JP2022000684A - 導電性パターンの形成方法、メタルメッシュセンサーの製造方法、及び、構造体の製造方法 - Google Patents
導電性パターンの形成方法、メタルメッシュセンサーの製造方法、及び、構造体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022000684A JP2022000684A JP2021012357A JP2021012357A JP2022000684A JP 2022000684 A JP2022000684 A JP 2022000684A JP 2021012357 A JP2021012357 A JP 2021012357A JP 2021012357 A JP2021012357 A JP 2021012357A JP 2022000684 A JP2022000684 A JP 2022000684A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- conductive pattern
- group
- forming
- photosensitive resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 257
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 64
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 315
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 315
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 330
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 130
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 114
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 105
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 92
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 69
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 55
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 48
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 43
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 33
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 24
- 150000004292 cyclic ethers Chemical class 0.000 claims description 22
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 20
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims description 18
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 17
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 17
- 125000006239 protecting group Chemical group 0.000 claims description 17
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 16
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 13
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 claims description 12
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 12
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 claims description 11
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 10
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 9
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 9
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 8
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000005129 aryl carbonyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000005161 aryl oxy carbonyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 238000007736 thin film deposition technique Methods 0.000 claims description 4
- 125000002777 acetyl group Chemical class [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 claims 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 246
- -1 clusters Substances 0.000 description 124
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 79
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 59
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 44
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 38
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 38
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 35
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 description 32
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 31
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 30
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 27
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 27
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 25
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 25
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 21
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 21
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 21
- 238000011161 development Methods 0.000 description 20
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 20
- FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N Silver ion Chemical compound [Ag+] FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 17
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 17
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 17
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 16
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 15
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 15
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 15
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 14
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 14
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 13
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 13
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 12
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 12
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 12
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 11
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 11
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 11
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 10
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 10
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 9
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 9
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 9
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 8
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 8
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 8
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 8
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 8
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- 150000007514 bases Chemical class 0.000 description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 7
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 7
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 7
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 6
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 6
- LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N Chinese gallotannin Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)OC=2C(=C(O)C=C(C=2)C(=O)OC[C@@H]2[C@H]([C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)O2)OC(=O)C=2C=C(OC(=O)C=3C=C(O)C(O)=C(O)C=3)C(O)=C(O)C=2)O)=C1 LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N 0.000 description 6
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 6
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 6
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 6
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 6
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 6
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 6
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 6
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 6
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 6
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 5
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 5
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 5
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 5
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 5
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 5
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 5
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AODPIQQILQLWGS-FDSHTENPSA-N 5a-Tetrahydrocortisol Chemical compound C1[C@H](O)CC[C@]2(C)[C@H]3[C@@H](O)C[C@](C)([C@@](CC4)(O)C(=O)CO)[C@@H]4[C@@H]3CC[C@H]21 AODPIQQILQLWGS-FDSHTENPSA-N 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000010511 deprotection reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 4
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 4
- 150000001261 hydroxy acids Chemical class 0.000 description 4
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 4
- 238000006862 quantum yield reaction Methods 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 4
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 3
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 3
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N Pyrrolidine Chemical compound C1CCNC1 RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000008065 acid anhydrides Chemical group 0.000 description 3
- BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N butan-2-ol Chemical compound CCC(C)O BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 3
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 3
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 3
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 3
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 3
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 3
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 3
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 125000003718 tetrahydrofuranyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000001412 tetrahydropyranyl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 3
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 3
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 2
- TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 1-O-galloyl-3,6-(R)-HHDP-beta-D-glucose Natural products OC1C(O2)COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC1C(O)C2OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001644 13C nuclear magnetic resonance spectroscopy Methods 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HHAPGMVKBLELOE-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methylpropoxy)ethanol Chemical compound CC(C)COCCO HHAPGMVKBLELOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTUVQQKHBMGYEH-UHFFFAOYSA-N 2-(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical class ClC(Cl)(Cl)C1=NC=NC=N1 QTUVQQKHBMGYEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-Oxohexane Chemical compound CCCCC(C)=O QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FXRQXYSJYZPGJZ-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-methylpropan-2-yl)oxy]ethenylbenzene Chemical compound CC(C)(C)OC=CC1=CC=CC=C1 FXRQXYSJYZPGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YJTIFIMHZHDNQZ-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methylpropoxy)ethoxy]ethanol Chemical compound CC(C)COCCOCCO YJTIFIMHZHDNQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 2-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CC=N1 BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCGFUIQPSOCUHI-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-yloxyethanol Chemical compound CC(C)OCCO HCGFUIQPSOCUHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SYBYTAAJFKOIEJ-UHFFFAOYSA-N 3-Methylbutan-2-one Chemical compound CC(C)C(C)=O SYBYTAAJFKOIEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 4-Dimethylaminopyridine Chemical compound CN(C)C1=CC=NC=C1 VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 4-Methylstyrene Chemical compound CC1=CC=C(C=C)C=C1 JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JVZRCNQLWOELDU-UHFFFAOYSA-N 4-Phenylpyridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=NC=C1 JVZRCNQLWOELDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 4-methylimidazole Chemical compound CC1=CNC=N1 XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 4-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=NC=C1 FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 7H-purine Chemical compound N1=CNC2=NC=NC2=C1 KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- 239000004713 Cyclic olefin copolymer Substances 0.000 description 2
