JPH07111175B2 - 回転型真空ポンプの密封装置 - Google Patents
回転型真空ポンプの密封装置Info
- Publication number
- JPH07111175B2 JPH07111175B2 JP61026882A JP2688286A JPH07111175B2 JP H07111175 B2 JPH07111175 B2 JP H07111175B2 JP 61026882 A JP61026882 A JP 61026882A JP 2688286 A JP2688286 A JP 2688286A JP H07111175 B2 JPH07111175 B2 JP H07111175B2
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- JP
- Japan
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- chamber
- oil
- seal
- lubricant
- shaker plate
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- Compressor (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えばメカニカルブースターポンプやターボ
分子ポンプ等の封液を用いない回転型真空ポンプの、特
にポンプ室と潤滑室との間の密封装置に関する。
分子ポンプ等の封液を用いない回転型真空ポンプの、特
にポンプ室と潤滑室との間の密封装置に関する。
（従来の技術） 従来、封液を用いない、メカニカルブースターポンプや
ターボ分子ポンプ等の回転型真空ポンプの基本構造の一
つは、第２図に示すように、ポンプ室１の内部に、回転
軸２の取付けられたロータ３が内蔵されており、該回転
軸２は、ポンプ室１の両側に設けられた両軸受4,4によ
つて支持され、また多軸の場合、潤滑室５に収納された
同期駆動歯車6,7によつて互いに同期して駆動されるよ
うになつている。
ターボ分子ポンプ等の回転型真空ポンプの基本構造の一
つは、第２図に示すように、ポンプ室１の内部に、回転
軸２の取付けられたロータ３が内蔵されており、該回転
軸２は、ポンプ室１の両側に設けられた両軸受4,4によ
つて支持され、また多軸の場合、潤滑室５に収納された
同期駆動歯車6,7によつて互いに同期して駆動されるよ
うになつている。
そしてポンプ室１と潤滑室５との間には、密封装置8,8
が設けられており、該密封装置８には、ラビリンスシー
ルやねじシール等との隙間シール或いは、オイルシー
ル，メカニカルシール，磁性流体シール等の接触型密封
シールが用いられている。
が設けられており、該密封装置８には、ラビリンスシー
ルやねじシール等との隙間シール或いは、オイルシー
ル，メカニカルシール，磁性流体シール等の接触型密封
シールが用いられている。
回転軸２を、その一端に連結された図示しない駆動モー
タによつて駆動すると、ロータ３は回転され、被排気室
に連通された吸気口９よりガスを吸入し、通常大気側に
連通された排気口10より吐出し、真空ポンプ作用が行わ
れる。
タによつて駆動すると、ロータ３は回転され、被排気室
に連通された吸気口９よりガスを吸入し、通常大気側に
連通された排気口10より吐出し、真空ポンプ作用が行わ
れる。
第３図は、もう一つの基本構造を示す回転型真空ポンプ
の第２図と同様の図面であつて、同類部分には同一符号
が用いられている。このものではロータ３は、ポンプ室
１の片側に設けられた２個の軸受4,4によつて支持され
ており、ポンプ室１と潤滑室５との間には、密封装置８
が設けられている。
の第２図と同様の図面であつて、同類部分には同一符号
が用いられている。このものではロータ３は、ポンプ室
１の片側に設けられた２個の軸受4,4によつて支持され
ており、ポンプ室１と潤滑室５との間には、密封装置８
が設けられている。
（発明が解決しようとする問題点） 上記した従来の回転型真空ポンプにおいては、ポンプ室
１と潤滑室５を貫通する回転軸２の密封装置として、前
記したA.隙間シールとB.接触型密封シールの二つの密封
方式が採用されていた。
１と潤滑室５を貫通する回転軸２の密封装置として、前
記したA.隙間シールとB.接触型密封シールの二つの密封
方式が採用されていた。
ところが、これらの二つの密封方式には、次のような欠
点があつた。即ち、A.隙間シールにおいては、 （ｉ） ポンプ１と潤滑室５が隙間で連がつているた
め、潤滑室５の油が隙間を通つてポンプ室１に漏れる。
点があつた。即ち、A.隙間シールにおいては、 （ｉ） ポンプ１と潤滑室５が隙間で連がつているた
め、潤滑室５の油が隙間を通つてポンプ室１に漏れる。
（ii） 潤滑室内が、吸入側と吐出側の中間圧力になる
ため、潤滑室が逆流経路となりポンプ効率が低下する。
ため、潤滑室が逆流経路となりポンプ効率が低下する。
（iii） 排気気体中の粉体、ごみ、気相の活性物質が
潤滑室に入り、軸受、同期駆動ギア、潤滑油の機能低下
を招く。
潤滑室に入り、軸受、同期駆動ギア、潤滑油の機能低下
を招く。
また、B.接触型密封シールにおいては、 （ｉ） 潤滑剤を使用したシールのため、シールの潤滑
剤（油、グリース、磁性流体等）がポンプ室に漏れる。
剤（油、グリース、磁性流体等）がポンプ室に漏れる。
（ii） 潤滑剤の供給機構が必要となる。
（iii） シールの摩擦や潤滑剤のせん断等による機械
ロス（損失）が大きく、動力が大きくなる。
ロス（損失）が大きく、動力が大きくなる。
（iv） 潤滑剤の熱分解生成物が発生し、ポンプ室を汚
染する。
染する。
また、上記のように潤滑剤や潤滑剤の熱分解生成物によ
り、ポンプ室が汚染されると、次にような、即ち （ｉ） 排気系全体を汚染することになる。
り、ポンプ室が汚染されると、次にような、即ち （ｉ） 排気系全体を汚染することになる。
（ii） ポンプ室壁やロータ表面に粉体、ごみ等が付着
し易くなつて、カジリによるポンプ停止が起こつたり、
性能変化が起こつたりする。
し易くなつて、カジリによるポンプ停止が起こつたり、
性能変化が起こつたりする。
（iii） 潤滑剤と排気気体とが反応し、別物質が生成
する。
する。
などの問題点があつた。
（問題点を解決するための手段） 本発明は上記した従来技術の欠点や問題点を解決するた
めに、ポンプ室と潤滑室との間に、回転軸と共に回転す
る油振り切り板を内蔵した油振り切り板室を設けた封液
を用いない回転型真空ポンプにおいて、上記油振り切り
板室とポンプ室との間に潤滑剤不要の密封シールを設
け、上記油振り切り板室の密封シール側の壁面に、環状
の油戻し溝を設けて該油振り切り板室の壁面に付着した
油を該潤滑剤不要の密封シールに到達させないように構
成し、上記油振り切り板室を、油戻り通路を経て潤滑室
に連通さたことを特徴としている。
めに、ポンプ室と潤滑室との間に、回転軸と共に回転す
る油振り切り板を内蔵した油振り切り板室を設けた封液
を用いない回転型真空ポンプにおいて、上記油振り切り
板室とポンプ室との間に潤滑剤不要の密封シールを設
け、上記油振り切り板室の密封シール側の壁面に、環状
の油戻し溝を設けて該油振り切り板室の壁面に付着した
油を該潤滑剤不要の密封シールに到達させないように構
成し、上記油振り切り板室を、油戻り通路を経て潤滑室
に連通さたことを特徴としている。
なお、実施に当っては、上記潤滑剤不要の密封シールを
オイルシール形状に形成し、軸との接触部にテフロン等
の耐熱、自己潤滑、耐摩耗性の樹脂を附着させるのが望
ましい。
オイルシール形状に形成し、軸との接触部にテフロン等
の耐熱、自己潤滑、耐摩耗性の樹脂を附着させるのが望
ましい。
（作用） 本発明は上記のように構成したことにより、真空ポンプ
の運転中、潤滑室内の油は軸受を潤滑したあと、真空室
側へ回転軸を伝つて流れようとするが、途中に設けられ
た油振り切り板室内の油振り切り板によつて遠心力で振
り飛ばされてポンプ室への侵入が阻止される。このよう
に振り飛ばされて同室の内壁面に付着した油滴は、同室
の密封シール側の壁面に設けられた環状の油戻し溝を通
って、潤滑剤不要の密封シールを避けるようにして重力
で該室の下部に集められ、油戻り通路を経て潤滑室へ返
戻される。
の運転中、潤滑室内の油は軸受を潤滑したあと、真空室
側へ回転軸を伝つて流れようとするが、途中に設けられ
た油振り切り板室内の油振り切り板によつて遠心力で振
り飛ばされてポンプ室への侵入が阻止される。このよう
に振り飛ばされて同室の内壁面に付着した油滴は、同室
の密封シール側の壁面に設けられた環状の油戻し溝を通
って、潤滑剤不要の密封シールを避けるようにして重力
で該室の下部に集められ、油戻り通路を経て潤滑室へ返
戻される。
一方、油振り切り板室とポンプ室間には、潤滑剤不要の
密封シールが設けられていて両室間の流通は遮断されて
いるので、ポンプ室内は気密に保持され、また排気気体
中の物質が潤滑室へ侵入することも阻止されている。
密封シールが設けられていて両室間の流通は遮断されて
いるので、ポンプ室内は気密に保持され、また排気気体
中の物質が潤滑室へ侵入することも阻止されている。
（実施例） 次に、本発明の実施例を図面と共に説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す密封装置を備えた回
転型真空ポンプの要部断面図であつて、図面の符号のう
ち、第２図、第３図の符号と同一のものは同一ないし同
類部分を示すものとする。図において、ポンプ室１と潤
滑室５との間の隔壁11に、潤滑室５に接して軸受４が設
けられており、ポンプ室１との中間部に油振り切り板室
12が設けられている。
転型真空ポンプの要部断面図であつて、図面の符号のう
ち、第２図、第３図の符号と同一のものは同一ないし同
類部分を示すものとする。図において、ポンプ室１と潤
滑室５との間の隔壁11に、潤滑室５に接して軸受４が設
けられており、ポンプ室１との中間部に油振り切り板室
12が設けられている。
上記油振り切り板室12には、油振り切り板13がその筒部
13aによつて回転軸２に固定して取付けられており、該
室12の底部には、潤滑室５に通じる油戻り通路14の開口
14aが設けられている。また潤滑剤不要の密封シール
