TWI788526B - 乾式真空泵 - Google Patents

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史黛芬 克羅契
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法商普發真空公司
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Abstract

本發明關於一種乾式真空泵(1)，其包含：至少一油坑(2)；至少一泵送區段(3a~3e)；二個旋轉軸桿(4)，分別保持至少一轉子(5)，且在該至少一泵送區段(3a~3e)內延伸，該等轉子(5)被建構用於以同步的方式在相反的方向中旋轉，以在該真空泵(1)的入口和出口之間帶動待被泵送的氣體，該等軸桿(4)被複數軸承所支撐，藉由容置在該油坑(2)內的潤滑劑來潤滑該等軸承；至少一潤滑劑密封裝置(6)，其被插置在該油坑(2)和泵送區段(3e)之間的每一軸桿路徑，該密封裝置(6)包括大致碟狀偏斜器(14)，該偏斜器被安裝在軸桿(4)上，以藉此旋轉；其特徵在於該偏斜器(14)的該碟具有在其周圍上的環狀末端(16)，該環狀末端朝向該泵送區段(3e)延伸，形成保持凹部。

Description

乾式真空泵
本發明關於一種乾式真空泵，例如魯式泵、爪式泵、螺桿泵，特別是關於真空泵的潤滑劑密封性。
乾式粗級真空泵包含一或多個串聯的泵送區段，其中待被泵送的氣體在入口和出口之間流動。習知的粗級真空泵、爪式泵、和螺桿泵之間有所不同。旋轉葉片泵亦稱為魯式泵，其具有二或更多個葉片。在高流量的情況中，魯式吹送器真空泵被使用在粗級真空泵的上游，以增加泵送量。因為在作業期間，複數轉子在靜子(stator)內側旋轉，複數轉子之間或轉子和靜子之間沒有任何的機械式接觸，以致於在泵送區段中可不使用油，因此這些真空泵被稱作「乾式」。 旋轉軸桿被滾珠軸承支撐著，用油來潤滑滾珠軸承。在作業期間，軸桿在軸承內的旋轉產生污染物，例如油滴。當油滴受到壓力變化時，油滴會朝向泵送區段遷移。但是在所謂「乾式」應用(例如半導體基板製造製程)的泵送區段中，非常重要的要求是沒有油跡。因此必須藉由密封機構來將被潤滑的軸承隔離在乾式泵送區段之外，且軸桿穿過密封機構仍然能夠旋轉。 所使用的密封機構主要包括實體的阻礙物，例如在軸承上的凸緣、摩擦接頭、射出器碟、氣體排泄器、油捕捉器(例如膨脹和冷凝室)、或障礙物(例如曲徑式密封和急彎道)。這些解決方案主要是企圖阻擋或限制油的遷移。但是在作業期間，施加在真空泵內的壓力會大幅地波動，並在被潤滑的軸承和泵送區段之間產生推進力，此推進力會將汙染物顆粒從泵送區段帶到油坑，且將油霧或蒸汽從軸承帶到泵送區段，特別是在氣體容積被週期性地排空的應用中。 特別企圖限制固體或氣體顆粒從泵送區段或摩擦接頭遷移至油坑，因為這些顆粒有時候具有磨蝕作用，其導致減損潤滑性質，此導致例如滾珠軸承之過早的摩耗。
因此本發明的目的在於提出一種乾式真空泵，其至少局部解決先前技藝的缺點。 為了此目的，本發明關於一種乾式真空泵，其包含：至少一油坑；至少一泵送區段；二個旋轉軸桿，分別保持至少一轉子，且在該至少一泵送區段內延伸，該等轉子被建構用於以同步的方式在相反的方向中旋轉，以在該真空泵的入口和出口之間帶動待被泵送的氣體，該等軸桿被複數軸承所支撐，藉由容置在該油坑內的潤滑劑來潤滑該等軸承；至少一潤滑劑密封裝置，其被插置在該油坑和泵送區段之間的每一軸桿路徑，該密封裝置包括大致碟狀偏斜器，該偏斜器被安裝在軸桿上，以藉此旋轉；其特徵在於該偏斜器的該碟具有在其周圍上的環狀末端，該環狀末端朝向該泵送區段延伸，形成保持凹部。 偏斜器的保持凹部可將可能來自真空泵之泵送區段、或來自摩擦接頭的任何顆粒或灰塵保持住，並藉由偏斜器將顆粒或灰塵徑向投擲出去。因此限制顆粒朝向滾珠軸承或油坑前進。 然後可增加軸承的壽命，並減少油被汙染，此可減少油的消耗。在含有此種偏斜器之真空泵操作1000小時之後，可看到油耗減少的等級為百分之30和幾乎完全沒有汙染顆粒的「乾淨」油。 以此種方式建構之偏斜器，其製造簡單且不昂貴。此外，此偏斜器可和不同類型之密封裝置的「動態」或摩擦環狀密封相容。 真空泵可包含單一油坑。此油坑可被配置在多區段(多級)真空泵上緊接在所謂低壓泵送區段之後、或緊接在所謂高壓泵送區段之後。在另一側，可用油脂潤滑軸承。 真空泵也可包含兩個油坑。這些油坑分別被配置在真空泵的一端。亦即兩個油坑中的一者在多區段(多級)真空泵上緊接在所謂高壓區段之後，且兩個油坑中的一者緊接在所謂低壓區段之後。在單一區段真空泵上，例如魯式吹送器真空泵，複數油坑被配置在單一泵送區段的每一側上。 環狀末端可具有任何形狀，其可為斜面狀。 依據一實施例，環狀末端具有大致筒狀，其和該軸桿的旋轉軸線同軸。 環狀末端也可具有徑向緣。徑向緣可改善保持凹部對顆粒或灰塵的保持能力。 密封裝置可包括環狀密封，例如摩擦環狀密封或動態密封。摩擦環狀密封例如包括單一唇部環或雙唇部環。動態密封例如包括分段式密封。 依據一實施例，偏斜器的該環狀末端至少局部圍繞該環狀密封而延伸。 依據一實施例，密封裝置包括安裝在該軸桿上的套筒，該偏斜器被安裝在該套筒上。 套筒具有例如筒狀的兩區段；其包括第一筒狀區段和第二筒狀區段；該第一筒狀區段的外徑適於被插入該偏斜器的中心孔內，該第二筒狀區段形成用於該偏斜器的軸向阻擋部。 碟之支承環狀末端的面可垂直於軸桿的旋轉軸線。依據另一實施例，偏斜器之支承該環狀末端的面具有大致截頭圓錐形，其和該偏斜器的中心同軸，且該截頭圓錐形的頂點位在該油坑的那一側上。此截頭圓錐形可將可能來自泵送區段且未被侷限在保持凹部內之任何顆粒或灰塵引導返回至泵送區段。 碟之和支承環狀末端的面相背的面可垂直於軸桿的旋轉軸線。依據另一實施例，和支承該環狀末端之面相背的面具有截頭圓錐形，其和該偏斜器的中心同軸，且該截頭圓錐形的頂點位在該泵送區段的那一側上。偏斜器的此截頭圓錐形在旋轉中可將潤滑劑飛濺而撞擊偏斜器的任何液滴引導返回至油坑。 此外，預留小於3毫米的軸向距離和小於3毫米的直立距離，以使真空泵的靜子和偏斜器之與支承環狀末端的面相背的面之邊緣彼此分離。因此靜子和偏斜器之間所形成的路徑非常狹窄。此允許各零件的相對膨脹，且各零件不會彼此接觸，同時對潤滑劑產生低的傳導性，因此限制潤滑劑遷移超越偏斜器。 本發明也關於一種乾式真空泵，其包含：至少一油坑；至少一泵送區段；二個旋轉軸桿，分別保持至少一轉子，且在該至少一泵送區段內延伸，該等轉子被建構用於以同步的方式在相反的方向中旋轉，以在該真空泵的入口和出口之間帶動待被泵送的氣體，該等軸桿被複數軸承所支撐，藉由容置在該油坑內的潤滑劑來潤滑該等軸承；至少一潤滑劑密封裝置，其被插置在該油坑和泵送區段之間的每一軸桿路徑，該密封裝置包括大致碟狀偏斜器，該偏斜器被安裝在軸桿上，以藉此旋轉；其特徵在於該偏斜器的該碟包括至少一面，其具有截頭圓錐形，該截頭圓錐形和該偏斜器的中心同軸。 偏斜器之具有截頭圓錐形的一個面可為和泵送區段相背的面，該截頭圓錐形的頂點位在該油坑的那一側上。此截頭圓錐形可將可能來自泵送區段的任何顆粒或灰塵引導返回泵送區段。 偏斜器之具有截頭圓錐形的一個面可為和該油坑相對的面，該截頭圓錐形的頂點位在該泵送區段的那一側上。在作業期間，偏斜器的「凹入」截頭圓錐形在旋轉中可將潤滑劑飛濺而撞擊偏斜器的任何液滴引導返回至油坑。 偏斜器可兩個面都具有截頭圓錐形。
在圖式中，相同的元件具有相同的參考數字。為了容易瞭解，所以簡化了圖式中的圖案。 下述的多個實施例是範例。雖然描述說明指向一或多個實施例，但是此並不必然意涵每一指向和同一實施例有關，也不必然意涵該等特徵只應用於單一實施例。不同實施例的單純特徵也可被組合或互換，以提供其它的實施例。 圖1顯示乾式真空泵1。 真空泵1包含至少一油坑2、至少一泵送區段3a~3e、二個旋轉軸桿4、和至少一潤滑劑密封裝置6。該潤滑劑密封裝置6被插置在油坑2和泵送區段3e之間。 該等軸桿4分別保持至少一個轉子5，且在至少一泵送區段3a~3e內延伸。 在例示的範例中，真空泵1包含數個(例如5個)泵送區段3a、3b、3c、3d、3e，其在真空泵1的入口7和出口8之間以串聯方式安裝，且待泵送的氣體可在其內流動。在本範例中，鄰近密封裝置6的泵送區段3e是最後的泵送區段3e(在此稱為「高壓」泵送區段，因為其被建構用於以大氣壓力排出被泵送的氣體)。 每一泵送區段3a、3b、3c、3d、3e包含各別的輸入埠和輸出埠。藉由兩區段之間的各別通道，將接續的泵送區段3a~3e以串聯的方式一個接一個地連接。該等各別通道將前一泵送區段的輸出埠連接至下一泵送區段的輸入埠。 複數轉子5包括具有相同輪廓的複數葉片，例如魯式(8字形或豆莢形剖面)或爪形。轉子5也可為螺桿轉子、或基於另一類似的正向位移真空泵原理。 具有相同輪廓之葉片的轉子5彎曲偏移。該等轉子5被驅動，以致於在每一區段中以相反方向同步旋轉，以帶動在入口7和出口8之間的待被泵送之氣體。在旋轉期間，從輸入埠引進來的氣體被侷限在轉子5和靜子所產生的空間內，然後該氣體被轉子5帶至下一區段。 真空泵1例如是粗級真空泵，因此真空泵1的排出壓力是大氣壓力。依據另一範例，真空泵1是魯式泵，又稱為魯式吹氣器，其被用於串聯在粗級真空泵的上游。 藉由真空泵1的馬達M來驅動軸桿4。該馬達例如設置在出口8的那一側。軸桿4被軸承支撐著，軸承被含在油坑2內的潤滑劑所潤滑。潤滑劑(例如油)特別是能夠潤滑齒輪和軸承中的滾珠軸承9(圖2)。 潤滑劑密封裝置6被插在每一軸桿路徑的油坑2和泵送區段3e之間。因此在驅動軸桿4上有密封裝置6，且在被動軸桿4有密封裝置。 如同圖2可清楚看到者，密封裝置6可包括至少一環狀密封11。 環狀密封11例如包括「動態」密封，亦即非摩擦密封，例如分段式密封、曲徑式密封、或急彎道、或氣體「壁」、或摩擦環密封(例如唇形密封)、或這些實施例的組合。環狀密封11在旋轉軸桿4的周圍產生非常低的傳導性，此能大大地限制潤滑劑從油坑2至乾式泵送區段3a~3e的路徑，也能大大地限制潤滑劑從乾式泵送區段3a~3e至油坑2的路徑，同時允許軸桿4旋轉。 在圖1至圖11所示的範例中，環狀密封11是摩擦密封。 摩擦環狀密封11例如包括具有兩個唇部12a、12b的環(圖3)。 圖12顯示另一範例，其中的環狀密封11是動態密封，其包含分段式密封。 分段式密封包括剛性地安裝在靜子21內的一或更多的環13a。互補環13b安裝在軸桿4上。固定的環13a和互補環13b之間被小餘隙隔開，以允許兩者可相對旋轉，此提供在軸桿路徑的密封。 密封裝置6也包括被安裝在軸桿4上之大致碟狀的偏斜器14，以藉此旋轉(圖2、3、4)。該碟具有用於安裝在軸桿4的中心孔15。偏斜器14快速旋轉所產生的離心力限制油朝向環狀密封11前進。 靜子21內可設有油收回通道10，以使潤滑劑返回油坑2(圖2)。至油收回通道10的入口例如設在和偏斜器14相對且在靜子21的下部份。例如第一油收回通道10和驅動軸桿4的偏斜器14相對，且第二油收回通道10和被動軸桿4的偏斜器14相對。 偏斜器14的碟也可具有在其周圍上的環狀末端16。該環狀末端16朝泵送區段3e延伸，形成保持凹部。該保持凹部可將可能來自真空泵1之泵送區段3a~3e、或來自摩擦環狀密封11的任何顆粒或灰塵保持住，且藉由偏斜器14的面23徑向逐出或射出該等顆粒或灰塵。因此防止顆粒朝向軸承9或油坑2遷移。 偏斜器14例如由鋼製成。 依據第一實施例，環狀末端16具有大致的筒形，且和軸桿4的旋轉軸線I-I同軸(圖2、5、6)。因此環狀末端16垂直於偏斜器14的碟且在平行於旋轉軸線I-I的方向延伸。因此保持凹部大致呈筒狀。 依據一個實施例，偏斜器14的環狀末端16至少局部圍繞著設在偏斜器14和泵送區段3e之間的環狀密封11而延伸(圖2和圖3)。換言之，環狀末端16至少局部覆蓋環狀密封11。 在圖2和圖3所示的範例中，環狀密封11局部脫離真空泵1之靜子21的凹穴，環的背部例如被嵌入該凹穴內。環狀密封11的環例如具有近似平行六面體的剖面。因此可在靜子21和偏斜器14的環狀末端16之間、及在偏斜器14的保持凹部和環狀密封11的固定部之間形成急彎道。 在圖12所示的範例中，環狀密封11的凸出形狀突伸進入偏斜器14的保持凹部內。該凸出形狀是由在分段式密封之固定部處的靜子21所形成(圖12)。 此急彎道幫助將來自泵送區段3a~3e的顆粒保持在偏斜器14的保持凹部內。 密封裝置6也可包含安裝在軸桿4上的套筒18。偏斜器14被安裝在套筒18上(圖3和圖7)。 藉由至少一個(例如兩個)O形環19來提供套筒18和軸桿4之間的密封。該等O形環19以串聯方式安裝在軸桿4上，且在軸桿4的環狀槽20內(圖3)。套筒18被保持在軸桿4上，且例如藉由插在套筒18和靜子21之間的預壓彈簧墊圈22將軸桿4保持在其軸承內。 套筒18具有例如筒狀的兩區段，包括第一筒狀區段18a和第二筒狀區段18b。第一筒狀區段18a的外徑適於被插入偏斜器14的中心孔15內。第二筒狀區段18b形成用於偏斜器14的軸向阻擋部(圖3和圖7)。依據另一實施例，套筒18和偏斜器14被製成在單一構件內。 環狀密封11的唇部12a、12b例如壓抵在套筒18的第二筒狀區段18b上。第一唇部12a的一端可被朝向油坑2定向，第二唇部12b的一端可被朝向泵送區段3e定向。唇部12a、12b也可因需要而被定向在相同的方向中，朝向油坑2或朝向泵送區段3e。 在圖12的範例中，分段式密封的互補環13b被形成在套筒18內。 特別地，套筒18可將偏斜器14安裝在軸桿4上。 套筒18例如由鋼製成，且套筒18的外表面在研磨作業之後可例如經由熱處理來處理過，譬如淬火和/或回火。此類型的處理可獲得和摩擦環狀密封11之作業規格相容的表面狀態和硬度。 依據一個實施例，偏斜器14之面對油坑2的面17和支承環狀末端16的面相背。面17具有截頭圓錐形；該截頭圓錐形和偏斜器14的中心同軸，且截頭圓錐形的頂點位在泵送區段3e的那一側上(圖2、3、4、5)。 在作業期間，偏斜器14的「凹入」截頭圓錐形將潤滑劑在旋轉中飛濺而撞擊偏斜器14的任何液滴引導返回至油坑2。 此外，在平行於旋轉軸線I-I之方向中預留小於3毫米的軸向距離da ，在垂直於旋轉軸線I-I之方向中預留小於3毫米的直立距離dv ，以使靜子21和偏斜器14之面17的邊緣彼此分離。面17和支承環狀末端16的面相背(圖3)。 例如靜子21內設有兩個相鄰的筒狀凹穴。第一筒狀凹穴具有和偏斜器14之直徑大小相同等級的直徑，以致於直立距離dv 小於0.5毫米。用於容置偏斜器14之相鄰的第二筒狀凹穴具有較大的直徑。將靜子21和偏斜器14之面17的邊緣彼此分離的軸向距離da 例如為1毫米等級。因此在靜子21和偏斜器14之間所形成的路徑非常狹窄。此允許各零件的相對膨脹，而不會造成各零件彼此接觸，同時對潤滑劑產生低的傳導性，因此限制潤滑劑遷移超越偏斜器14。 安裝在軸桿4上藉此旋轉的偏斜器14，在作業期間以和軸桿4相同的旋轉速率旋轉。 偏斜器14快速旋轉所產生的離心力和偏斜器14之與油坑2相對之面17的截頭圓錐形，將可能來自油坑2且撞擊偏斜器14的任何潤滑劑，朝向油坑2噴射。因此限制了潤滑劑朝向泵送區段3e的前進，此可改善在泵送區段3a~3e內的潤滑劑密封性。 偏斜器14的環狀末端16將可能來自泵送區段3a~3e的任何顆粒和灰塵保持在保持凹部內，因此限制顆粒朝向油坑2前進。因此可減少油坑2內之油的汙染，此可增加滾珠軸承9的壽命，並減少油的消耗。因此在含有此種偏斜器14之真空泵1操作1000小時之後，可看到油耗減少的等級為百分之30和幾乎完全沒有汙染顆粒的「乾淨」油。 以此種方式建構之偏斜器14，其製造簡單且不昂貴。此偏斜器14可和不同類型的「動態」或摩擦環狀密封11相容。 圖9顯示第二實施例的偏斜器24。 在此第二實施例中，環狀末端16具有徑向緣25。徑向緣25幾近垂直於軸桿4的旋轉軸線I-I延伸。此可改善將被偏斜器24徑向射出的顆粒和灰塵保持在保持凹部內的能力。 在第一和第二實施例中，碟之支承環狀末端16的面23垂直於旋轉軸線I-I。 圖10顯示第三實施例的偏斜器26，其中碟之支承環狀末端16的面27具有大致截頭圓錐形；該截頭圓錐形和偏斜器26的中心同軸，且截頭圓錐形的頂點位在油坑2的那一側上。 環狀末端16可為筒狀，選擇性地設有如同上述範例的徑向緣25。該徑向緣25也可具有其它形狀，例如圖10所示的斜面形。 在作業期間，偏斜器26之快速旋轉所產生的離心力和偏斜器26之與泵送區段3e相對的面27之截頭圓錐形，可將可能來自泵送區段3e而未被侷限在保持凹部內的任何顆粒或灰塵引導返回至泵送區段3e。 圖11顯示偏斜器28的第四實施例。 此實施例不同於上述的實施例，因為偏斜器28不具有環狀末端16。 在此範例中，偏斜器28的碟包括至少一個面17、29。面17、29具有截頭圓錐形，該截頭圓錐形和偏斜器28的中心同軸。 只有一個面可具有截頭圓錐形，另一個面可垂直於軸桿4的旋轉軸線I-I。 偏斜器28之具有截頭圓錐形的面29例如是和泵送區段3e相對的面。截頭圓錐形的頂點位在油坑2那一側。 偏斜器28之具有截頭圓錐形的面17例如是和油坑2相對的面。截頭圓錐形的頂點位在泵送區段3e那一側。 偏斜器28的兩個面可都具有截頭圓錐形(圖11)。 在作業期間，和油坑2相對之面17的截頭圓錐形，可將可能來自油坑2且撞擊偏斜器28的任何潤滑劑引導返回至油坑2。和泵送區段3e相對之面29的截頭圓錐形，可將可能來自泵送區段3e的任何顆粒或灰塵引導返回至泵送區段3e。
1‧‧‧真空泵 2‧‧‧油坑 3a~3e‧‧‧泵送區段 4‧‧‧旋轉軸桿 5‧‧‧轉子 6‧‧‧(潤滑劑)密封裝置 7‧‧‧入口 8‧‧‧出口 9‧‧‧滾珠軸承 10‧‧‧油收回通道 11‧‧‧環狀密封 12a‧‧‧唇部 12b‧‧‧唇部 13‧‧‧面 13a‧‧‧環 13b‧‧‧互補環 14‧‧‧偏斜器 15‧‧‧中心孔 16‧‧‧環狀末端 18‧‧‧套筒 18a‧‧‧第一筒狀區段 18b‧‧‧第二筒狀區段 19‧‧‧O形環 20‧‧‧環狀槽 21‧‧‧靜子 22‧‧‧(預壓彈簧)墊圈 24‧‧‧偏斜器 25‧‧‧徑向緣 26‧‧‧偏斜器 27‧‧‧面 28‧‧‧偏斜器 29‧‧‧面 da‧‧‧軸向距離 dv‧‧‧直立距離 I-I‧‧‧旋轉軸線 M‧‧‧馬達
在閱讀本發明的實施方式和附圖時，將可清楚瞭解進一步的優點和特徵。 圖1顯示乾式真空泵之範例的輪廓化視圖； 圖2顯示圖1之真空泵的一部份之局部剖視圖，特別顯示密封裝置； 圖3顯示圖2之密封裝置的細部放大視圖； 圖4顯示圖2之密封裝置的偏斜器之透視圖； 圖5顯示圖4之偏斜器的剖視圖； 圖6顯示圖5之細部放大視圖； 圖7顯示圖2之密封裝置的套筒之透視圖； 圖8顯示圖7之套筒的剖視圖； 圖9顯示第二實施例之偏斜器類似於圖3的視圖； 圖10顯示第三實施例之偏斜器類似於圖3的視圖； 圖11顯示第四實施例之偏斜器類似於圖3的視圖； 圖12顯示第二實施例之環狀密封類似於圖3的視圖。
1‧‧‧真空泵
2‧‧‧油坑
3d、3e‧‧‧泵送區段
4‧‧‧旋轉軸桿
5‧‧‧轉子
6‧‧‧(潤滑劑)密封裝置
9‧‧‧滾珠軸承
10‧‧‧油收回通道
11‧‧‧環狀密封
14‧‧‧偏斜器
16‧‧‧環狀末端
17‧‧‧面
18‧‧‧套筒
19‧‧‧O形環
20‧‧‧環狀槽
21‧‧‧靜子
22‧‧‧(預壓彈簧)墊圈
23‧‧‧面
I-I‧‧‧旋轉軸線

Claims (10)

  1. 一種乾式真空泵(1)，包含：至少一油坑(2)；至少一泵送區段(3a~3e)；二個旋轉軸桿(4)，分別保持至少一轉子(5)，且在該至少一泵送區段(3a~3e)內延伸，該等轉子(5)被建構用於以同步的方式在相反的方向中旋轉，以在該真空泵(1)的入口(7)和出口(8)之間帶動待被泵送的氣體，該等軸桿(4)被複數軸承所支撐，藉由容置在該油坑(2)內的潤滑劑來潤滑該等軸承；至少一潤滑劑密封裝置(6)，其被插置在該油坑(2)和泵送區段(3e)之間的每一軸桿路徑，該密封裝置(6)包括大致碟狀偏斜器(14；24；26)，該偏斜器被安裝在軸桿(4)上，以藉此與之一起旋轉；其特徵在於該偏斜器(14；24；26)的該碟具有在其周圍上的環狀末端(16)，該環狀末端朝向該泵送區段(3e)延伸，形成保持凹部；和該偏斜器(14；24；26)包括和支承該環狀末端(16)之面(23；27)相背的面(17)，該面(17)具有大致截頭圓錐形，其和該偏斜器(14；24；26)的中心同軸，且該截頭圓錐形的頂點位在該泵送區段(3e)的那一側上。
  2. 如申請專利範圍第1項之乾式真空泵(1)，其中該環狀 末端(16)具有大致筒狀，其和該軸桿(4)的旋轉軸線(I-I)同軸。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之乾式真空泵(1)，其中該環狀末端(16)具有徑向緣(25)。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之乾式真空泵(1)，其中該密封裝置(6)包括環狀密封(11)，該偏斜器(14；24；26)的該環狀末端(16)至少局部圍繞該環狀密封(11)而延伸。
  5. 如申請專利範圍第1或2項之乾式真空泵(1)，其中該密封裝置(6)包括安裝在該軸桿(4)上的套筒(18)，該偏斜器(14；24；26)被安裝在該套筒(18)上。
  6. 如申請專利範圍第5項之乾式真空泵(1)，其中該套筒(18)具有筒狀的兩區段；其包括第一筒狀區段(18a)和第二筒狀區段(18b)；該第一筒狀區段(18a)的外徑適於被插入該偏斜器(14)的中心孔(15)內，該第二筒狀區段(18b)形成用於該偏斜器(14；24；26)的軸向阻擋部。
  7. 如申請專利範圍第1或2項之乾式真空泵(1)，其中該偏斜器(26)之支承該環狀末端(16)的面(27)具有大致截頭圓錐形，其和該偏斜器(26)的中心同軸，且該截頭圓錐形的頂點位在該油坑(2)的那一側上。
  8. 如申請專利範圍第1或2項之乾式真空泵(1)，其中該真空泵(1)的靜子(21)和該偏斜器(14；24；26)之面(17)的邊緣以小於3毫米的軸向距離(da)和小於3毫米的直立距離(dv)分開，該面(17)和支承該環狀末端(16)之該面(23；27)相背。
  9. 如申請專利範圍第1或2項之乾式真空泵(1)，其中該密封裝置(6)包含環狀密封(11)。
  10. 一種乾式真空泵(1)，包含：至少一油坑(2)；至少一泵送區段(3a~3e)；二個旋轉軸桿(4)，分別保持至少一轉子(5)，且在該至少一泵送區段(3a~3e)內延伸，該等轉子(5)被建構用於以同步的方式在相反的方向中旋轉，以在該真空泵(1)的入口(7)和出口(8)之間帶動待被泵送的氣體，該等軸桿(4)被複數軸承所支撐，藉由容置在該油坑(2)內的潤滑劑來潤滑該等軸承；至少一潤滑劑密封裝置(6)，其被插置在該油坑(2)和泵送區段(3e)之間的每一軸桿路徑，該密封裝置(6)包括大致碟狀偏斜器(28)，該偏斜器被安裝在軸桿(4)上，以藉此與之一起旋轉；其特徵在於該偏斜器(28)的該碟包括： 具有第一截頭圓錐形的第一面(29)，該第一面(29)面對該泵送區段(3e)且和該偏斜器(28)的中心同軸，該第一截頭圓錐形的頂點位在該油坑(2)的那一側上；及具有第二截頭圓錐形的第二面(17)，第二面(17)和該油坑(2)相對且和該偏斜器(28)的該中心同軸，該第二截頭圓錐形的頂點位在該泵送區段(3e)的那一側上。
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