従い保存安定性を確認した。結果を表２に示す。
また、各シリコーン接着剤組成物を１００℃にて１時間、次いで１５０℃にて４時間加熱成形してシリコーンゴム硬化物（１２０ｍｍ×１１０ｍｍ×２ｍｍ）を作成した。該シリコーンゴム硬化物について下記の方法に従い、機械的特性を評価した。さらに、下記の方法に従い接着試験、剥離性の確認を行った。結果を表２に示す。
また、各シリコーン接着剤組成物を１００℃にて１時間、次いで１５０℃にて４時間加熱成形してシリコーンゴム硬化物（１２０ｍｍ×１１０ｍｍ×２ｍｍ）を作成した。該シリコーンゴム硬化物について下記の方法に従い、機械的特性を評価した。さらに、下記の方法に従い接着試験、剥離性の確認を行った。結果を表２に示す。
（１）硬化剤成分の保存安定性
各硬化剤成分の保存安定性を以下の方法で評価した。２５ｍｌのガラス瓶に２０ｇの硬化剤成分を入れ、２３℃で１週間静置し、分離や濁りが無いかを目視にて確認した。
（判定基準）
○：分離や濁り無し
×：分離や濁りが発生した
各硬化剤成分の保存安定性を以下の方法で評価した。２５ｍｌのガラス瓶に２０ｇの硬化剤成分を入れ、２３℃で１週間静置し、分離や濁りが無いかを目視にて確認した。
（判定基準）
○：分離や濁り無し
×：分離や濁りが発生した
（２）硬さ（タイプＣ）
各シリコーン接着剤組成物を上記条件にて硬化して得られたシリコーンゴム硬化物の硬さを、ＪＩＳ Ｋ ７３１２：１９９６に準拠して、デュロメータＣ硬度計を用いて測定した。
各シリコーン接着剤組成物を上記条件にて硬化して得られたシリコーンゴム硬化物の硬さを、ＪＩＳ Ｋ ７３１２：１９９６に準拠して、デュロメータＣ硬度計を用いて測定した。
（３）切断時伸び及び引張強さ
各組成物を上記条件にて硬化して得られたシリコーンゴム硬化物の切断時伸び及び引張強さを、ＪＩＳ Ｋ ６２４９：２００３に準拠して測定した。
各組成物を上記条件にて硬化して得られたシリコーンゴム硬化物の切断時伸び及び引張強さを、ＪＩＳ Ｋ ６２４９：２００３に準拠して測定した。
（４）接着強度
アルミナ板と３ｍｍ×３ｍｍのシリコンチップ間の厚みが０．２ｍｍになるように各シリコーン接着剤組成物を塗布し、１００℃にて１時間、次いで１５０℃にて４時間加熱硬化した。硬化後、２５℃まで冷却した試験サンプル（シリコーンゴム硬化物）を、万能型ボンドテスター（ノードソン・アドバンスト・テクノロジー社製：ＤＡＧＥ４０００）を用いて、試験数１０でダイシェア試験を行い、シリコーンゴム硬化物の平均接着強度を算出した。
アルミナ板と３ｍｍ×３ｍｍのシリコンチップ間の厚みが０．２ｍｍになるように各シリコーン接着剤組成物を塗布し、１００℃にて１時間、次いで１５０℃にて４時間加熱硬化した。硬化後、２５℃まで冷却した試験サンプル（シリコーンゴム硬化物）を、万能型ボンドテスター（ノードソン・アドバンスト・テクノロジー社製：ＤＡＧＥ４０００）を用いて、試験数１０でダイシェア試験を行い、シリコーンゴム硬化物の平均接着強度を算出した。
（５）剥離性
アルミナ板状に各組成物を１ｍｍの厚さで塗布し、１００℃で１時間、次いで１５０℃で４時間硬化させた。該硬化後のシリコーンゴム硬化物をアルミナ板よりプラスチック製スクレーパーで剥がして剥離性を確認した。
（判定基準）
○：アルミナ板上に樹脂残り無し。
△：アルミナ板上に樹脂残りはあるが、剥離可能。
×：アルミナ板上から剥離できない。
アルミナ板状に各組成物を１ｍｍの厚さで塗布し、１００℃で１時間、次いで１５０℃で４時間硬化させた。該硬化後のシリコーンゴム硬化物をアルミナ板よりプラスチック製スクレーパーで剥がして剥離性を確認した。
（判定基準）
○：アルミナ板上に樹脂残り無し。
△：アルミナ板上に樹脂残りはあるが、剥離可能。
×：アルミナ板上から剥離できない。
表１及び２に示す通り、（Ｂ１）成分としてｎ＝２の化合物のみを含有する比較例１のシリコーン組成物は硬化剤成分の保存安定性に劣った。さらに（Ｂ１）成分を含まない比較例４のシリコーン組成物から得られる硬化物は伸び率が低く、またアルミナ基材からの剥離が困難であった。ナノシリカを含まない比較例２のシリコーン組成物から得られる硬化物はゲル状であり、良好な機械特性を有するゴム状硬化物は得られなかった。（Ｂ１）成分としてｎ＝１の化合物（１－１）とシリコーンレジン（３－２）とを含み、ナノシリカを含まない比較例３のシリコーン組成物から得られる硬化物もゲル状であり、良好な機械特性を有するゴム状硬化物は得られなかった。また、アルミナ基材からの剥離も困難であった。
