JP2021533002A - エッチング停止層を有するmems表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2018年7月4日に出願された米国仮特許出願第62/694008号に基づく優先権を主張するものであり、その開示内容をここに援用する。
Claims (18)
- 基板と、
前記基板上の電子回路と、
前記電子回路に電気的に接続された電極と、
可動素子であって、前記電極と前記可動素子との間に電圧を印加することにより制御される可動素子と、
前記電極と前記電子回路との間に配置され、前記電極と前記電子回路とを電気的に接続するビアを備えた絶縁層と、
前記絶縁層に配置され、窒化アルミニウムまたは酸化アルミニウムのうちの少なくとも一方から形成されるエッチング停止層とを備える、
ことを特徴とする、微小電気機械システム(MEMS)装置。 - 請求項1において、
前記エッチング停止層は、前記可動素子と前記電極との間に形成される、
ことを特徴とする、MEMS装置。 - 請求項2において、
前記可動素子を支持する導電性支持体であって、前記電極に実装され、前記エッチング停止層を通って延在する導電性支持体をさらに備える、
ことを特徴とする、MEMS装置。 - 請求項1において、
前記電極は、前記エッチング停止層に実装されている、
ことを特徴とする、MEMS装置。 - 請求項1または2において、
前記エッチング停止層はスパッタリングされた酸化アルミニウムである、
ことを特徴とする、MEMS装置。 - 請求項1または2において、
前記エッチング停止層は、原子層堆積法によって形成された酸化アルミニウムからなる膜である、
ことを特徴とする、MEMS装置。 - 請求項1または2において、
前記ビアに接続された前記電極および前記ビアのそれぞれはタングステンを含む、
ことを特徴とする、MEMS装置。 - 請求項1または4において、
前記電極は、前記電極が実装される表面に沿った寸法が、前記電極が電気的に接続される前記ビアの半径の少なくとも2倍である、
ことを特徴とする、MEMS装置。 - 請求項1または4において、
前記可動素子は、前記基板の実装面に対して垂直である垂直ヒンジを備えたミラーである、
ことを特徴とする、MEMS装置。 - 請求項9において、
前記垂直ヒンジを備えたストッパをさらに備え、前記ストッパは、前記基板の前記実装面に対して平行に延在し、前記ミラーが傾斜した際に、前記ミラーと接触して前記ミラーがMEMS装置の他の部位に接触するのを防止するのに充分なサイズを有する、
ことを特徴とする、MEMS装置。 - 前記基板上に電子回路を形成する工程と、
前記基板上に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を貫通し、前記電子回路と電気的に接続される導電性材料が充填された貫通孔を含むビアを形成する工程と、
前記ビアに接続される電極を、前記絶縁層上に形成する工程と、
窒化アルミニウムまたは酸化アルミニウムの少なくとも一方からなるエッチング停止層を、前記絶縁層上に形成する工程と、
前記電極に接続される垂直ヒンジを形成する工程と、
前記絶縁層上に犠牲層を形成する工程と、
前記垂直ヒンジに結合された可動素子を形成する工程と、
前記犠牲層をフッ化水素酸の蒸気により除去する工程とを備える、
ことを特徴とする、基板上に微小電気機械システム(MEMS)装置を製造する方法。 - 請求項11において、
前記エッチング停止層は、前記電極を形成した後に、前記可動素子と前記電極との間に形成される、
ことを特徴とする、方法。 - 請求項12において、
前記電極は、ダマシンプロセスによって形成される、
ことを特徴とする、方法。 - 請求項11において、
前記電極は、前記エッチング停止層を形成した後、前記エッチング停止層に形成される、
ことを特徴とする、方法。 - 請求項12または14において、
前記エッチング停止層の形成には、前記絶縁層に酸化アルミニウムをスパッタリングする工程が含まれている、
ことを特徴とする、方法。 - 請求項12または14において、
前記エッチング停止層の形成には、原子層堆積法によって、前記絶縁層に酸化アルミニウムからなる膜を形成する工程が含まれている、
ことを特徴とする、方法。 - 請求項11または12において、
前記電極がその実装面にそって延在する寸法が、前記ビアの半径rの2倍超である、
ことを特徴とする、方法。 - 請求項11または12において、
前記ビアの形成には、ダマシンプロセスによって前記ビアを形成する工程が含まれている、
ことを特徴とする、方法。
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