JP2021514113A - 制御可能なビームサイズの処理噴霧を有する小型電子機器処理システム - Google Patents
制御可能なビームサイズの処理噴霧を有する小型電子機器処理システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021514113A JP2021514113A JP2020543187A JP2020543187A JP2021514113A JP 2021514113 A JP2021514113 A JP 2021514113A JP 2020543187 A JP2020543187 A JP 2020543187A JP 2020543187 A JP2020543187 A JP 2020543187A JP 2021514113 A JP2021514113 A JP 2021514113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- processing
- fluid
- nozzle
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 277
- 239000007921 spray Substances 0.000 title claims abstract description 54
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 122
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 113
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 60
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 39
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 37
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 37
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims description 34
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 10
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 10
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 4
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 claims description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 77
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 62
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 57
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 45
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 26
- 230000014616 translation Effects 0.000 description 26
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 19
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 13
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 12
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 12
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 8
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 7
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 7
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 7
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 5
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 3
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 241000945470 Arcturus Species 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000011086 high cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011982 device technology Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/6776—Continuous loading and unloading into and out of a processing chamber, e.g. transporting belts within processing chambers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68764—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a movable susceptor, stage or support, others than those only rotating on their own vertical axis, e.g. susceptors on a rotating caroussel
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Nozzles (AREA)
Abstract
Description
