JP2021515136A - ドライ真空ポンプ - Google Patents

Abstract

本発明は、少なくとも１つの油溜め（２）と、少なくとも１つのポンプ段（３ａ−３ｅ）と、前記ポンプ段（３ａ−３ｅ）内に延びるロータ（５）を夫々保持する２つの回転軸（４）とを備えたドライ真空ポンプであって、前記ロータ（５）は、前記真空ポンプ（１）の吸入口と吐出口との間でガスをポンプ搬送するために、反対方向に同期して回転するように構成されており、前記回転軸（４）は、前記油溜め（２）に含まれる潤滑油で潤滑されたベアリングで支えられており、各軸通路の前記油溜め（２）と前記ポンプ段（３ｅ）の間に挿入された少なくとも１つの潤滑油のシール装置（６）を備え、前記シール装置（６）は、前記回転軸（４）にこれと共に回転するように取り付けられたほぼディスク状のデフレクタ（１４）を含み、前記デフレクタ（１４）のディスクは、その周囲に前記ポンプ段（３ｅ）に向かって延び、保持凹部を形成する１つの環状端部（１６）を有している。【選択図】図２

Description

本発明は、ルーツポンプ、クローポンプ又はスクリューポンプ等のドライ真空ポンプに関する。本発明は、より具体的には、真空ポンプの潤滑油の気密性に関する。

ドライ粗引き真空ポンプは、直列の１つ又は複数のポンプ段で構成され、吸入口と吐出口の間にポンプで送られるガスが流れる。既知の粗引き真空ポンプは、ルーツポンプという名前でも知られているロータリーローブポンプと、２つ以上のローブポンプ、クローポンプ、スクリューポンプとの間で区別される。ルーツブロワ真空ポンプも知られており、大流量の使用状況下でポンプ能力を高めるために、粗引き真空ポンプの上流で使用される。これらの真空ポンプは、運転中、複数のロータが、ロータやステータと機械的に接触することなくステータ内で回転し、ポンプ段で油を使用しないので、「ドライ」ポンプと呼ばれている。

回転軸は、油で潤滑されたボールベアリングによって支えられている。動作中、ベアリング内で回転軸が回転すると、油滴等の汚染物質が発生し、圧力変動にさらされると、それらがポンプ段に向かって移動する可能性がある。ただし、半導体基板の製造プロセス等、いわゆる「ドライ」アプリケーションでは、ポンプ段に油の痕跡がないことが重要である。従って、潤滑されたベアリングは、回転軸が回転できるシール手段によって、ドライポンプ段から隔離されている必要がある。

一般に使用されるシール手段には、主に、ベアリングのフランジ、摩擦継手、エジェクターディスク、ガスブリーダー、膨張及び凝縮チャンバー等のオイルトラップ、又はラビリンスやシケイン等の障害物等の物理的なバリアが含まれる。これらの解決策は、主に油の移動を阻止又は制限しようとするものである。ただし、運転中に、特に、ある量のガスが周期的に排気される用途では、真空ポンプに加えられる圧力が大幅に変動する。この圧力変動は、潤滑されたベアリングとポンプ段の間に推進力を発生させ、汚染微粒子をポンプ段から油溜めへ運ぶことを可能にし、同様に、油の微粒子又は蒸気をベアリングからポンプ段へ移送することを可能にする。

特に、ポンプ段又は摩擦継手から油溜めへの、固体又は液体微粒子の移動を制限することが求められている。これらの微粒子は研磨性を有する場合があり、潤滑特性が低下し、例えばボールベアリングの早期摩耗が発生する可能性があるためである。

従って、本発明の目的の１つは、先行技術の欠点を少なくとも部分的に改善する、ドライ真空ポンプを提案することである。

この目的のために、本発明は、
−少なくとも１つの油溜めと、
−少なくとも１つのポンプ段と、
−夫々少なくとも１つの前記ポンプ段内に延びる少なくとも１つのロータを保持する、２つの回転軸とを備えたドライ真空ポンプであって、
−前記ロータは、前記真空ポンプの吸入口と吐出口の間でガスをポンプ搬送するために、反対方向に同期して回転するように構成されており、
−前記回転軸は、前記油溜めに含まれる潤滑油で潤滑されたベアリングによって支えられており、
−各軸通路の前記油溜めとポンプ段の間に挿入された少なくとも１つの潤滑油のシール装置であって、前記シール装置は、前記回転軸にこれと共に回転するように取り付けられたほぼディスク状のデフレクタを備えたものにおいて、
前記デフレクタのディスクは、その周囲に前記ポンプ段に向かって延び、保持凹部を形成する１つの環状端部を有していることを特徴とする。

前記デフレクタの前記保持凹部は、前記真空ポンプの前記ポンプ段又は摩擦継手から発生し前記デフレクタによって半径方向に排出される微粒子やダストを保持することを可能にする。従って、前記ボールベアリング又は前記油溜めに向かう前記微粒子の移動が制限される。
これにより、ベアリングの寿命を延ばし、油の汚染を減らし、油の消費量を減らすことができる。その結果、このようなデフレクタを備えた真空ポンプの１，０００運転時間後に、３０％程度の油の消費量の削減と、汚染微粒子がほとんどない「透明な」油を観察することができた。
このようにして作られたデフレクタは、製造が簡単で安価である。さらに、このデフレクタは、シール装置の様々なタイプの「ダイナミック」シール又は摩擦リングシールと互換性がある。

前記真空ポンプは、単一の油溜めで構成できる。この油溜めは、多段真空ポンプのいわゆる低圧ポンプ段の隣、又はいわゆる高圧ポンプ段の隣に配置することができる。他方、前記ベアリングはグリースで潤滑することができる。
前記真空ポンプは、２つの油溜めで構成することもできる。これらの油溜めは、真空ポンプの一端に夫々配置されている。つまり、多段真空ポンプでは、油溜めの１つはいわゆる高圧段の隣に配置され、もう１つはいわゆる低圧段の隣に配置されている。ルーツブロワ真空ポンプ等の単段真空ポンプでは、前記油溜めは単段ポンプ段の両側に配置されている。

前記環状端部は任意の形状にすることができる。面取りすることもできる。
本発明の一実施例によれば、前記環状端部は、回転軸の回転軸心と同軸であり、円筒形である。
また、前記環状端部には、ラジアルリムを設けることもできる。このラジアルリムにより、前記保持凹部による前記微粒子又は前記ダストの保持能力を向上させることができる。
前記シール装置には、摩擦リングシール又はダイナミックシール等のリングシールが含まれる。前記摩擦リングシールには、例えば、シングルリップやダブルリップを備えたリングが含まれる。このダイナミックシールには、例えば、セグメント化されたシールも含まれる。

本発明の一実施例によれば、前記デフレクタの前記環状端部は、前記リングシールの周りに少なくとも部分的に延びている。
本発明の一実施例によれば、前記シール装置は、軸に取り付けられたスリーブを含み、このスリーブに前記デフレクタが取り付けられている。このスリーブは、例えば、外径が前記デフレクタの中央オリフィスに挿入するのに適した第１の円筒形段部と、前記デフレクタの軸方向ストッパーを形成する第２の円筒形段部とを含む２段円筒形を有する。

ディスクの環状端を支える面は、回転軸の回転軸心に垂直にすることができる。
他の実施例によれば、前記環状端を支えるデフレクタの面は、このデフレクタの中心と同軸であり、その頂点が油溜めの側に位置する、一般的な円錐台形状を有する。この円錐台の形状により、ポンプ段から来て保持凹部には閉じ込められていない微粒子やダストを、ポンプ段に戻すことができる。

前記ディスクの環状端を支える面の反対側の面は、回転軸の回転軸心に垂直にすることができる。別の実施例によれば、ディスクの環状端部を支える面の反対側の面は、デフレクタの中心と同軸であり、その頂点がポンプ段の側に位置する円錐台形状を有する。回転中、デフレクタのこの円錐台形状は、デフレクタに当たる潤滑油の飛沫が油溜めへ戻るのをガイドすることを可能にする。

さらに、真空ポンプのステータを、環状端を支える面の反対側のデフレクタの面の端部から分離するために、３ｍｍ未満の軸方向距離及び３ｍｍ未満の垂直距離を設定することができる。このように形成された通路は、ステータとデフレクタの間が非常に狭い。これにより、これらの部品が互いに接触することなくこれらの部品の相対的な膨張を可能にすると同時に、潤滑油のコンダクタンスが低くなり、デフレクタを超えた潤滑油の移動が制限される。

本発明はまた、
−少なくとも１つの油溜めと、
−少なくとも１つのポンプ段と、
−少なくとも１つの前記ポンプ段に延びる少なくとも１つのロータを夫々保持する２つの回転軸とを備えたドライ真空ポンプであって、
前記ロータは、前記真空ポンプの吸入口と吐出口の間でガスをポンプ搬送するために、反対方向に同期して回転するように構成されており、
前記回転軸は、前記油溜めに含まれる潤滑油で潤滑されたベアリングによって支えられており、
各軸通路の前記油溜めと前記ポンプ段の間に挿入された少なくとも１つの潤滑油のシール装置を備え、
前記シール装置は、前記回転軸にこれと共に回転するように取り付けられたほぼディスク状のデフレクタを備えたものにおいて、
−前記デフレクタのディスクは、前記デフレクタの中心と同軸の円錐台形状を有する少なくとも１つの面を含むことを特徴とする。

円錐台形状を有する前記デフレクタの１つの面は、ポンプ段に対向する面であり、前記円錐台形状の頂点は、前記油溜めの側に位置する。この円錐台の形状により、ポンプ段から発生する可能性のある微粒子やダストをポンプ段に戻すことができる。
円錐台形状を有する前記デフレクタの他の面は、前記油溜めに対向する面であり、前記円錐台形状の頂点は、前記ポンプ段の側に位置する。
動作中、回転する前記デフレクタの「再入可能」な前記円錐台形状により、前記デフレクタに当たる潤滑油の飛沫の前記油溜めへの戻りをガイドすることができる。
前記デフレクタの両面を、円錐台形状にすることもできる。
添付の図面と共に本発明の説明を読むと、さらなる利点及び特徴が明らかになるであろう。

本発明の実施例になる、ドライ真空ポンプの一例の、非常に概略的な図である。 図１の真空ポンプの一部、特にシール装置の部分断面図である。 図２のシール装置の詳細を示す、部分拡大図である。 図２のシール装置における、デフレクタの斜視図である。 図４のデフレクタの断面図である。 図５の詳細を示す拡大図である。 図２のシール装置のスリーブの斜視図である。 図７のスリーブの断面図である。 デフレクタの第２の実施例の、図３と同様の図である。 デフレクタの第３の実施例の、図３と同様の図である。 デフレクタの第４の実施例の、図３と同様の図である。 リングシールの第２の実施例の、図３と同様の図を示している。

図面では、同一の要素に同じ参照番号を付している。図面は、わかりやすくするために簡略化されている。
以下の実施形態は、実施例である。説明は１つ又は複数の実施例に言及しているが、これは、必ずしも各参照が同じ実施例に関連すること、又は特徴が単一の実施例にのみ適用されることを意味するわけではない。異なる実施例の単純な特徴を組み合わせたり、交換したりして、他の実施例を提供することもできる。

図１は、ドライ真空ポンプ１を示している。
この真空ポンプ１は、少なくとも１つの油溜め２、少なくとも１つのポンプ段３ａ−３ｅ、２つの回転軸４、及び油溜め２とポンプ段３ｅとの間に挿入された少なくとも１つの潤滑油のシール装置６を備えている。
各回転軸４は、夫々少なくとも１つのポンプ段３ａ−３ｅ内に延びる少なくとも１つのロータ５を保持している。