（以下、ドライシールという。）16側の側壁には、油振
り切り板によつて上方へ飛ばされた油ドライシール16に
付着せずに迂回して油振り切り板室12の下部へ落ちるよ
うに、油戻し溝15がドライシール16の取付け部を取り巻
くようにして環状に形成されている。
13aによつて回転軸２に固定して取付けられており、該
室12の底部には、潤滑室５に通じる油戻り通路14の開口
14aが設けられている。また潤滑剤不要の密封シール
（以下、ドライシールという。）16側の側壁には、油振
り切り板によつて上方へ飛ばされた油ドライシール16に
付着せずに迂回して油振り切り板室12の下部へ落ちるよ
うに、油戻し溝15がドライシール16の取付け部を取り巻
くようにして環状に形成されている。
更に、上記油振り切り板室12とポンプ室１との間には、
断面コ字状をなし軸と摺接する内周縁部をリップ状に形
成したいわゆるオールシール形状をしたドライシール16
が、回転軸２に嵌装された軸スリーブ17の周面に摺接す
るようにして設けられている。該ドライシール16は、上
記油スリーブ17との接触部にテフロン等の耐熱自己潤
滑、耐摩耗性の樹脂が塗布或いは焼付けによつて付着さ
れており、軸スリーブ17とは潤滑剤なしで接触密封する
ように構成されている。なお、図中、18は潤滑油、19は
潤滑室５の油抜き口と栓を示す。
断面コ字状をなし軸と摺接する内周縁部をリップ状に形
成したいわゆるオールシール形状をしたドライシール16
が、回転軸２に嵌装された軸スリーブ17の周面に摺接す
るようにして設けられている。該ドライシール16は、上
記油スリーブ17との接触部にテフロン等の耐熱自己潤
滑、耐摩耗性の樹脂が塗布或いは焼付けによつて付着さ
れており、軸スリーブ17とは潤滑剤なしで接触密封する
ように構成されている。なお、図中、18は潤滑油、19は
潤滑室５の油抜き口と栓を示す。
次に、作用について説明すると、回転軸２が駆動され、
ロータ３が回転すると、ポンプ室１内において真空ポン
プ作用が行われ、同室１内は減圧される。同時に潤滑室
５内の油18は、軸受４を潤滑した後、回転軸４に嵌着さ
れた油振り切り板13の筒部13aの周面に沿つて、ポンプ
室１の方へ侵入し、油振り切り板室12内で、油振り切り
板13により遠心力で振り飛ばされて同室12の壁面に付着
する。この壁面に付着した油は、重力で下方に落ちる
が、ポンプ室１側の壁面に付着した油は、ドライシール
16の取付け部の外側の壁面に形成された油戻し溝15を通
り、該ドライシール16を迂回して重力で同室12の下部に
落ちる。このようにして同室12の下部に集めらめた油
は、油戻り通路14を経て、潤滑室５へ返戻される。
ロータ３が回転すると、ポンプ室１内において真空ポン
プ作用が行われ、同室１内は減圧される。同時に潤滑室
５内の油18は、軸受４を潤滑した後、回転軸４に嵌着さ
れた油振り切り板13の筒部13aの周面に沿つて、ポンプ
室１の方へ侵入し、油振り切り板室12内で、油振り切り
板13により遠心力で振り飛ばされて同室12の壁面に付着
する。この壁面に付着した油は、重力で下方に落ちる
が、ポンプ室１側の壁面に付着した油は、ドライシール
16の取付け部の外側の壁面に形成された油戻し溝15を通
り、該ドライシール16を迂回して重力で同室12の下部に
落ちる。このようにして同室12の下部に集めらめた油
は、油戻り通路14を経て、潤滑室５へ返戻される。
一方、油振り切り板室12とポンプ室１との間には、前記
オイルシール型のドライシール16が、その内周縁部を軸
スリーブ17の周面に潤滑剤なしで接触密封して設けられ
ているので、両室12と１とが遮断される。
オイルシール型のドライシール16が、その内周縁部を軸
スリーブ17の周面に潤滑剤なしで接触密封して設けられ
ているので、両室12と１とが遮断される。
従つて、潤滑室を通して逆流によるポンプ効率の低下が
なく、また排気気体中の粉体、ごみ、気相の活性物質が
潤滑室内に入らず、ポンプ室内、排気系が清浄に保たれ
る。
なく、また排気気体中の粉体、ごみ、気相の活性物質が
潤滑室内に入らず、ポンプ室内、排気系が清浄に保たれ
る。
（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、ポンプ室と潤滑
室との間に油振り切り板室とそのポンプ室側に潤滑剤不
要の密封シールを設け、上記油振り切り板室の密封シー
ル側の壁面に、環状の油戻し溝を設けて該油振り切り板
室の壁面に付着した油を該潤滑剤不要の密封シールに到
達させないように構成し、上記油振り切り板室を、油戻
り通路を経て潤滑室に連通させたことにより、次のよう
な効果が奏される。
室との間に油振り切り板室とそのポンプ室側に潤滑剤不
要の密封シールを設け、上記油振り切り板室の密封シー
ル側の壁面に、環状の油戻し溝を設けて該油振り切り板
室の壁面に付着した油を該潤滑剤不要の密封シールに到
達させないように構成し、上記油振り切り板室を、油戻
り通路を経て潤滑室に連通させたことにより、次のよう
な効果が奏される。
（ｉ） 従来の密封方式を採用したものにおけるような
潤滑剤や潤滑剤の熱分解生成物による汚染がないので、
ポンプ室内と排気系を清浄に保つことができる。この点
については、ガス分析による隙間シール方式との比較デ
ータにより確認されている。
潤滑剤や潤滑剤の熱分解生成物による汚染がないので、
ポンプ室内と排気系を清浄に保つことができる。この点
については、ガス分析による隙間シール方式との比較デ
ータにより確認されている。
（ii） 油振り切り板室の壁面に付着した油を潤滑剤不
要の密封シールに到達させない手段として、上記油振り
切り板室の密封シール側の壁面に、環状の油戻し溝を設
けたことにより、この種液飛沫室の壁面に付着した油等
を回転軸部に到達させないために、内部方向に傾斜した
突出した液受けや、断面Ｌ字形の「とい」を設けた従来
のものと比べて、構造が簡単で且つ加工が容易であるば
かりでなく、該環状の油戻し溝を同心円状に２個以上設
けて密封シールへの油の侵入を、より一層確実に阻止す
ることも容易であり、且つ又、該油戻し溝は、油振り切
り板室の壁面より突出していないため、油振り切り板を
該溝のある壁面に近接して設置することができるので、
該壁面と振り切り板との間隙部に存在する油（粘性流
体）が振り切り板の回転につれて遠心力によって外向き
の力を受け、油戻し溝の内方に洩れた油も外方へ戻さ
れ、密封シールへの侵入が阻止される。
要の密封シールに到達させない手段として、上記油振り
切り板室の密封シール側の壁面に、環状の油戻し溝を設
けたことにより、この種液飛沫室の壁面に付着した油等
を回転軸部に到達させないために、内部方向に傾斜した
突出した液受けや、断面Ｌ字形の「とい」を設けた従来
のものと比べて、構造が簡単で且つ加工が容易であるば
かりでなく、該環状の油戻し溝を同心円状に２個以上設
けて密封シールへの油の侵入を、より一層確実に阻止す
ることも容易であり、且つ又、該油戻し溝は、油振り切
り板室の壁面より突出していないため、油振り切り板を
該溝のある壁面に近接して設置することができるので、
該壁面と振り切り板との間隙部に存在する油（粘性流
体）が振り切り板の回転につれて遠心力によって外向き
の力を受け、油戻し溝の内方に洩れた油も外方へ戻さ
れ、密封シールへの侵入が阻止される。
（iii） 潤滑室を通しての逆流によるポンプ効率の低
下がなく、また、排気気体中の粉体、ごみ、気相の活性
物質が潤滑室に入らないので、潤滑油を清浄に保つこと
ができる。
下がなく、また、排気気体中の粉体、ごみ、気相の活性
物質が潤滑室に入らないので、潤滑油を清浄に保つこと
ができる。
（iv） 潤滑剤不要の密封シールを用いているので、シ
ール部へ潤滑剤供給機構が不要である。また、潤滑剤不
要の密封シールは、自己潤滑性に優れているので、シー
ルに要する機械動力は、オイルシールやメカニカルシー
ルに比べて最小で済む。
ール部へ潤滑剤供給機構が不要である。また、潤滑剤不
要の密封シールは、自己潤滑性に優れているので、シー
ルに要する機械動力は、オイルシールやメカニカルシー
ルに比べて最小で済む。
第１図は、本発明の一実施例を示す回転型真空ポンプの
密封装置の断面図、第２図及び第３図は従来の密封構造
を備えた異つた型の回転型真空ポンプの断面図である。 １……ポンプ室、２……回転軸、３……ロータ、４……
軸受、５……潤滑室、12…油振り切り板室、13……油振
り切り板、14……油戻り通路、15……油戻し溝、16……
潤滑剤不要の密封シール（ドライシール）
密封装置の断面図、第２図及び第３図は従来の密封構造
を備えた異つた型の回転型真空ポンプの断面図である。 １……ポンプ室、２……回転軸、３……ロータ、４……
軸受、５……潤滑室、12…油振り切り板室、13……油振
り切り板、14……油戻り通路、15……油戻し溝、16……
潤滑剤不要の密封シール（ドライシール）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 根塚 幸雄 神奈川県茅ケ崎市萩園2767 日本真空技術 株式会社萩園寮内 (56)参考文献 実開 昭53−14071（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭51−14721（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭52−6745（ＪＰ，Ｙ１)
Claims (2)
- 【請求項１】ポンプ室と潤滑室との間に、回転軸と共に
回転する油振り切り板を内蔵した油振り切り板室を設け
た封液を用いない回転型真空ポンプにおいて、上記油振
り切り板室とポンプ室との間に潤滑剤不要の密封シール
を設け、上記油振り切り板室の密封シール側の壁面に、
環状の油戻し溝を設けて該油振り切り板室の壁面に付着
した油を該潤滑剤不要の密封シールに到達させないよう
に構成し、上記油振り切り板室を、油戻り通路を経て潤
滑室に連通させたことを特徴とする回転型真空ポンプの
密封装置。 - 【請求項２】上記潤滑剤不要の密封シールは、回転軸部
との接触部にテフロン（登録商標、以下同じ）等の耐
熱、自己潤滑、耐摩耗性の樹脂が附着されている特許請
求の範囲第１項記載の回転型真空ポンプの密封装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61026882A JPH07111175B2 (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 回転型真空ポンプの密封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61026882A JPH07111175B2 (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 回転型真空ポンプの密封装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186073A JPS62186073A (ja) | 1987-08-14 |
| JPH07111175B2 true JPH07111175B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=12205649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61026882A Expired - Fee Related JPH07111175B2 (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 回転型真空ポンプの密封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111175B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02124289U (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-12 | ||
| JPH079410Y2 (ja) * | 1989-05-08 | 1995-03-06 | 株式会社アンレット | 炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワー |
| JPH03130592A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-06-04 | Anlet Co Ltd | 内部洗浄可能な多段式ルーツ真空ポンプ |
| KR20020015773A (ko) * | 2000-08-23 | 2002-03-02 | 이계안 | 자동변속기용 오일펌프 |
| JP2002332963A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| JP2003013876A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| JP4617615B2 (ja) * | 2001-07-05 | 2011-01-26 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| JP3535503B1 (ja) | 2002-10-22 | 2004-06-07 | 沖電気工業株式会社 | 周波数変調装置およびその変調周波数測定方法 |
| JP4310102B2 (ja) * | 2002-12-10 | 2009-08-05 | サンデン株式会社 | 回転機械の油排出機構 |
| GB0326613D0 (en) | 2003-11-14 | 2003-12-17 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| JP5714945B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2015-05-07 | 株式会社神戸製鋼所 | 水噴射式スクリュ圧縮機 |
| DE202014010177U1 (de) * | 2014-12-23 | 2016-03-29 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| FR3078748B1 (fr) * | 2018-03-07 | 2020-03-27 | Pfeiffer Vacuum | Pompe a vide de type seche |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5114721A (ja) * | 1974-07-24 | 1976-02-05 | Kubota Ltd | Tatemonoyobanzai |
-
1986
- 1986-02-12 JP JP61026882A patent/JPH07111175B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62186073A (ja) | 1987-08-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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