これに対し、表１及び２に示す通り、本発明のシリコーン接着剤組成物は保存安定性が良好であり、また得られる硬化物は、基材に対する良好な接着強度を有し、且つ、アルミナ基材から容易に剥離できた。従って、本発明のシリコーン接着剤組成物から得られる硬化物を基材の接着剤とすることで基材の再利用を容易に行うことができる。さらに得られる硬化物は高強度及び高い伸び率を有した。
これに対し、表１及び２に示す通り、本発明のシリコーン接着剤組成物は保存安定性が良好であり、また得られる硬化物は、基材に対する良好な接着強度を有し、且つ、アルミナ基材から容易に剥離できた。従って、本発明のシリコーン接着剤組成物から得られる硬化物を基材の接着剤とすることで基材の再利用を容易に行うことができる。さらに得られる硬化物は高強度及び高い伸び率を有した。
本発明のシリコーン接着剤組成物は、高接着力であるにもかかわらず、易解体性を有するため基材からの剥離が可能であり、さらに高強度、及び高い伸び率を有する硬化物を与えることができる。このようなシリコーン接着剤組成物から得られる硬化物を接着剤に用いれば、基材の再利用を容易に行うことができる。本発明のシリコーンゴム硬化物は静電チャック基材からの剥離も容易であり、静電チャック用の接着剤として好適に使用できる。
Claims (8)
- （Ａ）ケイ素原子に結合したアルケニル基を１分子中に２個以上有する、オルガノポリシロキサン １００質量部
（Ｂ）下記（Ｂ１）成分及び下記（Ｂ２）成分
（Ｂ１）下記式（１）で示され、ｎが１～３の整数である直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサンから選ばれ、ｎの値が異なる２種以上
（Ｂ２）ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に３個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン
上記（Ａ）成分中のケイ素原子結合アルケニル基の個数に対する、該（Ｂ１）及び（Ｂ２）成分中のヒドロシリル基の合計個数の比が０．９～２．５となる量
（Ｃ）ナノシリカ粒子 ５～４０質量部、及び
（Ｄ）白金族金属系触媒 触媒量
を含む、シリコーン接着剤組成物。 - 前記（Ｂ２）成分が、Ｒ３ ２ＳｉＯ２／２単位及びＲ３ ３ＳｉＯ１／２単位を含む、直鎖又は分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサンである（式中、Ｒ３は、互いに独立して炭素数１～６の飽和脂肪族炭化水素基または炭素数６～１２の芳香族炭化水素基、又は水素原子であり、Ｒ３のうち少なくとも３つは水素原子である）、請求項１記載のシリコーン接着剤組成物。
- 前記（Ａ）成分が、下記式（２）で示され、２５℃における粘度１０～１，０００，０００ｍＰａ・ｓを有するオルガノポリシロキサンである、請求項１または２に記載のシリコーン接着剤組成物。
- 前記（Ａ）成分として前記式（２）で表され粘度が異なる直鎖状オルガノポリシロキサンの２種類以上を含む、請求項３記載のシリコーン接着剤組成物。
- 前記（Ｂ）成分において、［（Ｂ１）成分のヒドロシリル基の個数／［（Ｂ１）成分のヒドロシリル基の個数＋（Ｂ２）成分のヒドロシリル基の個数）］の割合が０．３～０．９の範囲である、請求項１～４のいずれか１項記載のシリコーン接着剤組成物。
- 請求項１～５のいずれか１項記載のシリコーン接着剤組成物を硬化して成るシリコーンゴム硬化物。
- 静電チャック用接着剤である、請求項６記載のシリコーンゴム硬化物。
- 請求項７記載のシリコーンゴム硬化物を備える静電チャック。
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