JP2021513034A - ピストン−シリンダユニット - Google Patents

Abstract

ピストン−シリンダユニットは、シリンダ内部空間（２）を有するシリンダハウジング（１）と、シリンダ内部空間（２）に配置されているピストン（３）と、を備えている。ピストン（３）からピストンロッド（４）が延在し、シリンダハウジング（１）の開口部を通過している。ピストンロッド（４）が、シリンダハウジング（１）に配置されたピストンロッド封止部材（１２）によってシリンダハウジング（１）に対して封止されている。ピストンロッド（４）には、当該ピストンロッド（４）と一緒に移動する合成樹脂製のスライドスリーブ（１１）が設けられている。スライドスリーブ（１１）に対してピストンロッド封止部材（１２）が当接する。
【選択図】 図５

Description

本発明は、シリンダ内部空間を有するシリンダハウジングと、前記シリンダ内部空間に配置されているピストンと、を備え、ピストンロッドが前記ピストンから延在し、前記シリンダハウジングの開口部から導出され、かつ、前記シリンダハウジングに配置されたピストンロッド封止部材により前記シリンダハウジングに対して封止されているピストン−シリンダユニットに関する。

例えば、真空バルブ用の駆動装置として機能する合成樹脂製の空気圧ピストン−シリンダユニットが知られている。通常、連続運転にはグリースまたはオイルによる潤滑が必要である。ここでの不利な点は、実際には潤滑剤が漏れる可能性があることであり、これは特にクリーンルーム条件下などの敏感な環境では問題になる可能性がある。導入される潤滑剤の量は常に重要であり、正確に塗布することは容易ではなく、非常にコストがかかる。

潤滑剤なしで作動するピストン−シリンダユニットが知られている（例えば、特許文献１および２参照）。この目的のため、少なくとも１つの固体潤滑剤を含む材料がシリンダの壁領域において使用されている。例えば、シリンダジャケットは、二硫化モリブデン、黒鉛、二硫化タングステン、二硫化テルル、二硫化セレン、二硫化チタンまたはそれらの混合物から形成できる固体潤滑剤を含む内側層を備えている（特許文献２参照）。

米国特許第３７０３１２５号明細書 米国特許第３２８６７３７号明細書

本発明の目的は、周囲での粒子の発生が少なく、特にクリーンルーム条件下で優位性がある、前記タイプの優れたピストン−シリンダユニットを提供することである。

本発明によれば、この目的は、請求項１の特徴を備えたピストン−シリンダユニットによって達成される。

本発明に係る、特に空気圧式のピストン−シリンダユニットによれば、ピストンロッドと共に運動する合成樹脂製のスライドスリーブが当該ピストンロッドに配置され、ピストンロッド封止部材がスライドスリーブに当接し、これによりピストンロッドがシリンダハウジングに対して封止または遮断される。ピストンロッドにスライドスリーブが配置されることで、ピストンロッドが変位した際のパーティクルの発生が大幅に低減される。スライドスリーブは、シリンダハウジングに対してピストンロッドを軸線方向に変位可能に案内するために機能する。この目的のため、スライドスリーブは、スライドスリーブとシリンダハウジングとの間にスライドガイドが形成される領域に案内部を有していてもよい。スライドスリーブが、ピストンロッド封止部材がスライドスリーブに配置されている領域において封止部材を有し、スライドスリーブの長手延在方向について異なる領域において案内部を有することが特に好ましい。すなわち、封止部および案内部は、ピストンロッドの軸線方向について重なっていない。したがって、案内機能と密封機能とを互いに分離することができる。

スライドスリーブは、固体潤滑剤を含んでいてもよい。例えば、二硫化モリブデン、グラファイト、セラミック粒子（ガラスビーズなど）、細かく破砕された軟質金属（アルミニウム、銅、鉛など）、またはＰＴＦＥなどの合成樹脂、またはこれらの組み合わせが採用される。

スライドスリーブを軸方向に案内するため、シリンダハウジングは、ピストンロッドがシリンダ内部空間から導出される開口部を形成する筒状部を有し、筒状部はスライドスリーブを軸線方向に変位可能に案内し、かつ、スライドスリーブのラジアル軸受を形成する。特に、筒状部は、シリンダハウジングの蓋部から外側に突出していてもよい。