- YXHKONLOYHBTNS-UHFFFAOYSA-N Diazomethane Chemical class C=[N+]=[N-] YXHKONLOYHBTNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001263 FEMA 3042 Substances 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylaniline Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1 JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DMBHHRLKUKUOEG-UHFFFAOYSA-N N-phenyl aniline Natural products C=1C=CC=CC=1NC1=CC=CC=C1 DMBHHRLKUKUOEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N Niacin Chemical compound OC(=O)C1=CC=CN=C1 PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DFPAKSUCGFBDDF-UHFFFAOYSA-N Nicotinamide Chemical compound NC(=O)C1=CC=CN=C1 DFPAKSUCGFBDDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N Piperazine Chemical compound C1CNCCN1 GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N Pyrazine Chemical compound C1=CN=CC=N1 KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007877 V-601 Substances 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 2
- 229940022663 acetate Drugs 0.000 description 2
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 2
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 2
- 150000003973 alkyl amines Chemical group 0.000 description 2
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 2
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 2
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N benzyl acetate Chemical compound CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 QUKGYYKBILRGFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- WGQKYBSKWIADBV-UHFFFAOYSA-N benzylamine Chemical compound NCC1=CC=CC=C1 WGQKYBSKWIADBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N butane-1,1-diol Chemical compound CCCC(O)O CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- JNGZXGGOCLZBFB-IVCQMTBJSA-N compound E Chemical compound N([C@@H](C)C(=O)N[C@@H]1C(N(C)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=N1)=O)C(=O)CC1=CC(F)=CC(F)=C1 JNGZXGGOCLZBFB-IVCQMTBJSA-N 0.000 description 2
- BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N copper(i) oxide Chemical compound [Cu]O[Cu] BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 125000005520 diaryliodonium group Chemical group 0.000 description 2
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 2
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 2
- 235000019524 disodium tartrate Nutrition 0.000 description 2
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 2
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 125000005448 ethoxyethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])OC([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N ethyl benzoate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004677 hydrates Chemical class 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- SUMDYPCJJOFFON-UHFFFAOYSA-N isethionic acid Chemical compound OCCS(O)(=O)=O SUMDYPCJJOFFON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WJSIUCDMWSDDCE-UHFFFAOYSA-K lithium citrate (anhydrous) Chemical compound [Li+].[Li+].[Li+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O WJSIUCDMWSDDCE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 238000000655 nuclear magnetic resonance spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical compound CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 239000011146 organic particle Substances 0.000 description 2
- FEUIEHHLVZUGPB-UHFFFAOYSA-N oxolan-2-yl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCO1 FEUIEHHLVZUGPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N pentan-2-one Chemical compound CCCC(C)=O XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N pentan-3-one Chemical compound CCC(=O)CC FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UWJJYHHHVWZFEP-UHFFFAOYSA-N pentane-1,1-diol Chemical compound CCCCC(O)O UWJJYHHHVWZFEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YFSUTJLHUFNCNZ-UHFFFAOYSA-N perfluorooctane-1-sulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F YFSUTJLHUFNCNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SNGREZUHAYWORS-UHFFFAOYSA-N perfluorooctanoic acid Chemical compound OC(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F SNGREZUHAYWORS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006552 photochemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- KYKNRZGSIGMXFH-ZVGUSBNCSA-M potassium bitartrate Chemical compound [K+].OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O KYKNRZGSIGMXFH-ZVGUSBNCSA-M 0.000 description 2
- 239000001508 potassium citrate Substances 0.000 description 2
- QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K potassium citrate (anhydrous) Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- ULWHHBHJGPPBCO-UHFFFAOYSA-N propane-1,1-diol Chemical compound CCC(O)O ULWHHBHJGPPBCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 235000019265 sodium DL-malate Nutrition 0.000 description 2
- HELHAJAZNSDZJO-OLXYHTOASA-L sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O HELHAJAZNSDZJO-OLXYHTOASA-L 0.000 description 2
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 2
- WPUMTJGUQUYPIV-UHFFFAOYSA-L sodium malate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)C(O)CC([O-])=O WPUMTJGUQUYPIV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000001433 sodium tartrate Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000005987 sulfurization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 229920002258 tannic acid Polymers 0.000 description 2
- 235000015523 tannic acid Nutrition 0.000 description 2
- 229940033123 tannic acid Drugs 0.000 description 2
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 2
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N tetradecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005409 triarylsulfonium group Chemical group 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YWWDBCBWQNCYNR-UHFFFAOYSA-N trimethylphosphine Chemical compound CP(C)C YWWDBCBWQNCYNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000015870 tripotassium citrate Nutrition 0.000 description 2
- HRXKRNGNAMMEHJ-UHFFFAOYSA-K trisodium citrate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O HRXKRNGNAMMEHJ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 229940038773 trisodium citrate Drugs 0.000 description 2
- SNICXCGAKADSCV-JTQLQIEISA-N (-)-Nicotine Chemical compound CN1CCC[C@H]1C1=CC=CN=C1 SNICXCGAKADSCV-JTQLQIEISA-N 0.000 description 1
- PJMXUSNWBKGQEZ-UHFFFAOYSA-N (4-hydroxyphenyl) 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1=CC=C(O)C=C1 PJMXUSNWBKGQEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MIOPJNTWMNEORI-GMSGAONNSA-N (S)-camphorsulfonic acid Chemical compound C1C[C@@]2(CS(O)(=O)=O)C(=O)C[C@@H]1C2(C)C MIOPJNTWMNEORI-GMSGAONNSA-N 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethoxypropane Chemical compound COCC(C)OC LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNXJIVFYUVYPPR-UHFFFAOYSA-N 1,3-dioxolane Chemical compound C1COCO1 WNXJIVFYUVYPPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RQALKBLYTUKBFV-UHFFFAOYSA-N 1,4-dioxa-7-thiaspiro[4.4]nonane Chemical compound O1CCOC11CSCC1 RQALKBLYTUKBFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SGUVLZREKBPKCE-UHFFFAOYSA-N 1,5-diazabicyclo[4.3.0]-non-5-ene Chemical compound C1CCN=C2CCCN21 SGUVLZREKBPKCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJOVIRMWPFJSTR-UHFFFAOYSA-N 1-butan-2-yloxypropan-2-ol Chemical compound CCC(C)OCC(C)O KJOVIRMWPFJSTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AKYYGBUVZFGJNI-UHFFFAOYSA-N 1-cyclohexyl-3-(2-morpholin-4-ylethyl)thiourea Chemical compound C1CCCCC1NC(=S)NCCN1CCOCC1 AKYYGBUVZFGJNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNJRPYFBORAQAU-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-methoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOC CNJRPYFBORAQAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPIUIOXAFBGMNB-UHFFFAOYSA-N 1-hexoxyhexane Chemical compound CCCCCCOCCCCCC BPIUIOXAFBGMNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOVZUKKPYKRVIK-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-yl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC(C)COC DOVZUKKPYKRVIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGERSUQOJQWENV-UHFFFAOYSA-N 1-pentan-2-yloxypropan-2-ol Chemical compound CCCC(C)OCC(C)O HGERSUQOJQWENV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNIPJYFZGXJSDD-UHFFFAOYSA-N 2,4,5-triphenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 RNIPJYFZGXJSDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003923 2,5-pyrrolediones Chemical class 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-L 2-(carboxymethyl)-2-hydroxysuccinate Chemical compound [O-]C(=O)CC(O)(C(=O)O)CC([O-])=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTXMVXSTHSMVQF-UHFFFAOYSA-N 2-acetyloxyethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOC(C)=O JTXMVXSTHSMVQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBYMUDUGTIKLCR-UHFFFAOYSA-N 2-chloroethenylbenzene Chemical compound ClC=CC1=CC=CC=C1 SBYMUDUGTIKLCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZHNODDFDJBMAS-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethenylbenzene Chemical compound CCOC=CC1=CC=CC=C1 FZHNODDFDJBMAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRGGMCIBEHEAIL-UHFFFAOYSA-N 2-ethylpyridine Chemical compound CCC1=CC=CC=N1 NRGGMCIBEHEAIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- CTHJQRHPNQEPAB-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethenylbenzene Chemical compound COC=CC1=CC=CC=C1 CTHJQRHPNQEPAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHFKYDMBUMLWDA-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOC1=CC=CC=C1 WHFKYDMBUMLWDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DWYHDSLIWMUSOO-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NC2=CC=CC=C2N1 DWYHDSLIWMUSOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMFHUEMLVAIBFI-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethenyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=CC1=CC=CC=C1 FMFHUEMLVAIBFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPAGVACEWQNVQO-UHFFFAOYSA-N 3-acetyloxybutyl acetate Chemical compound CC(=O)OC(C)CCOC(C)=O MPAGVACEWQNVQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 3-oxo-n-[2-(trifluoromethyl)phenyl]butanamide Chemical compound CC(=O)CC(=O)NC1=CC=CC=C1C(F)(F)F VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UNDXPKDBFOOQFC-UHFFFAOYSA-N 4-[2-nitro-4-(trifluoromethyl)phenyl]morpholine Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC(C(F)(F)F)=CC=C1N1CCOCC1 UNDXPKDBFOOQFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IRQWEODKXLDORP-UHFFFAOYSA-N 4-ethenylbenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C=C)C=C1 IRQWEODKXLDORP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VJXRKZJMGVSXPX-UHFFFAOYSA-N 4-ethylpyridine Chemical compound CCC1=CC=NC=C1 VJXRKZJMGVSXPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxystyrene Chemical compound OC1=CC=C(C=C)C=C1 FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VMRIVYANZGSGRV-UHFFFAOYSA-N 4-phenyl-2h-triazin-5-one Chemical class OC1=CN=NN=C1C1=CC=CC=C1 VMRIVYANZGSGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KSMGAOMUPSQGTB-UHFFFAOYSA-N 9,10-dibutoxyanthracene Chemical compound C1=CC=C2C(OCCCC)=C(C=CC=C3)C3=C(OCCCC)C2=C1 KSMGAOMUPSQGTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 1
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005635 Caprylic acid (CAS 124-07-2) Substances 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JZATUBTWKJSEKE-UHFFFAOYSA-N ClCCP(CC)CC.[Au] Chemical compound ClCCP(CC)CC.[Au] JZATUBTWKJSEKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004971 Cross linker Substances 0.000 description 1
- FMGYKKMPNATWHP-UHFFFAOYSA-N Cyperquat Chemical compound C1=C[N+](C)=CC=C1C1=CC=CC=C1 FMGYKKMPNATWHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N Di-Et ester-Fumaric acid Natural products CCOC(=O)C=CC(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBPCUCUWBYBCDP-UHFFFAOYSA-N Dicyclohexylamine Chemical compound C1CCCCC1NC1CCCCC1 XBPCUCUWBYBCDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N Diethyl maleate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N 0.000 description 1
- ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N Diisopropyl ether Chemical compound CC(C)OC(C)C ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXNVGIXVLWOKEQ-UHFFFAOYSA-N Disodium Chemical compound [Na][Na] QXNVGIXVLWOKEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N Indole Chemical class C1=CC=C2NC=CC2=C1 SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N Morpholine Chemical compound C1COCCN1 YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GADGMZDHLQLZRI-VIFPVBQESA-N N-(4-aminobenzoyl)-L-glutamic acid Chemical compound NC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CCC(O)=O)C(O)=O)C=C1 GADGMZDHLQLZRI-VIFPVBQESA-N 0.000 description 1
- SJRJJKPEHAURKC-UHFFFAOYSA-N N-Methylmorpholine Chemical compound CN1CCOCC1 SJRJJKPEHAURKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OPKOKAMJFNKNAS-UHFFFAOYSA-N N-methylethanolamine Chemical compound CNCCO OPKOKAMJFNKNAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N O.O.O.[Al] Chemical compound O.O.O.[Al] MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N Phenazine Natural products C1=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3N=C21 PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical compound C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920004482 WACKER® Polymers 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- ASYJAZFLOKUDNS-UHFFFAOYSA-N [Au].ClC1=C(C=CC=C1)P(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1 Chemical compound [Au].ClC1=C(C=CC=C1)P(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1 ASYJAZFLOKUDNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTWQIPKJTRJCTR-UHFFFAOYSA-N [Au].ClCP(C)C Chemical compound [Au].ClCP(C)C KTWQIPKJTRJCTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000011354 acetal resin Substances 0.000 description 1
- ZBXVMZHTNYAPPE-UHFFFAOYSA-N acetic acid 3-methoxy-1-(3-methoxybutoxy)butane Chemical compound CC(O)=O.COC(C)CCOCCC(C)OC ZBXVMZHTNYAPPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XFSBVAOIAHNAPC-WSORPINJSA-N acetylbenzoylaconine Chemical compound O([C@H]1[C@]2(O)C[C@H]3C45[C@@H]6[C@@H]([C@@]([C@H]31)(OC(C)=O)[C@@H](O)[C@@H]2OC)[C@H](OC)C4[C@]([C@@H](C[C@H]5OC)O)(COC)CN6CC)C(=O)C1=CC=CC=C1 XFSBVAOIAHNAPC-WSORPINJSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229920001893 acrylonitrile styrene Polymers 0.000 description 1
- 150000008360 acrylonitriles Chemical class 0.000 description 1
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005910 alkyl carbonate group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QANIADJLTJYOFI-UHFFFAOYSA-K aluminum;magnesium;carbonate;hydroxide;hydrate Chemical compound O.[OH-].[Mg+2].[Al+3].[O-]C([O-])=O QANIADJLTJYOFI-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 229920003180 amino resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000008365 aromatic ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 150000008366 benzophenones Chemical class 0.000 description 1
- 150000001565 benzotriazoles Chemical class 0.000 description 1
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 1
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940007550 benzyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 150000001602 bicycloalkyls Chemical group 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- LUXIMSHPDKSEDK-UHFFFAOYSA-N bis(disilanyl)silane Chemical compound [SiH3][SiH2][SiH2][SiH2][SiH3] LUXIMSHPDKSEDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCWYEMOEOGEQAN-UHFFFAOYSA-N bumetrizole Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(C)=CC(N2N=C3C=C(Cl)C=CC3=N2)=C1O OCWYEMOEOGEQAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000003262 carboxylic acid ester group Chemical group [H]C([H])([*:2])OC(=O)C([H])([H])[*:1] 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 238000005660 chlorination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000012230 colorless oil Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229940116318 copper carbonate Drugs 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical compound [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RSJOBNMOMQFPKQ-UHFFFAOYSA-L copper;2,3-dihydroxybutanedioate Chemical compound [Cu+2].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O RSJOBNMOMQFPKQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- GEZOTWYUIKXWOA-UHFFFAOYSA-L copper;carbonate Chemical compound [Cu+2].[O-]C([O-])=O GEZOTWYUIKXWOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- SDFNZYMSEOUVIF-UHFFFAOYSA-N copper;methanesulfonic acid Chemical compound [Cu].CS(O)(=O)=O SDFNZYMSEOUVIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SEGDGYCSRNUBHG-UHFFFAOYSA-N copper;propan-1-ol Chemical compound [Cu].CCCO SEGDGYCSRNUBHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGQHONKCYQCCHO-UHFFFAOYSA-N copper;propane-1-sulfonic acid Chemical compound [Cu].CCCS(O)(=O)=O VGQHONKCYQCCHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011258 core-shell material Substances 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- HYPABJGVBDSCIT-UPHRSURJSA-N cyclododecene Chemical compound C1CCCCC\C=C/CCCC1 HYPABJGVBDSCIT-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCCC1 KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 150000001990 dicarboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- FWBOFUGDKHMVPI-UHFFFAOYSA-K dicopper;2-oxidopropane-1,2,3-tricarboxylate Chemical compound [Cu+2].[Cu+2].[O-]C(=O)CC([O-])(C([O-])=O)CC([O-])=O FWBOFUGDKHMVPI-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- QVQGTNFYPJQJNM-UHFFFAOYSA-N dicyclohexylmethanamine Chemical compound C1CCCCC1C(N)C1CCCCC1 QVQGTNFYPJQJNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- WYACBZDAHNBPPB-UHFFFAOYSA-N diethyl oxalate Chemical compound CCOC(=O)C(=O)OCC WYACBZDAHNBPPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYAAVKFHBMJOJZ-UHFFFAOYSA-N diimidazo[1,3-b:1',3'-e]pyrazine-5,10-dione Chemical compound O=C1C2=CN=CN2C(=O)C2=CN=CN12 UYAAVKFHBMJOJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 1
- WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N dipropylamine Chemical compound CCCNCCC WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- KTLPNEZOGCOFJE-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethenylbenzoate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C=C KTLPNEZOGCOFJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 229920002457 flexible plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 229920002824 gallotannin Polymers 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 239000011346 highly viscous material Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 150000008040 ionic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940045996 isethionic acid Drugs 0.000 description 1
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940035429 isobutyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N isopropanol acetate Natural products CC(C)OC(C)=O JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940011051 isopropyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid Chemical compound CC(C)CC(O)=O GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPHUYCIKFIKENX-UHFFFAOYSA-N methyl 2-ethenylbenzoate Chemical compound COC(=O)C1=CC=CC=C1C=C MPHUYCIKFIKENX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002763 monocarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000002444 monopotassium citrate Substances 0.000 description 1
- 235000015861 monopotassium citrate Nutrition 0.000 description 1
- 235000016337 monopotassium tartrate Nutrition 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- OOHAUGDGCWURIT-UHFFFAOYSA-N n,n-dipentylpentan-1-amine Chemical compound CCCCCN(CCCCC)CCCCC OOHAUGDGCWURIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N n-Propyl acetate Natural products CCCOC(C)=O YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JACMPVXHEARCBO-UHFFFAOYSA-N n-pentylpentan-1-amine Chemical compound CCCCCNCCCCC JACMPVXHEARCBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 235000005152 nicotinamide Nutrition 0.000 description 1
- 239000011570 nicotinamide Substances 0.000 description 1
- 229960002715 nicotine Drugs 0.000 description 1
- SNICXCGAKADSCV-UHFFFAOYSA-N nicotine Natural products CN1CCCC1C1=CC=CN=C1 SNICXCGAKADSCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000001968 nicotinic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011664 nicotinic acid Substances 0.000 description 1
- 229960003512 nicotinic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002446 octanoic acid Drugs 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N phosphonic acid group Chemical group P(O)(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 1
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940086065 potassium hydrogentartrate Drugs 0.000 description 1
- LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L potassium sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 229940074439 potassium sodium tartrate Drugs 0.000 description 1
- 239000001472 potassium tartrate Substances 0.000 description 1
- 229940111695 potassium tartrate Drugs 0.000 description 1
- 235000011005 potassium tartrates Nutrition 0.000 description 1
- WKZJASQVARUVAW-UHFFFAOYSA-M potassium;hydron;2-hydroxypropane-1,2,3-tricarboxylate Chemical compound [K+].OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC([O-])=O WKZJASQVARUVAW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N prop-2-enenitrile;styrene Chemical compound C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940090181 propyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940116423 propylene glycol diacetate Drugs 0.000 description 1
- PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N pyridazine Chemical compound C1=CC=NN=C1 PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940070891 pyridium Drugs 0.000 description 1
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003873 salicylate salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N sec-butyl acetate Chemical compound CCC(C)OC(C)=O DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229940023144 sodium glycolate Drugs 0.000 description 1
- 235000011006 sodium potassium tartrate Nutrition 0.000 description 1
- NKAAEMMYHLFEFN-ZVGUSBNCSA-M sodium;(2r,3r)-2,3,4-trihydroxy-4-oxobutanoate Chemical compound [Na+].OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O NKAAEMMYHLFEFN-ZVGUSBNCSA-M 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 150000003440 styrenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 125000000446 sulfanediyl group Chemical group *S* 0.000 description 1
- 125000000565 sulfonamide group Chemical group 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005463 sulfonylimide group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 229920001864 tannin Polymers 0.000 description 1
- 235000018553 tannin Nutrition 0.000 description 1
- 239000001648 tannin Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- WMOVHXAZOJBABW-UHFFFAOYSA-N tert-butyl acetate Chemical compound CC(=O)OC(C)(C)C WMOVHXAZOJBABW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKXIQBVKMABYQJ-UHFFFAOYSA-M tert-butyl carbonate Chemical group CC(C)(C)OC([O-])=O XKXIQBVKMABYQJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)C=C ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N tetrabutylammonium Chemical compound CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- MCZDHTKJGDCTAE-UHFFFAOYSA-M tetrabutylazanium;acetate Chemical compound CC([O-])=O.CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC MCZDHTKJGDCTAE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 1