図5を参照すると、300nmの小さな粒子のクリーニングを実証するため、試験(試験1、2)が実施された。無垢のシリコンウェハ200は、表面201が30nmのシリカ粒子で汚染された後、それぞれ異なる2つのチャンバ圧力で、極低温エアロゾル処理ビームに暴露された。第1の試験では、19Torrの比較的高いビーム圧力で、比較的集中された処理ビームを使用した。第2の試験では、これが、4Torrのより低いチャンバ圧力で、より大きなより拡散された処理ビームと比較された。他の条件は同じであった。
流速およびチャンバ圧力が、ウェハ表面からの粒子のクリーニングに使用される流体処理ビームの形状およびサイズにどのように影響するかを評価する試験を実施した。試験は、30nmのシリカ粒子で表面が汚染された、300mmの無垢のシリコンウェハを用いて実施した。表2-1に示した条件を用い、4つの異なる試験(試験3、4、5、6)において、汚染ウェハを流体処理ビームに暴露した。
流速、ノズルオリフィスサイズ、およびギャップ距離(図4において、ギャップ距離126として示されている)が、ウェハ表面からの粒子のクリーニングに使用される流体処理ビームの形状およびサイズに、どのように影響するかを評価する試験を実施した。試験は、100nmのシリカ粒子で表面が汚染された、300mmの無垢のシリコンウェハを用いて実施した。表3-1に示した条件を用い、3つの異なる試験(試験7、8,9)において、汚染ウェハを流体処理ビームに暴露した。3つ全ての試験において、表3-1に示した予備膨張圧力、-173℃(100K)で、ノズルに加圧冷却アルゴンを供給した。アルゴンの圧力および温度は、ノズルに供給される加圧冷却アルゴンが供給ラインの中で気体として維持することができ、液体物が回避されることが確実に補償されるように選定した。3つ全ての試験において、ノズルは、その出口オリフィスが予備チャンバの外側に配置され、処理チャンバに突出するように配置した。従って、ノズル出口は、予備チャンバ内に奥まっては配置されなかった。予備チャンバは、依然として、放出ビームの上方で開放され、ビーム軸の上部のこの開放体積により、依然、圧力変化に対応して、ビームの形状化が助長されるものと考えられる。流体は、ノズルから放出され、ガスクラスタを含む流体処理ビームとして処理チャンバに入る。
ガスクラスタは、主に液体粒子からおよび/または固体粒子から形成される処理ビームを用いる場合に比べて、装置特徴物に対する損傷のリスクを低減した状態で、大きな粒子(100nm超)および小さな粒子(100nm以下)の優れたクリーニングを提供するため、有意である。
Claims (29)
- 小型電子機器試料を処理噴霧で処理するシステムであって、
a.処理の間、前記小型電子機器試料が配置される試料ホルダを有する真空処理チャンバであって、制御可能な真空圧力を有する、真空処理チャンバと、
b.前記真空処理チャンバと流体連通された予備チャンバであって、該予備チャンバから前記真空処理チャンバに分配された流体処理ビームが、前記試料ホルダに配置された前記小型電子機器試料に誘導され、前記真空処理チャンバに分配される前記流体処理ビームは、前記真空処理チャンバ内の圧力変化に応じて調整可能なビームサイズを有し、前記ビームサイズは、前記制御可能な真空圧力を調整することにより、要求に応じて調整可能である、予備チャンバと、
c.前記予備チャンバと流体連通された、少なくとも一つのノズルであって、該ノズルは、前記予備チャンバに流体噴霧を分配し、前記ノズルから分配される前記流体噴霧は、前記予備チャンバから前記真空処理チャンバに、前記流体処理ビームとして分配される前に、前記予備チャンバにおいて形状化された流体ビームに制限され形状化される、少なくとも一つのノズルと、
を有する、システム。 - さらに、プログラム指令を含む制御システムを有し、
前記プログラム指令は、前記真空圧力を制御することを含む、1または2以上の処理制御ステップにより、前記流体処理ビームのビームサイズを制御可能に平行化する、請求項1に記載のシステム。 - 前記処理チャンバは、前記試料の上を覆う天井を有し、
前記処理チャンバの天井は、前記天井と前記基板の間にギャップを提供するのに有効な態様で配置され、前記処理ビームが前記小型電子機器試料にわたって、半径方向外向きに流れることが助長される、請求項1に記載のシステム。 - 前記ギャップは、20mmから100mmの範囲である、請求項1に記載のシステム。
- 前記制御システムは、処理の間、前記制御可能な真空圧力を調節する、請求項1に記載のシステム。
- 前記制御システムは、異なる処理の間、前記制御可能な真空圧力を調節する、請求項2に記載のシステム。
- 前記制御システムは、前記制御可能な真空圧力を調整し、異なるサイズを有する一連の流体処理ビームにより、基板の共通の領域を処理する、請求項2に記載のシステム。
- 前記制御システムは、比較的大きな流体処理ビームを有する第1の処理部分が生じ、前記第1の処理の前後に、比較的集束された流体処理ビームを用いる第2の処理部分が生じるように、前記制御可能な真空圧力を調整する、請求項2に記載のシステム。
- 前記制御可能な真空圧力は、1ミリTorrから750Torrの範囲にある、請求項1に記載のシステム。
- 前記制御可能な真空圧力は、50Torr未満である、請求項1に記載のシステム。
- 前記制御可能な真空圧力は、25Torr未満である、請求項1に記載のシステム。
- 前記ノズルは、前記予備チャンバ内に、対称で奥まった配置を有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記予備チャンバは、側壁およびカバーを有し、
前記ノズルは、前記予備チャンバの前記側壁および前記カバーから奥まった位置に配置される、請求項1に記載のシステム。 - 前記予備チャンバは、中心軸を有する筒状形状を有し、
前記ノズルは、前記中心軸上に配置される、請求項1に記載のシステム。 - 前記ノズルには加圧冷却流体が供給され、
前記加圧冷却流体は、70Kから150Kの範囲の温度であり、10psigから100psigの範囲の圧力であり、
前記加圧冷却流体の少なくとも99質量%は、気相である、請求項1に記載のシステム。 - 前記ノズルには加圧冷却流体が供給され、
前記加圧冷却流体は、70Kから150Kの範囲の温度であり、10psigから100psigの範囲の圧力であり、
前記加圧冷却流体の少なくとも10質量%は、液相であり、1質量%未満は、固相である、請求項1に記載のシステム。 - 前記ノズルには加圧冷却流体が供給され、
前記加圧冷却流体は、窒素および/またはアルゴンを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記ノズルには加圧冷却流体が供給され、
前記加圧冷却流体は、窒素を含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記ノズルには加圧冷却流体が供給され、
前記加圧冷却流体は、アルゴンを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記ノズルは、出口オリフィスを有し、該出口オリフィスは、前記予備チャンバの出口に対して、5mmから200mmの範囲の距離だけ、前記予備チャンバから奥まって配置される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ノズルは、流体供給部に結合された第1の本体と、ノズルオリフィスを有する第2の本体とを有し、
前記第2の本体は、前記第1の本体に、取り外し可能に取り付けられる、請求項1に記載のシステム。 - 処理噴霧により小型電子機器試料を処理するシステムであって、
a.処理の間、前記小型電子機器試料が配置される試料ホルダを有する真空処理チャンバであって、制御可能な真空圧力を有する、真空処理チャンバと、
b.前記真空処理チャンバおよび前記小型電子機器試料に流体処理ビームを供給するノズルシステムであって、(i)前記真空処理チャンバと流体連通された予備処理チャンバ、および(ii)前記予備チャンバに収容され、奥まって配置された、少なくとも一つのノズルを有する、ノズルシステムと、
を有し、
i.前記ノズルは、加圧冷却流体を有する流体供給システムに結合され、前記ノズルは、前記予備チャンバに前記加圧冷却流体を噴霧し、
ii.前記予備チャンバに分配された前記流体噴霧は、前記予備チャンバ内で、形状化された流体ビームに制限され形状化され、
iii.前記予備チャンバは、前記真空処理チャンバと流体連通され、前記試料ホルダの上方に配置され、前記形状化された流体ビームは、前記試料ホルダに配置された前記小型電子機器試料に誘導される流体処理ビームとして、前記予備チャンバから前記真空処理チャンバに分配され、
前記真空処理チャンバに分配される前記流体処理ビームは、前記真空処理チャンバにおける圧力変化に応じて、調整可能なビームサイズを有し、前記ビームサイズは、前記制御可能な真空圧力を調整することにより、要求に応じて調整できる、システム。 - 前記処理チャンバは、さらに、前記試料の上を覆う天井を有し、
前記処理チャンバの天井は、前記天井と前記基板の間にギャップを提供するのに有効な態様で配置され、前記処理ビームが前記小型電子機器試料にわたって、半径方向外向きに流れることが助長される、請求項22に記載のシステム。 - 小型電子機器試料を処理流体で処理する方法であって、
a.小型電子機器試料を提供するステップであって、前記小型電子機器試料は、真空処理チャンバ内の試料ホルダに支持され、前記真空処理チャンバは、制御可能な真空圧力を有する、ステップと、
b.側壁およびカバーを有する予備チャンバに、ノズルを介して加圧冷却流体を噴霧するステップであって、前記ノズルは、前記真空処理チャンバに開放された予備チャンバ出口に対して、陥凹距離だけ前記予備チャンバ内に奥まって配置された、少なくとも一つのノズルオリフィスを有し、該ノズルオリフィスは、前記予備チャンバの前記側壁および前記カバーから奥まって配置される、ステップと、
c.前記予備チャンバ内で前記噴霧された加圧冷却流体を形状化し、形状化された流体ビームを提供するステップと、
d.前記形状化された流体ビームを、ビームサイズを有する分配流体処理ビームとして、前記予備チャンバから前記真空処理チャンバおよび前記小型電子機器試料に分配するステップであって、前記ビームサイズは、前記真空処理チャンバ内の圧力変化により調整され、前記ビームサイズは、前記制御可能な真空圧力を調整することにより、要求に応じて調整できる、ステップと、
e.前記制御可能な真空圧力を変化させ、前記流体処理ビームのビームサイズを維持または調整する、制御システムを提供するステップと、
を有する、方法。 - 前記処理チャンバは、さらに、前記試料の上を覆う天井を有し、
さらに、前記基板に十分に接近させて、前記天井を配置し、前記天井と前記基板の間にギャップを提供するステップを有し、前記処理ビームが前記小型電子機器試料にわたって、半径方向外向きに流れることが助長される、請求項24に記載の方法。 - 小型電子機器試料を処理流体で処理する方法であって、
a)小型電子機器試料を提供するステップであって、前記小型電子機器試料は、真空処理チャンバ内の試料ホルダに支持され、前記真空処理チャンバは、制御可能な真空圧力を有する、ステップと、
b)前記小型電子機器試料の上方の少なくとも一つの予備チャンバ出口を介して、前記真空処理チャンバと流体連通された予備チャンバを提供するステップと、
c)前記予備出口、前記予備チャンバの側壁、および前記予備チャンバのカバーから、前記予備チャンバ内に奥まって配置された、前記ノズルオリフィスから、前記予備チャンバ内に加圧冷却流体を噴霧するステップと、
d)前記予備チャンバ内に分配された噴霧流体を用いて、ビームサイズを有する流体処理ビームを形成するステップであって、前記ビームサイズは、前記真空処理チャンバの圧力変化により調整され、前記ビームサイズは、前記制御可能な真空圧力を調整することにより、要求に応じて調整できる、ステップと、
e)前記予備チャンバからの前記流体処理ビームを前記小型電子機器試料に分配するステップと、
を有する、方法。 - さらに、前記真空処理チャンバの前記真空圧力を制御し、前記流体処理ビームのビームサイズを調整するステップを有する、請求項25に記載の方法。
- 処理噴霧により小型電子機器試料を処理するシステムであって、
a.真空処理チャンバを定めるハウジングであって、前記真空処理チャンバは、処理の間、前記小型電子機器試料が配置される試料ホルダを有し、前記ハウジングは、カバー構造を有する、ハウジングと、
b.前記真空処理チャンバと流体結合された予備チャンバであって、前記カバー構造における予備チャンバ出口を介して、前記予備チャンバから前記真空処理チャンバへの出口が提供され、前記予備チャンバ出口の設置面積(footprint)は、前記小型電子機器試料の設置面積よりも小さい、予備チャンバと、
c.1または2以上の流体を含む流体供給システムと、
d.前記1または2以上の流体を、流体噴霧として効果的に分配するように、前記流体供給システムに結合された、少なくとも一つのスプレーノズルであって、前記流体噴霧が前記予備チャンバに分配された後、前記予備チャンバから前記真空処理チャンバ内の前記小型電子機器試料に分配されるように、前記予備チャンバ内に奥まって配置された、スプレーノズルと、
を有する、システム。 - 処理噴霧により小型電子機器試料を処理するシステムであって、
a.処理の間、前記小型電子機器試料が配置される試料ホルダを有する真空処理チャンバであって、制御可能な真空圧力を有する、真空処理チャンバと、
b.前記真空処理チャンバと流体連通され、前記処理の間、前記試料の上方に配置された出口を有する予備チャンバと、