本発明の有利な実施形態では、シリンダハウジングは、基体と、当該基体の内側に配置された合成樹脂製のスライドブッシュと、を有し、ピストンとシリンダハウジングとの間を封止するため、ピストンに配置されたピストン封止部材が、このスライドブッシュに対して当接する。このように、シリンダハウジングに対する静的な要件とピストン封止部材との接触面の要件が互いに分離されうる。スライドブッシュは、固体潤滑剤を含んでいてもよい。例えば、二硫化モリブデン、グラファイト、セラミック粒子（ガラスビーズなど）、細かく分割された軟質金属（アルミニウム、銅、鉛など）、またはＰＴＦＥなどの合成樹脂、またはそれらの組み合わせが採用される。

本発明の可能な実施形態では、ピストンの後退端位置において、ピストン封止部材の一部またはピストンに配置された付加的な封止部材が、シリンダハウジングの封止面に当接する。封止面は、シリンダハウジングの縦中心軸線（＝軸線方向）に対して少なくとも４５°だけ傾斜し、好ましくはシリンダハウジングの縦中心軸線に対して垂直である。ピストンが前進位置に向かって変位した際、ピストン封止部材の当該部分またはピストンに配置された付加的な封止部材が封止面から離間する。これにより、ピストンの後退端位置において、シリンダ内部空間に導入される圧縮空気のための付加的な封止が実現され、その結果、圧縮空気の消費量の低減が図られる。

本発明によるピストン−シリンダユニットは、駆動される異なる装置と連携して使用されう。特に、バルブ開口部を開く開位置とバルブ開口部を閉じる閉位置との間で真空バルブの閉塞部材を変位させるため、真空バルブの駆動装置または駆動装置の少なくとも一部を構成するピストン−シリンダユニットを備えている真空バルブにおいて用いられる。

本発明のさらなる利点および詳細は、添付の図面を参照して以下に説明される。

本発明の実施形態に係るピストン−シリンダユニットの一の斜視図。 本発明の実施形態に係るピストン−シリンダユニットの他の斜視図。 ピストン−シリンダユニットの側面図。 （ピストンが前進端位置にある）図３の線分Ａ−Ａに沿った断面図。 ピストンが後退位置にある状態の図４に対応する断面図。 ピストン−シリンダユニットを備えている真空バルブの斜視図。 真空バルブの側面図。 （閉塞部材が閉位置にある）図７の線分Ｂ−Ｂに沿った断面図。 （閉塞部材が開位置にある際の図８と同様の断面図。 （２つの反対側にある固定ねじを通る）対角線方向の断面図。 本発明の他の実施形態に係るピストン−シリンダユニットの部分的断面図。

圧縮空気によって駆動される本発明に係るピストン−シリンダユニットの一実施形態が図１〜図５に示されている。ピストン−シリンダユニットは、シリンダ内部空間２を有するシリンダハウジング１を備えている。シリンダ内部２空間には、ピストン３が配置されている。ピストンロッド４は、ピストン３から延在し、開口部を通じてシリンダハウジング１の外部に案内されている。

シリンダハウジング１は縦中心軸線８（または長手延在方向の中心軸線）を有している。シリンダハウジング１の縦中心軸線８およびピストンロッド４の縦中心軸線は、共通の直線上に延在している（または、換言すると一致している）。

ピストン３は、合成樹脂、特に熱可塑性樹脂により構成されている。例えば、ピストン３はＰＡ（ポリアミド樹脂）により形成されていてもよい。ピストン３がＰＯＭ（ポリアセタール樹脂）により形成されていてもよい。ピストン３を構成する合成樹脂が繊維により強化されていてもよい。

ピストン３を環状に取り囲み、それによってピストン３がシリンダハウジング１に対して封止または密封されるピストン封止部材５がピストン３に配置されている。本実施形態では、ピストン封止部材５は、封止リップ５ａを有するリップ封止部材として設計されている。

ピストン封止部材５は、通常、例えば熱可塑性エラストマーなどのエラストマー材料により形成されている。例えば、ピストン封止部材５はＴＰＵ（ポリウレタン系熱可塑性エラストマー）により形成されていてもよい。本実施形態では、ピストン封止部材５は、ピストン３の上に射出成形されている。例えば、ピストン３に、Ｏリングが挿入される溝が形成されていてもよい。

シリンダハウジング１は、合成樹脂、特に熱可塑性物質からなる鉢状の基体６を有している。例えば、基体６はＰＡにより形成されていてもよい。基体６がＰＯＭにより形成されていてもよい。基体６を構成する合成樹脂が繊維により強化されていてもよい。

鉢状の基体６は蓋部９により閉じられている。蓋部９は、ピストンロッド４がシリンダ内部空間２から導出される開口部を有している。シリンダハウジング１の残りの部分から蓋部９を封止するために環状の封止部材１０が使用されている。本実施形態では、スライドブッシュ７によって形成される封止面に対して当接する蓋部９の溝に配置されるＯリングにより封止部材１０が構成されている。

蓋部９を固定し、かつ、封止部材１０を押圧するため、（図１〜図５には示されていない）固定ねじが用いられてもよい。特に、以下に真空バルブに関連して説明されるように、ピストン−シリンダユニットが駆動装置として使用される装置に対してピストン−シリンダユニットを取り付けるために固定ねじが用いられてもよい。

蓋部９は、基体６と同じ合成樹脂材料により形成されていてもよい。

シリンダハウジング１は、基体６の内部に配置され、基体６に当接し、かつ、シリンダ内部空間２を径方向に画定するスライドブッシュ７をさらに備えている。ピストン封止部材５はスライドブッシュ７の上に配置されている。スライドブッシュ７は、例えばＰＡまたはＰＯＭなどの合成樹脂により形成されている。スライドブッシュ７には、例えばガラスビーズのような固体潤滑剤が提供されている。

したがって、シリンダハウジング１の外套部１ｂは、基体１ａの外套部およびスライドブッシュ７により構成されている。

縦中心軸線８に面するスライドブッシュ７の内側面は、ピストン封止部材５の封止リップ５ａ、および本実施形態ではピストン封止部材５の封止面を構成している。スライドブッシュ７は、好ましくは基体６の上に射出成形される。

ピストン３は、シリンダ内部空間２において後退端位置（図５参照）と前進端位置（図４参照）との間で変位可能である。本実施形態では、ポート１３を通じて蓋部９とピストン３との間に存在する圧力室に導入される圧縮空気により、ピストン３が前進端位置から後退端位置に駆動される。図６〜図１０に関連して説明されるように、ピストン−シリンダユニットによって駆動される装置に組み込まれたばねにより、ピストン３が後退端位置と前進端位置との間で駆動される。ピストン３と底部１ａとの間の空間は、底部１ａの通気口１４を通じて外部に連通している。

圧縮空気による２つの端位置の間の位置調節、または圧縮空気による後退端位置と前進端位置との間の位置調節、およびばねによる反対方向への位置調節が可能である。

スライドブッシュ７は、縦中心軸線８の方向に突出し、シリンダハウジング１の底部１ａの領域で基体６に当接する端部領域７ａを有している。端部領域７ａは、ピストン３の後退端位置において、ピストン封止部材５の指定部分５ｂが当接する封止面７ｂを構成している（図５参照）。本実施形態では、ピストン封止部材５の指定部分５ｂのための当該封止面７ｂは、シリンダハウジング１の軸線方向に対して垂直（＝縦中心軸線８に対して垂直）である。他の実施形態では、封止面７ｂは、当該方向に対して傾斜していてもよく、縦中心軸線８に平行な方向に対して少なくとも４５°だけ傾斜している。

ピストン３が後退端位置（図５参照）から前進端位置（図４参照）に向かって変位する際、ピストンシール５の指定部分５ｂがスライドブッシュ７の封止面７ｂから離間する。

ピストンロッド４には、スライドスリーブ１１が配置されている。これは、ピストンロッド４に対して変位不可能に接続されているため、ピストンロッド４と共に動かされるまたは連動する。スライドスリーブ１１を環状に取り囲むピストンロッド封止部材１２が、当該スライドスリーブ１１に当接し、ピストンハウジング４をシリンダハウジング１に対して封止する機能を発揮する。ピストンロッド封止部材１２は、ピストンロッド４がシリンダ内部空間２から導出される開口部を取り囲んでいる。本実施形態では、ピストンロッド封止部材１２は蓋部９に配置され、好ましくは射出成形されている。蓋部９の溝にピストンロッド封止部材１２が保持されていてもよい。

ピストンロッド封止部材１２は、熱可塑性エラストマーなどのエラストマー材料により形成されている。例えば、ピストンロッド封止部材１２は、ＴＰＵから形成されていてもよい。

ピストンロッド封止部材１２は、好ましくは、スライドスリーブ１１の外側面に当接する封止リップ１２ａを有するリップ封止部材として構成されている。

ピストンロッド封止部材１２は、スライドスリーブ１１の封止部１１ａの領域で当該スライドスリーブ１１に当接し、それによりピストン３が前進端位置と後退端位置との間で変位するのに伴って変位する。スライドスリーブ１１はさらに、ピストンロッド４の軸方向で封止部１１ａに隣接する案内部１１ｂを有している。案内部１１ｂにより、ピストンロッド４はその軸線方向についてシリンダハウジング１に対して変位可能に案内される。この目的のため、蓋部９は、シリンダ内部空間２から離れる方向について蓋部９から突出し、ピストンロッド４がシリンダ内部空間２から外部空間に案内される開口部を形成する筒状部９ａを有している。筒状部９ａは、蓋部９と同じ合成樹脂材料から形成されていてもよく、蓋部９と一体的に形成されていてもよい。

筒状部９ａの内側面は、案内部１１ｂの内部でスライドスリーブ１１の外側面と相互作用する案内面を形成し、その結果としてスライドスリーブ１１に対してラジアル軸受が形成される。

スライドスリーブ１１の外径は、案内部１１ｂの領域よりも封止部１１ａの領域で小さくなっている。これにより、封止機能および案内機能が明確に分離されている。

スライドスリーブ１１は、ＰＡまたはＰＯＭなどの合成樹脂により形成されている。スライドスリーブ１１を構成する合成樹脂は、ガラスビーズなどの固体潤滑剤を備えている。

スライドスリーブ１１は、好ましくは、ピストンロッド４の上に射出成型される。例えば、押圧、または、スライドスリーブ１１がピストンロッド４に接着されることによる保持も可能である。

シリンダ内部空間２に向けられたスライドスリーブ１１の端部に連続して、封止材料１５が、ピストンロッド４の外側面または外表面に射出成型等により設けられている。封止材料１５はピストン３の表面に連続していてもよい。封止材料１５により、ピストンロッド４とスライディングスリーブ１１との間の隙間を通る圧縮空気の通過に対する付加的な安全性が確保される。スライドスリーブ１１に対してピストンロッド４が隙間なく当接することが好ましい。

ピストン３に隣接するピストンロッド４の第１部分４ａは、好ましくはピストン３の合成樹脂材料と一体的に（＝同一材料で一体的に）形成される合成樹脂材料を有している。この合成樹脂材料には、ピストンロッドの第２部分４ｂの突出部４ｃが埋設されている。突出部４ｃおよび第２部分４ｂは金属により形成され、好ましくは相互に一体的に形成されている。第２部分４ｂは、ピストン−シリンダユニットによって駆動される装置の一部に対してピストン３を接続する役割を果たす。その結果、連続運転に際して安定した接続が実現される。

前述のピストン−シリンダユニットによって構成される駆動装置を備えている真空バルブの一実施形態が図６〜図１０に示されている。真空バルブは、バルブハウジング１６と、当該バルブハウジング１６の内部に配置されている閉塞部材１７と、を備えている。閉塞部材１７は、バルブハウジング１６のバルブ開口部１８を閉じる閉位置（図８参照）と、バルブ開口部１８を開く開位置（図９参照）との間で変位可能である。本実施形態では、真空バルブは、コーナーバルブの形態で設計されている。バルブハウジング１６は、バルブ開口部１８を有する第１接続部１６ａと、それに対して垂直なさらなる開口部を有する第２接続部１６ｂと、を有している。

図１〜図５に示されているピストン−シリンダユニットは、閉塞部材１７を閉位置と開位置との間で駆動する役割を果たす。この目的のため、閉塞部材１７は、例えば、閉塞部材１７の雌ねじに螺合するピストンロッド４の端部に配置された雄ねじによって、ピストンロッド４に対して取り付けられている。

ピストンロッド４のバルブハウジング１への導入をさらに封止するため（ピストンロッド封止部材１２だけでは十分ではない）、メンブレンベローズ１９が用いられる。メンブレンベローズ１９の一端は、例えば溶接によって閉塞部材１７に対して真空密閉された状態で連結されている。メンブレンベローズ１９の他端には、例えば溶接によって末端部材２０が取り付けられている。板状の末端部材２０は、バルブハウジング１６の挿入口２１を閉じる。末端部材２０とバルブハウジング１６との間には、真空密封状態の接続のために密封リング２２が配置されている。封止リング２２は、ねじ２３によって末端部材２０とバルブハウジング１６との間で押し付けられる。ねじ２３は、シリンダハウジング１および蓋部９の孔を貫通し、バルブハウジング１６のねじ穴にねじ込まれる。したがって、ねじ２３は、ピストン−シリンダユニットをバルブハウジング１６に連結するためにも使用され、蓋部９は封止部材１０を押圧しながらシリンダハウジング１と一緒に保持される。

閉塞部材１７が整備目的でバルブハウジング１６から取り外される場合、ねじ２３が緩められてもよい。

支持部２５がクランプリング２４によってピストンロッド４に保持されている。コイルばね２６が支持部２５と筒状部９ａの段部との間に配置されている。ピストン３と蓋部９の間の空間が減圧されると、閉塞部材１７に配置された封止リング２７がバルブ開口部１８を取り囲む封止面２８に対して押し付けられるようにコイルばね２６によって閉塞部材１７が押圧され、真空バルブが閉じられる（＝閉塞部材１７の封止状態）。

ピストン３と蓋部９との間の空間が加圧されることにより、閉塞部材１７が封止面２８から離間して、その開位置に変位する。

図１１には、本発明に係るピストン−シリンダユニットの若干変更された実施形態が示されている。前記実施形態との相違点は、特に、ピストン３の後退端位置において、シリンダハウジング１の封止面３０に当接する付加的な封止部材２９がピストン３に配置されていることである。これにより、ピストン３の後退端位置において、通気口１４を介した圧縮空気の漏れに対する付加的な封止が実現される。

本発明の前記実施形態は、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で変更されてもよい。

本発明に係るピストン−シリンダユニットによって駆動される真空バルブは、コーナーバルブの形態とは異なる形態で設計されてもよい。例えば、Ｌ−バルブのように、閉塞部材が開位置と閉位置との間で位置調節される。本発明にしたがって設計される単一のピストン−シリンダユニットによって（公知の相応の案内要素と同様に）閉塞部材が両方向に駆動されてもよく、または、閉塞部材を両方向に駆動するために２つの個別の本発明にしたがって設計されるピストン−シリンダユニットが設けられていてもよい。

１‥シリンダハウジング、１ａ‥底部、１ｂ‥外套部、２‥シリンダ内部空間、３‥ピストン、４‥ピストンロッド、４ａ‥第１部分、４ｂ‥第２部分、４ｃ‥突出部、５‥ピストン封止部材、５ａ‥封止リップ、５ｂ‥指定部分、６‥基体、７‥スライドブッシュ、７ａ‥端部、７ｂ‥封止面、８‥縦中心軸線、９‥蓋部、９ａ‥筒状部、１０‥封止部材、１１‥スライドスリーブ、１１ａ‥封止部、１１ｂ‥案内部、１２‥ピストンロッド封止部材、１２ａ‥封止リップ、１３‥ポート、１４‥通気口、１５‥封止材、１６‥バルブハウジング、１６ａ‥第１接続部、１６ｂ‥第２接続部、１７‥閉塞部材、１８‥バルブ開口部、１９‥メンブレンベローズ、２０‥末端部材、２１‥挿入口、２２‥封止リング、２３‥ねじ、２４‥クランプリング、２５‥支持部、２６‥コイルスプリング、２７‥シールリング、２８‥封止面、２９‥封止部材、３０‥封止面。

Claims (10)

1. シリンダ内部空間（２）を有するシリンダハウジング（１）と、前記シリンダ内部空間（２）に配置されているピストン（３）と、を備え、ピストンロッド（４）が前記ピストン（３）から延在し、前記シリンダハウジング（１）の開口部から導出され、かつ、前記シリンダハウジング（１）に配置されたピストンロッド封止部材（１２）により前記シリンダハウジング（１）に対して封止されているピストン−シリンダユニットであって、
   前記ピストンロッド（４）に連動する合成樹脂製のスライドスリーブ（１１）が、前記ピストンロッド封止部材（１２）の当接箇所において前記ピストンロッド（４）に配置されていることを特徴とするピストン−シリンダユニット。
2. 請求項１に記載のピストン−シリンダユニットにおいて、
   スライドスリーブ（１１）が、前記ピストンロッド封止部材（１２）が前記スライドスリーブ（１１）に当接する領域において封止部（１１ａ）を備え、かつ、前記スライドスリーブ（１１）および前記シリンダハウジング（１）の間にスライドガイドが形成されている領域において案内部（１１ｂ）を備え、
   前記封止部（１１ａ）および前記案内部（１１ｂ）が、前記スライドスリーブ（１１）の長手延在方向の異なる領域に延在していることを特徴とするピストン−シリンダユニット。
3. 請求項２に記載のピストン−シリンダユニットにおいて、
   前記封止部（１１ａ）の領域における前記スライドスリーブ（１１）の外径が、前記案内部（１１ｂ）の領域における前記スライドスリーブ（１１）の外径よりも小さいことを特徴とするピストン−シリンダユニット。
4. 請求項１〜３のうちいずれか１項に記載のピストン−シリンダユニットにおいて、
   前記シリンダハウジング（１）が、前記ピストンロッド（４）が前記シリンダ内部空間（２）から導出される開口部を形成し、かつ、前記スライドスリーブ（１１）のラジアル軸受を形成する、外側に突出する筒状部（９ａ）を備え、
   前記シリンダハウジング（１）および前記筒状部（９ａ）が合成樹脂材料を含み、かつ、前記シリンダハウジング（１）の少なくとも一部および前記筒状部（９ａ）が相互に一体的に形成されていることを特徴とするピストン−シリンダユニット。
5. 請求項１〜４のうちいずれか１項に記載のピストン−シリンダユニットにおいて、
   前記シリンダハウジング（１）が、基体（６）と、前記基体（６）の内側に配置されている合成樹脂製のスライドブッシュ（７）と、を備え、
   前記ピストン（３）と前記シリンダハウジング（１）の間を封止するために、前記ピストン（３）に配置されたピストン封止部材（５）が前記スライドブッシュ（７）に当接することを特徴とするピストン−シリンダユニット。
6. 請求項１〜５のうちいずれか１項に記載のピストン−シリンダユニットにおいて、
   前記ピストン（３）の後退端位置において、前記ピストン封止部材（５）の一部または前記ピストン（３）に配置された付加的な封止部材（２９）が、前記シリンダハウジング（１）の封止面（７ｂ、３０）に当接し、前記ピストン（３）が前進端位置に向かって変位した場合には前記シリンダハウジング（１）の封止面（７ｂ、３０）から離間し、
   前記封止面（７ｂ、３０）が、前記シリンダハウジング（１）の縦中心軸線（８）に対して少なくとも４５°だけ傾斜していることを特徴とするピストン−シリンダユニット。
7. 請求項６に記載のピストン−シリンダユニットにおいて、
   前記封止面（７ｂ）が、前記シリンダハウジング（１）の縦中心軸線（８）の方向に突出する前記スライドブッシュ（７）の端部（７ａ）によって形成されていることを特徴とするピストン−シリンダユニット。
8. 請求項１〜７のうちいずれか１項に記載のピストン−シリンダユニットにおいて、
   前記ピストン（３）および前記ピストンロッド（４）が合成樹脂材料を含み、相互に一体的に形成されていることを特徴とするピストン−シリンダユニット。
9. 請求項８に記載のピストン−シリンダユニットにおいて、
   前記ピストンロッド（４）が、前記ピストン（３）の合成樹脂材料と一体的に形成された合成樹脂材料を有する第１部分（４ａ）と、金属からなる第２部分（４ｂ）と、を備え、金属からなる突出部（４ｃ）が前記第２部分（４ｂ）から突出し、前記第１部分（４ａ）の合成樹脂材料に埋設されていることを特徴とするピストン−シリンダユニット。
10. バルブ開口部（１８）と、前記バルブ開口部（１８）を開放する開位置および前記バルブ開口部（１８）を閉塞する閉位置の間で変位可能な閉塞部材（１７）と、を備えている真空バルブであって、
    前記閉塞部材（１７）を開位置および閉位置の間で変位させるための駆動装置を備え、
    前記駆動装置が、請求項１〜９のうちいずれか１項に記載のピストン−シリンダユニットを備えていることを特徴とする真空バルブ。

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