具体的な例では、真空ポンプ１は、この真空ポンプ１の吸入口７と吐出口８との間に直列に取り付けられた複数段の、例えば５段の、ポンプ段３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅを含み、それらの中をポンプで送られるガスが流れる。
ここで、シール装置６に隣接するポンプ段３ｅは、最終のポンプ段３ｅであり、この段は、ポンピングされたガスを大気圧で排出するように構成されており、「高圧」ポンプ段として知られている。
各ポンプ段３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅは、夫々の吸入口及び吐出口を含み、連続するポンプ段３ａ−３ｅは、前段のポンプ段の吐出口を次段のポンプ段の吸入口に接続する各段間チャネルによって次々に直列に接続されている。

一対のロータ５は、例えば、同じプロファイルを有するローブ、例えば、ルーツ（８の字形又は豆形の断面）、爪タイプ、又はスクリューロータ、又は別のタイプの、容積式の真空ポンプの原理に基づくロータである。
同一のプロファイルを有する一対のローブ付きロータ５は、角度的にオフセットされている。一対のロータ５は、吸入口７と吐出口８との間でガスをポンプ搬送するために、各段において互いに反対方向に同期して回転するように駆動される。回転中、吸入口から取り込まれたガスは、一対のロータ５とそれに対応するステータによって形成された空間に閉じ込められ、一対のロータ５によって次のポンプ段に運ばれる。

真空ポンプ１は、例えば、粗引き真空ポンプであり、この真空ポンプ１の吐出圧力は、大気圧である。別の例によれば、この真空ポンプ１は、ルーツブロワとして知られるルーツポンプであり、粗引き真空ポンプと直列にその上流で使用される。

回転軸４は、例えば、吐出口８側において、真空ポンプ１のモータＭによって駆動される。この回転軸４は、油溜め２に含まれる潤滑油で潤滑されたベアリングによって支えられている。油等の潤滑油は、特にベアリングのボールベアリング９とギアの潤滑を可能にする（図２）。

各軸通路の油溜め２とポンプ段３ｅとの間に、潤滑油のシール装置６が挿入される。従って、駆動軸４にはシール装置６があり、従動軸４にもシール装置がある。

図２から明らかなとおり、シール装置６は、少なくとも１つのリングシール１１を含んでいる。
このリングシール１１には、例えば、「ダイナミック」シール、すなわち、セグメント化されたシール、ラビリンスシール、又はシケイン又はガスの「壁」等の非摩擦シールや、リップシール等の摩擦リングシール、又はこれらの組み合わせが含まれる。リングシール１１は、回転軸４の周りに非常に低いコンダクタンスをもたらし、これにより、回転軸４の回転時における、油溜め２からドライポンプ段３ａ−３ｅの方向への及びその逆方向への、潤滑油の通過を大幅に制限することが可能になる。
図１〜図１１に示した例では、リングシール１１は摩擦シールである。
この摩擦リングシール１１は、例えば、２つのリップ１２ａ、１２ｂを有するリングを含んでいる（図３）。

図１２は、リングシール１１の他の例として、セグメント化されたシールを含むダイナミックシールを示している。
このセグメント化されたシールは、ステータ２１にしっかりと固定された１つ又は複数のリング１３ａを含んでいる。
１０分の数オーダーの微小クリアランスは、これらの固定されたリング１３ａを、回転軸４と共に回転させるために、回転軸４に取り付けられた相補リング１３ｂから分離し、軸通路にシールを提供する。

シール装置６はまた、回転軸４に取り付けられこの回転軸と共に回転する、ほぼディスク状のデフレクタ１４を備えている（図２、図３及び図４）。このディスクは、回転軸４に取り付けるための中央オリフィス１５を有している。デフレクタ１４の急速な回転によって生じる遠心力が、リングシール１１への油の移動を制限する。