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JCJNUSDBRRKQPC-UHFFFAOYSA-M tetrahexylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CCCCCC[N+](CCCCCC)(CCCCCC)CCCCCC JCJNUSDBRRKQPC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- MRYQZMHVZZSQRT-UHFFFAOYSA-M tetramethylazanium;acetate Chemical compound CC([O-])=O.C[N+](C)(C)C MRYQZMHVZZSQRT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- IEVVGBFMAHJELO-UHFFFAOYSA-M tetramethylazanium;benzoate Chemical compound C[N+](C)(C)C.[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 IEVVGBFMAHJELO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013518 transcription Methods 0.000 description 1
- 230000035897 transcription Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 1
- YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N tripropylamine Chemical compound CCCN(CCC)CCC YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JEJAMASKDTUEBZ-UHFFFAOYSA-N tris(1,1,3-tribromo-2,2-dimethylpropyl) phosphate Chemical compound BrCC(C)(C)C(Br)(Br)OP(=O)(OC(Br)(Br)C(C)(C)CBr)OC(Br)(Br)C(C)(C)CBr JEJAMASKDTUEBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N trisilane Chemical compound [SiH3][SiH2][SiH3] VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZMYSIGYADXAEQ-UHFFFAOYSA-N trisilirane Chemical compound [SiH2]1[SiH2][SiH2]1 SZMYSIGYADXAEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- RSJKGSCJYJTIGS-UHFFFAOYSA-N undecane Chemical compound CCCCCCCCCCC RSJKGSCJYJTIGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Description
フレキシブルフィルム上に、エレクトロニクスデバイスを作製することは、大面積、軽量,薄膜のデバイスを作製でき、また、フレキシブルであることがメリットであるが、ロールトゥロール(roll to roll)工程で連続生産することが可能となるため、低コスト化と大量供給の観点からの期待も大きい。
また、微細で複雑な金属パターンや配線を数μm以下の視認が困難なレベルまで細線化できれば、意匠性を損なうことなく、導電機能が付与できることにより、用途や応用範囲が広がることが期待できる。
従来から、印刷技術やインクジェット技術を用いて、絶縁性インク、半導体インク、導電性インク等をフィルム上に塗布又は印刷してエレクトロニクスデバイスを作製する、いわゆる、プリンティッドエレクトロニクス(PE)と呼ばれる研究が進んでいる。
特許文献1では、具体的には、ノボラック型フェノール樹脂を含むポジ型フォトレジスト組成物を用いて基板上にポジ型フォトレジスト層を形成し、上記ポジ型フォトレジスト層に対して露光及び現像処理を実施することでポジ型フォトレジスト層に凹部パターンを形成し、上記凹部パターンが形成されたポジ型フォトレジスト層に対して全面露光を行った後、上記凹部パターンに導電性ペーストを充填して乾燥させて、更にポジ型フォトレジスト層を現像により消失させることで、基板上に導電層パターンを形成する方法を開示している。
また、本発明の他の実施形態が解決しようとする課題は、パターン不良の発生を低減することができる構造体の製造方法を提供することである。
<1> 第一のフィルム、感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有する積層体を巻き取ってなるロール体を準備する工程、上記ロール体から上記積層体を巻き出す工程、巻き出された上記積層体に対して露光を行う工程、露光された上記積層体を現像し樹脂パターンを形成する工程、上記第一のフィルム上における上記樹脂パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属を含む導電性パターンを形成する工程、上記樹脂パターンを除去する工程を含む導電性パターンの形成方法。
<2> 上記第一のフィルム及び上記第二のフィルムの少なくとも一方が、粒子を有する<1>に記載の導電性パターンの形成方法。
<3> 上記露光を行う工程において、上記第二のフィルムにマスクを接触させ、上記第二のフィルム越しに露光を行う<1>又は<2>に記載の導電性パターンの形成方法。
<4> 上記露光を行う工程において、上記第一のフィルムにマスクを接触させ、上記第一のフィルム越しに露光を行う<1>又は<2>に記載の導電性パターンの形成方法。
<5> 上記露光を行う工程において、上記第二のフィルムを剥離し、上記感光性樹脂層にマスクを接触させ露光を行う<1>又は<2>に記載の導電性パターンの形成方法。
<6> 上記第一のフィルムの厚みが、50μm以下である<1>〜<5>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<7> 上記第二のフィルムの厚みが、50μm以下である<1>〜<6>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<8> 上記第一のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下である<1>〜<7>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<9> 上記第二のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下である<1>〜<8>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<10> 上記第一のフィルム及び上記第二のフィルムの少なくとも一方が、全光線透過率が85%以上の透明フィルムである<1>〜<9>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<11> 上記第一のフィルム及び上記第二のフィルムがいずれも、絶縁性フィルムである<1>〜<10>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<12> 上記第一のフィルムが、紫外線吸収剤を含む<1>〜<11>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<13> 上記感光性樹脂層が、ポジ型感光性樹脂層である<1>〜<12>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<14> 上記ポジ型感光性樹脂層が、酸の作用により脱保護する保護基で保護された極性基を有する重合体、及び、光酸発生剤を含む<13>に記載の導電性パターンの形成方法。
<15> 上記酸の作用により脱保護する保護基で保護された極性基が、極性基がアセタールの形で保護されてなる基である<14>に記載の導電性パターンの形成方法。
<16> 上記重合体が、下記式A1〜式A3のいずれかで表される構成単位を含む<14>又は<15>に記載の導電性パターンの形成方法。
式A2中、R21及びR22は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R21及びR22の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R23は、アルキル基又はアリール基を表す。R24は、それぞれ独立して、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシカルボニル基、ヒドロキシアルキル基、アリールカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、又は、シクロアルキル基を表す。mは、0〜3の整数を表す。R21又はR22とR23とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。
式A3中、R31及びR32は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R31及びR32の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R33は、アルキル基又はアリール基を表す。R34は、水素原子又はメチル基を表す。X0は、単結合又は二価の連結基を表す。なお、R31又はR32とR33とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。
<18> 上記感光性樹脂層の層厚が、1μm以下である<1>〜<17>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<19> 上記導電性パターンを、スパッタリング法又は蒸着法により形成する<1>〜<18>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<20> 上記導電性パターンを、銀含有インク若しくは銅含有インクの印刷又は塗布により形成する<1>〜<19>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<22> 上記第一のフィルム、上記第二のフィルム及び上記第三のフィルムの少なくとも一つが、粒子を有する<21>に記載の導電性パターンの形成方法。
<23> 上記露光を行う工程において、上記第二のフィルム又は第三のフィルムにマスクを接触させ、上記第二のフィルム越しに露光を行う<21>又は<22>に記載の導電性パターンの形成方法。
<24> 上記露光を行う工程において、上記第二のフィルム又は第三のフィルムを剥離し、上記感光性樹脂層にマスクを接触させ露光を行う<21>又は<22>に記載の導電性パターンの形成方法。
<25> 上記第一のフィルムの厚みが、50μm以下である<21>〜<24>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<26> 上記第二のフィルムの厚みが、50μm以下であり、かつ上記第三のフィルムの厚みが、50μm以下である<21>〜<25>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<27> 上記第一のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下である<21>〜<26>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<28> 上記第二のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下であり、かつ上記第三のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下である<21>〜<27>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<29> 上記第一のフィルム、上記第二のフィルム及び上記第三のフィルムの少なくとも一つが、全光線透過率が85%以上の透明フィルムである<21>〜<28>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<30> 上記第一のフィルム、上記第二のフィルム及び上記第三のフィルムがいずれも、絶縁性フィルムである<21>〜<29>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<31> 上記第一のフィルムが、紫外線吸収剤を含む<21>〜<30>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<32> 上記第一の感光性樹脂層及び上記第二の感光性樹脂層がいずれも、ポジ型感光性樹脂層である<21>〜<31>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<33> 上記ポジ型感光性樹脂層が、酸の作用により脱保護する保護基で保護された極性基を有する重合体、及び、光酸発生剤を含む<32>に記載の導電性パターンの形成方法。
<34> 上記酸の作用により脱保護する保護基で保護された極性基が、酸基がアセタールの形で保護されてなる基である<33>に記載の導電性パターンの形成方法。
<35> 上記重合体が、下記式A1〜式A3のいずれかで表される構成単位を含む<33>又は<34>に記載の導電性パターンの形成方法。
式A2中、R21及びR22は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R21及びR22の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R23は、アルキル基又はアリール基を表す。R24は、それぞれ独立して、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシカルボニル基、ヒドロキシアルキル基、アリールカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、又は、シクロアルキル基を表す。mは、0〜3の整数を表す。R21又はR22とR23とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。
式A3中、R31及びR32は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R31及びR32の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R33は、アルキル基又はアリール基を表す。R34は、水素原子又はメチル基を表す。X0は、単結合又は二価の連結基を表す。なお、R31又はR32とR33とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。
<37> 上記第一の感光性樹脂層及び上記第二の感光性樹脂層の層厚がいずれも、3μm以下である<21>〜<36>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<38> 上記第一の感光性樹脂層及び上記第二の感光性樹脂層の層厚がいずれも、1μm以下である<21>〜<37>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<39> 上記露光を行う工程において、上記第一の感光性樹脂層及び上記第二の感光性樹脂層に対して同時に露光を行う<21>〜<38>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<40> 上記導電性パターンを、スパッタリング法又は蒸着法により形成する<21>〜<39>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<41> 上記導電性パターンを、銀含有インク若しくは銅含有インクの印刷又は塗布により形成する<21>〜<40>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法。
<43> <1>〜<41>のいずれか1つに記載の導電性パターンの形成方法により得られた上記導電性パターンを有する上記第一のフィルムに対し、上記第一のフィルム及び上記導電性パターン上にネガ型感光性樹脂層を形成する工程、上記第一のフィルム越しに上記ネガ型感光性樹脂層に対し露光を行う工程、光を照射された上記ネガ型感光性樹脂層を現像することで、上記第一のフィルム上に樹脂パターンNを形成する工程、及び、上記導電性パターンと上記樹脂パターンNとによって画定される領域にパターンMを形成する工程を含む構造体の製造方法。
また、本発明の他の実施形態によれば、パターン不良の発生を低減することができる構造体の製造方法を提供することができる。
また、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
また、本明細書において、「(メタ)アクリル」はアクリル及びメタクリルの双方、又は、いずれかを表し、「(メタ)アクリレート」はアクリレート及びメタクリレートの双方、又は、いずれかを表す。
更に、本明細書において組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する該当する複数の物質の合計量を意味する。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も含む。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等の活性光線(活性エネルギー線)が挙げられる。
また、本明細書における化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合もある。
本開示において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
また、本開示において、2以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
また、本開示における重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、特に断りのない限り、TSKgel GMHxL、TSKgel G4000HxL、TSKgel G2000HxL(何れも東ソー(株)製の商品名)のカラムを使用したゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)分析装置により、溶剤THF(テトラヒドロフラン)、示差屈折計により検出し、標準物質としてポリスチレンを用いて換算した分子量である。
本開示に係る導電性パターンの形成方法は、第一のフィルム、感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有する積層体を巻き取ってなるロール体を準備する工程、上記ロール体から上記積層体を巻き出す工程、巻き出された上記積層体に対して露光を行う工程、露光された上記積層体を現像し樹脂パターンを形成する工程、上記第一のフィルム上における上記樹脂パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属を含む導電性パターンを形成する工程、上記樹脂パターンを除去する工程を含む。
また、特許文献1に記載されているような従来の導電性パターンの形成方法をロールトゥロール(roll to roll)工程で連続生産する際には、パターン不良の発生が多いという問題があることを本発明者は見出した。
本発明者が鋭意検討した結果、上記構成をとることにより、パターン不良の発生を低減することができる導電性パターンの形成方法を提供できることを見出した。
本開示に係る導電性パターンの形成方法では、第一のフィルム、感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有する積層体を巻き取ってなるロール体から積層体を巻き出し、巻き出された上記積層体に対して露光及び現像を行い、更に、上記第一のフィルム上における樹脂パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属を含む導電性パターンを形成し、上記樹脂パターンを除去する。上述のように、第一のフィルム、感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有する積層体を用いることにより、露光パターン形状を安定させるとともに、上記第一のフィルム上における樹脂パターンが形成されていない部分に金属を含む導電性パターンを形成することで、導電性パターンの形状安定性及び欠陥抑制性に優れるため、パターン不良の発生を低減することができると推定している。
図1は、本開示に係る導電性パターンの形成方法により形成される導電性パターンの模式図である。
導電性基板50は、基板(第一のフィルム)1と、基板1上に配置されたパターン状の導電層(導電性パターン)8Aと、を有する。
図2は、本開示に好適に用いられる積層体の一例を示す模式図である。
図2に示す積層体20は、基板(第一のフィルム)1と、基板1上に感光性樹脂層3とカバーフィルム(第二のフィルム)5とを有する。
図3は、積層体に対して露光を行う工程の好ましい一例を概略的に示す模式図である。
図3においては、開口部6aを有するマスク6をカバーフィルム5に密着するように配置して、カバーフィルム5を介して積層体20の感光性樹脂層3をパターン状に露光している。
露光後、カバーフィルム5を剥離して現像を行い、図4に示す積層体30が得られる。
図4に示すように、現像された積層体30は、基板1と、基板1上に配置され、層内を貫通する開口部7を有する感光性樹脂層(樹脂パターン)3Aと、を有する。つまり、感光性樹脂層3Aは、基板1が露出する開口部7を有する。上記感光性樹脂層がポジ型である場合、感光性樹脂層3Aを貫通する開口部7の位置は、露光の際に使用されたマスクパターンの開口部(図3の開口部6a)の位置と一致する。すなわち、感光性樹脂層3Aは、露光の際に使用されたマスクの開口部6aに対応する位置に、開口部7を有する。
図5における積層体40は、感光性樹脂層3Aが有する開口部7に導電性組成物から形成される導電性組成物層8Aを有する。なお、感光性樹脂層3Aが有する開口部7に導電性組成物の供給を行う場合、図5に示すように開口部7以外の領域(例えば、感光性樹脂層3Aの上面)に付着してもよい。
図6に示すように、樹脂パターンを除去する工程においては、基板1の感光性樹脂層3Aとは反対側の表面(基板1の裏面)から露光(好ましくは全面露光)する態様が好ましく挙げられる。上記露光により、露光された感光性樹脂層3A中の酸分解性樹脂中の酸分解性基が酸の作用により脱保護して、アルカリ系剥離液に対する溶解性が増大する。すなわち、感光性樹脂層3Aの極性が変化する。露光された感光性樹脂層3Aを、例えば、剥離液により除去することにより、感光性樹脂層3A上の導電性組成物層も感光性樹脂層3Aとともに除去することができる。
上記除去により、図1に示す導電性パターンが得られる。
上記積層体である場合、本開示に係る導電性パターンの形成方法は、第一のフィルムの一方の面に、第一の感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有し、第一のフィルムのもう一方の面に、第二の感光性樹脂層、及び、第三のフィルムを有する積層体を巻き取ってなるロール体を準備する工程、上記ロール体から上記積層体を巻き出す工程、巻き出された上記積層体のいずれか一方の面又は両方の面に対して露光を行う工程、露光された上記積層体を現像し樹脂パターンを形成する工程、上記第一のフィルム上における上記樹脂パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属を含む導電性パターンを形成する工程、並びに、上記樹脂パターンを除去する工程を含むことが好ましい。
本開示に係る導電性パターンの形成方法は、第一のフィルム、感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有する積層体を巻き取ってなるロール体を準備する工程(「準備工程」ともいう。)を含む。
上記積層体は、第一のフィルム、感光性樹脂層、及び、第二のフィルムをこの順で有することが好ましい。
第一のフィルム、感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有する積層体の詳細については、後述する。
また、上記積層体は、第一のフィルムの一方の面に、第一の感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有し、第一のフィルムのもう一方の面に、第二の感光性樹脂層、及び、第三のフィルムを有する積層体であることが好ましい。
第一の感光性樹脂層、第二の感光性樹脂層、及び、第三のフィルムを更に有する積層体についても後述する。
上記積層体を巻き取ってなるロール体を作製する方法としては、特に制限はなく、公知の巻き取り方法によりロール体を作製することができ、例えば、ロールトゥロール方式に適用される方法が挙げられる。
また、巻き取る積層体の長手方向の長さ、及び、幅(短手方向の長さ)は、特に制限はなく、所望に応じ、適宜選択することができる。
更に、上記ロール体は、上記積層体における第一のフィルム側が外側になるように巻き取ったロール体であっても、上記積層体における第二のフィルム側が外側になるように巻き取ったロール体であってもよい。
本開示に係る導電性パターンの形成方法は、上記ロール体から上記積層体を巻き出す工程(「巻き出し工程」ともいう。)を含む。
上記ロール体から上記積層体を巻き出す方法としては、特に制限はなく、公知の巻き取り方法によりロール体を作製することができ、例えば、ロールトゥロール方式に適用される方法が挙げられる。
また、上記巻き出し工程における巻き出しは、連続的に行っても、間歇的に行ってもよく、例えば、後述する露光工程等の上記巻き出し工程後の各工程に応じて、適宜選択することできる。
更に、上記巻き出しの速度は、特に制限はなく、所望の速度で行うことができる。
本開示に係る導電性パターンの形成方法は、巻き出された上記積層体に対して露光を行う工程(「露光工程」ともいう。)を含む。
上記露光工程における露光は、パターン状の露光(パターン露光)であることが好ましい。
パターン露光におけるパターンの詳細な配置及び具体的なサイズは特に制限されない。パターンの少なくとも一部(好ましくはタッチパネルの電極パターン及び/又は取り出し配線の部分)は幅が20μm以下の細線を含むことが好ましく、幅が10μm以下の細線を含むことがより好ましい。回路配線の製造方法により製造される回路配線を有する入力装置を備えた表示装置(例えば、タッチパネル)の表示品質を高め、かつ、取り出し配線の占める面積を小さくすることができる。