c.前記真空処理チャンバに開放されたノズル出口オリフィスを有する、少なくとも一つのノズルであって、前記予備チャンバの出口が前記ノズル出口オリフィスと重なるように配置され、前記ノズル出口オリフィスから前記処理噴霧が分配された際に、前記試料が処理される、少なくとも一つのノズルと、
を有する、システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201862632131P | 2018-02-19 | 2018-02-19 | |
US62/632,131 | 2018-02-19 | ||
PCT/US2019/018405 WO2019161328A1 (en) | 2018-02-19 | 2019-02-18 | Microelectronic treatment system having treatment spray with controllable beam size |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021514113A true JP2021514113A (ja) | 2021-06-03 |
JP7357625B2 JP7357625B2 (ja) | 2023-10-06 |
Family
ID=67617431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020543187A Active JP7357625B2 (ja) | 2018-02-19 | 2019-02-18 | 制御可能なビームサイズの処理噴霧を有する小型電子機器処理システム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11020774B2 (ja) |
JP (1) | JP7357625B2 (ja) |
KR (1) | KR20200121829A (ja) |
CN (1) | CN111937128A (ja) |
TW (1) | TW201939572A (ja) |
WO (1) | WO2019161328A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI766897B (zh) | 2016-11-09 | 2022-06-11 | 美商東京威力科創Fsi股份有限公司 | 用於處理一微電子基板的設備及其方法 |
TWI765936B (zh) | 2016-11-29 | 2022-06-01 | 美商東京威力科創Fsi股份有限公司 | 用以對處理腔室中之微電子基板進行處理的平移與旋轉夾頭 |
CN110268513A (zh) | 2017-01-27 | 2019-09-20 | 东京毅力科创Fsi公司 | 用于在工艺室中旋转和平移衬底的系统和方法 |
US11545387B2 (en) | 2018-07-13 | 2023-01-03 | Tel Manufacturing And Engineering Of America, Inc. | Magnetic integrated lift pin system for a chemical processing chamber |
KR20220039622A (ko) | 2020-09-21 | 2022-03-29 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 음극 및 이를 포함하는 리튬 이차전지 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55106538A (en) * | 1979-02-13 | 1980-08-15 | Shimadzu Corp | Removing method of surface from substance |
JP2002504016A (ja) * | 1997-06-11 | 2002-02-05 | エフエスアイ インターナショナル インコーポレーテッド | 低温エーロゾルの製造および制御による基材の処理 |
JP2013175681A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Kyoto Univ | 基板洗浄方法、基板洗浄装置及び真空処理装置 |
JP2015041646A (ja) * | 2013-08-20 | 2015-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置 |
JP2016076703A (ja) * | 2014-10-06 | 2016-05-12 | ティーイーエル エフエスアイ,インコーポレイティド | 極低温流体混合物で基板を処理するシステムおよび方法 |
Family Cites Families (61)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3538883A (en) | 1967-12-12 | 1970-11-10 | Alco Standard Corp | Vacuum chuck with safety device |
DE4237928C2 (de) | 1992-07-09 | 1995-01-19 | Siemens Ag | Mikroschalter mit einem Magnetfeld-Sensor |
US5598974A (en) | 1995-01-13 | 1997-02-04 | Nordson Corporation | Reduced cavity module with interchangeable seat |
KR970052711A (ko) * | 1995-12-05 | 1997-07-29 | 제임스 조셉 드롱 | 웨이퍼 가공처리시 미립자 오염물의 감소방법 및 장치 |
US5730803A (en) | 1996-02-23 | 1998-03-24 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for transferring heat from a hot electrostatic chuck to an underlying cold body |
JPH10249692A (ja) | 1997-03-11 | 1998-09-22 | Nidek Co Ltd | レンズ研削加工装置、レンズ研削加工方法及びそのための部品 |
US20020157686A1 (en) | 1997-05-09 | 2002-10-31 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for treating a workpiece such as a semiconductor wafer |