ステータ２１に油回収チャネル１０を設けることにより、潤滑油を油溜め２に戻すことができる（図２）。油回収チャネル１０への入口は、例えば、ステータ２１の下部にあるデフレクタ１４の反対側に設けられている。例えば、駆動軸４のデフレクタ１４の反対側に第１の油回収チャネル１０があり、被駆動軸４のデフレクタ１４の反対側に第２の油回収チャネル１０がある。
デフレクタ１４のディスクはまた、その周囲に、ポンプ段３ｅに向かって延びる環状端部１６を有し、これにより、保持凹部が形成される。この保持凹部は、その内部に、真空ポンプ１のポンプ段３ａ−３ｅから、又は摩擦リングシール１１から来て、デフレクタ１４の面２３によって半径方向に排出されるであろう、微粒子又は塵を保持することを可能にする。従って、ベアリング９又は油溜め２への微微粒子等の移動が防止される。
デフレクタ１４は、例えば、鋼製である。

第１の実施例によれば、環状端部１６は、回転軸４の回転軸心（Ｉ−Ｉ）と同軸の、ほぼ円筒形の形状を有する（図２、図５及び図６）。従って、環状端部１６は、回転軸心（Ｉ−Ｉ）に平行な方向でかつデフレクタ１４のディスクに垂直な方向に延びている。従って、保持凹部はほぼ円筒形である。
本発明の一実施例によれば、デフレクタ１４の環状端部１６は、デフレクタ１４とポンプ段３ｅとの間に挿入されたリングシール１１の周りに、少なくとも部分的に延びている（図２及び図３）。言い換えれば、環状端部１６は、少なくとも部分的に、リングシール１１を覆っている。

図２及び図３に示した例では、リングシール１１は、真空ポンプ１のステータ２１の空洞から部分的に離れており、リングの背面は、例えば、埋め込まれている。リングシール１１のリングは、例えば、ほぼ平行六面体の断面を有する。従って、ステータ２１とデフレクタ１４の環状端部１６との間、及びデフレクタ１４の保持凹部とリングシール１１の固定部分との間に、シケインを形成することができる。

図１２に示した例では、デフレクタ１４の保持凹部に突出するリングシール１１の突出形状は、ステータ２１の、セグメント化されたシールを固定する部分に形成される（図１２）。
シケインは、ポンプ段３ａ−３ｅからの微粒子をデフレクタ１４の保持凹部内に保持するのに寄与する。
シール装置６はまた、回転軸４に取り付けられ、かつデフレクタ１４が装着されているスリーブ１８を備えている（図３及び図７）。

スリーブ１８と回転軸４との間のシールは、回転軸４に形成された環状溝２０内の回転軸４に直列に取り付けられた少なくとも１つ、例えば２つのＯリング１９によって提供される（図３）。スリーブ１８は、回転軸４に保持され、この回転軸４は、例えば、スリーブ１８とステータ２１との間に挿入された初期応力のあるばね座金２２によって、そのベアリングに保持される。

スリーブ１８は、例えば、外径がデフレクタ１４の中央オリフィス１５に挿入されるのに適した第１の円筒形段部１８ａと、デフレクタ１４の軸方向ストップを形成する第２の円筒形段部１８ｂとを含む２段円筒形を有する（図３及び図７）。別の実施例によれば、スリーブ１８及びデフレクタ１４は、単一の部品で作られている。
リングシール１１のリップ１２ａ、１２ｂは、例えば、スリーブ１８の円筒形の第２の円筒形段部１８ｂをこする。リングシールの第１のリップ１２ａの一端は油溜め２の側に向けることができ、リングシールの第２のリップ１２ｂの一端はポンプ段３ｅの側に向けることができる。リップ１２ａ、１２ｂはまた、用途に応じて同じ方向、すなわち、油溜め２の側に向け、又はポンプ段３ｅの側に向けることもできる。

図１２の例では、セグメント化されたシールの相補的なリング１３ｂがスリーブ１８に形成されている。
スリーブ１８は、特に、デフレクタ１４を回転軸４に取り付けることを可能にする。
スリーブ１８は、例えば、鋼製であり、スリーブ１８の外面は、例えば、焼入れ及び／又は焼戻し等の熱処理と、それに続く研削操作によって形成することができる。この種の処理により、スリーブ１８の外面は、摩擦リングシール１１の動作の仕様に適合する表面状態及び硬度を得ることが可能になる。

本発明の一実施例によれば、環状端部１６を支える面の反対側でかつ油溜め２に面するデフレクタ１４の面１７は、デフレクタ１４の中心と同軸で、その頂点がポンプ段３ｅの側に位置する円錐台形状を有する（図２、図３、図４、図５）。
動作中、このデフレクタ１４の「再入可能」な円錐台形状は、回転中にデフレクタ１４に当たる潤滑油の飛沫の油溜め２への戻りをガイドする。

さらに、ステータ２１を、環状端部１６を支える面の反対側のデフレクタ１４の面１７の縁部から分離するために、回転軸心（Ｉ−Ｉ）に平行な方向に３ｍｍ未満の軸方向距離ｄａ、及び回転軸心（Ｉ−Ｉ）に垂直な方向に３ｍｍ未満の垂直距離ｄｖの間隙を設けることができる（図３）。

例えば、２つの隣接する円筒形の空洞が、ステータ２１内に設けられている。第１の円筒形空洞は、デフレクタ１４の直径と同じオーダーの大きさの直径を有し、その結果、垂直距離ｄｖは０．５ｍｍ未満である。隣接する第２の円筒形空洞は、デフレクタ１４を受け入れるものであり、より大きな直径を有する。ステータ２１をデフレクタ１４の面１７の縁部から分離する軸方向距離ｄａは、例えば、１ｍｍのオーダーである。このように形成された通路は、ステータ２１とデフレクタ１４との間が非常に狭い。これにより、複数の部品が互いに接触することなく各部品の相対的膨張を可能にする一方で、潤滑油のコンダクタンスを低くし、従って、デフレクタ１４を超えた潤滑油の移動を制限する。

回転軸４にこれと共に回転するように取り付けられたデフレクタ１４は、動作中、回転軸４と同じ回転速度で回転する。
デフレクタ１４の高速回転によって生じる遠心力及び油溜め２の反対側のデフレクタ１４の面１７の円錐台形状は、油溜め２から来てデフレクタ１４に向かう潤滑油を油溜め２に向かって反射させる。従って、ポンプ段３ｅへの潤滑油の移動が制限され、これにより、ポンプ段３ａ−３ｅにおける潤滑油の気密性を改善することが可能になる。

デフレクタ１４の環状端部１６は、ポンプ段３ａ−３ｅから来る微粒子又はダストを保持凹部内に保持し、従って、油溜め２への微粒子の移動を制限する。従って、油溜め２内の油の汚染を減らすことができ、これにより、ボールベアリング９の寿命を延ばし、油の消費を減らすことが可能になる。その結果、このようなデフレクタ１４を有する真空ポンプ１の１０００運転時間の後、３０％程度の油の消費の減少と、汚染微粒子が殆どない「透明な」油を観察することができた。
本実施例の方法で製作されたデフレクタ１４は、製造が簡単で安価である。また、様々なタイプの「ダイナミック」シール又は摩擦リングシール１１と互換性がある。

図９は、本発明の第２の実施例になるデフレクタ２４を示している。
この第２の実施例では、環状端部１６は、ラジアルリム２５を有している。このラジアルリム２５は、回転軸４の回転軸心（Ｉ−Ｉ）にほぼ垂直に延びている。これにより、デフレクタ２４によって保持凹部内に放射状に放出された微粒子及びダストを保持する能力をさらに向上させることができる。
これらの最初の２つの実施例では、環状端部１６を支持するディスクの面２３は、回転軸心（Ｉ−Ｉ）に垂直である。

図１０は、本発明のデフレクタ２６の第３の実施例を示すものである。このデフレクタは、デフレクタの環状端部１６を支持するディスクの面２７が、デフレクタ２６の中心と同軸であり、その頂点が油溜め２の側に位置する、一般的な円錐台形状を有する。
環状端部１６は、円筒形でもよく、上記例のようにラジアルリム２５を備えるか、又は図１０に示したような面取り形状等の他の形状を任意に選択することもできる。
動作中、デフレクタ２６の高速回転によって生成される遠心力及びデフレクタ２６のポンプ段３ｅに対向する側の面２７の円錐台形状は、ポンプ段３ｅから来てまだ保持凹部には閉じ込められていない微粒子やダストを、ポンプ段３ｅへ戻るようにガイドすることを可能にする。

図１１は、本発明のデフレクタ２８の第４の実施例を示している。
この実施例は、デフレクタ２８が環状端部１６を有していないという点で上記各実施例とは異なる。
この実施例では、デフレクタ２８のディスクは、デフレクタ２８の中心と同軸である円錐台形状を有する少なくとも１つの面１７、２９を含んでいる。
片方の面だけを円錐台の形状とし、もう一方の面は回転軸４の回転軸心（Ｉ−Ｉ）に垂直にすることもできる。
円錐台形状を有するデフレクタ２８の面２９は、例えば、ポンプ段３ｅに対向している面であり、その円錐形の頂点は、油溜め２の側に位置している。
円錐台形状を有するデフレクタ２８の面１７は、例えば、油溜め２に対向している面であり、その円錐台形状の頂点は、ポンプ段３ｅの側に位置している。
デフレクタ２８の両方の面を、円錐台形状とすることもできる（図１１）。

動作中、油溜め２に対向している面１７の円錐台形状は、油溜め２から来てデフレクタ２８に当たる可能性のある潤滑油の、油溜め２への戻りをガイドすることを可能にする。ポンプ段３ｅに対向している面２９の円錐台形状は、ポンプ段３ｅから来る微粒子又はダストの、ポンプ段３ｅへの戻りをガイドすることを可能にする。

１ ドライ真空ポンプ
２ 油溜め
３ ポンプ段
４ 回転軸
５ ロータ
６ 潤滑油のシール装置
７ 吸入口
８ 吐出口
９ ボールベアリング
１０ 油回収チャネル
１１ 摩擦リングシール
１２ａ リングシールの第１のリップ
１２ｂ リングシールの第２のリップ
１３ａ 固定リング
１３ｂ 相補リング
１４ ディスク状のデフレクタ
１５ 中央オリフィス
１６ 環状端部
１７ 油溜めに対向している面
１８ スリーブ
１９ Ｏリング
２０ 環状溝
２１ ステータ
２２ ばね座金
２３ ディスクの面
２４ ディスク状のデフレクタ
２５ ラジアルリム
２６ ディスク状のデフレクタ
２７ デフレクタの面
２８ デフレクタ
２９ デフレクタの面

Claims (13)

1. −少なくとも１つの油溜め（２）と、
   −少なくとも１つのポンプ段（３ａ−３ｅ）と、
   −夫々少なくとも１つの前記ポンプ段（３ａ−３ｅ）内に延びる少なくとも１つのロータ（５）を保持する、２つの回転軸（４）とを備えたドライ真空ポンプであって、
   前記ロータ（５）は、前記真空ポンプ（１）の吸入口（７）と吐出口（８）の間でガスをポンプ搬送するために、反対方向に同期して回転するように構成されており、
   前記回転軸（４）は、前記油溜めに含まれる潤滑油で潤滑されたベアリングによって支えられており、
   −各軸通路の前記油溜め（２）と前記ポンプ段（３ｅ）の間に挿入された少なくとも１つの潤滑油のシール装置（６）であって、前記シール装置（６）は、前記回転軸（４）にこれと共に回転するように取り付けられたほぼディスク状のデフレクタ（１４；２４；２６）を備えたものにおいて、
   前記デフレクタ（１４；２４；２６）のディスクは、その周囲に前記ポンプ段（３ｅ）に向かって延び、保持凹部を形成する１つの環状端部（１６）を有していることを特徴とするドライ真空ポンプ。
2. 前記環状端部（１６）は、前記回転軸（４）の回転軸心（Ｉ−Ｉ）と同軸の、ほぼ円筒形の形状をしていることを特徴とする請求項１に記載のドライ真空ポンプ。
3. 前記環状端部（１６）はラジアルリム（２５）を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のドライ真空ポンプ。
4. 前記シール装置（６）は、リングシール（１１）と、前記リングシール（１１）の周りに少なくとも部分的に延びる前記デフレクタ（１４；２４；２６）の前記環状端部（１６）とを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のドライ真空ポンプ。
5. 前記シール装置（６）は、前記回転軸（４）に取り付けられたスリーブ（１８）を含み、前記デフレクタ（１４；２４；２６）は、前記スリーブ（１８）に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のドライ真空ポンプ。
6. 前記スリーブ（１８）は、外径が前記デフレクタ（１４）の中央オリフィス（１５）に挿入するのに適した第１の円筒形段部（１８ａ）、及び前記デフレクタ（１４；２４；２６）の軸方向ストップを形成する第２の円筒形段部（１８ｂ）を含む、２段円筒形を有することを特徴とする請求項５に記載のドライ真空ポンプ。
7. 前記環状端部（１６）を支持する前記デフレクタ（２６）の面（２７）は、前記デフレクタ（２６）の中心と同軸であり、その頂点が前記油溜め（ ２）の側に位置していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のドライ真空ポンプ。
8. 前記デフレクタ（１４；２４；２６）は、前記環状端部（１６）を支持する面（２３； ２７）に対して反対側の面（１７）を含み、前記反対側の面は前記デフレクタ（１４；２４；２６）の中心と同軸で、その頂点が前記ポンプ段（３ｅ）の側にある、一般的な円錐台の形状をしていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のドライ真空ポンプ。
9. 前記真空ポンプ（１）のステータ（２１）を、前記デフレクタ（１４）の前記環状端部（１６）を支える面の反対側の面（１７）の縁部からから分離するために、３ｍｍ未満の軸方向距離ｄａ、及び３ｍｍ未満の垂直距離ｄｖの間隙を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のドライ真空ポンプ。
10. 前記シール装置（６）は、シングルリップ又はダブルリップ（１２ａ、１２ｂ）を備えたリング又はセグメント化されたシールのリングシール（１１）を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のドライ真空ポンプ。
11. −少なくとも１つの油溜め（２）と、
    −少なくとも１つのポンプ段（３ａ−３ｅ）と、
    −少なくとも１つの前記ポンプ段（３ａ−３ｅ）内に延びる少なくとも１つのロータ（５）を夫々保持する２つの回転軸（４）とを備えたドライ真空ポンプであって、
    前記ロータ（５）は、前記真空ポンプ（１）の吸入口（７）と吐出口（８）の間でガスをポンプ搬送するために反対方向に同期して回転するように構成されており、
    前記回転軸（４）は、前記油溜め（２）に含まれる潤滑油で潤滑されたベアリングによって支えられており、
    各軸通路の前記油溜め（２）と前記ポンプ段（３ｅ）の間に挿入された少なくとも１つの潤滑油のシール装置（６）を備え、
    前記シール装置（６）は、前記回転軸（４）にこれと共に回転するように取り付けられたほぼディスク状のデフレクタ（２８）を備えたものにおいて、
    前記デフレクタ（２８）のディスクは、前記デフレクタ（２８）の中心と同軸の、円錐台形状を有する少なくとも１つの面（１７、２９）を含むことを特徴とするドライ真空ポンプ。
12. 前記デフレクタ（２８）の１つの面（２９）は円錐台形状であり、前記ポンプ段（３ｅ）に面しており、この円錐台形状の先端は、前記油溜め（２）の側に位置していることを特徴とする請求項１１に記載のドライ真空ポンプ。
13. 前記デフレクタ（２８）の他の面（１７）は円錐台形状であり、前記油溜め（２）に対向する面であり、この円錐台形状の先端は、前記ポンプ段（３ｅ）の側に位置していることを特徴とする請求項１１又は１２に記載のドライ真空ポンプ。

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