また、上記感光性樹脂層がポジ型感光性樹脂層である場合は、上記感光性樹脂層の未露光部が後述する樹脂パターンとなり、上記感光性樹脂層がネガ型感光性樹脂層である場合は、上記感光性樹脂層の露光部が後述する樹脂パターンとなる。
第一のフィルム又は第二のフィルムを剥離した後に露光する場合には、マスクと感光性樹脂層とを接触させて露光してもよく、マスクと感光性樹脂層とを接触させずに近接させて露光してもよい。
第一のフィルム又は第二のフィルムを介して露光する場合には、マスクと第一のフィルム又は第二のフィルムとを接触させて露光してもよく、マスクと第一のフィルム又は第二のフィルムとを接触させずに近接させて露光してもよい。感光性樹脂層とマスクとの接触によるマスク汚染の防止、及び、マスクに付着した異物による露光への影響を避けるためには、第一のフィルム又は第二のフィルムを剥離せずにパターン露光することが好ましい。
R1:上記露光を行う工程において、好ましくは、上記第二のフィルムにマスクを用いて、上記第二のフィルム越しに露光を行う態様、より好ましくは、上記第二のフィルムにマスクを接触させ、上記第二のフィルム越しに露光を行う態様。
R2:上記露光を行う工程において、好ましくは、上記第一のフィルムにマスクを用いて、上記第一のフィルム越しに露光を行う態様、より好ましくは、上記第一のフィルムにマスクを接触させ、上記第一のフィルム越しに露光を行う態様
R3:上記露光を行う工程において、好ましくは、上記第二のフィルムを剥離し、上記感光性樹脂層にマスクを用いて露光を行う態様、より好ましくは、上記第二のフィルムを剥離し、上記感光性樹脂層にマスクを接触させ露光を行う態様。
すなわち、上記積層体の場合、上記露光工程は、巻き出された前記積層体のいずれか一方の面又は両方の面に対して露光を行う工程であることが好ましく、巻き出された前記積層体の両方の面に対して露光を行う工程であることがより好ましい。
また、上記露光工程において、第一の感光性樹脂層、及び、第二のフィルムと、第二の感光性樹脂層、及び、第三のフィルムとの露光については、上述した感光性樹脂層、及び、第二のフィルムの好ましい態様とそれぞれ同様である。
レンズ系又はミラー系のプロジェクション露光方式の場合、必要な解像力及び焦点深度に応じて、適当なレンズの開口数(NA)を有する露光機を用いることができる。
ダイレクト露光方式の場合は、感光性樹脂層に直接露光してもよく、レンズを介して感光性樹脂層に縮小投影露光をしてもよい。
また、露光は、大気下で行うだけでなく、減圧下又は真空下で行ってもよい。また、光源と感光性樹脂層との間に水等の液体を介在させて露光してもよい。
本開示に係る導電性パターンの形成方法は、露光された上記積層体を現像し樹脂パターンを形成する工程(「現像工程」ともいう。)を含む。
上記現像工程において形成される樹脂パターンのパターン形状は、特に制限はなく、所望に応じ、適宜選択すればよい。
上記樹脂パターンは、本開示における効果をより発揮する観点から、開口部を有する樹脂パターンであることが好ましい。
後述する導電性パターン形成工程において、上記樹脂パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に導電性パターンが形成され、上記開口部に導電性パターンが形成されることが好ましい。
上記開口部の形状は、ライン状であることが好ましく、その幅が100μm以下であることがより好ましく、70μm以下であることが更に好ましく、0.5μm以上20μm以下であることが特に好ましい。
また、上記樹脂パターンは、得られる導電性パターンにおけるパターン不良抑制性の観点から、テーパー形状を有する樹脂パターンであることが好ましい。
樹脂パターンの厚さは、30μm以下であることが好ましく、10μm以下であることがより好ましく、5μm以下であることが更に好ましく、3μm以下であることが特に好ましい。また、樹脂パターンの厚さの下限値は、0.5μm以上であることが好ましく、1μm以上であることがより好ましい。
すなわち、上記積層体の場合、上記露光工程は、露光された前記積層体のいずれか一方の面又は両方の面に対して現像し樹脂パターンを形成する工程であることが好ましく、露光された前記積層体の両方の面に対して現像し樹脂パターンを形成する工程であることがより好ましい。
現像液としては、特に制限はないが、アルカリ現像液が好ましく挙げられる。
アルカリ現像液としては、pKa=7〜13の化合物を0.05mol/L(リットル)〜5mol/Lの濃度のアルカリ水溶液系現像液が好ましい。アルカリ水溶液系現像液は、更に、水溶性の有機溶媒及び界面活性剤等を含んでいてもよい。
アルカリ水溶液系現像液としては、例えば、国際公開第2015/093271号の段落0194に記載の現像液が好ましい。
ポストベークは8.1kPa〜121.6kPaの環境下で実施することが好ましく、50.66kPa以上の環境下で実施することがより好ましい。一方、111.46kPa以下の環境下で実施することがより好ましく、101.3kPa以下の環境下で実施することが更に好ましい。
ポストベークの温度は、80℃〜250℃が好ましく、110℃〜170℃がより好ましく、130℃〜150℃が更に好ましい。
ポストベークの時間は、1分〜30分が好ましく、2分〜10分がより好ましく、2分〜4分が更に好ましい。
ポストベークは、空気環境下で行っても、窒素置換環境下で行ってもよい。
本開示に係る導電性パターンの形成方法は、上記第一のフィルム上における上記樹脂パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属を含む導電性パターンを形成する工程(「導電性パターン形成工程」ともいう。)を含む。
導電性パターンの材質は、少なくとも一部に金属を含んでいれば、特に制限はなく、高知の導電性材料を用いることができる。
上記金属としては、特に制限はないが、銅、銀、金、又は、これらの金属を含む合金が好ましく、銅、銀、又は、これらの金属を含む合金がより好ましい。
また、上記導電性パターンは、銅、銀、又は、金を少なくとも含むことが好ましく、銅、又は、銀を少なくとも含むことがより好ましい。
乾式めっき法による成膜方法としては、物理的成膜法として真空蒸着法、スパッタリング法等があり、化学的成膜法として化学的気相成長法(CVD)等が用いられている。
真空蒸着法は、抵抗加熱や電子銃照射により成膜材料を加熱蒸発させ、基材上に薄膜を形成する方法である。真空蒸着の際に、薄膜の密着性、緻密化を目的として、蒸発源と基材の間にプラズマを形成させるプラズマアシスト蒸着法も知られている。なお、プラズマの形成は、真空成膜装置内に設置した放電用の電極に直流又は交流の電圧を印加したり、導波管を用いてマイクロ波を任意の場所に照射したりすることによって形成することができる。
スパッタリング法としては、成膜材料をプレート状に成形したターゲットを用い、このターゲットを放電用電極として上記プラズマ発生方法を用いて基材とターゲットの間にプラズマを発生させ、電位勾配を用いてターゲット表面にイオンを照射衝突させることによって、ターゲット物質を叩き出して基材上にターゲット物質の薄膜を形成する方法が例示できる。
本開示では、公知のスパッタリング装置を用い、公知のスパッタリングターゲットを用いることができる。例えば、マグネトロンスパッタリングカソードや、対向スパッタリングカソードが挙げられる。
スパッタで成膜する金属の薄膜と、基材との密着性を向上させるために、金属薄膜のスパッタ前に、Ar分子で基材表面を若干荒らしてもよい。また、脱水及び脱ガス目的で事前処理として加熱処理をしてもよい。また、金属薄膜としてCuをスパッタする場合には、Cuと基材との間に、CrやTiをスパッタし密着性を高めることもできる。
印刷及び塗布方法としては、特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。例えば、インクジェット法、ロール塗布法、ブレード塗布法、ワイヤーバー塗布法、スプレー塗布法等が挙げられる。
本開示に用いられる導電性組成物としては、以下の組成物が好適に挙げられる。中でも、銀含有インク、又は、銅含有インクが特に好ましい。
また、上記導電性パターン形成工程においては、上記積層体における感光性樹脂層側の全面に導電性組成物を塗布する方法であってもよい。
導電性組成物は、導電性材料を含む。
導電性材料とは、それ自体が導電性を示す材料、及び、焼結処理をした後に導電層を形成し得る材料をいずれも含む意図である。
導電性材料は、それ自体が導電性を示して、23℃におけるシート抵抗率が10Ω/□未満の導電層を形成できる導電性材料であるか、又は、焼結処理をした後に23℃におけるシート抵抗率が10Ω/□未満の導電層を形成できる導電性材料が好ましい。
なお、導電性組成物としては、公知の導電性ペースト及び導電性インク、並びに、後述するメッキ形成性インク等も使用できる。
中でも、導電性組成物としては、銀含有インク、又は、銅含有インクであることが好ましい。なお、本開示において、金属含有インクとは、金属粒子を含むインクを表し、例えば、銀含有インクは、銀粒子を含むインクである。
(a)粒子、クラスター、結晶、チューブ、ファイバー、ワイヤー、ロッド、及びフィルム等の形状の金属単体又は合金
(b)金属酸化物粒子
(c)導電性ポリマー粒子等の導電性有機材料、及び超電導体粒子
(d)有機金属化合物
(e)上述の(a)〜(e)以外のその他の導電性材料
粒子、クラスター、結晶、チューブ、ファイバー、ワイヤー、ロッド、及びフィルム等の形状の金属単体又は合金としては、分散性がより優れる点で、粒子状の金属単体又は合金(以下「導電性粒子」ともいう。)であることがより好ましい。また、配線基板等の精密機器へ適用性の観点から、これらの金属単体及び合金は、ナノサイズであることがより好ましい。上記金属単体及び合金としては、金、銀、銅、ニッケル、アルミニウム、金、白金、及びパラジウムからなる群から選ばれる金属単体、又はこれらの2種以上の金属からなる合金が好ましく、抵抗値、コスト、及び焼結温度等の点から、金、銀、銅、又はこれらの合金がより好ましく、焼結温度及び酸化抑制の点から、銀が好ましい。
上述した、粒子、クラスター、結晶、チューブ、ファイバー、ワイヤー、ロッド、及びフィルム等の形状の金属単体又は合金としては、中でも、金ナノ粒子、銀ナノ粒子、又は、銅ナノ粒子が好ましく、銀ナノ粒子がより好ましい。
なお、本開示において、「ナノ粒子」とは、平均粒子径が0.1nm以上1.0μm未満の粒子をいい、平均粒子径が1nm以上100nm以下の粒子であることが好ましい。
「金属酸化物」とは、酸化されていない金属を実質的に含まない化合物であり、具体的には、X線回折による結晶解析おいて、酸化された金属由来のピークが検出され、且つ金属由来のピークが検出されない化合物を指す。酸化されていない金属を実質的に含まないとは特に制限されないが、酸化されていない金属の含有量が金属酸化物粒子に対して1質量%以下であることをいう。
金属酸化物粒子における金属酸化物としては、銅、銀、ニッケル、金、白金、パラジウム、インジウム、又はスズ等の酸化物が挙げられる。金属酸化物種は、1種であっても2種以上の混合であってもよい。
金属酸化物としては、銅、銀、ニッケル、又はスズの酸化物が好ましく、銅又は銀の酸化物がより好ましく、銅の酸化物が更に好ましい。上記銅の酸化物としては、酸化銅(I)又は酸化銅(II)が好ましく、安価に入手可能であることから、酸化銅(II)がより好ましい。
金属酸化物粒子の平均粒子径の上限値としては、1μm未満であることが好ましく、200nm未満であることがより好ましい。また、その下限値としては、1nm以上であることが好ましい。なお、金属酸化物粒子の平均粒子径は、走査型電子顕微鏡(SEM)による観察して、無作為に選択した100個の金属酸化物粒子の一次粒子の粒子径の数平均値をいう。
導電性ポリマー等の導電性有機材料及び超電導体としては、例えば、ポリアニリン、ポリチオフェン、及びポリフェニレンビニレン等が挙げられる。
また、導電性有機材料としては、PPS(ポリスチレンスルホン酸)でドープされたPEDOT(ポリエチレンジオキシチオフェン)(PEDOT/PSS)等も挙げられる。
ここでいう「有機金属化合物」とは、加熱による分解によって金属が析出する化合物を指す。
上記有機金属化合物としては、クロロトリエチルホスフィン金、クロロトリメチルホスフィン金、クロロトリフェニルフォスフィン金、銀2,4−ペンタンヂオナト錯体、トリメチルホスフィン(ヘキサフルオロアセチルアセトナート)銀錯体、及び銅ヘキサフルオロペンタンジオナトシクロオクタジエン錯体等が挙げられる。
上述の(a)〜(e)以外のその他の導電性材料としては、例えば、レジスト材料及び線状絶縁材料としてのアクリル樹脂、加熱してシリコンになるシラン化合物が挙げられる。これらは溶媒中に粒子として分散されていても、溶解して存在してもよい。
加熱してシリコンになるシラン化合物としては、例えば、トリシラン、ペンタシラン、シクロトリシラン、及び、1,1’−ビスシクロブタシラン等が挙げられる。
ここで「主成分」とは、導電性組成物中に含まれる溶媒の内、配合量(質量比率)が最も多い成分をいう。
導電性組成物が水を含む場合、水の含有量は、導電性組成物が含む溶媒の全質量に対して50質量%超であることが好ましく、55質量%以上であることがより好ましく、60質量%以上であることが更に好ましく、80質量%以上であることが特に好ましく、90質量%以上であることが最も好ましい。なお、水の含有量の上限値としては、組成物C1が含む溶媒の全質量に対して、例えば、100質量%以下である。
(組成物C1)
組成物C1は、導電性材料、溶媒、及び分散剤を含むことが好ましい。また、組成物C1は、エチレン不飽和基を有する重合性化合物及び重合開始剤等の他の成分を更に含んでいてもよい。
なお、組成物C1が含む導電性材料としては、既述の導電性材料が挙げられる。
組成物C1は、25℃における粘度が1mPa・s〜20mPa・sであることが好ましい。
組成物C1としては、導電性材料を分散媒で分散したコロイド液であることが好ましい。
導電性粒子の平均粒子径としては、安定性及び融着温度の点から、0.1nm〜50nmが好ましく、1nm〜20nmがより好ましい。
なお、導電性粒子の平均粒子径は、無作為に選択した100個の導電性粒子の一次粒子の粒子径の数平均値をいう。
組成物C1中、導電性材料の含有量としては、分散安定性、及び、金属膜形成性がより優れる点で、組成物の全質量に対して、10質量%〜95質量%であることが好ましく、30質量%〜80質量%であることがより好ましい。
銀コロイド粒子の形態としては特に制限されず、例えば、銀ナノ粒子の表面に分散剤が付着している形態、銀ナノ粒子をコアとして、その表面が分散剤で被覆されている形態、並びに、銀粒子及び分散剤が均一に混合されて構成されている形態等が挙げられる。中でも、銀ナノ粒子をコアとして、その表面が分散剤で被覆されている形態、又は、銀粒子及び分散剤が均一に混合されて構成されている形態が好ましい。上述した各形態を有する銀コロイド粒子は、公知の手法により適宜調製可能である。
銀以外の金属としては、イオン化列が水素より貴である金属が好ましい。
イオン化列が水素より貴である金属としては、金、銅、白金、パラジウム、ロジウム、イリジウム、オスミウム、ルテニウム、又は、レニウムが好ましく、金、銅、白金、又は、パラジウムがより好ましい。
銀以外の金属は、1種のみ単独で使用されてもよいし、2種以上で併用されてもよい。
組成物C1が混合コロイド液である場合、銀及びその他の金属は、合金コロイド粒子を構成してもよく、コア−シェル構造及び多層構造等の構造を有するコロイド粒子を構成してもよい。なお、銀以外の金属の粒子は、ナノサイズの粒子であってもよいし、サブミクロンサイズの粒子であってもよい。
上記有機溶媒としては特に制限されないが、例えば、トルエン、ドデカン、テトラデカン、シクロドデセン、n−ヘプタン、n−ウンデカン等の炭化水素類:エタノール、イソプロピルアルコール、及びブタノール等の飽和脂肪族一価アルコール類:プロパンジオール、ブタンジオール、及びペンタンジオール等のアルカンジオール類:エチレングリコール等のアルキレングリコール類、:ジエチレングリコールモノイソブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノイソブチルエーテル、エチレングリコールイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、及びジエチレングリコールモノブチルエーテル等のグリコールモノエーテル類:グリセリン等が挙げられる。
ここで「主成分」とは、組成物C1中に含まれる溶媒の内、配合量(質量比率)が最も多い成分をいう。
組成物C1が水を含む場合、水の含有量は、組成物C1が含む溶媒の全質量に対して50質量%超であることが好ましく、55質量%以上であることがより好ましく、60質量%以上であることが更に好ましく、80質量%以上であることが特に好ましく、90質量%以上であることが最も好ましい。なお、水の含有量の上限値としては、組成物C1が含む溶媒の全質量に対して、例えば、100質量%以下である。
分散剤としては、組成物中の導電性粒子(特に、銀コロイド粒子)の分散安定性がより優れる点で、カルボキシ基及びヒドロキシ基を有し、且つ、分子中に含まれるカルボキシ基の個数≧分子中に含まれるヒドロキシ基の個数である、ヒドロキシ酸又はその塩が好ましい。
分散剤は、1種のみ単独で使用されてもよいし、2種以上で併用されてもよい。
エチレン不飽和重合性化合物としては、硬化性及び強度がより優れる点で、分子内にエチレン不飽和基を2個以上含む化合物(多官能エチレン性不飽和化合物)であることが好ましく、分子内にエチレン不飽和基を3個以上含む化合物であることがより好ましい。
エチレン不飽和重合性化合物としては、(メタ)アクリレート化合物、ビニルベンゼン化合物、又はビスマレイミド化合物等が好ましく、多価(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。
多価(メタ)アクリレート化合物としては、多価アルコールとアクリル酸又はメタクリル酸とのエステル化合物が挙げられる。また、ウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、及び、エポキシ(メタ)アクリレートと称される、分子内に数個の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する分子量が数百から数千のオリゴマー等であってもよい。
分子内に3個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する多官能(メタ)アクリレート化合物としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、及び、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等のポリオールポリ(メタ)アクリレート類、並びに、ポリイソシアネートとヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基含有(メタ)アクリレートの反応によって得られるウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。
重合開始剤としては、熱重合開始剤及び光重合開始剤のいずれであってもよい。
熱重合開始剤としては、熱ラジカル発生剤が挙げられる。具体的には、ベンゾイルパーオキサイド、及びアゾビスイソブチロニトリル等のような過酸化物開始剤、並びにアゾ系開始剤等が挙げられる。
光重合開始剤としては、光ラジカル発生剤が挙げられる。具体的には、(a)芳香族ケトン類、(b)オニウム塩化合物、(c)有機過酸化物、(d)チオ化合物、(e)ヘキサアリールビイミダゾール化合物、(f)ケトオキシムエステル化合物、(g)ボレート化合物、(h)アジニウム化合物、(i)活性エステル化合物、(j)炭素ハロゲン結合を有する化合物、及び(k)ピリジウム類化合物等が挙げられる。
還元剤としては、例えば、タンニン酸、又はヒドロキシ酸が好ましい。なお、タンニン酸には、例えば、ガロタンニン酸、及び五倍子タンニン等も含まれる。
還元剤は、1種のみの単独で使用されてもよいし、2種以上で併用されてもよい。
組成物C2は、導電性材料及びバインダーポリマーを含むことが好ましい。
なお、組成物C2が含む導電性材料としては、既述の導電性材料が挙げられる。
組成物C2が含む導電性材料としては、導電性粒子が好ましく、銀ナノ粒子がより好ましい。なお、組成物C2に含まれ得る上述の導電性粒子及び銀ナノ粒子は、組成物C1が含み得る導電性粒子及び銀ナノ粒子と同様のものが挙げられる。
上記バインダーポリマーとしては、例えば、ポリエステル樹脂、(メタ)アクリル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、及びポリアミド樹脂等の熱可塑性樹脂が挙げられる。また、エポキシ樹脂、アミノ樹脂、ポリイミド樹脂、及び(メタ)アクリル樹脂等の熱硬化性樹脂であってもよい。
溶媒としては、組成物C2の成分を溶解できるものであれば特に制限されないが、形成される導電性基板の不良率がより低減する点で、主成分が水であることが好ましい。
ここで「主成分」とは、組成物C2中に含まれる溶媒の内、配合量(質量比率)が最も多い成分をいう。
組成物C2が水を含む場合、水の含有量は、組成物C2が含む溶媒の全質量に対して50質量%超であることが好ましく、55質量%以上であることがより好ましく、60質量%以上であることが更に好ましく、80質量%以上であることが特に好ましく、90質量%以上であることが最も好ましい。なお、水の含有量の上限値としては、組成物C1が含む溶媒の全質量に対して、例えば、100質量%以下である。
めっき形成性インクとは、被めっき層形成用組成物とめっき液とからなるインクであり、被めっき層形成用組成物から形成された被めっき層上に無電解めっきにより金属層(導電層)を形成できるインクを意図する。
被めっき層形成用組成物は、被めっき層形成用組成物から形成される被めっき層上に無電解めっきを可能とするため、無電解めっき触媒又はその前駆体を含むか、又は、無電解めっき触媒又はその前駆体と相互作用(例えば、イオン結合、配位結合、水素結合、共有結合等)する官能基(以下「相互作用性基」ともいう。)を含む化合物を含む。
被めっき層形成用組成物は、相互作用性基を有する化合物、及び溶媒を含むことが好ましい。被めっき層形成用組成物は、更に、重合開始剤及び重合性化合物を含んでいることが好ましい。
めっき形成性インク及びその使用形態としては、例えば、国際公開第2016/159136号等の公知文献の記載を参照できる。
導電性組成物層の焼結方法としては、導電性パターンの抵抗値がより低減する点、及び、製造効率がより優れる点で、熱焼結又は光焼結が好ましい。
加熱方法としては特に制限されないが、従来公知のギヤオーブン等を使用する方法が挙げられる。
また、加熱時間としては、製造効率がより優れる点、及び形成される導電性パターンの抵抗値がより低減する点で、0.5分〜120分であることが好ましく、1分〜80分であることがより好ましく、1分〜60分であることが更に好ましく、10分〜60分であることが特に好ましく、10分〜30分であることが最も好ましい。
また、上記導電性パターン形成工程においては、簡便性、及び、形成位置の選択性の観点から、上記導電性パターンを、銀含有インク若しくは銅含有インクの印刷又は塗布により形成することがより好ましい。
2回以上の工程により上記導電性パターンの形成を行う場合、2回以降の工程は、スパッタリング法、蒸着法、導電性組成物の印刷若しくは塗布、又は、めっき法により導電性パターンを形成することが好ましい。
本開示に係る導電性パターンの形成方法は、上記樹脂パターンを除去する工程を含む。
上記樹脂パターンを除去する方法としては、特に制限はなく、公知の方法により除去することができる。
例えば、上記樹脂パターンがポジ型感光性樹脂層である場合は、上記樹脂パターンを露光し、現像して除去する方法が好適に挙げられる。露光方法及び現像方法としては、上述した露光方法及び現像方法を好適に用いることができる。
また、上記樹脂パターンを剥離液により除去してもよい。
剥離液としては、公知の剥離液を用いることができるが、下記に示す剥離液が好適に挙げられる。
上記剥離液は、水を主成分として含むことが好ましい。
ここで「主成分」とは、剥離液中に含まれる成分の内、配合量(質量比率)が最も多い成分をいう。
剥離液中、水の含有量としては、剥離液の全質量に対して50質量%超であることが好ましく、55質量%以上であることがより好ましく、60質量%以上であることが更に好ましく、80質量%以上であることが特に好ましく、90質量%以上であることが最も好ましい。なお、水の含有量の上限値としては、組成物C1が含む溶媒の全質量に対して、例えば、100質量%以下であり、95質量%以下であることが好ましい。
有機アミン類としては特に制限されないが、例えば、第一級〜第三級のアルキルアミン又はアルカノールアミンが好ましく、例えば、ジエチルアミン(沸点:55.5℃)、トリエチルアミン(沸点:89℃)、モノエタノールアミン(沸点:170℃)、ジエタノールアミン(沸点:280℃)、及びN−メチル−エタノールアミン(沸点:155℃)等が挙げられる。
得られる導電性パターンの厚さとしては、特に制限はなく、所望に応じて適宜選択することができるが、得られる金属パターンの強度及び耐久性の観点から、1nm以上が好ましく、5nm以上がより好ましく、10nm以上が更に好ましく、15nm以上が特に好ましい。また、上限は、1μm以下であることが好ましく、100nm以下であることがより好ましい。
本開示に係る導電性パターンの形成方法は、上述した以外の任意の工程(その他の工程)を含んでもよい。その他の工程としては、特に制限はなく、公知の工程が挙げられる。
また、本開示における樹脂パターン形成工程及びその他の工程の例としては、特開2006−23696号公報の段落0035〜段落0051に記載の方法を本開示においても好適に用いることができる。
また、本開示に係る導電性パターンの形成方法は、得られた導電性パターンを研磨する工程、及び、得られた導電性パターンを洗浄する工程等を含んでいてもよい。
本開示に係る導電性パターンの形成方法により得られた導電性パターンは、種々の用途に適用できる。
上記導電性パターンを有する基板の用途としては、例えば、タッチパネル(タッチセンサー)、アンテナ、電磁波シールド材料、半導体チップ、各種電気配線板、FPC(Flexible printed circuits)、COF(Chip on Film)、TAB(Tape Automated Bonding)、多層配線基板、及び、マザーボードが挙げられ、タッチセンサー、アンテナ、又は電磁波シールド材料、加熱素子に使用されることが好ましい。
上記導電性パターンを有する基板をタッチセンサーに適用する場合、導電性パターンが、タッチセンサー中の検出電極又は引き出し配線として機能する態様が好適に挙げられる。
タッチパネルとしては、例えば、特開2017−120345号公報の段落0229に記載のものが挙げられる。
また、タッチパネルの製造方法は、特に制限されず、上記導電性基板を有するタッチセンサーを用いること以外は、公知のタッチパネルの製造方法を参照すればよい。
本開示に係るメタルメッシュセンサーは、本開示に係る導電性パターンの形成方法により得られた導電性パターンを備えたものであればよい。
本開示に係るメタルメッシュセンサーの製造方法は、本開示に係る導電性パターンの形成方法を含むことが好ましい。
本開示に係るメタルメッシュセンサーの材質、形状、及び、基材等は、特に制限はなく、所望に応じ適宜選択すればよい。
本開示に用いられる積層体(「感光性転写材料」ともいう。)は、第一のフィルム、感光性樹脂層、第二のフィルムを有する。
また、上記積層体は、第一のフィルムの一方の面に、第一の感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有し、第一のフィルムのもう一方の面に、第二の感光性樹脂層、及び、第三のフィルムを有する積層体であることが好ましい。
以下、本開示に用いられる積層体について、詳細に説明する。
本開示に用いられる第一のフィルム、及び、第二のフィルムは、同じものであっても、異なるものであってもよい。
上記第一のフィルムは、上記除去工程においても導電性パターンと接しているフィルムであり、上記第二のフィルムは、上記現像工程の前又は上記現像工程中に除去されるフィルムである。
第一のフィルム、及び、第二のフィルムとしては、特に制限されないが、樹脂フィルム又は紙が好ましく、樹脂フィルムより好ましい。
樹脂フィルムを構成する樹脂としては、例えば、シクロオレフィンポリマー(COP)、ポリカーボネート(PC)、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体(ABS)、アクリロニトリル・スチレン共重合体(AS)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレン(PE)、ポリアミド(PA)、ポリアセタール(POM)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリスチレン(PS)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリフェニレンエーテル(PPE)、ポリサルフォン(PSF)、ポリエーテルサルフォン(PES)、ポリアミドイミド(PAI)、ポリエーテルイミド(PEI)、ポリイミド(PI)、及び、ポリ塩化ビニル(PVC)等の樹脂が挙げられる。
また、第二のフィルムは、導電性パターン不良抑制性、及び、解像性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、シクロオレフィンポリマー、ポリプロピレン、及び、ポリエチレンを含むことが好ましく、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、及び、シクロオレフィンポリマーを含むことがより好ましく、ポリエチレンテレフタレートを含むことが特に好ましい。
本開示における絶縁性フィルムとは、フィルムの表面に、導電性の被膜を有さないものをいい、表面比抵抗値は、103Ω/□以上を示すフィルムである。
絶縁性フィルムとしては、一般的なプラスチックフィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル類;ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、ポリエチレンビニルアセテート(EVA)等のポリオレフィン類;ビニル系樹脂;その他、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース(TAC)、シクロオレフィンポリマー(COP)、環状オレフィンコポリマー(COC)等が挙げられる。
また、第二のフィルムの表面は、剥離性を向上させる目的で、マット処理等の表面処理が施されていてもよい。
また、第一のフィルム又は第二のフィルムを介して感光性樹脂層を露光し易くする点で、上記第一のフィルム及び上記第二のフィルムの少なくとも一方が、全光線透過率が85%以上の透明フィルムであることが好ましく、上記第一のフィルム及び上記第二のフィルムの両方がいずれも、全光線透過率が85%以上の透明フィルムであることがより好ましい。
なお、全光透過率等の透過率は、JIS K7375(2008)に規定される方法に準拠して、(株)日本電色工業製、ヘーズメーターNDH4000を用いて、測定することができる。
また、第二のフィルムの厚さは、解像性の観点から、100μm以下であることが好ましく、50μm以下であることがより好ましく、5μm〜50μmであることが更に好ましく、10μm〜35μmであることが特に好ましい。
第二のフィルムのヘーズは、露光感度及び解像性の観点から、2.0%以下であることが好ましく、1.5%以下であることがより好ましく、1.0%以下であることが更に好ましく、0.75%以下であることが特に好ましい。
第一のフィルム、又は、第二のフィルムのヘーズの下限は、露光感度、及び解像性の観点から、0%に近いことが好ましい。仮支持体のヘーズの下限は、仮支持体の作製時の巻取り性の観点から、0.01以上であることが好ましい。
中でも、第一のフィルム及び第二のフィルムの少なくとも一方が、粒子を含むことが好ましい。
無機粒子としては、例えば、酸化ケイ素(シリカ)粒子、酸化チタン(チタニア)粒子、酸化ジルコニウム(ジルコニア)粒子、酸化マグネシウム(マグネシア)粒子、酸化アルミニウム(アルミナ)粒子等が挙げられる。
有機粒子としては、例えば、アクリル樹脂粒子、ポリエステル粒子、ポリウレタン粒子、ポリカーボネート粒子、ポリオレフィン粒子、ポリスチレン粒子等の有機樹脂粒子などが挙げられる。
上記の中でも、露光後の経時安定性、及び、得られるパターンの直線性の観点から、無機粒子であることが好ましく、シリカ粒子であることがより好ましい。
また、上記粒子は、上記フィルムの内部に存在しても、一部が上記フィルムの表面に露出していてもよい。
更に、第一のフィルム、及び、第二のフィルムは、上記粒子を含む粒子含有層を有していてもよい。
本開示における粒子の算術平均粒径は、(株)日立ハイテクノロジーズ製HT−7700型透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて、加速電圧100kVで仮支持体を観察し、任意に抽出した粒子400個の直径の平均値(算術平均粒径)を求める。なお、明らかに大きな凝集物(異物、ゴミ等)はカウントしない(除く、粒子として抽出しない)ものとする。
紫外線吸収剤としては、公知の紫外線吸収剤を用いることができる。
紫外線吸収剤として、例えば、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などが挙げられる。これらの詳細については、特開2012−208374号公報の段落0052〜0072、特開2013−068814号公報の段落0317〜0334、特開2016−162946号公報の段落0061〜0080に記載された化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、紫外線吸収剤は、特許第6268967号公報の段落0049〜0059に記載された化合物を用いることもできる。
紫外線吸収剤の含有量は、パターン形成性の観点から、フィルムの全質量に対し、0.001質量%〜20質量%であることが好ましく、0.005質量%〜5質量%であることがより好ましく、0.001質量%〜2質量%であることが特に好ましい。
上記積層体は、第一のフィルムの一方の面に、第一の感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有し、第一のフィルムのもう一方の面に、第二の感光性樹脂層、及び、第三のフィルムを有する積層体であることが好ましい。
上記第三のフィルムは、第二のフィルムと同じフィルムであっても、異なるフィルムであってもよい。
上記第三のフィルムの好ましい態様は、上記第二のフィルムの好ましい態様と同様である。
本開示に用いられる積層体は、感光性樹脂層を有する。
上記感光性樹脂層は、ポジ型感光性樹脂層であっても、ネガ型感光性樹脂層であってもよいが、樹脂パターン形成性、及び、樹脂パターンの除去容易性の観点から、ポジ型感光性樹脂層であることが好ましく、化学増幅ポジ型感光性樹脂層であることがより好ましい。
本開示におけるポジ型感光性樹脂層は、樹脂、及び、酸発生剤を含むことが好ましく、感度及び解像度の観点からは、上記樹脂として、酸分解性樹脂、及び、上記酸発生剤として、光酸発生剤を含むことがより好ましい。
また、上記ポジ型感光性樹脂層は、耐熱性及び寸法安定性の観点からは、上記樹脂として、アルカリ可溶性樹脂、及び、上記酸発生剤として、キノンジアジド化合物を含むことがより好ましい。
上記樹脂として、酸分解性樹脂、及び、上記酸発生剤として、光酸発生剤を含むポジ型感光性樹脂層は、いわゆる、化学増幅ポジ型感光性樹脂層である。
後述するオニウム塩、オキシムスルホネート化合物等の光酸発生剤は、活性放射線(活性光線)に感応して生成される酸が、上記重合体中の保護された酸基の脱保護に対して触媒として作用するので、1個の光量子の作用で生成した酸が、多数の脱保護反応に寄与し、量子収率は1を超え、例えば、10の数乗のような大きい値となり、いわゆる化学増幅の結果として、高感度が得られる。
一方、活性光線に感応する光酸発生剤としてキノンジアジド化合物を用いた場合、逐次型光化学反応によりカルボキシ基を生成するが、その量子収率は必ず1以下であり、化学増幅型には該当しない。
また、特に断りのない限り、後述する各成分の含有量について、その基準として、「組成物の全固形分に対して」と記載されている場合、「感光性樹脂層の全質量に対して」と読み替え、「組成物の全固形分100質量部に対して」と記載されている場合、「感光性樹脂層の全質量100質量部に対して」と読み替えるものとする。
上記第一の感光性樹脂層と上記第二の感光性樹脂層は、同じ感光性樹脂層であっても、異なる感光性樹脂層であってもよいが、同一組成の感光性樹脂層であることが好ましく、同一の感光性樹脂層であることがよりこのましい。
なお、同一組成の感光性樹脂層である場合、層に含有される成分の組成比は同一であるが、厚さは異なっていてもよい。
以下において、感光性樹脂組成物について説明する。
本開示に用いることができる感光性樹脂組成物は、特に制限はなく、公知の感光性樹脂組成物を用いることができる。
感光性樹脂組成物は、酸分解性樹脂と、光酸発生剤とを含むことが好ましい。
感光性樹脂組成物は、露光における感度がより優れる点で、化学増幅型感光性樹脂組成物であることが好ましい。
なお、後述するオニウム塩及びオキシムスルホネート化合物等の光酸発生剤を使用する場合、活性放射線(以下「活性光線」ともいう。)に感応して生成される酸は、上記酸分解性樹脂中の酸分解性基の脱保護反応において触媒として作用する。1個の光量子の作用で生成した酸が多数の脱保護反応に寄与するため、量子収率は1を超え、例えば、10の数乗のような大きい値となり、いわゆる化学増幅の結果として、高感度が得られる。一方、活性放射線に感応する光酸発生剤としてキノンジアジド化合物を使用する場合、逐次型光化学反応によりカルボキシ基を生成するが、その量子収率は必ず1以下であり、化学増幅型には該当しない。
感光性樹脂組成物は、酸の作用により脱保護する保護基で保護された極性基(酸分解性基)を有する重合体(酸分解性樹脂)を含む。
酸分解性樹脂としては、酸分解性基を有する構成単位(以下「構成単位A」ともいう。)を含む重合体(以下「重合体A」ともいう。)であることが好ましい。
以下において、重合体Aについて説明する。
重合体Aは、酸分解性基を有する構成単位(構成単位A)を含む。
上記酸分解性基は、露光により生じる酸の作用によって脱保護されて極性基に変換される。したがって、感光性樹脂組成物により形成された感光性樹脂層は、露光により、アルカリ現像液への溶解性が増大する。
なお、重合体Aは、(メタ)アクリル酸又は(メタ)アクリル酸エステルに由来する構成単位以外の構成単位(例えば、スチレンに由来する構成単位、及びビニル化合物に由来する構成単位等)を含んでいてもよい。
以下において、重合体Aが含み得る構成単位について説明する。
重合体Aは、酸分解性基を有する構成単位を含む。酸分解性基は、上述のとおり、酸の作用によって極性基に変換され得る。
本明細書中、「極性基」とは、pKaが12以下のプロトン解離性基をいう。
極性基としては、カルボキシ基、及びフェノール性ヒドロキシ基等の公知の酸基が挙げられる。極性基は、中でも、カルボキシ基、又はフェノール性ヒドロキシ基であることが好ましい。
保護基としては、例えば、極性基をアセタールの形で保護できる保護基(例えば、テトラヒドロピラニル基、テトラヒドロフラニル基、及びエトキシエチル基等)、及び極性基をエステルの形で保護できる保護基(例えば、tert−ブチル基)等が挙げられる。
式A1で表される構成単位及び式A2で表される構成単位は、フェノール性ヒドロキシ基が酸の作用により脱保護する保護基で保護された酸分解性基を有する構成単位である。式A3で表される構成単位は、カルボキシ基が酸の作用により脱保護する保護基で保護された酸分解性基を有する構成単位である。
式A1中、R11及びR12で表されるアルキル基の炭素数としては、1〜10が好ましい。R11及びR12で表されるアリール基としては、フェニル基が好ましい。
R11及びR12としては、中でも、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基が好ましい。
なお上記アルキレン基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、更に置換基を有していてもよい。アルキレン基の炭素数としては、1〜10が好ましく、1〜4がより好ましい。
X1が−C(=O)O−を含む場合、−C(=O)O−に含まれる炭素原子と、R14が結合した炭素原子とは、直接結合することが好ましい。
また、X1が−C(=O)NRN−を含む場合、−C(=O)NRN−に含まれる炭素原子と、R14が結合した炭素原子とは、直接結合することが好ましい。
上記RNは、アルキル基又は水素原子を表し、炭素数1〜4のアルキル基又は水素原子が好ましく、水素原子がより好ましい。
なお、式A1−1におけるR11、R12、R13、R14、R15、X1、及びnは、それぞれ、式A1におけるR11、R12、R13、R14、R15、X1、及びnと同義である。
より具体的には、重合体Aに含まれる構成単位Aの全含有量に対し、式A1におけるR14が水素原子である構成単位の含有量は、20質量%以上であることが好ましい。なお、構成単位A中の、式A1におけるR14が水素原子である構成単位の含有量は、13C−核磁気共鳴スペクトル(NMR)測定から常法により算出されるピーク強度の強度比により確認できる。
式A1−2中、RB5〜RB11は、水素原子であることが好ましい。
式A1−2、RB12は、アルキル基又はハロゲン原子であることが好ましい。アルキル基の炭素数としては、1〜10が好ましく、1〜4がより好ましい。
式A1−2中、nとしては、0又は1が好ましく、0がより好ましい。
式A2中、R21及びR22で表されるアルキル基の炭素数としては、1〜10が好ましい。R21及びR22で表されるアリール基としては、フェニル基が好ましい。
R21及びR22としては、中でも、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基が好ましく、R21及びR22の少なくとも一方が水素原子であることがより好ましい。
0のアルキル基又は炭素数1〜10のアルコキシ基が挙げられる。
式A3中、R31及びR32で表されるアルキル基の炭素数としては、1〜10が好ましい。R31及びR32で表されるアリール基としては、フェニル基が好ましい。
R31及びR32としては、中でも、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基が好ましい。
より具体的には、重合体Aに含まれる式A3で表される構成単位の全含有量に対し、式A3におけるR34が水素原子である構成単位の含有量は、20質量%以上であることが好ましい。
なお、式A3で表される構成単位中の、式A3におけるR34が水素原子である構成単位の含有量は、13C−核磁気共鳴スペクトル(NMR)測定から常法により算出されるピーク強度の強度比により確認できる。
式A3−3中、R35〜R41は、水素原子であることが好ましい。
なお、下記の構成単位におけるR34は、水素原子又はメチル基を表す。
重合体A中の構成単位Aの含有量は、13C−NMR測定から常法により算出されるピーク強度の強度比により確認できる。
重合体Aは、極性基を有する構成単位(以下「構成単位B」ともいう。)を含むことが好ましい。重合体Aが構成単位Bを含む場合、パターン形成時の感度が良好となり、パターン露光後の現像工程において、アルカリ現像液に対する溶解性が向上する。
感度がより向上する点で、極性基のpKaの上限値としては、10以下が好ましく、6以下がより好ましい。また、下限値としては、−5以上であることが好ましい。
重合体A中の構成単位Bの含有量は、13C−NMR測定から常法により算出されるピーク強度の強度比により確認できる。
重合体Aは、上述した構成単位A及び構成単位B以外に、更にその他の構成単位(以下「構成単位C」ともいう。)を含んでいてもよい。重合体A中に含まれる構成単位Cの種類及び含有量の少なくともいずれかを調整することで、重合体Aの諸特性を調節できる。特に、構成単位Cを適切に使用することで、重合体Aのガラス転移温度(Tg)を容易に調節できる。
上記の構成単位を形成するモノマーとしては、例えば、スチレン、tert−ブトキシスチレン、メチルスチレン、α−メチルスチレン、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、及びベンジル(メタ)アクリレート等が挙げられる。構成単位Cとしては、中でも、シクロヘキシル(メタ)アクリレート由来の構成単位であることが好ましい。
具体的には、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、及び(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルが挙げられる。
50質量%〜99.9質量%が好ましく、70質量%〜98質量%がより好ましい。
後述するように工程X1を転写により実施する場合、重合体Aのガラス転移温度(Tg)は、転写性の観点から、90℃以下であることが好ましく、20℃〜60℃であることがより好ましく、30℃〜50℃であることが特に好ましい。
FOX式を指針にして、重合体Aに含有される各構成単位の種類及び質量分率を調整する方法が挙げられる。FOX式を用いることで、重合体Aに含有される各構成単位の単独重合体のガラス転移温度(Tg)及び各構成単位の質量分率より、重合体Aのガラス転移温度(Tg)を調節できる。また、重合体Aの重量平均分子量を調整することにより、重合体Aのガラス転移温度(Tg)を調節できる。
第1の構成単位の単独重合体のガラス転移温度をTg1とし、共重合体に含有される第
1の構成単位の質量分率をW1とし、第2の構成単位の単独重合体のガラス転移温度をTg2とし、共重合体に含有される第2の構成単位の共重合体における質量分率をW2としたときに、第1の構成単位と第2の構成単位とを含む共重合体のTg0(単位:K)は、
以下の式にしたがって推定することが可能である。したがって、FOX式を用いて、目的の重合体に含有される各構成単位の種類及び質量分率を調整することで、所望のガラス転移温度(Tg)を有する重合体が得られる。
FOX式:1/Tg0=(W1/Tg1)+(W2/Tg2)
重合体Aの酸価は、解像性の観点から、0mgKOH/g〜200mgKOH/gが好ましく、0mgKOH/g〜100mgKOH/gがより好ましい。
(体積比:テトラヒドロフラン/水=9/1)に溶解し、電位差滴定装置(商品名:AT−510、京都電子工業株式会社製)を用いて、得られた溶液を25℃において、0.1M水酸化ナトリウム水溶液で中和滴定する。滴定pH曲線の変曲点を滴定終点として、次式により酸価を算出する。
式:A=56.11×Vs×0.1×f/w
A:酸価(mgKOH/g)
Vs:滴定に要した0.1mol/L水酸化ナトリウム水溶液の使用量(mL)
f:0.1mol/L水酸化ナトリウム水溶液の力価
w:測定試料の質量(g)(固形分換算)
重合体Aの重量平均分子量としては、2,000〜60,000であることが好ましく、3,000〜50,000であることがより好ましい。
ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)による重量平均分子量の測定は、測定装置として、HLC(登録商標)−8220GPC(東ソー株式会社製)を用い、カラムとして、TSKgel(登録商標)Super HZM−M(4.6mmID×15cm、東ソー株式会社製)、Super HZ4000(4.6mmID×15cm、東ソー株式会社製)、Super HZ3000(4.6mmID×15cm、東ソー株式会社製)、及びSuper HZ2000(4.6mmID×15cm、東ソー株式会社製)をそれぞれ1本ずつ直列に連結したものを用い、溶離液として、THF(テトラヒドロフラン)を使用できる。
また、測定条件としては、試料濃度を0.2質量%、流速を0.35mL/min、サンプル注入量を10μL、測定温度を40℃とし、示差屈折率(RI)検出器を用いて実施できる。
検量線は、東ソー(株)製の「標準試料TSK standard,polystyrene」:「F−40」、「F−20」、「F−4」、「F−1」、「A−5000」、「A−2500」及び「A−1000」の7サンプルのいずれかを用いて作成できる。
重合体Aの製造方法(合成法)は特に制限されないが、一例を挙げると、構成単位Aを形成するための重合性モノマー、構成単位Bを形成するための重合性モノマー、更に必要に応じて、構成単位Cを形成するための重合性モノマーを、有機溶媒中、重合開始剤を用いて重合することにより合成できる。また、いわゆる高分子反応で重合体Aを合成することもできる。
感光性樹脂組成物は、重合体Aに加えて、酸分解性基を有する構成単位を含まない重合体(以下「その他の重合体」ともいう。)を更に含んでいてもよい。
感光性樹脂組成物は、光酸発生剤を含む。光酸発生剤は、紫外線、遠紫外線、X線、及び荷電粒子線等の放射線が照射されることによって酸を発生することができる化合物である。
また、波長300nm以上の活性光線に直接感応しない光酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長300nm以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく使用できる。
1〜10のアルコキシ基、シクロアルキル基(例えば、7,7−ジメチル−2−オキソノルボルニル基等の有橋式脂環基を含む。好ましくはビシクロアルキル基等。)、又はハロゲン原子で置換されてもよい。
感光性樹脂組成物は、溶媒を含んでいてもよい。
溶媒としては、例えば、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールジアルキルエーテル類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、エステル類、ケトン類、アミド類、及びラクトン類等が挙げられる。また、溶媒としては、特開2011−221494号公報の段落0174〜段落0178に記載の溶媒も挙げられ、これらの内容は本開示に組み込まれる。
沸点130℃以上160℃未満の溶媒としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(沸点146℃)、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(沸点158℃)、プロピレングリコールメチル−n−ブチルエーテル(沸点155℃)、及びプロピレングリコールメチル−n−プロピルエーテル(沸点131℃)等が挙げられる。
沸点160℃以上の溶媒としては、例えば、3−エトキシプロピオン酸エチル(沸点170℃)、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル(沸点176℃)、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート(沸点160℃)、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(沸点213℃)、3−メトキシブチルエーテルアセテート(沸点171℃)、ジエチレングリコールジエチルエーテル(沸点189℃)、ジエチレングリコールジメチルエーテル(沸点162℃)、プロピレングリコールジアセテート(沸点190℃)、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(沸点220℃)、ジプロピレングリコールジメチルエーテル(沸点175℃)、及び1,3−ブチレングリコールジアセテート(沸点232℃)等が挙げられる。
エステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソブチル、酢酸sec−ブチル、酢酸t−ブチル、酢酸イソプロピル、及び酢酸n−ブチル等が挙げられる。
エーテル類としては、例えば、ジイソプロピルエーテル、1,4−ジオキサン、1,2−ジメトキシエタン、1,3−ジオキソラン、プロピレングリコールジメチルエーテル、及びプロピレングリコールモノエチルエーテル等が挙げられる。
ケトン類としては、例えば、メチルn−ブチルケトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジエチルケトン、メチルn−プロピルケトン、及びメチルイソプロピルケトン等が挙げられる。
感光性樹脂組成物は、重合体A及び光酸発生剤に加えて、必要に応じて、更に他の添加剤を含んでいてもよい。
