TW202233961A - 乾式真空泵型的真空泵和泵送單元 - Google Patents

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Abstract

真空泵(1；100)包含用於將清洗氣體注入油槽(12)之至少一個裝置，其建構為將清洗氣體注入油槽(6)；及用於泵送來自油槽(13)的氣體之至少一個裝置，其建構為抽取油槽(6)中的氣體，以便將清洗氣體同時注入該油槽(6)並將氣體泵送出該油槽(6)。

Description

乾式真空泵型的真空泵和泵送單元
本發明有關乾式真空泵型的真空泵及泵送單元。本發明更特別地有關真空泵的泵送室與油槽之間的密封。
正排量真空泵包含一個以上之串聯的泵送級，將要在吸入口與輸送出口之間泵送的氣體循環經過此處。帶有旋轉葉片之粗真空泵(亦已知為具有二個以上之葉片的“羅茨”泵及“爪式”泵或螺桿泵)之間存在區別。羅茨壓縮機或“羅茨鼓風機”型的真空泵係亦已知的，它們使用於粗真空泵之上游以在高流量的情況下增加泵送能力。此等真空泵被稱為“乾式”泵，因為於操作中此等轉子在定子內側旋轉，彼此之間或與定子沒有機械式接觸，這意指於泵送級中可能不採用油。
轉子的旋轉係使用齒輪同步化。轉子藉由大致上位於泵送室之每一側面上的滾珠軸承導引旋轉。這些齒輪及軸承用油槽中所含有之油或油脂潤滑，此等油槽係藉由密封手段來與泵送室隔離，軸桿仍然能夠經過此密封手段旋轉。密封手段主要包含抵抗潤滑劑的物理屏障，諸如摩擦唇形密封件、注射器盤片、氣體清洗器或諸如迷宮及擋板之障礙物。
然而，在操作中，真空泵中所採用的壓力波動很大，尤其是於一定體積之氣體被周期性置於真空之下的應用中，諸如在用於光伏面板之泵送應用的領域中。儘管油槽中的大氣不是處於真空之下，而是保持在大氣壓下，此大氣同樣於很小程度上經歷泵送部分中發生的壓力中之變動。這是因為對潤滑劑相對有效的密封手段對氣體之密封並不完美，因為它們需要允許軸桿旋轉。其接著在油槽與泵送室之間可能存在壓力差，尤其是造成所泵送的氣體朝油槽洩漏。這些氣體有時具有腐蝕性，或可使它們載有例如基於二氧化矽之污染顆粒、諸如研磨及硬顆粒，接著進入油槽。此氣態或固態污染物可導致潤滑劑性能的過早劣化或滾動軸承之潤滑不良，這可隨著時間的推移導致滾珠軸承之過早磨損，甚至導致其損壞，因此減少真空泵的壽命。此現象係加速用於循環泵送應用，在此油槽之連續排空及填充會促進氣側的這些傳送，且因此會污染潤滑劑。
因此，本發明之目的係提出乾式真空泵型之真空泵，其至少部分地克服先前技術領域的缺點。
為此目的，本發明之一主題係乾式真空泵型的真空泵，包含：
至少一個油槽；
至少一個泵送級；
二個旋轉軸桿，建構為在真空泵之入口與出口之間驅動泵送級中的轉子旋轉，此等軸桿係於藉由油槽中所含有之潤滑劑所潤滑的軸承中來導引旋轉；
至少一個潤滑劑密封裝置，插入油槽與在每一個軸桿通道的泵送級之間；
其特徵在於真空泵更包含用於將清洗氣體注入油槽的至少一個裝置，其建構為將清洗氣體注入油槽，及用於從油槽泵送此等氣體之至少一個裝置，其建構為抽取油槽中的氣體，以便同時將清洗氣體注入油槽和將此等氣體泵送出該油槽。
