JP2021521340A - 少なくとも1つのコーティングステーションを有する、中空品をコーティングするための装置、及びガスランスを洗浄するための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 洗浄流体
3 洗浄流体のための取入口
4 洗浄流体のための排出口
5 シール
6 スランス
7 ガスランスの端部領域
7.1 デッドスペース
8 ベースプレート
9 蓄積物
10 プロセスガスのための取入口
11 放出弁
12 超音波エミッタ
13 流体加熱器
15 リップシール
16 支持パイプ
17 ガスライン
18 膨張体
20 吊り下げ体
24 バルブ
25 収集容器
27 流体収集器
27.1 漏斗
27.2 排出ライン
27.3 送出ライン
28 制御ライン
29 制御装置
30 加熱手段、誘導加熱器
30’ 放熱器
31 収集リング
32 吸引ライン
33 吸引ポンプ
34 鐘状体
35 ガス容器
36 膨張ユニット、蒸発器
37 冷却ライン
38 送風機
39 加熱用入口
40 加熱用出口
41 処理空間
42 バイパスライン
43 熱交換器
44.1,44.2 バルブ
45 圧縮機
46 フィルタ
47 圧力容器
48 供給ライン
B 移動方向
Claims (30)
- 端部領域(7)を有するガスランス(6)を有する少なくとも1つのコーティングステーションを有する、中空品をコーティングするための装置であって、洗浄流体(2)のための取入口(3)を有するCIPユニットがあり、前記取入口(3)は洗浄位置に配置され得、前記ガスランス(6)の前記端部領域(7)及び/又は前記取入口(3)は、前記洗浄流体(2)が前記洗浄位置で前記ガスランス(6)の前記端部領域(7)を濡らすように配置されることを特徴とする装置。
- 前記ガスランス(6)を加熱するための少なくとも1つの加熱手段(30)、及び/又は振動エミッタ、特に超音波エミッタ(12)が、前記ガスランス(6)、及び/又は前記洗浄流体(2)を運ぶ構成要素の少なくとも一部に配置されることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記洗浄流体(2)は室温かつ大気圧下で気体である媒体であり、前記気体の洗浄流体(2)のための冷却器が設けられ、及び/又は前記洗浄流体(2)を液体状態で供給するための貯蔵庫が液化ガスのための膨張ユニット(36)と共に設けられることを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- 処理位置において前記ガスランス(6)の前記端部領域(7)を少なくとも部分的に覆うように移動し得、この処理位置において処理空間(41)を形成し、特に鐘(34)の形状を有するハウジング(1)があることを特徴とする、請求項2又は3に記載の装置。
- 前記取入口(3)は前記処理位置において前記ハウジング(1)内に配置されることを特徴とする、請求項4に記載の装置。
- 前記ガスランス(6)の端部における蓄積物の残留物のための排出ラインがあり、前記排出ラインは特に吸引ユニットに接続されることを特徴とする、請求項2から4の何れかに記載の装置。
- 前記CIPユニットは、前記取入口(3)に加えて、ハウジング(1)及び排出口(4)を有し、前記取入口(3)及び前記排出口(4)を介して前記ハウジング(1)の空間に流体充填及び/又は流体回路を生成するための装置があり、前記ハウジング(1)は洗浄位置に配置され得、そこで、前記ハウジング(1)は前記ガスランス(6)の前記端部領域(7)を完全に流体的に密閉状態で取り囲み、前記ガスランス(6)の前記端部領域(7)は、洗浄流体(2)を運ぶ前記流体回路が前記洗浄位置でそれを濡らすように配置され、前記ハウジング(1)は前記装置の通常の運転中に前記ガスランス(6)を取り囲まないことを特徴とする、請求項1又は2に記載の装置。
- 好ましくは空気圧で膨張可能なシール(5)が前記ハウジング(1)と前記ガスランス(6)の間に配置される、請求項7に記載の装置。
- 前記ハウジング(1)は鐘又は広口コップのように形成される、請求項7又は8に記載の装置。
- シール(5)が前記ハウジング(1)とベースプレート(8)の間に配置され、前記ベースプレート(8)を通って、前記ガスランス(6)がその長手方向において移動方向(B)に移動可能に配置される、請求項7から9の何れかに記載の装置。
- 前記ベースプレート(8)は、水平方向に広がり、前記ガスランス(6)の構成要素である、請求項10に記載の装置。
- 前記ガスランス(6)は、固定され、その全長にわたって前記ハウジング(1)によって取り囲まれる、請求項7から11の何れかに記載の装置。
- 前記流体回路内に流体加熱器(13)がある、請求項7から12の何れかに記載の装置。
- 超音波エミッタ(12)が前記ハウジング(1)内に又前記ハウジング(1)上に配置される、請求項7から13の何れかに記載の装置。
- 前記ガスランス(6)は、流体を運ぶチャネルを少なくとも一部に有する、請求項7から14の何れかに記載の装置。
- 前記ハウジング(1)は複数のガスランス(6)を取り囲む、請求項7から15の何れかに記載の装置。
- 閉鎖栓が設けられ、それによって、前記ガスランス(6)の内部空間の少なくとも一部が閉鎖され得る、請求項7から16の何れかに記載の装置。
- 前記閉鎖栓は収集容器(25)に接続され又はその一部であり、少なくとも1つの流体入口が設けられ、前記収集容器(25)の内部への流体接続部(27)が設けられる、請求項17に記載の装置。
- 請求項1から18の何れかに記載のコーティング装置のガスランス(6)を洗浄するための方法であって、前記ガスランス(6)は前記コーティング装置内に留まり、
a)ハウジング(1)又は鐘状体(34)によって、前記ガスランス(6)の少なくとも一部の範囲を、前記ガスランス(6)の自由端を含めて、特に流体的に密閉状態で、取り囲み、
b)取入口(3)を介して前記ハウジング(1)又は前記鐘状体(34)に洗浄流体(2)を導入し、
c)前記ガスランス(6)の前記自由端の少なくとも一部の範囲を洗浄流体(2)で濡らし、
d)画定可能な滞留時間又は濡れ時間後に前記洗浄流体(2)を流し出し又は排出する、
ステップを、示された順序で行うことを特徴とする方法。 - 特にステップb)又はc)の前に、
a)加熱器によって、特に、誘導加熱器(30)によって、又は前記ガスランス(6)に向かって流れる燃料又は燃焼ガスによって、例えば多孔質バーナーによって、150℃より高く、好ましくは350℃より高く、前記ガスランス(6)を加熱し、それから、
b)前記ガスランス(6)に向かって又はその上を流れ、20℃より低い温度を有する洗浄流体(2)によって前記濡らすことを行う、請求項19に記載の方法。 - 前記洗浄流体(2)の温度は、0℃より低く、好ましくは−100℃より低い、請求項20に記載の方法。
- 前記洗浄流体(2)は液体窒素又は液体CO2であり、それは好ましくはその液体状態から気体状態に直前に変換された、請求項19から21の何れかに記載の方法。
- 特に吸引によって、蓄積物の剥がされた残留物を排出する、請求項19から22の何れかに記載の方法。
- 衝撃冷却中に前記ガスランス(6)を振動させる、請求項21から23の何れかに記載の方法。
- 請求項7から18の何れかに記載のコーティング装置のガスランス(6)を洗浄する方法であって、前記ガスランス(6)は前記コーティング装置内に留まり、
a)前記ハウジング(1)によって、前記ガスランス(6)の自由端を含む少なくとも一部の範囲を流体的に密閉状態で取り囲み、
b)取入口(3)を介して前記ハウジング(1)に洗浄流体(2)を導入し、
c)画定可能な滞留時間後に前記ハウジング(1)から前記洗浄流体(2)を流し出し、
d)前記ハウジング(1)を取り去る、
ステップを、示された順序で行うことを特徴とする方法。 - ステップb及びcを交互に複数回にわたって行う、請求項25に記載の方法。
- 流体回路によって前記ハウジング(1)を通して前記洗浄流体(2)を運ぶ、請求項25又は26に記載の方法。
- 洗浄流体(2)として、アルカリ液、特に高温のアルカリ液を使用する、請求項25から27の何れかに記載の方法。
- ステップbとステップcの間に前記ハウジング(1)に超音波を導入する、請求項25から28の何れかに記載の方法。
- ステップcの後に、水を用いた前記ハウジング(1)の空間の1回以上のフラッシングを行う、請求項25から29の何れか1つに記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102018109217.2A DE102018109217A1 (de) | 2018-04-18 | 2018-04-18 | Vorrichtung zum Beschichten von Hohlkörpern mit mindestens einer Beschichtungsstation |
DE102018109217.2 | 2018-04-18 | ||
PCT/EP2019/059001 WO2019201684A1 (de) | 2018-04-18 | 2019-04-10 | Vorrichtung zum beschichten von hohlkörpern mit mindestens einer beschichtungsstation sowie verfahren zum reinigen einer gaslanze |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021521340A true JP2021521340A (ja) | 2021-08-26 |
Family
ID=66165975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020556970A Ceased JP2021521340A (ja) | 2018-04-18 | 2019-04-10 | 少なくとも1つのコーティングステーションを有する、中空品をコーティングするための装置、及びガスランスを洗浄するための方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3781722A1 (ja) |
JP (1) | JP2021521340A (ja) |
CN (1) | CN112041479A (ja) |
DE (1) | DE102018109217A1 (ja) |
WO (1) | WO2019201684A1 (ja) |
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- 2018-04-18 DE DE102018109217.2A patent/DE102018109217A1/de active Pending
-
2019
- 2019-04-10 CN CN201980028789.2A patent/CN112041479A/zh active Pending
- 2019-04-10 WO PCT/EP2019/059001 patent/WO2019201684A1/de unknown
- 2019-04-10 JP JP2020556970A patent/JP2021521340A/ja not_active Ceased
- 2019-04-10 EP EP19717304.0A patent/EP3781722A1/de active Pending
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CN112041479A (zh) | 2020-12-04 |
WO2019201684A1 (de) | 2019-10-24 |
EP3781722A1 (de) | 2021-02-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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