感光性樹脂組成物は、塩基性化合物を含むことが好ましい。塩基性化合物としては、例えば、脂肪族アミン、芳香族アミン、複素環式アミン、第四級アンモニウムヒドロキシド、及びカルボン酸の第四級アンモニウム塩等が挙げられる。これらの具体例としては、特開2011−221494号公報の段落0204〜段落0207に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本開示に組み込まれる。
感光性樹脂組成物は、厚さの均一性をより向上させる点、及び形成される導電性基板の不良率の一層の低減の点から、撥液剤を含むことが好ましい。
撥液剤としては、フッ素原子及びケイ素原子の1種以上を含む化合物が好ましく、フッ素原子含有化合物がより好ましく、フッ素原子含有界面活性剤が更に好ましく、フッ素原子含有ノニオン系界面活性剤が特に好ましい。
また、撥液剤としては、重合性基を有する撥液剤(以下「重合性基含有撥液剤」ともいう。)も使用できる。なお、重合性基としては、エポキシ基又はエチレン性不飽和基が挙げられる。
また、撥液剤としては、特開2013−209636号公報の一般式(1)で表される化合物も使用できる。
フッ素原子含有化合物としては、例えば、パーフルオロアルキルスルホン酸、パーフルオロアルキルカルボン酸、パーフルオロアルキルアルキレンオキシド付加物、パーフルオロアルキルトリアルキルアンモニウム塩、パーフルオロアルキル基と親水基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親水基と親油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキルと親水基を含むウレタン、パーフルオロアルキルエステル、及びパーフルオロアルキル燐酸エステル等が挙げられる。
また、
また、株)ネオス製のフタージェント 710FL、710FM、610FM、601AD、601ADH2、602A、215M、245F、212M、209F、222F、208G、710LA、710FS、730LM、650AC、681、683も使用できる
撥液剤としてフッ素原子含有化合物を使用する場合、撥液剤中におけるフッ素原子の含有量の下限値としては、1質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましい。上限値としては、50質量%以下が好ましく、25質量%以下がより好ましい。
感光性樹脂組成物は、厚さの均一性をより向上させる点から、界面活性剤を含むことが好ましい。なお、ここでいう界面活性剤には、上述した界面活性剤系の撥液剤は含まれない。
感光性樹脂組成物は、可塑性を改良する目的で、可塑剤を含んでいてもよい。可塑剤としては特に制限されず、公知の可塑剤を適用できる。可塑剤としては、例えば、国際公開第2018/179640号の段落0097〜段落0103に記載の可塑剤が挙げられる。
感光性樹脂組成物は、増感剤を含んでいてもよい。増感剤としては特に制限されず、公知の増感剤を適用できる。増感剤としては、例えば、国際公開第2018/179640号の段落0104〜段落0107に記載の増感剤が挙げられる。
感光性樹脂組成物は、ヘテロ環状化合物を含んでいてもよい。ヘテロ環状化合物としては特に制限されず、公知のヘテロ環状化合物を適用できる。ヘテロ環状化合物としては、
例えば、国際公開第2018/179640号の段落0111〜段落0118に記載のヘテロ環状化合物が挙げられる。
感光性樹脂組成物は、アルコキシシラン化合物を含んでいてもよい。アルコキシシラン化合物としては特に制限されず、公知のアルコキシシラン化合物を適用できる。アルコキシシラン化合物としては、例えば、国際公開第2018/179640号の段落0119に記載のアルコキシシラン化合物が挙げられる。
感光性樹脂組成物は、金属酸化物粒子、酸化防止剤、分散剤、酸増殖剤、現像促進剤、導電性繊維、着色剤、熱ラジカル重合開始剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、架橋剤、及び、有機又は無機の沈殿防止剤等の公知の添加剤を更に含んでいてもよい。その他の成分の好ましい態様については特開2014−85643号公報の段落016
5〜段落0184にそれぞれ記載があり、この公報の内容は本明細書に組み込まれる。
感光性樹脂層の厚さは、30μm以下であることが好ましく、10μm以下であることがより好ましく、5μm以下であることが更に好ましく、3μm以下であることが特に好ましく、1μm以下であることが最も好ましい。感光性樹脂層の厚さが30μm以下であると、感光性樹脂層の現像性が向上し、解像性が向上する。感光性樹脂層の厚さの下限値は、0.05μm以上であることが好ましく、0.1μm以上であることがより好ましい。
感光性樹脂組成物の調製方法としては、例えば、上記成分及び溶媒を任意の割合で混合し、撹拌溶解する方法等が挙げられる。また、上記成分をそれぞれ予め溶媒に溶解させて溶液とした後、得られた各溶液を所定の割合で混合することによって感光性樹脂組成物を調製できる。調製された感光性樹脂組成物は、孔径0.2μmのフィルター等を用いてろ過した後に使用してもよい。
コントラストエンハンスメント層については、国際公開第2018/179640号の段落0134に記載されている。また、その他の層については特開2014−85643号公報の段落0194〜0196に記載されている。これらの公報の内容は本明細書に組み込まれる。
本開示に係る構造体の製造方法は、本開示に係る導電性パターンの形成方法により得られた導電性パターンを備える構造体の製造方法であればよく、本開示に係る導電性パターンの形成方法により得られた上記導電性パターンを有する上記第一のフィルムに対し、上記第一のフィルム及び上記導電性パターン上にネガ型感光性樹脂層を形成する工程、上記第一のフィルム越しに上記ネガ型感光性樹脂層に対し露光を行う工程、光を照射された上記ネガ型感光性樹脂層を現像することで、上記第一のフィルム上に樹脂パターンNを形成する工程、及び、上記導電性パターンと上記樹脂パターンNとによって画定される領域にパターンMを形成する工程を含むことが好ましい。
上記ネガ型感光性樹脂層は、上記導電性パターンに直接又は他の層を介して接してもよいが、上記導電性パターンに接していることが好ましい。ネガ型感光性樹脂層としては、公知のネガ型感光性樹脂層を利用することができる。
上記ネガ型感光性樹脂層は、重合体と、重合性化合物と、光重合開始剤と、を含むことが好ましい。ネガ型感光性樹脂層は、上記ネガ型感光性樹脂層の全質量に対して、10質量%〜90質量%の重合体、5質量%〜70質量%の重合性化合物、及び0.01質量%〜20質量%の光重合開始剤を含むことが好ましい。
また、ネガ型感光性樹脂層は、アルカリ可溶性高分子と、エチレン性不飽和結合を有する化合物と、光重合開始剤と、を含むことが好ましい。
上記露光を上記第一のフィルム越しに行うことにより、上記導電性パターンが遮光部として作用し、上記導電性パターン上の上記ネガ型感光性樹脂層が現像により除去され、開口部(上記樹脂パターンNのない部分)となる。
上記樹脂パターンNの厚さは、上記導電性パターンの厚さよりも厚いことが好ましい。
導電性パターンの厚さに対する樹脂パターンNの厚さの比([樹脂パターンNの厚さ]/[導電性パターンの厚さ])は、1.1以上であることが好ましく、1.5以上であることがより好ましく、3以上であることが特に好ましい。導電性パターンの厚さに対する樹脂パターンNの厚さの比は、10以下であることがより好ましい。
本開示に係る構造体の製造方法は、上記導電性パターンと上記樹脂パターンNとによって画定される領域にパターンMを形成する工程(「パターンM形成工程」ともいう。)を含むことが好ましい。
パターンMは、本開示における効果をより発揮する観点から、導電性を有することが好ましい。
また、パターン形成性及び得られるパターンMの寸法安定性の観点から、上記導電性パターンの平均厚さよりも上記パターンMの平均厚さのほうが厚いことが好ましい。
また、パターン形成性及び得られるパターンMの寸法安定性の観点から、上記導電性パターン及び上記パターンMが、同種の材料を含むことが好ましい。例えば、同じ金属元素を含むことがより好ましく、同じ金属、又は、同じ金属元素を含む合金であることが特に好ましい。
また、本開示における樹脂パターン形成工程及びその他の工程の例としては、特開2006−23696号公報の段落0035〜段落0051に記載の方法を本開示においても好適に用いることができる。
また、本開示に係る構造体の製造方法は、得られたパターンを研磨する工程、及び、得られたパターンを洗浄する工程等を含んでいてもよい。
更に、本開示に係る構造体の製造方法は、後述する各用途に応じた部材を設ける工程等を含んでいてもよい。
「ATHF」:2−テトラヒドロフラニルアクリレート(合成品)
「CHA」:アクリル酸シクロヘキシル(東京化成工業(株)製)
「EA」:アクリル酸エチル(東京化成工業(株)製)
「MAA」:メタクリル酸(東京化成工業(株)製)
「PGMEA」:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(昭和電工(株)製)
「TBA」:tert−ブチルアクリレート(富士フイルム和光純薬(株)製)
「BMA」:メタクリル酸ベンジル(富士フイルム和光純薬(株)製)
「PMPMA」:メタクリル酸1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジル(富士フイルム和光純薬(株)製)
「MMA」:メタクリル酸メチル(東京化成工業(株)製)
「V−601」:2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオン酸)ジメチル(富士フイルム和光純薬(株)製)
以下に示す成分を混合して、混合液を得た。次いで、孔径0.2μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターを用いて、上記混合物をろ過することによって、ポジ型感光性樹脂組成物1を得た。
・酸分解性樹脂(下記重合体1):9.64部
・光酸発生剤(下記化合物A−1):0.25部
・界面活性剤(下記界面活性剤C):0.01部
・添加剤(下記化合物D(塩基性化合物)):0.1部
・PGMEA:90.00部
以下に示す成分を混合して、混合液を得た。次いで、孔径0.2μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターを用いて、上記混合物をろ過することによって、ポジ型感光性樹脂組成物2を得た。
・酸分解性樹脂(下記重合体2):9.64部
・光酸発生剤(下記化合物A−2):0.25部
・界面活性剤(上記界面活性剤C):0.01部
・添加剤(上記化合物D):0.1部
・PGMEA:90.00部
−酸分解性樹脂(重合体3)の合成−
<<ATHFの合成>>
3つ口フラスコにアクリル酸(72.1g、1.0mol)、ヘキサン(72.1g)を加え20℃に冷却した。カンファースルホン酸(7.0mg、0.03mmol)、2−ジヒドロフラン(77.9g、1.0mol)を滴下した後に、20℃±2℃で1.5時間撹拌した後、35℃まで昇温して2時間撹拌した。ヌッチェにキョーワード200(ろ過材、水酸化アルミニウム粉末、協和化学工業株式会社製)、キョーワード1000(ろ過材、ハイドロタルサイト系粉末、協和化学工業株式会社製)の順に敷き詰めた後、反応液をろ過することでろ過液を得た。得られたろ過液にヒドロキノンモノメチルエーテル(MEHQ、1.2mg)を加えた後、40℃で減圧濃縮することで、アクリル酸テトラヒドロフラン−2−イル(ATHF)140.8gを無色油状物として得た(収率99.0%)。
3つ口フラスコにPGMEA(75.0g)を入れ、窒素雰囲気下において90℃に昇温した。ATHF(40.0g)、AA(2.0g)、EA(20.0g)、MMA(22.0g)、CHA(16.0g)、V−601(4.0g)、及びPGMEA(75.0g)を含む溶液を、90℃±2℃に維持した3つ口フラスコ溶液中に2時間かけて滴下した。滴下終了後,90℃±2℃にて2時間撹拌することで、重合体3(固形分濃度40.0質量%)を得た。
重合体3における各構成単位の含有量(質量%:ATHF/AA/EA/MMA/CHA)は、40/2/20/22/16である。なお、ATHFは酸分解性基を含む構成単位に該当し、AAは酸基を含む構成単位に該当する。
重合体3の重量平均分子量は、25,000である。
重合体3のガラス転移温度(Tg)は34℃であり、酸価は、15.6mgKOH/gである。
以下に示す成分を混合して、固形分濃度10質量%の混合物を得た。次いで、孔径0.2μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターを用いて、上記混合物をろ過することによって、ポジ型感光性樹脂組成物3を得た。
・酸分解性樹脂(上記重合体3):100部
・光酸発生剤(上記化合物A−1):3部
・添加剤(上記化合物D(塩基性化合物)):1.6部
・界面活性剤(上記界面活性剤C):0.1部
・添加剤(下記化合物E):4.5部
・PGMEA:固形分濃度が10質量%となる量(部)
以下に示す成分を混合して、混合液を得た。次いで、孔径0.2μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターを用いて、上記混合物をろ過することによって、ポジ型感光性樹脂組成物4を得た。
・酸分解性樹脂(上記重合体1):9.64部
・光酸発生剤(上記化合物A−1):0.25部
・界面活性剤(上記界面活性剤C):0.01部
・添加剤(上記化合物D):0.09部
・添加剤(下記化合物F):0.01部
・PGMEA:90.00部
−酸分解性樹脂(重合体4)の合成−
3つ口フラスコにPGMEA(75.0g)を入れ、窒素雰囲気下において90℃に昇温した。TBA(30.0g)、PMPMA(1.0g)、AA(3.0g)、MMA(26.0g)、BMA(5.0g)、EA(25.0g)、CHA(10.0g)、V−601(4.0g)、及びPGMEA(75.0g)を含む溶液を、90℃±2℃に維持した3つ口フラスコ溶液中に2時間かけて滴下した。滴下終了後,90℃±2℃にて2時間撹拌することで、重合体4(固形分濃度40.0質量%)を得た。
重合体4における各構成単位の含有量(質量%:TBA/PMPMA/AA/MMA/BMA/EA/CHA)は、30/1/3/26/5/25/10である。なお、TBAは酸分解性基を含む構成単位に該当し、AAは酸基を含む構成単位に該当する。
重合体4の重量平均分子量は、25,000である。
重合体4のガラス転移温度(Tg)は28℃である。
以下に示す成分を混合して、固形分濃度10質量%の混合物を得た。次いで、孔径0.
2μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターを用いて、上記混合物をろ過することによって、ポジ型感光性樹脂組成物5を得た。
・酸分解性樹脂(上記重合体4):100部
・光酸発生剤(上記化合物A−1):3部
・添加剤(上記化合物D(塩基性化合物)):1.6部
・界面活性剤(下記界面活性剤W−2):0.1部
・PGMEA:固形分濃度が10質量%となる量(部)
支持体(第一のフィルム)としてPETフィルム(東レ(株)製ルミラー16KS40、厚さ:16μm、算術平均粗さRa:0.02μm、ヘーズ値:0.7%)を用意した。支持体の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の厚さが表1に記載された値となるようにポジ型感光性樹脂組成物1を3m塗布した。形成されたポジ型感光性樹脂組成物1の塗膜を90℃で100秒間かけて乾燥することで、レジスト層(感光性樹脂層)を形成した。形成されたレジスト層の表面に、カバーフィルム(第二のフィルム)としてPETフィルム(東レ(株)製ルミラー16KS40、厚さ:16μm、算術平均粗さRa:0.02μm、ヘーズ値:0.7%)を圧着した後、巻き取ることで、ロール形態の感光性組成物材料を作製した。
次に、ロール形態の感光性組成物材料を巻き出した後、カバーフィルム側と露光マスクを接触させ、高圧水銀灯露光機((株)大日本科研製MAP−1200L、主波長:365nm)を用いて光を照射した。露光量は100mJ/cm2とした。次いで、露光マスクとカバーフィルムを、離した後、露光領域が重複しないようにフィルムを移動し、マスクとフィルムを接触させ、2回目の露光を行った。この操作を連続して10回行った。次いで、カバーフィルムを剥離した後、ポジ型感光性樹脂層を液温が25℃の炭酸ナトリウム水溶液を用いて30秒間のシャワー現像をすることによって、支持体上に、樹脂パターンを形成した。
次に、超高圧水銀灯(波長365nmを含む。)を用いて、基板裏面(すなわち、基板の銅層を有する面とは反対側の面)から500mJ/cm2のエネルギーを基板全面に対して照射した。その後、50℃に調整した5質量%トリエチルアミン水溶液に5分間浸漬し、感光性樹脂層、及び、感光性樹脂層上の銅層を剥離し、基板上にパターン状の導電性組成物層(導電性パターン)を形成した。
使用した支持体(第一のフィルム)、ポジ型感光性樹脂組成物、及び、カバーフィルム(第二のフィルム)を表1に記載のものに変更し、形成したポジ型感光性樹脂組成物の塗膜の乾燥後の厚さを表1に記載の厚さとした以外は、実施例1と同様にして、導電性パターンを形成した。
また、実施例15では、Cuのスパッタリングを行う代わりに、バンドー化学(株)製水系銀ナノインクSW−1020を純水で5倍希釈した後、バーコーター(#1)で塗布、90℃10分オーブンで乾燥し、樹脂パターン間及び樹脂パターン上に厚みが約500nmの銀ナノインク層を形成した。
仮支持体としてPETフィルム(東レ(株)製ルミラー16KS40、厚さ:16μm:算術平均粗さRa:0.02μm)を用意した。仮支持体の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の厚さが表1に記載された値となるようにポジ型感光性樹脂組成物1を3m塗布した。形成されたポジ型感光性樹脂組成物1の塗膜を90℃で100秒間かけて乾燥することで、レジスト層を形成した。形成されたレジスト層の表面に、カバーフィルムとしてPETフィルム(東レ(株)製ルミラー16KS40、厚さ:16μm:算術平均粗さRa:0.02μm)を圧着した後、巻き取ることで、ロール形態の感光性組成物材料を作製した。
なお、比較例1では、上記貼り合わせ工程において、積層体と上記PETフィルムとの間に気泡が入り込む「泡かみ」が生じ、得られる導電性パターンにおいて、パターン不良が生じた。
支持体としてPETフィルム(東レ(株)製ルミラー16KS40、厚さ:16μm:算術平均粗さRa:0.02μm)を用意した。支持体の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の厚さが表1に記載された値となるようにポジ型感光性樹脂組成物1を3m塗布した。形成されたポジ型感光性樹脂組成物1の塗膜を90℃で100秒間かけて乾燥しレジスト層を形成した後、ロール形態に巻き取った。
30℃、相対湿度80%で24時間放置後、巻き取り体から積層体を送り出す際、レジスト層の一部が、支持体の表面から剥がれ、ロール形態で接触していた支持体の裏面に付着することが発生し、露光処理以降の処理を継続することが困難であった。
1回目の露光において形成された露光領域において、連続して10本のラインアンドスペース(L/S)=15(μm)/15(μm)が形成されたパターンを光学顕微鏡で観察し、パターン不良率を求めた。具体的には、長手方向30mmの範囲から、任意で、200μm×200μmの領域を100視野分抽出し、パターン観察を行った。導電パターン中に、断線、基板からの導電層の剥離、若しくは開口部での短絡(言い換えると、ライン部間の短絡)、及び剥離物の付着のいずれかに該当する異常が観察される頻度を計測し、下記の評価基準により評価した。
「A」:パターン不良率が、2視野未満。
「B」:パターン不良率が、2視野以上10視野未満。
「C」:パターン不良率が、10視野以上20視野未満。
「D」:パターン不良率が、20視野以上40視野未満。
「E」:パターン不良率が、40視野以上。
10回目の露光において形成された露光領域において、連続して10本のL/S=15(μm)/15(μm)が形成されたパターンを光学顕微鏡で観察し、パターン不良率を求めた。具体的には、長手方向30mmの範囲から、任意で、200μm×200μmの領域を100視野分抽出し、パターン観察を行った。導電性パターン中に、断線、基板からの導電層の剥離、若しくは開口部での短絡(言い換えると、ライン部間の短絡)、及び剥離物の付着のいずれかに該当する異常が観察される頻度を計測し、下記の評価基準により評価した。
「A」:パターン不良率が、2視野未満。
「B」:パターン不良率が、2視野以上10視野未満。
「C」:パターン不良率が、10視野以上20視野未満。
「D」:パターン不良率が、20視野以上40視野未満。
「E」:パターン不良率が、40視野以上。
1回目の露光において形成された露光領域において、形成された後述の幅のL/Sの導電性パターン(銅配線)の状態を、電子顕微鏡SEMを用いて1,000倍の倍率で観察した。解像性の良いものは、より微細な線幅のパターンにおいて、直線性に優れるため、これを解像性の指標とし、以下の基準に従って評価した。
ラインアンドスペース形状にパターニングされた銅配線からアトランダムに選んだ箇所の線幅を20箇所測定した。得られた線幅データから標準偏差σを求め、標準偏差σを3倍した値をLWR(Line Width Roughness)と定義し、パターン直線性の指標とした。LWR<250nm以下であれば、実用上問題のないレベルである。
−解像性の評価基準−
「A」:L/S=5μm/5μmにおいて、LWR<250nm
「B」:L/S=5μm/5μmにおいて、LWR≧250nm、かつ、L/S=6μm/6μmにおいて、LWR<250nm
「C」:L/S=6μm/6μmにおいて、LWR≧250nm、かつ、L/S=8μm/8μmにおいて、LWR<250nm
「D」:L/S=8μm/8μmにおいて、LWR≧250nm
実施例5のPI:ポリイミドフィルム、厚さ:16μm、ヘーズ値:0.8%、厚さを調整した以外は、特開2017−49596号公報の実施例1に記載の方法に従い作製した。
実施例8のCOP:シクロオレフィンポリマーフィルム、厚さ:16μm、ヘーズ値:0.5%、特開2009−227932号公報の段落0069に記載の方法に従い作製した。
実施例11のPI:ポリイミドフィルム、厚さ:38μm、ヘーズ値:0.8%、厚さを調整した以外は、特開2017−49596号公報の実施例1に記載の方法に従い作製した。
実施例12のPET:ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:50μm、ヘーズ値:0.7%、厚さを調整した以外は、特開2015−21119号公報の実施例に記載の方法に従い作製した。
実施例13のPET:ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:75μm、ヘーズ値:0.7%、厚さを調整した以外は、特開2015−21119号公報の実施例に記載の方法に従い作製した。
実施例14のPET:ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘーズ値:1.4%、厚さを調整した以外は、特開2015−21119号公報の実施例に記載の方法に従い作製した。
実施例3のPET:ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:38μm、ヘーズ値:0.7%、厚さを調整した以外は、特開2015−21119号公報の実施例に記載の方法に従い作製した。
実施例4のPI:ポリイミドフィルム、厚さ:50μm、ヘーズ値:0.7%、厚さを調整した以外は、特開2017−49596号公報の実施例1に記載の方法に従い作製した。
実施例5のPET:ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:75μm、ヘーズ値:0.7%、厚さを調整した以外は、特開2015−21119号公報の実施例に記載の方法に従い作製した。
実施例6のPET:ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘーズ値:1.4%、特開2015−21119号公報の実施例に記載の方法に従い、厚さ及びシリカゾル粒子サイズを調整し作製した。
実施例13のPP:ポリプロピレンフィルム、王子エフテックス(株)製、厚さ:12μm、ヘーズ値:0.4%
実施例14のPE:ポリエチレンフィルム、タマポリ(株)製、厚さ:30μm、ヘーズ値:2.1%
また、上記表1に示すように、実施例の導電性パターンの形成方法は、連続露光時においても、得られる導電性パターンのパターン不良の発生を低減することができ、また、解像性にも優れる。
支持体(第一のフィルム)としてUV吸収剤(Tinuvin326(BASFジャパン(株)製))入りPETフィルム(厚さ:100μm、ヘーズ値:1.0%)を用意した。
支持体の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の厚さが1μmとなるようにポジ型感光性樹脂組成物1を3m塗布した。
形成されたポジ型感光性樹脂組成物1の塗膜を90℃で100秒間かけて乾燥することで、レジスト層(感光性樹脂層)を形成した。
形成されたレジスト層の表面に、カバーフィルム(第二のフィルム)としてPETフィルム(東レ(株)製ルミラー16KS40、厚さ:16μm、算術平均粗さRa:0.02μm、ヘーズ値:0.7%)を圧着した後、フィルムを反転し、支持体の反対面にも、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の厚さが1μmとなるようにポジ型感光性樹脂組成物1を3m塗布後、90℃で100秒間かけて乾燥した。
その後、カバーフィルム(第三のフィルム)としてPETフィルム(東レ(株)製ルミラー16KS40、厚さ:16μm、算術平均粗さRa:0.02μm、ヘーズ値:0.7%)を圧着した後、巻き取ることで、ロール形態の感光性組成物材料を作製した。
次に、ロール形態の感光性組成物材料を巻き出した後、両面のカバーフィルム側を剥離した後、両面の感光性樹脂組成物上に、アライメントをとりながら各々の面に露光マスクを接触させ、高圧水銀灯露光機((株)大日本科研製MAP−1200L、主波長:365nm)を用いて、表裏の感光性樹脂層を同時に露光した。
露光量は100mJ/cm2とした。