US7416611B2 (en) | 1997-05-09 | 2008-08-26 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for treating a workpiece with gases |
US5965047A (en) | 1997-10-24 | 1999-10-12 | Steag Ast | Rapid thermal processing (RTP) system with rotating substrate |
TW392226B (en) | 1997-11-05 | 2000-06-01 | Tokyo Electron Ltd | Apparatus for processing substrate |
EP0917929B1 (en) | 1997-11-21 | 2007-09-05 | Nidek Co., Ltd. | Lens grinding apparatus |
JP3909619B2 (ja) | 1998-05-19 | 2007-04-25 | 独立行政法人理化学研究所 | 磁気ディスク基板の鏡面加工装置及び方法 |
US6146463A (en) | 1998-06-12 | 2000-11-14 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for aligning a substrate on a support member |
US6680253B2 (en) | 1999-01-22 | 2004-01-20 | Semitool, Inc. | Apparatus for processing a workpiece |
JP3398936B2 (ja) | 1999-04-09 | 2003-04-21 | 日本エー・エス・エム株式会社 | 半導体処理装置 |
JP2001313329A (ja) | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Applied Materials Inc | 半導体製造装置におけるウェハ支持装置 |
US6483336B1 (en) | 2000-05-03 | 2002-11-19 | Cascade Microtech, Inc. | Indexing rotatable chuck for a probe station |
US6670807B2 (en) | 2002-01-16 | 2003-12-30 | Applied Materials, Inc. | Proximity sensor detecting loss of magnetic field complete |
US6756751B2 (en) | 2002-02-15 | 2004-06-29 | Active Precision, Inc. | Multiple degree of freedom substrate manipulator |
US20030178145A1 (en) | 2002-03-25 | 2003-09-25 | Applied Materials, Inc. | Closed hole edge lift pin and susceptor for wafer process chambers |
US20030230323A1 (en) | 2002-06-14 | 2003-12-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for improving scrubber cleaning |
US6932558B2 (en) | 2002-07-03 | 2005-08-23 | Kung Chris Wu | Wafer aligner |
KR100460807B1 (ko) | 2002-07-08 | 2004-12-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자 제조설비의 웨이퍼 외관 검사장치와 이를이용하는 세정설비 및 그 검사방법 |
KR100532200B1 (ko) | 2003-02-21 | 2005-11-29 | 삼성전자주식회사 | 불순물 포집 장치 및 방법 |
DE102004036435B4 (de) | 2003-08-07 | 2007-08-30 | Nanophotonics Ag | Haltevorrichtung für scheibenförmige Objekte |
US7730737B2 (en) | 2004-12-21 | 2010-06-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Cooling station lifter pins |
US8038796B2 (en) | 2004-12-30 | 2011-10-18 | Lam Research Corporation | Apparatus for spatial and temporal control of temperature on a substrate |
US20060162739A1 (en) | 2005-01-21 | 2006-07-27 | Nikon Corporation | Cleaning chuck in situ |
US20070209684A1 (en) | 2006-03-07 | 2007-09-13 | Applied Materials, Inc. | Copper deposition chamber having integrated bevel clean with edge bevel removal detection |
US7800735B2 (en) | 2006-04-21 | 2010-09-21 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Z-stage with dynamically driven stage mirror and chuck assembly |
KR100945759B1 (ko) | 2006-05-15 | 2010-03-08 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 방법, 기판 처리 장치 및 기록 매체 |
US8057153B2 (en) | 2006-09-05 | 2011-11-15 | Tokyo Electron Limited | Substrate transfer device, substrate processing apparatus and substrate transfer method |