在一方面，注入清洗氣體使其可能稀釋油槽中可發現之泵送氣體，從而減少活性氣態物種的分壓，且於另一方面，使其可能升高油槽中之壓力以限制造成油槽中的進入洩漏之壓差。在一方面，將氣體從油槽泵送出使其可能避免相對於泵送室的過壓太大，其可導致朝泵送室之洩漏太大，且在另一方面，允許油槽中所含有的氣體循環。藉由防止氣體於油槽中停滯，它們能夠與潤滑劑發生反應並因此使潤滑劑變質之可能性減少。由於無法創建完全不漏流體的密封手段，本發明提出在泵送氣體能夠污染潤滑劑之前同時稀釋及移除此等泵送氣體。正是油槽的稀釋及泵出相結合，才使其可能降低油槽潤滑劑變得被污染之風險。
真空泵可更包含單獨或組合考慮的下文所述之一個以上的特徵。
用於將清洗氣體注入油槽之裝置例如包含通入油槽的氣體容積之注射管線。當油槽中所含有的潤滑劑為液體時，注射管線在液體潤滑劑之液位上方打開。
所注入的清洗氣體例如係氮氣。
用於將清洗氣體注入油槽之裝置可包含串聯地安裝在注射管線中的節流器及止回閥。當油槽與注射管線之間的壓力差高於止回閥之額定壓力閾值時，止回閥使其防止油槽中的氣體進入注射管線成為可能。節流器(亦稱為校準孔口或噴嘴)使其可能固定最大清洗氣體注射流率。因此，節流器及止回閥提供對注入氣體流量之機械控制，這是實施簡單且成本低廉。
最大清洗氣體注入流率係例如2 slm(大約3.6 Pa.m 3/s)。
用於從油槽泵送氣體的裝置可包含與油槽之氣體容積連通的泵送管線。當油槽中之潤滑劑為液體時，泵送管線的入口位於液體潤滑劑之液位上方。
用於從油槽泵送氣體的裝置可包含串聯地安裝在泵送管線中之止回閥及與節流器。當泵送級與泵送管線之間的壓力差高於止回閥之額定壓力閾值時，止回閥使其可能防止藉由粗真空泵所泵送的氣體進入泵送管線。節流器(亦稱為校準孔口或噴嘴)使其可能決定最大泵送流率。因此，節流器及止回閥提供對泵送氣體流量之機械式控制，這是實施簡單且成本低廉。
用於從油槽泵送氣體的裝置可包含在油槽中配置於泵送管線之入口處的導流片，以限制潤滑劑進入泵送管線。
同一型之導流片可在油槽中配置於注射管線之入口處，以限制潤滑劑進入注射管線。
用於從油槽泵送氣體的裝置可包含配置在泵送管線中、例如於止回閥或節流器上游之油分離器。油分離器使其可能將油從氣體分離，以致不會從油槽抽吸油。它包含例如過濾器，諸如燒結的不銹鋼過濾器。
最大泵送流率為例如10 slm(大約18 Pa.m 3/s)。
真空泵可包含二個油槽，一個油槽配置在至少一個泵送級之每一側面上。真空泵可包含用於將清洗氣體注入油槽的裝置，及用於泵送來自用於每一個油槽之油槽的氣體之裝置，而在用於泵送來自油槽之氣體的裝置之間沒有流體連通。
泵送管線可將油槽的氣體容積置於與多級真空泵之泵送級連通，例如，在所述泵送級的入口處及/或於除了最後一泵送級以外之泵送級的出口處，諸如在真空泵之級間通道處，此通道將一個泵送級的出口與下一個泵送級之入口連接。因此，用於泵送來自油槽的氣體之裝置不需要任何額外的泵送裝置。因此，它係易於實施、成本低廉、自主性且小巧。
用於將清洗氣體注入油槽之裝置及用於泵送來自油槽的氣體之裝置例如建構為將油槽中的壓力控制為低於大氣壓之壓力，諸如小於50,000Pa (500毫巴)的壓力，諸如包含在5000Pa (50毫巴)與40,000Pa (400毫巴)之間。
本發明的另一主題係包含粗真空泵之泵送單元，此粗真空泵包含複數個泵送級，其特徵在於，它包含如上文所述地與粗真空泵串聯地配置且配置在此粗真空泵的上游，用於泵送來自油槽之氣體的裝置包含泵送管線，此泵送管線將真空泵之油槽的氣體容積置於與粗真空泵之泵送級的其中一者連通，例如在所述泵送級之入口處及/或於除了最後泵送級以外的泵送級之出口處，諸如在連接一泵送級的出口與下一泵送級之入口的粗真空泵之級間通道處。接著於具有粗真空泵之不同泵送流率的數個泵送級之間有所選擇。所選擇的泵送級使得其可能根據油槽中相對於泵送室所期望之過壓位準最佳化用於泵送出氣體的裝置，以便尤其是限制對真空泵性能之影響及油朝泵送室洩漏的風險。然後，用於泵送來自油槽之氣體的裝置係可根據所選擇之泵送級進行“調整”。
泵送管線例如將油槽之氣體容積置於與粗真空泵的第二泵送級之出口連通。
於這些圖面中，完全相同的元件具有相同之參考數字。此等圖面的附圖已被簡化以使它們更易於理解。
以下實施例係範例。儘管此敘述提及一個以上之實施例，但其並不一定意指每一個參考案都意指相同實施例或此等特徵僅適用於單一實施例。諸多實施例的簡單特徵亦可組合或互換以提供其他實施例。
“上游”之意思係相對於要泵送的氣體之循環方向定位在另一者之前的元件。相反地，“下游”之意思係相對於要泵送的氣體之循環方向置於另一者之後的元件。
本發明適用於任何類型之乾式真空泵，亦即包含一個或至少二個泵送級、諸如包含一個至十個泵送級的泵。此真空泵可為粗真空泵100，其包含複數個泵送級且被建構為在大氣壓下輸送所泵送之氣體，或是乾式真空泵1、被稱為羅茨泵或羅茨壓縮機，具有從一個至三個泵送級，並其於使用中係與粗真空泵串聯地連接並位於其上游，且其輸送壓力係藉由粗真空泵所獲得的壓力。
圖1顯示包含羅茨真空泵1及粗真空泵100之泵送單元101的範例，羅茨真空泵1之入口2係意欲連接至將經由隔離閥泵送的封閉室。羅茨真空泵1之出口3係連接至粗真空泵100的入口4，而粗真空泵100之出口5係建構為在於大氣壓或以上壓力下輸送。
羅茨或粗真空泵1、100包含至少一個油槽6、包含至少一個泵送級T1-T5的泵送室、二個旋轉軸桿7 (僅於圖1之泵送單元101的二個真空泵之每一個上描述)、及至少一個用於密封潤滑劑的裝置8，此裝置8置於油槽6與軸桿通過之每一個通道處的泵送級之間。
在說明性範例中，羅茨真空泵1包含單一個泵送級T1。
粗真空泵100包含串聯地安裝於入口4與出口5之間的數個泵送級T1-T5、諸如五個。在此情況下，緊鄰密封裝置8之泵送級T1、T5係第一及最後泵送級。
每一個泵送級T1-T5包含各自的入口及出口。當真空泵1、100包含複數個泵送級時，連續之泵送級係藉由將前泵送級的出口連接至隨後泵送級之入口的相應級間通道而一個接一個地串聯地連接。泵送級T1-T5之泵送流率隨著它們於真空泵的入口與出口之間的位置而減小或相等，而此流率藉由第一泵送級T1在對應於最高泵送流率之最低壓力下生成。
軸桿7驅動泵送級T1-T5中的轉子9之旋轉，以將要泵送的氣體從真空泵1、100之入口運送至出口。粗真空泵100的轉子9係藉由粗真空泵100之至少一個馬達M1旋轉地驅動。羅茨真空泵1的轉子9係藉由羅茨真空泵1之至少一個馬達M2所旋轉地驅動。
在旋轉期間，從入口吸取的氣體被截留於藉由轉子9及定子所生成之容積中，且接著藉由轉子9所運送朝下一級。粗真空泵100的轉子9具有例如帶有完全相同輪廓之葉片、例如“羅茨”型(呈8字形或菜豆形的橫截面)或“爪”型之葉片，或為螺桿型或遵循其他類似的正排量真空泵原理。
承載轉子9之軸桿7係在藉由油槽6中含有的潤滑劑所潤滑之軸承中導引旋轉。諸如油或油脂的潤滑劑使得其可能尤其潤滑用於同步此等軸桿之軸承及齒輪11的滾珠軸承10。
真空泵1、100例如包含二個油槽6，一個油槽6配置在至少一個泵送級之每一側面上；用於在每一個通道密封以防止潤滑劑置於油槽6與泵送級之間的裝置8，軸桿在泵送級之每一側面上通過此通道。
密封裝置8可包含至少一個環形密封件、諸如“動態”密封件，亦即非摩擦密封件、諸如分段式密封件、迷宮式密封件、或氣體的擋板或“簾幕”、或諸如唇形密封件之摩擦環形密封件、或此等實施例的組合。環形密封件環繞旋轉軸桿7創建非常低之傳導性，從而大幅地限制潤滑流體從油槽6朝乾式泵送級的通道且反之亦然，而同時允許軸桿7旋轉。密封裝置8亦可包含導流片盤片，此盤片的整體形狀為安裝於軸桿7上以與其一體旋轉。藉由導流片盤片之快速旋轉所創建的離心力限制油流向環形密封件之進程。可在定子中形成此定子的下方部分中之面向每一個軸桿的導流片盤片所配置之油回收通道，以便使所拋出的潤滑劑返回朝油槽6。
真空泵1；100更包含用於將清洗氣體注入油槽12而建構為將清洗氣體注入油槽6之至少一個裝置，及用於從油槽13泵送氣體而建構為抽取來自油槽13的氣體之至少一個裝置，以便同時將清洗氣體注入所述油槽6並泵送來自所述油槽6的氣體。
清洗氣體之注入在一方面使其可能稀釋可於油槽6中發現的泵送氣體，從而減少反應性氣態物種之分壓，且在另一方面升高油槽6中的壓力以限制造成進入油槽6之進來洩漏的壓力差。泵送來自油槽6之氣體於一方面使其可能相對於泵送室避免過壓太大，這可能導致朝泵送室的洩漏太大，且在另一方面，允許油槽6中所含有之氣體循環。藉由防止氣體停滯於油槽6中，它們能夠與潤滑劑反應並因此使潤滑劑劣化的可能性降低。由於無法創建完全不漏流體之密封手段，本發明提出在所泵送氣體能夠污染潤滑劑之前同時稀釋及移除它們。正是油槽6的稀釋及泵送之結合，才使其可能降低油槽6的潤滑劑污染之風險。
用於將清洗氣體注入油槽12的裝置包含例如通入油槽6之氣體容積20的注射管線14。當油槽6中所含有之潤滑劑為液體時，注射管線14在液體潤滑劑的液位上方打開(圖1中之虛線)。注射管線14的入口係例如經由流量計(或“質量流量控制器”)連接至清洗氣體之來源。所注入的清洗氣體係例如氮氣。
用於將清洗氣體注入油槽12之裝置可包含串聯地安裝在注射管線14中的節流器15及止回閥16。
當油槽6與注射管線14之間的壓力差高於止回閥16之額定壓力閾值時，止回閥16使其可能防止油槽6中的氣體進入注射管線14。節流器15允許為清洗氣體設定最大注射流率。節流器15及止回閥16因此允許對所注入氣體之流動進行機械式控制，這是實施簡單且成本低廉。
用於清洗氣體的最大注射流率係例如2 slm (大約3.6 Pa.m 3/s)。
用於從油槽13泵送氣體之裝置例如包含與油槽6的氣體容積20連通之泵送管線17。當油槽6中所含有的潤滑劑係液體時，泵送管線17之入口位於液體潤滑劑的液位上方。
泵送管線17例如將油槽6之氣體容積20置於與多級真空泵的泵送級連通，例如在所述泵送級之入口處及/或於泵送級的出口處，除了最後泵送級以外，例如在多級真空泵之級間通道處，此級間通道連接一泵送級的出口與下一泵送級之入口。以此方式，用於從油槽13泵送氣體的裝置不需要任何額外之泵送裝置。因此，其係實施簡單、成本低廉、自主性且小巧的。
在羅茨真空泵1之案例中，泵送管線17例如將羅茨真空泵1的油槽6之氣體容積20置於與粗真空泵100的泵送級T1-T4之其中一者的出口連通，此等泵送級與羅茨真空泵1串聯地定位並定位在其下游，除了最後泵送級T5以外(圖1)。然後於粗真空泵之具有不同泵送流率的複數個泵送級之間有所選擇。所選擇的泵送級允許用於泵送氣體13之裝置根據油槽6中相對於相鄰泵送級T1所期望的過壓位準進行最佳化，尤其是考慮到限制對真空泵之性能的影響及油朝泵送室洩漏之風險。因此，用於從油槽13泵送氣體的裝置係可根據所選擇之泵送級“調整”。泵送管線17例如將油槽6的氣體容積置於與粗真空泵100之第二泵送級T2的出口連通。
用於將清洗氣體注入油槽12之裝置及用於從油槽13泵送氣體的裝置例如建構為將油槽6中之壓力控制至低於大氣壓的壓力、諸如低於50,000Pa(500毫巴)之壓力，諸如，例如包含在5000Pa(50毫巴)與40,000Pa(400毫巴)之間。
用於從油槽13泵送氣體的裝置可包含串聯地安裝在泵送管線17中之止回閥16及節流器15。
當泵送級T2與泵送管線17之間的壓力差高於止回閥16之額定壓力閾值時，止回閥16使其可能防止藉由粗真空泵100所泵送的氣體進入泵送管線17。節流器15(亦已知為校準孔口或噴嘴)使其可能決定最大泵送流率。節流器15及止回閥16因此提供對泵送氣體流動之機械式控制，這是實施簡單且成本低廉。
例如，最大泵送流率為10 slm(大約18 Pa.m 3/s)。
用於從油槽13泵送氣體的裝置亦可包含配置在泵送管線17中、例如於止回閥或節流器15之上游的油分離器18。油分離器18使其可能將油與氣體分離，以致油不會從油槽6抽取，且因此油槽不會用盡其油。它包含例如過濾器、諸如燒結之不銹鋼過濾器。
以此方式用於泵送從油槽13所產生的氣體之裝置的另一優點係由於泵送級T2之過壓而自動關閉止回閥16，其通常係循環的，因為它是藉由封閉室中之泵送的循環所帶來，而此封閉室藉由泵送單元1所抽空，造成經過過濾器之吹氣，排出油，從而允許其自我清潔。這接著給予過濾器的循環及自動再生。
用於從油槽13泵送氣體之裝置可更包含配置在油槽6的氣體容積20中之導流片19，位於至泵送管線17的入口處，以限制潤滑劑進入泵送管線17。
在圖2之油槽定子的剖視圖中可看見一示範性實施例。此圖面顯示藉由燒結不銹鋼過濾器所形成之油分離器18係配置於泵送管線17中。導流片19係配置在此同一管線17的入口之前面。導流片19於此包含實質上L形的板件。導流片19之L的垂直第一部分係面向管線17之入口並與其相距一段距離配置，以便形成防止潤滑劑進入面朝上的管線17之濾網，但允許氣體藉由通過濾網與油槽6之定子的壁面之間進入。L的第二部分從壁面突出，以便形成用於管線17之入口的掩蔽部，就像一個門廊。
相同類型之導流片可在注射管線14的出口處配置於油槽6中，以便限制潤滑劑進入注射管線14。
參考圖3之曲線圖可更好地理解本發明的優點，此曲線圖顯示用於不同真空泵之油槽中的壓力曲線，而用於在光伏面板所需之泵送應用的領域中於大氣壓下應用氣體容積之循環泵送。
曲線A顯示在泵送單元的羅茨真空泵1之吸入側或上游的壓力中之變化的範例。可看到於大氣壓力1000毫巴(10 5Pa)與5毫巴(5.10 2Pa)之間的顯著及周期性壓力波動。
曲線B顯示先前技術領域之泵送單元的第一羅茨真空泵之油槽中的壓力變化，於此既沒有清洗氣體之注射也沒有此等來自油槽的氣體之泵送，且其中在進氣側或上游的壓力按曲線A變動。其可看出每次於泵送單元上游之隔離閥打開時，泵送氣體突然進入真空泵會造成油槽中的壓力升高。壓力迅速地升高直至100毫巴(10 4Pa)，然後在數十分鐘內下降至大約5毫巴(500Pa)，且此循環每40分鐘重複一次。油槽中之循環壓力增加係藉由泵送氣體從泵送室所帶來並經過密封裝置進入油槽。這接著導致油槽潤滑劑的污染之高風險。
曲線C顯示先前技術領域的泵送單元之第二真空泵的油槽中之壓力，其中於進氣側或上游的壓力根據曲線A而變動，且為此在相對於大氣壓之過壓下將清洗氣體注入油槽，而不會同時泵出。此過壓係約2毫巴(2.10 5Pa)。在此案例中，真空泵較少遭受油槽的“呼吸”之影響。此外，用油槽將氣體的洩漏引導朝泵送室，從而限制潤滑劑被源自泵送室之泵送氣體或顆粒所污染的風險。然而，此過壓會導致來自油槽之清洗氣體的大量洩漏朝泵送室，這意指潤滑劑將有被夾帶進入泵送室之風險，因此影響軸承的潤滑並污染泵送室。
曲線D顯示根據本發明之真空泵1的油槽6中之壓力變化，其中於進氣處或上游的壓力根據曲線A變動。用於將清洗氣體注入油槽12之裝置及用於從油槽13泵送氣體的裝置允許將油槽6中之壓力控制至低於大氣壓的壓力，在此情況下為5000Pa(50毫巴)與40,000Pa(400毫巴)之間。可看出油槽6中的壓力波動大大地減弱。它們大約於100毫巴(10 4Pa)左右變動，使油槽6相對於泵送室處於輕微之過壓狀態。接著，這限制油朝泵送室洩漏的風險，並限制對泵送性能之影響。
儘管圖1說明用於將清洗氣體注入油槽12的裝置及用於僅用二個油槽6之其中一者從油槽13泵送氣體的裝置，但是本發明可應用於真空泵1之二個油槽6的每一個。更可為此在用於從真空泵1之油槽13泵送氣體的二個裝置之間未提供流體連通，以便避免它們相互污染的任何風險。
同樣，本發明可應用於粗真空泵100之油槽6的一個或二個，無論其是否連接在羅茨真空泵之下游。亦可為此在用於從粗真空泵100之油槽13泵送氣體的二個裝置之間未提供流體連通，或在用於從羅茨真空泵1及粗真空泵100之油槽13泵送氣體的裝置之間未提供流體連通。
1:乾式真空泵 2:入口 3:出口 4:入口 5:出口 6:油槽 7:旋轉軸桿 8:裝置 9:轉子 10:滾珠軸承 11:齒輪 12:油槽 13:油槽 14:注射管線 15:節流器 16:止回閥 17:泵送管線 18:油分離器 19:導流片 20:氣體容積 100:粗真空泵 101:泵送單元 M1:馬達 M2:馬達 T1:泵送級 T2:泵送級 T3:泵送級 T4:泵送級 T5:泵送級
進一步之優點及特徵將由閱讀本發明的敘述及由研究附圖而變得明顯，其中：
[圖1]顯示泵送單元之一範例的示意圖。
[圖2]係圖1之泵送單元的真空泵之放大細節的圖解。
[圖3]係曲線圖，顯示適用於循環泵送一定體積之氣體的壓力(毫巴)相對於時間(小時)之曲線：
在真空泵的進氣側或上游(曲線A)，
於先前技術領域之第一真空泵的油槽中(曲線B)，其入口壓力根據曲線A而變動，
在先前技術領域之第二真空泵的油槽中(曲線C)，其入口壓力根據曲線A而變動，及
根據本發明之真空泵(曲線D)，其入口壓力根據曲線A而變動。
1:乾式真空泵
2:入口
3:出口
4:入口
5:出口
6:油槽
7:旋轉軸桿
8:裝置
9:轉子
10:滾珠軸承
11:齒輪
12:油槽
13:油槽
14:注射管線
15:節流器
16:止回閥
17:泵送管線
18:油分離器
20:氣體容積
100:粗真空泵
101:泵送單元
M1:馬達
M2:馬達
T1:泵送級
T2:泵送級
T3:泵送級
T4:泵送級
T5:泵送級

Claims (10)

  1. 一種乾式真空泵型的真空泵(1；100)，包含： 至少一個油槽(6)； 至少一個泵送級(T1；T1-T5)； 二個旋轉軸桿(7)，建構為在該真空泵(1；100)之入口(2；4)與出口(3；5)之間驅動該泵送級(T1；T1-T5)中的轉子(9)旋轉，該等軸桿(7)係於藉由該油槽(6)中所含有之潤滑劑所潤滑的軸承中來導引旋轉； 至少一個潤滑劑密封裝置(8)，插入該油槽(6)與每一個軸桿通道的泵送級(T1；T1-T5)之間； 其特徵在於該真空泵(1；100)更包含用於將清洗氣體注入該油槽(12)的至少一個裝置，其建構為將清洗氣體注入該油槽(6)，及用於從該油槽(13)泵送該等氣體之至少一個裝置，其建構為抽取該油槽(6)中的該等氣體，以便同時將清洗氣體注入該油槽(6)和將該等氣體泵送出該油槽(6)。
  2. 如請求項1的真空泵(1；100)，其中用於將清洗氣體注入該油槽(12)之裝置包含通入該油槽(6)的氣體容積(20)之注射管線(14)、串聯地安裝在該注射管線(14)中的節流器(15)及止回閥(16)。
  3. 如請求項1或2的真空泵(1；100)，其中用於泵送來自該油槽(13)之該等氣體的裝置包含泵送管線(17)，其與該油槽(6)之氣體容積(20)、串聯地安裝在該泵送管線(17)中的止回閥(16)及節流器(15)連通。
  4. 如請求項1或2的真空泵(1；100)，其中用於泵送來自該油槽(13)之該等氣體的裝置包含泵送管線(17)，其與該油槽(6)之氣體容積(20)及在該泵送管線(17)的入口處配置於該油槽(6)中之導流板(19)連通，以限制潤滑劑進入該泵送管線(17)。
  5. 如請求項3的真空泵(1)，其中用於泵送來自該油槽(13)之氣體的裝置包含配置在該泵送管線(17)中之分離器(18)。
  6. 如請求項1或2的真空泵(1；100)，其中該真空泵包含二個油槽(6)，在該至少一個泵送級(T1；T1-T5)之每一側面上配置一個油槽(6)，該真空泵(1；100)包含用於將清洗氣體注入該油槽(12)的裝置及用於為每一個油槽(6)泵送來自該油槽(13)之氣體的裝置，而在用於泵送來自該油槽(13)之氣體的裝置之間沒有流體連通。
  7. 如請求項1或2的真空泵(1)，其中用於泵送來自該油槽(13)之氣體的裝置包含泵送管線(17)，其將該油槽(6)之氣體容積(20)放置成與多級真空泵的泵送級連通。
  8. 如請求項1或2的真空泵(1)，其中用於將清洗氣體注入該油槽(12)之裝置及用於泵送來自該油槽(13)的氣體之裝置係建構為將該油槽(6)中的壓力控制至低於大氣壓之壓力、諸如小於50,000Pa的壓力。
  9. 一種泵送單元(101)，包含粗真空泵(100)，該粗真空泵(100)包含複數個泵送級(T1-T5)，其特徵在於該泵送單元(101)包含如請求項1至8中任一項之真空泵(1)，並與該粗真空泵(100)串聯地配置且配置在該粗真空泵(100)的上游，用於泵送來自該油槽(13)之氣體的裝置包含泵送管線(17)，其將該真空泵(1)之油槽(6)的氣體容積(20)放置成與該粗真空泵(100)之泵送級(T1-T5)的其中一者連通。
  10. 如請求項9的泵送單元(101)，其中該泵送管線(17)將該油槽(6)之氣體容積放置成與該粗真空泵(100)的第二泵送級(T2)之出口連通。
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