次いで、露光領域が重複しないようにフィルムを所定量移動し、2回目の露光を行った。この操作を連続して10回行った。次いで、ポジ型感光性樹脂層を液温が25℃の炭酸ナトリウム水溶液を用いて30秒間の表裏からシャワー現像をすることによって、支持体上に、樹脂パターンを形成した。
続いて、スパッタリング成膜装置内部に、10cmサイズに切り出したフィルムを載置し、装置内部を減圧した後にアルゴンガスを導入し、ターゲットにTiを用いてスパッタリングした後、続けて、Cuを用いてスパッタリングを実施した。スパッタに必要な放電電力やスパッタリング時間も適宜調整し、樹脂パターン間及び樹脂パターン上に厚みが10nm以下のTi層及び50nmの銅層を形成した。続いて、フィルムを反転させ、同様に、Cuを用いてスパッタリングを実施した。
次に、超高圧水銀灯(波長365nmを含む。)を用いて、基板表裏から500mJ/cm2のエネルギーを基板全面に対して照射した。その後、50℃に調整した5質量%トリエチルアミン水溶液に5分間浸漬し、感光性樹脂層、及び、感光性樹脂層上のTi層、銅層を剥離し、基板上にパターン状の導電性層(導電性パターン)を形成した。
表裏のパターンについて評価を行い、両面のパターンともに、パターン不良率A、連続露光時のパターン不良率A、直線性Aであった。
Claims (43)
- 第一のフィルム、感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有する積層体を巻き取ってなるロール体を準備する工程、
前記ロール体から前記積層体を巻き出す工程、
巻き出された前記積層体に対して露光を行う工程、
露光された前記積層体を現像し樹脂パターンを形成する工程、
前記第一のフィルム上における前記樹脂パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属を含む導電性パターンを形成する工程、
前記樹脂パターンを除去する工程を含む
導電性パターンの形成方法。 - 前記第一のフィルム及び前記第二のフィルムの少なくとも一方が、粒子を有する請求項1に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記露光を行う工程において、前記第二のフィルムにマスクを接触させ、前記第二のフィルム越しに露光を行う請求項1又は請求項2に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記露光を行う工程において、前記第一のフィルムにマスクを接触させ、前記第一のフィルム越しに露光を行う請求項1又は請求項2に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記露光を行う工程において、前記第二のフィルムを剥離し、前記感光性樹脂層にマスクを接触させ露光を行う請求項1又は請求項2に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルムの厚みが、50μm以下である請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第二のフィルムの厚みが、50μm以下である請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下である請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第二のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下である請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルム及び前記第二のフィルムの少なくとも一方が、全光線透過率が85%以上の透明フィルムである請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルム及び前記第二のフィルムがいずれも、絶縁性フィルムである請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルムが、紫外線吸収剤を含む請求項1〜請求項11のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記感光性樹脂層が、ポジ型感光性樹脂層である請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記ポジ型感光性樹脂層が、酸の作用により脱保護する保護基で保護された極性基を有する重合体、及び、光酸発生剤を含む請求項13に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記酸の作用により脱保護する保護基で保護された極性基が、極性基がアセタールの形で保護されてなる基である請求項14に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記重合体が、下記式A1〜式A3のいずれかで表される構成単位を含む請求項14又は請求項15に記載の導電性パターンの形成方法。
式A1中、R11及びR12は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R11及びR12の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R13は、アルキル基又はアリール基を表す。R14は、水素原子又はメチル基を表す。X1は、単結合又は二価の連結基を表す。R15は、置換基を表す。nは、0〜4の整数を表す。なお、R11又はR12とR13とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。
式A2中、R21及びR22は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R21及びR22の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R23は、アルキル基又はアリール基を表す。R24は、それぞれ独立して、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシカルボニル基、ヒドロキシアルキル基、アリールカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、又は、シクロアルキル基を表す。mは、0〜3の整数を表す。R21又はR22とR23とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。
式A3中、R31及びR32は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R31及びR32の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R33は、アルキル基又はアリール基を表す。R34は、水素原子又はメチル基を表す。X0は、単結合又は二価の連結基を表す。なお、R31又はR32とR33とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。 - 前記感光性樹脂層の層厚が、3μm以下である請求項1〜請求項16のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記感光性樹脂層の層厚が、1μm以下である請求項1〜請求項17のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記導電性パターンを、スパッタリング法又は蒸着法により形成する請求項1〜請求項18のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記導電性パターンを、銀含有インク若しくは銅含有インクの印刷又は塗布により形成する請求項1〜請求項19のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 第一のフィルムの一方の面に、第一の感光性樹脂層、及び、第二のフィルムを有し、第一のフィルムのもう一方の面に、第二の感光性樹脂層、及び、第三のフィルムを有する積層体を巻き取ってなるロール体を準備する工程、
前記ロール体から前記積層体を巻き出す工程、
巻き出された前記積層体のいずれか一方の面又は両方の面に対して露光を行う工程、
露光された前記積層体を現像し樹脂パターンを形成する工程、
前記第一のフィルム上における前記樹脂パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属を含む導電性パターンを形成する工程、並びに、
前記樹脂パターンを除去する工程を含む
導電性パターンの形成方法。 - 前記第一のフィルム、前記第二のフィルム及び前記第三のフィルムの少なくとも一つが、粒子を有する請求項21に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記露光を行う工程において、前記第二のフィルム又は第三のフィルムにマスクを接触させ、前記第二のフィルム越しに露光を行う請求項21又は請求項22に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記露光を行う工程において、前記第二のフィルム又は第三のフィルムを剥離し、前記感光性樹脂層にマスクを接触させ露光を行う請求項21又は請求項22に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルムの厚みが、50μm以下である請求項21〜請求項24のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第二のフィルムの厚みが、50μm以下であり、かつ前記第三のフィルムの厚みが、50μm以下である請求項21〜請求項25のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下である請求項21〜請求項26のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第二のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下であり、かつ前記第三のフィルムのヘーズ値が、1.0%以下である請求項21〜請求項27のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルム、前記第二のフィルム及び前記第三のフィルムの少なくとも一つが、全光線透過率が85%以上の透明フィルムである請求項21〜請求項28のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルム、前記第二のフィルム及び前記第三のフィルムがいずれも、絶縁性フィルムである請求項21〜請求項29のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一のフィルムが、紫外線吸収剤を含む請求項21〜請求項30のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一の感光性樹脂層及び前記第二の感光性樹脂層がいずれも、ポジ型感光性樹脂層である請求項21〜請求項31のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記ポジ型感光性樹脂層が、酸の作用により脱保護する保護基で保護された極性基を有する重合体、及び、光酸発生剤を含む請求項32に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記酸の作用により脱保護する保護基で保護された極性基が、酸基がアセタールの形で保護されてなる基である請求項33に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記重合体が、下記式A1〜式A3のいずれかで表される構成単位を含む請求項33又は請求項34に記載の導電性パターンの形成方法。
式A1中、R11及びR12は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R11及びR12の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R13は、アルキル基又はアリール基を表す。R14は、水素原子又はメチル基を表す。X1は、単結合又は二価の連結基を表す。R15は、置換基を表す。nは、0〜4の整数を表す。なお、R11又はR12とR13とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。
式A2中、R21及びR22は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R21及びR22の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R23は、アルキル基又はアリール基を表す。R24は、それぞれ独立して、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシカルボニル基、ヒドロキシアルキル基、アリールカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、又は、シクロアルキル基を表す。mは、0〜3の整数を表す。R21又はR22とR23とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。
式A3中、R31及びR32は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、又は、アリール基を表す。但し、R31及びR32の少なくとも一方は、アルキル基又はアリール基を表す。R33は、アルキル基又はアリール基を表す。R34は、水素原子又はメチル基を表す。X0は、単結合又は二価の連結基を表す。なお、R31又はR32とR33とは、互いに連結して環状エーテルを形成してもよい。 - 前記第一の感光性樹脂層と前記第二の感光性樹脂層とが、同一組成の層である請求項21〜請求項35のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一の感光性樹脂層及び前記第二の感光性樹脂層の層厚がいずれも、3μm以下である請求項21〜請求項36のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記第一の感光性樹脂層及び前記第二の感光性樹脂層の層厚がいずれも、1μm以下である請求項21〜請求項37のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記露光を行う工程において、前記第一の感光性樹脂層及び前記第二の感光性樹脂層に対して同時に露光を行う請求項21〜請求項38のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記導電性パターンを、スパッタリング法又は蒸着法により形成する請求項21〜請求項39のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 前記導電性パターンを、銀含有インク若しくは銅含有インクの印刷又は塗布により形成する請求項21〜請求項40のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。
- 請求項1〜請求項41のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法を含むメタルメッシュセンサーの製造方法。
- 請求項1〜請求項41のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法により得られた前記導電性パターンを有する前記第一のフィルムに対し、前記第一のフィルム及び前記導電性パターン上にネガ型感光性樹脂層を形成する工程、
前記第一のフィルム越しに前記ネガ型感光性樹脂層に対し露光を行う工程、
光を照射された前記ネガ型感光性樹脂層を現像することで、前記第一のフィルム上に樹脂パターンNを形成する工程、及び、
前記導電性パターンと前記樹脂パターンNとによって画定される領域にパターンMを形成する工程を含む
構造体の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020104529 | 2020-06-17 | ||
JP2020104529 | 2020-06-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022000684A true JP2022000684A (ja) | 2022-01-04 |
JP7389071B2 JP7389071B2 (ja) | 2023-11-29 |
Family
ID=79242021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021012357A Active JP7389071B2 (ja) | 2020-06-17 | 2021-01-28 | 導電性パターンの形成方法、メタルメッシュセンサーの製造方法、及び、構造体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7389071B2 (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015525149A (ja) * | 2012-05-31 | 2015-09-03 | エルジー・ケム・リミテッド | クリシェおよびそれを含む印刷装置 |
JP2017202631A (ja) * | 2016-05-12 | 2017-11-16 | 東レ株式会社 | 転写フィルム、積層基材、カバーガラス、積層基材の製造方法 |
WO2018061384A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 東レ株式会社 | 感光性樹脂組成物、導電性パターンの製造方法、基板、タッチパネル及びディスプレイ |
WO2018123853A1 (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 東レ株式会社 | 有機el表示装置 |
JP2019066518A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-25 | 富士フイルム株式会社 | 転写フィルムの製造方法、レジストパターンの形成方法、導電性配線パターンの製造方法、及び、転写フィルム |
WO2019160101A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 富士フイルム株式会社 | レジストパターンの製造方法、回路基板の製造方法及びタッチパネルの製造方法 |
JP2019143131A (ja) * | 2018-02-15 | 2019-08-29 | 三菱ケミカル株式会社 | ドライフィルムレジスト基材用ポリエステルフィルム |
WO2020066351A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 富士フイルム株式会社 | パターン付き基材の製造方法、回路基板の製造方法及びタッチパネルの製造方法 |
WO2020105471A1 (ja) * | 2018-11-19 | 2020-05-28 | 東レ株式会社 | 二軸配向熱可塑性樹脂フィルム |
-
2021
- 2021-01-28 JP JP2021012357A patent/JP7389071B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015525149A (ja) * | 2012-05-31 | 2015-09-03 | エルジー・ケム・リミテッド | クリシェおよびそれを含む印刷装置 |
JP2017202631A (ja) * | 2016-05-12 | 2017-11-16 | 東レ株式会社 | 転写フィルム、積層基材、カバーガラス、積層基材の製造方法 |
WO2018061384A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 東レ株式会社 | 感光性樹脂組成物、導電性パターンの製造方法、基板、タッチパネル及びディスプレイ |
WO2018123853A1 (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 東レ株式会社 | 有機el表示装置 |
JP2019066518A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-25 | 富士フイルム株式会社 | 転写フィルムの製造方法、レジストパターンの形成方法、導電性配線パターンの製造方法、及び、転写フィルム |
JP2019143131A (ja) * | 2018-02-15 | 2019-08-29 | 三菱ケミカル株式会社 | ドライフィルムレジスト基材用ポリエステルフィルム |
WO2019160101A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 富士フイルム株式会社 | レジストパターンの製造方法、回路基板の製造方法及びタッチパネルの製造方法 |
WO2020066351A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 富士フイルム株式会社 | パターン付き基材の製造方法、回路基板の製造方法及びタッチパネルの製造方法 |
WO2020105471A1 (ja) * | 2018-11-19 | 2020-05-28 | 東レ株式会社 | 二軸配向熱可塑性樹脂フィルム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7389071B2 (ja) | 2023-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6591078B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、転写フィルム、タッチパネル用保護膜、タッチパネル及びその製造方法、並びに画像表示装置 | |
WO2013141275A1 (ja) | 透明導電積層体及びタッチパネル | |
WO2019102771A1 (ja) | 感光性転写材料、樹脂パターン製造方法、及び、配線製造方法 | |
KR20190003641A (ko) | 패턴이 형성된 기재의 제조 방법, 및 회로 기판의 제조 방법 | |
JPWO2019074112A1 (ja) | 回路配線の製造方法、タッチパネルの製造方法及びパターン付き基材の製造方法 | |
TW202024150A (zh) | 附圖案的基材的製造方法、電路基板的製造方法及觸控面板的製造方法 | |
WO2020137284A1 (ja) | 導電性転写材料、パターンつき基板の製造方法、回路基板の製造方法、積層体、及びタッチパネル | |
CN113302555A (zh) | 导电性转印材料、附有图案的基板的制造方法、层叠体及触控面板 | |
WO2020194948A1 (ja) | 導電性転写材料、導電パターンの製造方法、積層体、タッチパネル、及び液晶表示装置 | |
WO2020158316A1 (ja) | 感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、タッチパネルの製造方法、並びに、フィルム及びその製造方法 | |
JP6992097B2 (ja) | レジストパターンの製造方法、回路基板の製造方法及びタッチパネルの製造方法 | |
JP7389071B2 (ja) | 導電性パターンの形成方法、メタルメッシュセンサーの製造方法、及び、構造体の製造方法 | |
TWI746802B (zh) | 感光性轉印材料、電路配線的製造方法及觸控面板的製造方法 | |
WO2021132384A1 (ja) | 導電性基板の製造方法、導電性基板、タッチセンサー、アンテナ、電磁波シールド材料 | |
WO2021132389A1 (ja) | 導電性基板の製造方法、導電性基板、タッチセンサー、アンテナ、電磁波シールド材料 | |
WO2020116068A1 (ja) | 転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及びタッチパネルの製造方法 | |
KR20220143718A (ko) | 감광성 재료, 전사 필름, 회로 배선의 제조 방법, 터치 패널의 제조 방법, 패턴 형성 방법 | |
WO2019225362A1 (ja) | 感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法 | |
WO2021024650A1 (ja) | 感光性転写部材、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、タッチパネルの製造方法 | |
JPWO2019077924A1 (ja) | 回路基板の製造方法及びタッチパネルの製造方法 | |
JP2024033430A (ja) | 積層体、タッチパネルセンサー、電子機器、積層体の製造方法 | |
WO2020174767A1 (ja) | パターンつき基板の製造方法、回路基板の製造方法、タッチパネルの製造方法、及び積層体 | |
WO2020137144A1 (ja) | 感光性転写材料、積層体、タッチパネル、パターン付き基板の製造方法、回路基板の製造方法、及びタッチパネルの製造方法 | |
WO2019225363A1 (ja) | 感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法 | |
KR20220139367A (ko) | 전사 필름, 감광성 재료, 패턴 형성 방법, 회로 기판의 제조 방법, 터치 패널의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220725 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230516 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231024 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7389071 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |