CN105134620B - 涡扇干式真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明涉及真空泵领域，具体而言，涉及一种涡扇干式真空泵。其包括主架、驱动电机、驱动轴和初级排风筒；驱动电机、驱动轴和初级排风筒均设置在主架上；驱动电机与驱动轴连接；驱动轴和初级排风筒同轴设置；初级排风筒内设置有第一涡扇；第一涡扇与驱动轴固定连接，且同轴设置；初级排风筒远离驱动轴的一端设置有第一进风口；第一涡扇的旋向与驱动轴的转动方向相反；初级排风筒内设置有第一涡轮；第一涡轮设置在第一涡扇远离第一进风口的一侧；初级排风筒的侧壁上设置有第一出风口。本发明涡扇干式真空泵的抽速大，功率小，成本低，可以独立使用，并具备除尘，去湿，有一定制冷功能，便于冷凝可凝有毒有害气体回收，比较耐用，维修简单。

Description

涡扇干式真空泵

技术领域

本发明涉及真空泵领域，具体而言，涉及一种涡扇干式真空泵。

背景技术

无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

2013年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

干式真空泵的代表：爪型干式真空泵、罗杆干式真空泵，它们是发达国家普遍使用的环保，较高真空度的泵种，我国开发己近十年，取得较大进步。

干式真空泵的优点己被使用者认可，但造价高，功率需求大，国产泵的使用寿命有限，大抽速的泵难以可靠连续工做，制作成本高，不易普及。

发明内容

本发明的目的在于提供一种涡扇干式真空泵，以解决上述的问题。

在本发明的实施例中提供了一种涡扇干式真空泵，其包括主架、驱动电机、驱动轴和初级排风筒；

驱动电机、驱动轴和初级排风筒均设置在主架上；

驱动电机与驱动轴连接，能够带动驱动轴转动；

驱动轴和初级排风筒同轴设置；

初级排风筒内设置有第一涡扇和第一涡轮；

第一涡扇、第一涡轮均与驱动轴固定连接，且第一涡扇、第一涡轮均与驱动轴同轴设置，能够被驱动轴带动进行转动；

初级排风筒远离驱动轴的一端设置有第一进风口；

第一涡扇的旋向与驱动轴的转动方向相同，能够将空气通过第一进风口吸进初级排风筒内；

第一涡轮设置在第一涡扇远离第一进风口的一侧；

初级排风筒的侧壁上设置有与第一涡轮对应的第一出风口。

进一步的，驱动电机上设置有主动轮；

驱动轴上设置有从动轮；

主动轮与从动轮之间为皮带连接或链条连接。

进一步的，第一出风口设置有单向阀。

进一步的，单向阀包括第一过渡板、第一排气管、密封板和助力簧；

第一过渡板上设置有通气孔；

通气孔与第一出风口连通；

第一排气管设置在第一过渡板远离第一出风口的一侧，且与通气孔连通；

密封板设置在第一排气管内；

密封板的一端与第一过渡板靠近第一排气管的一侧转动连接；

密封板的面积大于通气孔的面积，能够将通气孔完全密封；

助力簧设置在密封板远离第一过渡板的一侧，用于给密封板一个朝向通气孔方向的力。

进一步的，第一排气管靠近第一过渡板的一端的直径大于远离第一过渡板的一端的直径；

第一排气管靠近第一过渡板的一端的中心轴，设置在第一排气管远离第一过渡板的一端的中心轴的远离第一过渡板与密封板的接触点的一侧；

第一排气管上还设置有第一回流腔；

第一回流腔设置在第一排气管的一侧。

进一步的，驱动轴远离初级排风筒的一端设置有二级排风筒；

二级排风筒与驱动轴同轴设置；

二级排风筒与初级排风筒之间设置有通风管道；

通风管道的一端与第一出风口连通；

通风管道的另一端与二级排风筒的第二进风口连通；

二级排风筒内设置有第二涡轮和隔板；

第二涡轮与驱动轴同轴设置；

第二涡轮与第一涡轮的旋向相同；

隔板设置在第二涡轮远离驱动轴的一侧；

隔板中心设置有通孔，用于将二级排风筒内的空气排出。

进一步的，通孔处设置有限流阀。

进一步的，限流阀包括第二过渡板、第二排气管、压缩弹簧和阀芯；

第二过渡板设置在第二排气管的一端；

压缩弹簧设置在第二过渡板靠近第二排气管的一侧；

阀芯设置在压缩弹簧远离第二过渡板的一端；

阀芯的形状为圆锥台；

阀芯底面较大的一端与压缩弹簧连接；

第二排气管内环形设置有与第二排气管同轴的第一限流部；

第一限流部靠近第二排气管中心的一端与阀芯靠近压缩弹簧的一端的外壁相抵。

进一步的，第二排气管内环形设置有与第二排气管同轴的第二限流部；

第二限流部设置在第一限流部靠近第二过渡板的一侧；

第一限流部与第二限流部之间设置有第二回流腔；

和/或，

第二排气管上设置有排风口；

排风口设置在第一限流部靠近过渡板的一侧。

进一步的，第一出风口连接设置有爪泵。

本发明提供的涡扇干式真空泵，通过设置驱动电机带动驱动轴进一步带动第一涡轮和第一涡扇转动，第一涡扇将空气从第一进风口吸入到初级排风筒内，再通过第一涡轮将空气从第一出风口排出，进而实现抽真空的功能。本发明涡扇干式真空泵的抽速大，功率小，成本低，可以独立使用，并具备除尘，去湿，有一定制冷功能，便于冷凝可凝有毒有害气体回收，比较耐用，维修简单。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明涡扇干式真空泵的结构示意图；

图2为本发明涡扇干式真空泵的局部剖视图；

图3为本发明涡扇干式真空泵的第一涡扇的示意图；

图4为本发明涡扇干式真空泵的第一涡轮的示意图；

图5为本发明涡扇干式真空泵的单向阀的结构示意图；

图6为本发明涡扇干式真空泵的限流阀的结构示意图；

图7为本发明涡扇干式真空泵的密封结构示意图；

图8为本发明涡扇干式真空泵的迷宫套结构示意图。

附图标记：

1：初级排风筒；2：驱动轴；3：从动轮；4：主动轮；5：二级排风筒；6：三级排风筒；7：第一出风口；8：通风管道；9：驱动电机；10：主架；11：爪泵；12：第一涡扇；13：第一涡轮；14：皮带；15：第二涡轮；16：第三涡轮；17：限流阀；18：单向阀；19：第一过渡板；20：通气孔；21：密封板；22：助力弹簧；23：第一回流腔；24：第二排气管；25：第一限流部；26：阀芯；27：排风口；28：第二回流腔；29：压缩弹簧；30：第二过渡板；31：第二限流部；32：迷宫套。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施例，都属于本发明所保护的范围。

如附图所示，本发明提供了一种涡扇干式真空泵，包括主架10、驱动电机9、驱动轴2和初级排风筒1；

驱动电机9、驱动轴2和初级排风筒1均设置在主架10上；

驱动电机9与驱动轴2连接，能够带动驱动轴2转动；

驱动轴2和初级排风筒1同轴设置；

初级排风筒1内设置有第一涡扇12和第一涡轮13；

第一涡扇12、第一涡轮13均与驱动轴2固定连接，且第一涡扇12、第一涡轮13均与驱动轴2同轴设置，能够被驱动轴2带动进行转动；

初级排风筒1远离驱动轴2的一端设置有第一进风口；

第一涡扇12的旋向与驱动轴2的转动方向相同，能够将空气通过第一进风口吸进初级排风筒1内；

第一涡轮13设置在第一涡扇12远离第一进风口的一侧；

初级排风筒1的侧壁上设置有与第一涡轮13对应的第一出风口7。

驱动电机9带动驱动轴2的转动，进而带动与驱动轴2同轴设置的第一涡扇12和第一涡轮13，第一涡扇12的转动能够将初级排风筒1外的空气从初级排风筒1上与第一涡扇12同轴设置在第一进风口进入到初级排风筒1内，进而实现对与第一进风口相对的位置的抽真空。

当第一涡扇12的转动带动空气进入到初级排风筒1内时，空气会给第一涡扇12一个向第一进风口方向的轴向力，使第一涡扇12进一步带动驱动轴2向第一进风口方向移动，在第一涡扇12转速较快的时候，进而可能会影响到驱动轴2对第一涡扇12的正常驱动。

为解决上述的问题，在第一涡扇12远离第一进风口的一侧设置第一涡轮13，当进入到初级排风筒1内的空气充满初级排风筒1内部时，通过第一涡轮13的转动将空气从初级排风筒1的侧方排出，进而降低空气对第一涡扇12的轴向力，同时避免了初级排风筒1内的空气聚集造成的气压变高。

需要指出的是，在驱动轴2与初级排风筒1之间需要进行密封设置，以防止空气从驱动轴2与初级排风筒1之间进入到初级排风筒1内。

在本实施例中，驱动轴2与初级排风筒1之间的密封采用了迷宫套32的方式进行密封。

需要说明的是，涡扇的结构是，在中心设置有转动轴，转动轴的外壁上均匀分布有多个扇叶；扇叶的页面与转动轴的中心轴具有一定的夹角，能够将空气从扇叶的一侧带向另一侧。在本实施例中，扇叶能够将空气从第一进风口带入到初级排风筒1中，进而将与第一进风口连接的空间抽真空。为了保证真空度，本实施例中，串联设置了四个第一涡扇12来加大抽真空的力度。

还需要说明的是，涡轮的结构与涡扇的结构相似，均是在中心设置有转动轴，在转动轴的外壁上均匀分布多个扇叶；不同的是，涡轮的扇叶的页面与转动轴的中心轴平行。涡轮的页面从转动轴开始向外旋转延伸，旋转方向和旋转角度相同，进而能够有效的将从涡扇抽进初级排风筒1内的空气从初级排风筒1的侧部第一出风口7甩出。在本实施例中，第一涡轮13的数量为两个，串联设置。

优选的实施方式为，驱动电机9上设置有主动轮4；

驱动轴2上设置有从动轮3；

主动轮4与从动轮3之间为皮带14连接或链条连接。

在驱动电机9上设置主动轮4，在驱动轴2上设置从动轮3，通过皮带14或链条将主动轮4与从动轮3连接在一起，进而达到传动的目的。

这样的设置，能够使驱动电机9的设置位置更加的灵活，能够使整个真空泵的形状更加的与周围的环境相匹配。

优选的实施方式为，第一出风口7设置有单向阀18。

在第一出风口7设置单向阀18，能够保证从第一出风口7排出的空气不会再从第一出风口7进入到初级排风筒1内，进而保证了抽真空的顺利进行。

优选的实施方式为，单向阀18包括第一过渡板19、第一排气管、密封板21和助力簧；

第一过渡板19上设置有通气孔20；

通气孔20与第一出风口7连通；

第一排气管设置在第一过渡板19远离第一出风口7的一侧，且与通气孔20连通；

密封板21设置在第一排气管内；

密封板21的一端与第一过渡板19靠近第一排气管的一侧转动连接；

密封板21的面积大于通气孔20的面积，能够将通气孔20完全密封；

助力簧设置在密封板21远离第一过渡板19的一侧，用于给密封板21一个朝向通气孔20方向的力。

第一过渡板19与第一出风口7连接，将第一出风口7与第一排气管连接在一起，避免第一出风口7排出的气体泄漏。密封板21设置在第一排气管的内部，密封板21的一端与第一排气管的内部转动连接，能够使密封板21的另一端从水平到竖直位置进行变化，进而实现密封和打开第一排气管的目的。

在密封板21对第一排气管进行密封的时候，密封板21与第一过渡板19之间能够完全的贴合，避免密封板21与第一过渡板19之间的气体泄漏。由于通过初级排风筒1内的第一涡轮13的转动，将初级排风筒1内的气体通过第一出风口7排向第一排气管中，进而导致初级排风筒1内的气压低于第一排气管内的气压，密封板21收到两侧气压的压差作用会与第一过渡板19贴合，从而来保证单向阀18的密封性能。

但是，只是依靠密封板21两侧的压差来保证单向阀18的密封性能的话，其在真空泵震动的时候，密封板21容易跟随一起产生震动，进而导致密封板21与第一过渡板19没有完全贴合，从而会导致空气从第一排气管进入到初级排风筒1内，影响到抽真空的效果。

在密封板21上远离第一过渡板19的一侧助力弹簧22，通过助力弹簧22给密封板21一个靠近第一过渡板19的力，能够进一步保证密封板21在密封后不会受到震动而打开，进而保证了单向阀18的密封性能。

优选的实施方式为，第一排气管靠近第一过渡板19的一端的直径大于远离第一过渡板19的一端的直径；

第一排气管靠近第一过渡板19的一端的中心轴，设置在第一排气管远离第一过渡板19的一端的中心轴的远离第一过渡板19与密封板21的接触点的一侧；

第一排气管上还设置有第一回流腔23；

第一回流腔23设置在第一排气管的一侧。

如图4所示，第一回流腔23设置在第一排气管的一侧，且设置在密封板21与第一排气管连接的一侧。

当气体通过第一排气管排出时，气体受到密封板21的阻挡作用，不会经过第一回流腔23，而是直接穿过第一排气管排出；而当气体从第一排气管回流向初级排风筒1时，气体受到密封板21的阻挡作用，会进入到第一回流腔23内，进而产生旋流后再次被排出，进而降低了气体回流到初级排风筒1内的情况发生。

优选的实施方式为，驱动轴2远离初级排风筒1的一端设置有二级排风筒5；

二级排风筒5与驱动轴2同轴设置；

二级排风筒5与初级排风筒1之间设置有通风管道8；

通风管道8的一端与第一出风口7连通；

通风管道8的另一端与二级排风筒5的第二进风口连通；

二级排风筒5内设置有第二涡轮15和隔板；

第二涡轮15与驱动轴2同轴设置；

第二涡轮15与第一涡轮13的旋向相同；

隔板设置在第二涡轮15远离驱动轴2的一侧；

隔板中心设置有通孔，用于将二级排风筒5内的空气排出。

也就是说，在驱动轴2的另一端设置二级排风筒5，通过通风管道8将初级排风筒1与二级排风筒5进行串联，实现多级抽真空，大大的提高了真空度。

需要指出的是，可以是两个排风筒进行串联，即二级排风筒5与初级排风筒1进行串联，也可以是三个排风筒进行串联，甚至是更多的排风筒串联。此时，三级排风筒6与二级排风筒5的内部结构完全相同，即在三级排风筒6内部设置一个第三涡轮16，通过第三涡轮16进行排风工作。

还需要指出的是，在三级排风筒6的侧壁上设置有第二出风口，第三涡轮16旋转带出的风，通过第二出风口排出。

优选的实施方式为，通孔处设置有限流阀17。

在通孔处设置限流阀17，其作用与单向阀18相同，起到防止空气回流的作用。

在加设了三级排风筒6的时候，限流阀设7设置的位置就改变在了第二出风口处，这样才能有效的避免外界的空气回流。

优选的实施方式为，如图5所示，限流阀17包括第二过渡板30、第二排气管24、压缩弹簧29和阀芯26；

第二过渡板30设置在第二排气管24的一端；

压缩弹簧29设置在第二过渡板30靠近第二排气管24的一侧；

阀芯26设置在压缩弹簧29远离第二过渡板30的一端；

阀芯26的形状为圆锥台；

阀芯26底面较大的一端与压缩弹簧29连接；

第二排气管24内环形设置有与第二排气管24同轴的第一限流部25；

第一限流部25靠近第二排气管24中心的一端与阀芯26靠近压缩弹簧29的一端的外壁相抵。

这是最后一级自动控制排气量大小的限流阀17，在排气多时，压缩弹簧29被压缩，阀芯26向下移动，阀芯26与第一限流部25之间的空间变大，排气就多。真空度提高后，排气较少时，阀芯26在压缩弹簧29的张力作用下缩小阀芯26与第一限流部25之间的空间，进而减少排气量。

优选的实施方式为，第二排气管24内环形设置有与第二排气管24同轴的第二限流部31；

第二限流部31设置在第一限流部25靠近第二过渡板30的一侧；

第一限流部25与第二限流部31之间设置有第二回流腔28；

和/或，

第二排气管24上设置有排风口27；

排风口27设置在第一限流部25靠近过渡板的一侧。

由于少量气体的外冲，使返压的大气压的气流在第二回流腔28内形成涡流，气旋方向与排气方向相同，从而减少了返气的压力，使得提高了相应的真空度。

在第二排气管24上还设置排风口27，通过排风口27爪泵11等装置进行连接。

优选的实施方式为，第一出风口7连接设置有爪泵11。

在第一出风口7出也可以设置爪泵11，来增加真空泵的工作效率和性能。

从上述可以看出，本发明的涡扇干式真空泵由驱动电机9驱动于真空泵的驱动轴2，使驱动轴2升速为每分钟8000一12000转之间可控，初级排风筒1内由两个并排的第一涡扇12进气，气作用在并排的半封闭的第一涡轮13上，第一涡扇12的做用是获得较大的抽速，第一涡轮13是离心涡轮，其做用是将这么多抽过来的气，排出初级排风筒1外，又不能使驱动轴2受到轴向推力，同时将大量气排出，来降低阻力。第一涡扇12与第一涡轮13我们视为一体。

随着不断排气，使真空泵的第一进气口真空度提高，排气越来越少，在二级排风筒5和三级排风筒6内的涡轮进气抽吸下，初级排风筒1的单向阀18，在抽吸作用下关闭第一出风口7，使得多级泵成为串联，真空度大大提高，直到极限真空。

在最后一级的出风口，有一个可以控制排气量的限流阀17，它随着排气量的减少而缩小排气口径，用以限制因泵前后压差所引起的大气返压，从而得到相应的真空度。

本发明的涡扇干式真空泵用高速和小直径得到大抽速与小扭距，驱动力减小而节能，它的驱动与爪泵11和罗杆泵不同，它只有一根轴及叶轮，驱动力较小，而爪泵11和罗杆泵则由两个齿轮丶两根轴驱动时耗工大，综合来看节能三分之二以上。涡扇干式真空泵的起动为低速逐渐升速，边抽气边增速，相应保持一定电流而不过载。涡扇干式真空泵是干式泵，区别于其它湿式真空泵，工做装置运转中无机械磨擦而耐用，适应性广，而且具备干式真空泵的优奌，它的抽速可以做到与罗茨真空泵相当，而体积小重量轻，其单台真空度确远高于罗茨干式真空泵，因而有极高的性价比，而取代罗茨干式真空泵及相应的机组。与爪型干泵丶罗杆干泵相比制造大抽速十分容易，长期运转可靠无脉冲排气，功耗小，造价低节省三分之二以上，易于流氷线生产装配难度低，更适合中低真空独立使用。由于涡扇干式真空泵是高速运转有极强的分离尘埃、水气的能力，同时高速，为机体带来降温做用，很多环境都需要这一特性。涡扇干式真空泵适合与其它泵组为机组广泛应用，成为大型设备配套使用的泵种。

本发明以涡扇来增大抽速，以涡轮来改变气压的方向，并以极高速离心使气体分子延腔体旋转排出，减少滞留气体对真空的影响。多级涡轮相互串联，首尾相联提高真空度。最后一级出气口的口径，随进气口真空度的提高而逐渐自动变小。单向阀18随前级的抽吸真空做用下自动关闭。具有水冷却的机壳材料，防腐耐磨。

本发明提供的涡扇干式真空泵，通过设置驱动电机9带动驱动轴2进一步带动第一涡轮13和第一涡扇12转动，第一涡扇12将空气从第一进风口吸入到初级排风筒1内，再通过第一涡轮13将空气从第一出风口7排出，进而实现抽真空的功能。本发明涡扇干式真空泵的抽速大，功率小，成本低，可以独立使用，并具备除尘，去湿，有一定制冷功能，便于冷凝可凝有毒有害气体回收，比较耐用，维修简单。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种涡扇干式真空泵，其特征在于，包括主架、驱动电机、驱动轴和初级排风筒；

所述驱动电机、所述驱动轴和所述初级排风筒均设置在所述主架上；

所述驱动电机与所述驱动轴连接，能够带动所述驱动轴转动；

所述驱动轴和所述初级排风筒同轴设置；

所述初级排风筒内设置有第一涡扇和第一涡轮；

所述第一涡扇、所述第一涡轮均与所述驱动轴固定连接，且所述第一涡扇、所述第一涡轮均与所述驱动轴同轴设置，能够被所述驱动轴带动进行转动；

所述初级排风筒远离所述驱动轴的一端设置有第一进风口；

所述第一涡扇的旋向与所述驱动轴的转动方向相同，能够将空气通过所述第一进风口吸进所述初级排风筒内；

所述第一涡轮设置在所述第一涡扇远离所述第一进风口的一侧；

所述初级排风筒的侧壁上设置有与所述第一涡轮对应的第一出风口。

2.根据权利要求1所述的涡扇干式真空泵，其特征在于，所述驱动电机上设置有主动轮；

所述驱动轴上设置有从动轮；

所述主动轮与所述从动轮之间为皮带连接或链条连接。

3.根据权利要求1所述的涡扇干式真空泵，其特征在于，所述第一出风口设置有单向阀。

4.根据权利要求3所述的涡扇干式真空泵，其特征在于，所述单向阀包括第一过渡板、第一排气管、密封板和助力簧；

所述第一过渡板上设置有通气孔；

所述通气孔与所述第一出风口连通；

所述第一排气管设置在所述第一过渡板远离所述第一出风口的一侧，且与所述通气孔连通；

所述密封板设置在所述第一排气管内；

所述密封板的一端与所述第一过渡板靠近所述第一排气管的一侧转动连接；

所述密封板的面积大于所述通气孔的面积，能够将所述通气孔完全密封；

所述助力簧设置在所述密封板远离所述第一过渡板的一侧，用于给所述密封板一个朝向所述通气孔方向的力。

5.根据权利要求4所述的涡扇干式真空泵，其特征在于，所述第一排气管靠近所述第一过渡板的一端的直径大于远离所述第一过渡板的一端的直径；

所述第一排气管靠近所述第一过渡板的一端的中心轴，设置在所述第一排气管远离所述第一过渡板的一端的中心轴的远离所述第一过渡板与所述密封板的接触点的一侧；

所述第一排气管上还设置有第一回流腔；

所述第一回流腔设置在所述第一排气管的一侧。

6.根据权利要求1所述的涡扇干式真空泵，其特征在于，所述驱动轴远离所述初级排风筒的一端设置有二级排风筒；

所述二级排风筒与所述驱动轴同轴设置；

所述二级排风筒与所述初级排风筒之间设置有通风管道；

所述通风管道的一端与所述第一出风口连通；

所述通风管道的另一端与所述二级排风筒的第二进风口连通；

所述二级排风筒内设置有第二涡轮和隔板；

所述第二涡轮与所述第一涡轮的旋向相同；

所述第二涡轮与所述驱动轴同轴设置；

所述隔板设置在所述第二涡轮远离所述驱动轴的一侧；

所述隔板中心设置有通孔，用于将所述二级排风筒内的空气排出。

7.根据权利要求6所述的涡扇干式真空泵，其特征在于，所述通孔处设置有限流阀。

8.根据权利要求7所述的涡扇干式真空泵，其特征在于，所述限流阀包括第二过渡板、第二排气管、压缩弹簧和阀芯；

所述第二过渡板设置在所述第二排气管的一端；

所述压缩弹簧设置在所述第二过渡板靠近所述第二排气管的一侧；

所述阀芯设置在所述压缩弹簧远离所述第二过渡板的一端；

所述阀芯的形状为圆锥台；

所述阀芯底面较大的一端与所述压缩弹簧连接；

所述第二排气管内环形设置有与所述第二排气管同轴的第一限流部；

所述第一限流部靠近所述第二排气管中心的一端与所述阀芯靠近所述压缩弹簧的一端的外壁相抵。

9.根据权利要求8所述的涡扇干式真空泵，其特征在于，所述第二排气管内环形设置有与所述第二排气管同轴的第二限流部；

所述第二限流部设置在所述第一限流部靠近所述第二过渡板的一侧；

所述第一限流部与所述第二限流部之间设置有第二回流腔；

和/或，

所述第二排气管上设置有排风口；

所述排风口设置在所述第一限流部靠近所述过渡板的一侧。

10.根据权利要求1-9任一项所述的涡扇干式真空泵，其特征在于，所述第一出风口连接设置有爪泵。