US7607647B2 (en) | 2007-03-20 | 2009-10-27 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Stabilizing a substrate using a vacuum preload air bearing chuck |
US8057602B2 (en) | 2007-05-09 | 2011-11-15 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for supporting, positioning and rotating a substrate in a processing chamber |
US20090314211A1 (en) | 2008-06-24 | 2009-12-24 | Applied Materials, Inc. | Big foot lift pin |
JP2010021041A (ja) | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Sumco Corp | イオン注入装置のウェーハ保持具 |
CN102099907B (zh) | 2008-07-15 | 2014-04-02 | 株式会社爱发科 | 工件传送系统和方法 |
JP2010087361A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法 |
US8844546B2 (en) | 2008-10-01 | 2014-09-30 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for cleaning semiconductor substrate using pressurized fluid |
US8314371B2 (en) | 2008-11-06 | 2012-11-20 | Applied Materials, Inc. | Rapid thermal processing chamber with micro-positioning system |
JP5650234B2 (ja) * | 2009-11-16 | 2015-01-07 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | ビーム処理システムに対するガス送達 |
JP2012012628A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板処理装置 |
US9421617B2 (en) | 2011-06-22 | 2016-08-23 | Tel Nexx, Inc. | Substrate holder |
JP5776397B2 (ja) | 2011-07-19 | 2015-09-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄方法、処理装置及び記憶媒体 |
US10269615B2 (en) | 2011-09-09 | 2019-04-23 | Lam Research Ag | Apparatus for treating surfaces of wafer-shaped articles |
US9385020B2 (en) | 2011-12-19 | 2016-07-05 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate holding and rotating device, substrate treatment apparatus including the device, and substrate treatment method |
JP5606471B2 (ja) | 2012-02-20 | 2014-10-15 | 株式会社東芝 | 基板回転保持装置および基板処理装置 |
US20130233356A1 (en) | 2012-03-12 | 2013-09-12 | Lam Research Ag | Process and apparatus for treating surfaces of wafer-shaped articles |
CN102646619B (zh) * | 2012-04-28 | 2014-12-03 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 腔室的压力控制方法 |
US9255894B2 (en) | 2012-11-09 | 2016-02-09 | Kla-Tencor Corporation | System and method for detecting cracks in a wafer |
US9691641B2 (en) * | 2012-12-13 | 2017-06-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method of cleaning wafers |
JP5950855B2 (ja) * | 2013-03-19 | 2016-07-13 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入装置およびイオン注入装置のクリーニング方法 |
US9597701B2 (en) | 2013-12-31 | 2017-03-21 | Lam Research Ag | Apparatus for treating surfaces of wafer-shaped articles |
JP6304592B2 (ja) | 2014-03-25 | 2018-04-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
US9564378B2 (en) | 2014-12-10 | 2017-02-07 | Tel Fsi, Inc. | Detection of lost wafer from spinning chuck |
CN106711062B (zh) * | 2015-11-17 | 2019-07-12 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 一种工艺反应腔体气流场的实现装置及其实现方法 |
JP6670674B2 (ja) * | 2016-05-18 | 2020-03-25 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
TWI766897B (zh) | 2016-11-09 | 2022-06-11 | 美商東京威力科創Fsi股份有限公司 | 用於處理一微電子基板的設備及其方法 |
TWI765936B (zh) | 2016-11-29 | 2022-06-01 | 美商東京威力科創Fsi股份有限公司 | 用以對處理腔室中之微電子基板進行處理的平移與旋轉夾頭 |
KR20190085148A (ko) | 2016-12-07 | 2019-07-17 | 티이엘 에프에스아이, 인코포레이티드 | 반도체 디바이스를 제조하기 위한 웨이퍼 에지 리프트 핀 |
CN110268513A (zh) | 2017-01-27 | 2019-09-20 | 东京毅力科创Fsi公司 | 用于在工艺室中旋转和平移衬底的系统和方法 |
-
2019
- 2019-02-18 US US16/278,398 patent/US11020774B2/en active Active
- 2019-02-18 CN CN201980013308.0A patent/CN111937128A/zh active Pending
- 2019-02-18 TW TW108105275A patent/TW201939572A/zh unknown
- 2019-02-18 WO PCT/US2019/018405 patent/WO2019161328A1/en active Application Filing
- 2019-02-18 JP JP2020543187A patent/JP7357625B2/ja active Active
- 2019-02-18 KR KR1020207026293A patent/KR20200121829A/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55106538A (en) * | 1979-02-13 | 1980-08-15 | Shimadzu Corp | Removing method of surface from substance |
JP2002504016A (ja) * | 1997-06-11 | 2002-02-05 | エフエスアイ インターナショナル インコーポレーテッド | 低温エーロゾルの製造および制御による基材の処理 |
JP2013175681A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Kyoto Univ | 基板洗浄方法、基板洗浄装置及び真空処理装置 |
JP2015041646A (ja) * | 2013-08-20 | 2015-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置 |
JP2016076703A (ja) * | 2014-10-06 | 2016-05-12 | ティーイーエル エフエスアイ,インコーポレイティド | 極低温流体混合物で基板を処理するシステムおよび方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7357625B2 (ja) | 2023-10-06 |
CN111937128A (zh) | 2020-11-13 |
TW201939572A (zh) | 2019-10-01 |
US11020774B2 (en) | 2021-06-01 |
WO2019161328A1 (en) | 2019-08-22 |
US20190255580A1 (en) | 2019-08-22 |
KR20200121829A (ko) | 2020-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2021514113A (ja) | 制御可能なビームサイズの処理噴霧を有する小型電子機器処理システム | |
US9099298B2 (en) | Substrate cleaning apparatus and substrate cleaning method | |
JP6929981B2 (ja) | 高アスペクト比半導体デバイス構造のための、汚染物質除去を伴うスティクションフリー乾燥処理 | |
US9960056B2 (en) | Substrate cleaning method, substrate cleaning apparatus and vacuum processing system | |
JP5776397B2 (ja) | 洗浄方法、処理装置及び記憶媒体 | |
US7306002B2 (en) | System and method for wet cleaning a semiconductor wafer | |
JP6293499B2 (ja) | 真空処理装置 | |
US8062432B2 (en) | Cleaning method for turbo molecular pump | |
TWI766897B (zh) | 用於處理一微電子基板的設備及其方法 | |
JP2005294835A (ja) | 基板とメニスカスとの境界面およびその取り扱い方法 | |
US20120312334A1 (en) | Resist removal apparatus and resist removal method | |
JP2008523632A (ja) | 裏面汚染物粒子を減少させるための技術 | |
US9818582B2 (en) | Plasma processing method | |
KR102454525B1 (ko) | 저-산소 분위기에서 vuv 광에 대한 제어된 노출에 의한 표면 전하 및 임베딩된 기판 전하의 감소 | |
JP2004128079A (ja) | Soiウェハーのための多段局所ドライエッチング方法 | |
KR102584515B1 (ko) | 노즐, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP6095295B2 (ja) | スピンテーブルを用いた洗浄装置 | |
JP6475877B2 (ja) | 真空処理装置 | |
JP2004349577A (ja) | 対象物処理装置及び対象物処理方法 | |
KR20220143122A (ko) | 코어 제거 | |
KR101236806B1 (ko) | 기판 연마 장치 및 방법 | |
JP2002170779A (ja) | 半導体処理チャンバにおける粒子残留物を減少させるための装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230330 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230626 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7357625 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |