JP2002081561A - 逆止弁構造 - Google Patents
逆止弁構造Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微細ゴミが発生するおそれがなく、超純水や
高純度薬品等を被制御流体とする場合に最適に使用でき
る新規な逆止弁構造を提供する。 【解決手段】 流入口２１と流出口２２を有する弁室２
０と、弁軸３１と、該弁軸に膨出状に形成され前側に流
入口を開閉するシール部３３及び後側に流出口からの流
体圧力を受ける受圧部３４とを有する弁部３２と、弁軸
と一体に形成され弁室内に装着されるダイヤフラム部３
５とを有し、弁部のシール部の直径距離ＳＤがダイヤフ
ラム部の膜部最大径と膜部最小径を２分した位置におけ
る直径距離ＭＤよりも大きく形成されたポペット弁体３
０と、ダイヤフラム部の弁室外側に設けられポペット弁
体を常時前進方向に調圧しかつ被制御流体の流入圧によ
って弁部のシール部を開く調圧手段４０とを備えている
逆止弁１０の構造。
高純度薬品等を被制御流体とする場合に最適に使用でき
る新規な逆止弁構造を提供する。 【解決手段】 流入口２１と流出口２２を有する弁室２
０と、弁軸３１と、該弁軸に膨出状に形成され前側に流
入口を開閉するシール部３３及び後側に流出口からの流
体圧力を受ける受圧部３４とを有する弁部３２と、弁軸
と一体に形成され弁室内に装着されるダイヤフラム部３
５とを有し、弁部のシール部の直径距離ＳＤがダイヤフ
ラム部の膜部最大径と膜部最小径を２分した位置におけ
る直径距離ＭＤよりも大きく形成されたポペット弁体３
０と、ダイヤフラム部の弁室外側に設けられポペット弁
体を常時前進方向に調圧しかつ被制御流体の流入圧によ
って弁部のシール部を開く調圧手段４０とを備えている
逆止弁１０の構造。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、弁体により流体
の流れを順方向のみに制限し、その逆方向の流れを防止
する逆止弁の構造に関する。
の流れを順方向のみに制限し、その逆方向の流れを防止
する逆止弁の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造工場等の超純水や薬
品等を扱う工場における管路等には、その管路等を流れ
る流体の流れを一方向（順方向）のみに制限して逆流を
防止する逆止弁が配設されることがある。
品等を扱う工場における管路等には、その管路等を流れ
る流体の流れを一方向（順方向）のみに制限して逆流を
防止する逆止弁が配設されることがある。
【０００３】この種逆止弁として従来では、図４に示す
ような逆止弁５０を挙げることができる。この逆止弁５
０は、被制御流体の流入口５２と流出口５３を有する弁
室５１と、前記流入口５２を開閉し、かつ前記流出口５
３からの流体圧力を受ける球状の弁体５５と、前記弁室
５１内に設けられ前記弁体５５を常時流入口閉方向に付
勢するスプリング６０とで構成されている。なお、図示
の例では流入口５２が形成された第１ブロック５１ａ
と、該第１ブロック５１ａと螺着結合され、流出口５３
が形成された第２ブロック５１ｂによって弁室５１が形
成されている。図中の符号５４は弁座、６１は前記第１
ブロック５１ａと第２ブロック５１ｂ間に介在されるパ
ッキン等のシール部材である。
ような逆止弁５０を挙げることができる。この逆止弁５
０は、被制御流体の流入口５２と流出口５３を有する弁
室５１と、前記流入口５２を開閉し、かつ前記流出口５
３からの流体圧力を受ける球状の弁体５５と、前記弁室
５１内に設けられ前記弁体５５を常時流入口閉方向に付
勢するスプリング６０とで構成されている。なお、図示
の例では流入口５２が形成された第１ブロック５１ａ
と、該第１ブロック５１ａと螺着結合され、流出口５３
が形成された第２ブロック５１ｂによって弁室５１が形
成されている。図中の符号５４は弁座、６１は前記第１
ブロック５１ａと第２ブロック５１ｂ間に介在されるパ
ッキン等のシール部材である。
【０００４】前記逆止弁５０においては、流入口５２側
（一次側）の流体圧力が所定値以上となると、スプリン
グ６０の付勢力に打ち勝って弁体５５が弁座５４から離
座して流入口５２が開くことによって、被制御流体が流
出口５３へ流通する。これに対して、流出口５３側（二
次側）の流体圧力が流入口５２側の流体圧力よりも高く
なると、流出口５３側の被制御流体が流入口５２側へ逆
流しようとするが、その流体の流れと圧力により弁体５
５が弁座５４に着座して流入口５２が閉じることによっ
て、流入口５２側への被制御流体の逆流を防止する。
（一次側）の流体圧力が所定値以上となると、スプリン
グ６０の付勢力に打ち勝って弁体５５が弁座５４から離
座して流入口５２が開くことによって、被制御流体が流
出口５３へ流通する。これに対して、流出口５３側（二
次側）の流体圧力が流入口５２側の流体圧力よりも高く
なると、流出口５３側の被制御流体が流入口５２側へ逆
流しようとするが、その流体の流れと圧力により弁体５
５が弁座５４に着座して流入口５２が閉じることによっ
て、流入口５２側への被制御流体の逆流を防止する。
【０００５】しかしながら、前記従来の逆止弁５０にあ
っては、弁体５５を付勢するスプリング６０が弁室５１
内に配設されるため、そのスプリング６０が流体と接触
してしまう。このようにスプリング６０が被制御流体と
接液すると、スプリング６０の腐蝕や劣化等に起因し
て、被制御流体中にパーティクルと呼ばれる微細な塵や
屑が混入されるといった不具合が懸念される。特に、超
純水や高純度薬品を被制御流体とする場合には、前記不
具合は重大な問題となる。また、当該逆止弁５０では流
入口５２の開閉、つまり弁体５５の制御を自由に行うこ
とはできないが、ユーザーからは自由に弁体を制御した
いと言う要望がある。
っては、弁体５５を付勢するスプリング６０が弁室５１
内に配設されるため、そのスプリング６０が流体と接触
してしまう。このようにスプリング６０が被制御流体と
接液すると、スプリング６０の腐蝕や劣化等に起因し
て、被制御流体中にパーティクルと呼ばれる微細な塵や
屑が混入されるといった不具合が懸念される。特に、超
純水や高純度薬品を被制御流体とする場合には、前記不
具合は重大な問題となる。また、当該逆止弁５０では流
入口５２の開閉、つまり弁体５５の制御を自由に行うこ
とはできないが、ユーザーからは自由に弁体を制御した
いと言う要望がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記の点
に鑑み提案されたものであって、微細ゴミが発生するお
それがなく、超純水や高純度薬品等を被制御流体とする
場合に最適に使用できるとともに、自由に弁体の制御を
行うことができる新規な逆止弁構造を提供することを目
的とする。
に鑑み提案されたものであって、微細ゴミが発生するお
それがなく、超純水や高純度薬品等を被制御流体とする
場合に最適に使用できるとともに、自由に弁体の制御を
行うことができる新規な逆止弁構造を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１の発
明は、被制御流体の流入口と流出口を有する弁室と、弁
軸と、前記弁軸に膨出状に形成され前側に前記流入口を
開閉するシール部及び後側に前記流出口からの流体圧力
を受ける受圧部とを有する弁部と、前記弁軸と一体に形
成され前記弁室内に装着されるダイヤフラム部とを有
し、前記弁部のシール部の直径距離（ＳＤ）が前記ダイ
ヤフラム部の膜部最大径と膜部最小径を２分した位置に
おける直径距離（ＭＤ）よりも大きく形成されたポペッ
ト弁体と、前記ダイヤフラム部の弁室外側に設けられ前
記ポペット弁体を常時前進方向に調圧しかつ被制御流体
の流入圧によって弁部のシール部を開く調圧手段とを備
えていることを特徴とする逆止弁構造に係る。
明は、被制御流体の流入口と流出口を有する弁室と、弁
軸と、前記弁軸に膨出状に形成され前側に前記流入口を
開閉するシール部及び後側に前記流出口からの流体圧力
を受ける受圧部とを有する弁部と、前記弁軸と一体に形
成され前記弁室内に装着されるダイヤフラム部とを有
し、前記弁部のシール部の直径距離（ＳＤ）が前記ダイ
ヤフラム部の膜部最大径と膜部最小径を２分した位置に
おける直径距離（ＭＤ）よりも大きく形成されたポペッ
ト弁体と、前記ダイヤフラム部の弁室外側に設けられ前
記ポペット弁体を常時前進方向に調圧しかつ被制御流体
の流入圧によって弁部のシール部を開く調圧手段とを備
えていることを特徴とする逆止弁構造に係る。
【０００８】また、請求項２の発明は、請求項１におい
て、前記調圧手段が、前記弁軸と一体に形成されたピス
トンと該ピストンが嵌挿されるシリンダ部と前記ピスト
ンを調圧する駆動機構からなる逆止弁構造に係る。
て、前記調圧手段が、前記弁軸と一体に形成されたピス
トンと該ピストンが嵌挿されるシリンダ部と前記ピスト
ンを調圧する駆動機構からなる逆止弁構造に係る。
【０００９】さらに、請求項３の発明は、請求項２にお
いて、前記ピストンを調圧する駆動機構が前記ピストン
を常時前進方向に付勢するバネ体である逆止弁構造に係
る。
いて、前記ピストンを調圧する駆動機構が前記ピストン
を常時前進方向に付勢するバネ体である逆止弁構造に係
る。
【００１０】またさらに、請求項４の発明は、請求項２
または３において、前記調圧手段のピストンを前進方向
及び後退方向に移動調整可能とする調圧エア機構を有す
る逆止弁構造に係る。
または３において、前記調圧手段のピストンを前進方向
及び後退方向に移動調整可能とする調圧エア機構を有す
る逆止弁構造に係る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付の図面に従ってこの発明
を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係る逆
止弁の開状態を示す縦断面図、図２は同逆止弁の閉状態
を示す縦断面図、図３は他の実施例に係る逆止弁を示す
縦断面図である。
を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係る逆
止弁の開状態を示す縦断面図、図２は同逆止弁の閉状態
を示す縦断面図、図３は他の実施例に係る逆止弁を示す
縦断面図である。
【００１２】図１及び図２に示す逆止弁１０は、この発
明の一実施例に係るもので、半導体製造工場等における
管路等に配設され、その管路等を流れる被制御流体の流
れを一方向（順方向）のみに制限して逆流を防止するも
のである。この逆止弁１０は、弁室２０とポペット弁体
３０と調圧手段４０とを備えている。実施例では、前記
弁室２０は、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い
樹脂からなるボディ体１１内部に形成されている。
明の一実施例に係るもので、半導体製造工場等における
管路等に配設され、その管路等を流れる被制御流体の流
れを一方向（順方向）のみに制限して逆流を防止するも
のである。この逆止弁１０は、弁室２０とポペット弁体
３０と調圧手段４０とを備えている。実施例では、前記
弁室２０は、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い
樹脂からなるボディ体１１内部に形成されている。
【００１３】弁室２０は、被制御流体のための流入口２
１と流出口２２を有しているとともに、前記流入口２１
と流出口２２間に弁座２３が形成されている。
１と流出口２２を有しているとともに、前記流入口２１
と流出口２２間に弁座２３が形成されている。
【００１４】ポペット弁体３０は、前記ボディ体１１と
同様にフッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂か
ら形成され、弁軸３１と弁部３２とダイヤフラム部３５
とを有している。前記弁部３２は、弁軸３１の一端側
（前側）に膨出状に形成されており、その前側には前記
流入口２１を開閉するシール部３３が形成され、後側に
は前記流出口２２からの流体圧力を受ける受圧部３４が
形成されている。この実施例では、図から理解されるよ
うに、弁部３２の前側が前端に向かって細くなるテーパ
状に形成され、それによって得られる傾斜面３２ａの一
部が前記弁座２３に着座及び離座可能なシール部３３と
なっている。また、実施例では、平らな弁部３２後端面
が前記受圧部３４となっている。
同様にフッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂か
ら形成され、弁軸３１と弁部３２とダイヤフラム部３５
とを有している。前記弁部３２は、弁軸３１の一端側
（前側）に膨出状に形成されており、その前側には前記
流入口２１を開閉するシール部３３が形成され、後側に
は前記流出口２２からの流体圧力を受ける受圧部３４が
形成されている。この実施例では、図から理解されるよ
うに、弁部３２の前側が前端に向かって細くなるテーパ
状に形成され、それによって得られる傾斜面３２ａの一
部が前記弁座２３に着座及び離座可能なシール部３３と
なっている。また、実施例では、平らな弁部３２後端面
が前記受圧部３４となっている。
【００１５】前記ダイヤフラム部３５は、前記弁軸３１
の弁部３２の反対側（後側）に該弁軸３１と一体に形成
され、弁室２０内に装着されている。このダイヤフラム
部３５は、ダイヤフラム面である薄肉の膜部（可動部）
３６と、その外周側の外周部３７を有している。また、
実施例では、ダイヤフラム部３５の外周部３７がボディ
体１１と後述の調圧手段４０のシリンダ部４２間に挟着
されて固定されている。
の弁部３２の反対側（後側）に該弁軸３１と一体に形成
され、弁室２０内に装着されている。このダイヤフラム
部３５は、ダイヤフラム面である薄肉の膜部（可動部）
３６と、その外周側の外周部３７を有している。また、
実施例では、ダイヤフラム部３５の外周部３７がボディ
体１１と後述の調圧手段４０のシリンダ部４２間に挟着
されて固定されている。
【００１６】そして、この発明に係る逆止弁１０におい
ては、前記弁部３２のシール部３３の直径距離（図示の
例では弁座２３内側の開口径（オリフィス径）と等しい
距離）ＳＤが、前記ダイヤフラム部３５の有効径となる
ダイヤフラム部３５の膜部３６の最大径Ｌ１と膜部３６
の最小径Ｌ２を２分した位置における直径距離ＭＤより
も大きく形成されている。これによって、流出口２２側
（二次側）の流体圧力が流入口２１側の流体圧力より高
くなって流出口２２側の被制御流体が流入口２１側へ逆
流しようとした時に、被制御流体から弁部３２に対して
弁体前進方向（図では下方向）Ｘに作用する力が、被制
御流体からダイヤフラム部３５の膜部３６に対して弁体
後退方向（図では上方向）Ｙに作用する力よりも大とな
り、弁部３２が弁座２３に着座して被制御流体の逆流を
防止することができる。
ては、前記弁部３２のシール部３３の直径距離（図示の
例では弁座２３内側の開口径（オリフィス径）と等しい
距離）ＳＤが、前記ダイヤフラム部３５の有効径となる
ダイヤフラム部３５の膜部３６の最大径Ｌ１と膜部３６
の最小径Ｌ２を２分した位置における直径距離ＭＤより
も大きく形成されている。これによって、流出口２２側
（二次側）の流体圧力が流入口２１側の流体圧力より高
くなって流出口２２側の被制御流体が流入口２１側へ逆
流しようとした時に、被制御流体から弁部３２に対して
弁体前進方向（図では下方向）Ｘに作用する力が、被制
御流体からダイヤフラム部３５の膜部３６に対して弁体
後退方向（図では上方向）Ｙに作用する力よりも大とな
り、弁部３２が弁座２３に着座して被制御流体の逆流を
防止することができる。
【００１７】調圧手段４０は、前記ダイヤフラム部３５
の弁室２０外側に設けられ、前記ポペット弁体３０を常
時前進方向Ｘに調圧（実施例では加圧）しかつ被制御流
体の流入圧によって弁部３２のシール部３３、つまり流
入口２１を開くように構成されている。この実施例で
は、前記調圧手段４０は、前記ポペット弁体３０の弁軸
３１と一体に形成されたピストン４１と、該ピストン４
１が嵌挿されるシリンダ部４２と、前記ピストン４１を
調圧（実施例では加圧）する駆動機構４３とで構成され
ている。なお、図示の例では、前記ピストン４１は、前
記弁軸３１の後部（図示の例では上部）と螺着結合され
ている。勿論、このピストン４１と弁軸３１との結合方
法は上記螺着結合に限らず、例えばピストン４１と弁軸
３１とが一体成形されてもよい。また、前記シリンダ部
４２は、前記ボディ体１１に適宜手段により固着されて
いる。
の弁室２０外側に設けられ、前記ポペット弁体３０を常
時前進方向Ｘに調圧（実施例では加圧）しかつ被制御流
体の流入圧によって弁部３２のシール部３３、つまり流
入口２１を開くように構成されている。この実施例で
は、前記調圧手段４０は、前記ポペット弁体３０の弁軸
３１と一体に形成されたピストン４１と、該ピストン４
１が嵌挿されるシリンダ部４２と、前記ピストン４１を
調圧（実施例では加圧）する駆動機構４３とで構成され
ている。なお、図示の例では、前記ピストン４１は、前
記弁軸３１の後部（図示の例では上部）と螺着結合され
ている。勿論、このピストン４１と弁軸３１との結合方
法は上記螺着結合に限らず、例えばピストン４１と弁軸
３１とが一体成形されてもよい。また、前記シリンダ部
４２は、前記ボディ体１１に適宜手段により固着されて
いる。
【００１８】また、実施例では、前記ピストン４１の後
側（図では上側）にバネ受け部４１ｄが設けられ、該バ
ネ受け部４１ｄにピストン４１を常時前進方向（図では
下方向）Ｘに付勢するバネ体が、ピストン４１を調圧
（この例では加圧）する駆動機構４３として配設されて
いる。さらに、この実施例においては、前記ピストン４
１を後退方向（図では上方向）及び前進方向（図では下
方向）に任意に移動調整を可能とする調圧エア機構（こ
の例では加圧エア機構）Ａが設けられている。前記調圧
エア機構Ａは、調圧気体（この例では加圧気体）を供給
する供給源Ａ１と、調圧気体の圧力を調整・制御する電
空変換器や電空レギュレーター等の調整・制御機器Ａ２
を有している。なお、図中の符号Ｐ１はピストン４１の
後部（大径部）４１ａと前記シリンダ部４２内壁間の空
間への調圧気体の供給及び前記空間からの調圧気体の排
出を行うための第１ポート、Ｐ２はピストン４１の中央
部（小径部）４１ｂと前記シリンダ部４２内壁間の空間
への調圧気体の供給及び前記空間からの調圧気体の排出
を行うための第２ポート、４４はピストン４１の後部４
１ａと前記シリンダ部４２内壁間に介在されるパッキン
等のシール部材、４５はピストン４１の前部４１ｃと前
記シリンダ部４２内壁間に介在されるパッキン等のシー
ル部材、４６は前記ダイヤフラム部３５の後側（外側）
空間の空気を外部へ出し入れするために形成された呼吸
孔である。
側（図では上側）にバネ受け部４１ｄが設けられ、該バ
ネ受け部４１ｄにピストン４１を常時前進方向（図では
下方向）Ｘに付勢するバネ体が、ピストン４１を調圧
（この例では加圧）する駆動機構４３として配設されて
いる。さらに、この実施例においては、前記ピストン４
１を後退方向（図では上方向）及び前進方向（図では下
方向）に任意に移動調整を可能とする調圧エア機構（こ
の例では加圧エア機構）Ａが設けられている。前記調圧
エア機構Ａは、調圧気体（この例では加圧気体）を供給
する供給源Ａ１と、調圧気体の圧力を調整・制御する電
空変換器や電空レギュレーター等の調整・制御機器Ａ２
を有している。なお、図中の符号Ｐ１はピストン４１の
後部（大径部）４１ａと前記シリンダ部４２内壁間の空
間への調圧気体の供給及び前記空間からの調圧気体の排
出を行うための第１ポート、Ｐ２はピストン４１の中央
部（小径部）４１ｂと前記シリンダ部４２内壁間の空間
への調圧気体の供給及び前記空間からの調圧気体の排出
を行うための第２ポート、４４はピストン４１の後部４
１ａと前記シリンダ部４２内壁間に介在されるパッキン
等のシール部材、４５はピストン４１の前部４１ｃと前
記シリンダ部４２内壁間に介在されるパッキン等のシー
ル部材、４６は前記ダイヤフラム部３５の後側（外側）
空間の空気を外部へ出し入れするために形成された呼吸
孔である。
【００１９】なお、前記ピストン４１を調圧する駆動機
構４３としては、バネ体に限定されるものではなく、前
記調圧エア機構Ａによる調圧気体のみでピストン４１を
調圧しても良いし、荷重調節自在なバネ装置やソレノイ
ド等によりピストン４１を調圧しても良い。また、駆動
機構４３として荷重調節自在なバネ装置を用いる場合に
は、該荷重調節自在なバネ装置にサーボモータ等を接続
してバネ定数を自動制御できるように構成しても良い。
構４３としては、バネ体に限定されるものではなく、前
記調圧エア機構Ａによる調圧気体のみでピストン４１を
調圧しても良いし、荷重調節自在なバネ装置やソレノイ
ド等によりピストン４１を調圧しても良い。また、駆動
機構４３として荷重調節自在なバネ装置を用いる場合に
は、該荷重調節自在なバネ装置にサーボモータ等を接続
してバネ定数を自動制御できるように構成しても良い。
【００２０】次に、上記構造の逆止弁１０の作動例につ
いて説明する。上記逆止弁１０においては、流入口２１
側（一次側）の流体圧力が所定値以上となると、図１に
示すように、前記駆動機構、実施例ではバネ体４３の付
勢力に打ち勝ってポペット弁体３０の弁部３２のシール
部３３が弁座２３から離座して、弁部３２のシール部３
３が開く（より具体的に言えば、当該シール部３３と弁
座２３間に流体流通空間ができる）ことによって、被制
御流体が流入口２１から流出口２２方向（順方向）に流
通する。
いて説明する。上記逆止弁１０においては、流入口２１
側（一次側）の流体圧力が所定値以上となると、図１に
示すように、前記駆動機構、実施例ではバネ体４３の付
勢力に打ち勝ってポペット弁体３０の弁部３２のシール
部３３が弁座２３から離座して、弁部３２のシール部３
３が開く（より具体的に言えば、当該シール部３３と弁
座２３間に流体流通空間ができる）ことによって、被制
御流体が流入口２１から流出口２２方向（順方向）に流
通する。
【００２１】これに対して、流出口２２側（二次側）の
流体圧力が流入口２１側の流体圧力よりも高くなると、
流出口２２側の被制御流体が流入口２１側へ逆流しよう
とするが、上述の如く前記弁部３２のシール部３３の直
径距離ＳＤが前記ダイヤフラム部３５の膜部３６の最大
径Ｌ１と膜部３６の最小径Ｌ２を２分した位置における
直径距離ＭＤよりも大きく形成されているので、被制御
流体から弁部３２の受圧部３４に対して弁体前進方向Ｘ
に作用する力が、被制御流体からダイヤフラム部３５の
膜部３６に対して弁体後退方向Ｙに作用する力よりも大
となり、図２に示すように、弁部３２が弁座２３に着座
して、弁部３２のシール部３３が閉じることによって、
被制御流体の逆流を防止する。
流体圧力が流入口２１側の流体圧力よりも高くなると、
流出口２２側の被制御流体が流入口２１側へ逆流しよう
とするが、上述の如く前記弁部３２のシール部３３の直
径距離ＳＤが前記ダイヤフラム部３５の膜部３６の最大
径Ｌ１と膜部３６の最小径Ｌ２を２分した位置における
直径距離ＭＤよりも大きく形成されているので、被制御
流体から弁部３２の受圧部３４に対して弁体前進方向Ｘ
に作用する力が、被制御流体からダイヤフラム部３５の
膜部３６に対して弁体後退方向Ｙに作用する力よりも大
となり、図２に示すように、弁部３２が弁座２３に着座
して、弁部３２のシール部３３が閉じることによって、
被制御流体の逆流を防止する。
【００２２】また、上記逆止弁１０では、流入口２１の
開状態時に、前記調圧エア機構Ａにより、前記第１ポー
トＰ１を介してピストン４１の後部（大径部）４１ａと
前記シリンダ部４２内壁間の空間へ調圧気体を流入させ
ることによって、ピストン４１が前進方向Ｘに押されポ
ペット弁体３０が前進し、前記流入口２１、厳密に言え
ば、弁部３２のシール部３３が閉じられる。一方、流入
口２１の閉状態時に、前記調圧エア機構Ａにより、前記
第２ポートＰ２を介してピストン４１の中央部（小径
部）４１ｂと前記シリンダ部４２内壁間の空間へ調圧気
体を流入させることによって、ピストン４１が後退方向
Ｙに押されポペット弁体３０が後退し、前記流入口２
１、正確に言えば、弁部３２のシール部３３が開かれ
る。すなわち、当該逆止弁１０においては、自由にポペ
ット弁体３０を制御でき、任意に前記流入口２１を開閉
することができる。
開状態時に、前記調圧エア機構Ａにより、前記第１ポー
トＰ１を介してピストン４１の後部（大径部）４１ａと
前記シリンダ部４２内壁間の空間へ調圧気体を流入させ
ることによって、ピストン４１が前進方向Ｘに押されポ
ペット弁体３０が前進し、前記流入口２１、厳密に言え
ば、弁部３２のシール部３３が閉じられる。一方、流入
口２１の閉状態時に、前記調圧エア機構Ａにより、前記
第２ポートＰ２を介してピストン４１の中央部（小径
部）４１ｂと前記シリンダ部４２内壁間の空間へ調圧気
体を流入させることによって、ピストン４１が後退方向
Ｙに押されポペット弁体３０が後退し、前記流入口２
１、正確に言えば、弁部３２のシール部３３が開かれ
る。すなわち、当該逆止弁１０においては、自由にポペ
ット弁体３０を制御でき、任意に前記流入口２１を開閉
することができる。
【００２３】なお、この発明は、上記実施例に限定され
るものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において
構成の一部を適宜に変更して実施することができる。例
えば、図３に示す逆止弁１０Ａのように、ポペット弁体
３０Ａの弁部３２Ａのシール部３３Ａが弁部３２Ａ前端
面（図では前端面の外側部）に突出形成された突部で構
成されてもよい。なお、その場合には、前記弁部３２Ａ
のシール部３３Ａの直径距離ＳＤは、弁座２３内側の開
口径（オリフィス径）ＯＤ以上となる。図３において
は、上記図１及び図２に示した実施例と同一部材につい
ては同一符号を付し、その説明を省略する。
るものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において
構成の一部を適宜に変更して実施することができる。例
えば、図３に示す逆止弁１０Ａのように、ポペット弁体
３０Ａの弁部３２Ａのシール部３３Ａが弁部３２Ａ前端
面（図では前端面の外側部）に突出形成された突部で構
成されてもよい。なお、その場合には、前記弁部３２Ａ
のシール部３３Ａの直径距離ＳＤは、弁座２３内側の開
口径（オリフィス径）ＯＤ以上となる。図３において
は、上記図１及び図２に示した実施例と同一部材につい
ては同一符号を付し、その説明を省略する。
【００２４】また、上記実施例の逆止弁１０において
は、ピストン４１とシリンダ部４２内壁間に調圧エア機
構Ａからの調圧気体を送るために二つのポートＰ１，Ｐ
２が設けられているが、各ポートＰ１，Ｐ２からピスト
ン４１とシリンダ部４２内壁間に調圧気体を流入させる
ことにより、ピストン４１の移動調整を行うようになっ
ているが、これに限らず、前記ポートＰ１，Ｐ２の何れ
か一方だけ設け、そのポートを介してピストン４１とシ
リンダ部４２内壁間に調圧エア機構Ａからの調圧気体を
流入及び流出させ、ピストン４１を加圧及び減圧するこ
とによって、当該ピストン４１の移動調整を行うように
しても良い。
は、ピストン４１とシリンダ部４２内壁間に調圧エア機
構Ａからの調圧気体を送るために二つのポートＰ１，Ｐ
２が設けられているが、各ポートＰ１，Ｐ２からピスト
ン４１とシリンダ部４２内壁間に調圧気体を流入させる
ことにより、ピストン４１の移動調整を行うようになっ
ているが、これに限らず、前記ポートＰ１，Ｐ２の何れ
か一方だけ設け、そのポートを介してピストン４１とシ
リンダ部４２内壁間に調圧エア機構Ａからの調圧気体を
流入及び流出させ、ピストン４１を加圧及び減圧するこ
とによって、当該ピストン４１の移動調整を行うように
しても良い。
【００２５】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明に
係る逆止弁構造にあっては、弁室内にスプリング等の弁
体を付勢する付勢手段が存在しないので、被制御流体中
に微細ゴミが発生するのを防ぐことができるとともに、
該逆止弁の接液部を耐腐食性あるいは耐薬品性の高い材
質のみで製造することができるので、超純水や高純度薬
品等を被制御流体とする場合に最適に使用できる。
係る逆止弁構造にあっては、弁室内にスプリング等の弁
体を付勢する付勢手段が存在しないので、被制御流体中
に微細ゴミが発生するのを防ぐことができるとともに、
該逆止弁の接液部を耐腐食性あるいは耐薬品性の高い材
質のみで製造することができるので、超純水や高純度薬
品等を被制御流体とする場合に最適に使用できる。
【００２６】また、請求項２及び３の発明のように、ポ
ペット弁体を調圧する調圧手段が、ポペット弁体の弁軸
と一体に形成されたピストンと該ピストンが嵌挿される
シリンダ部と前記ピストンを調圧する駆動機構とで構成
されれば、簡単な構造で、しかも効率よくポペット弁体
を調圧して、該ポペット弁体を動作させることができ
る。特に、請求項３の発明のように、ピストンを調圧す
る駆動機構を前記ピストンを常時前進方向に付勢するバ
ネ体とすれば、より構造を簡略化することができ、コス
ト的にも有利である。
ペット弁体を調圧する調圧手段が、ポペット弁体の弁軸
と一体に形成されたピストンと該ピストンが嵌挿される
シリンダ部と前記ピストンを調圧する駆動機構とで構成
されれば、簡単な構造で、しかも効率よくポペット弁体
を調圧して、該ポペット弁体を動作させることができ
る。特に、請求項３の発明のように、ピストンを調圧す
る駆動機構を前記ピストンを常時前進方向に付勢するバ
ネ体とすれば、より構造を簡略化することができ、コス
ト的にも有利である。
【００２７】さらに、請求項４の発明の如く、前記調圧
手段のピストンを前進方向及び後退方向に移動調整可能
とする調圧エア機構を設けるようにすれば、自由にポペ
ット弁体を制御でき、任意に流入口を開閉することがで
きるようになるので、従来のこの種逆止弁には不可能と
されていた全く新規な使用態様が作出され、この種逆止
弁の利便性が大幅に向上する。
手段のピストンを前進方向及び後退方向に移動調整可能
とする調圧エア機構を設けるようにすれば、自由にポペ
ット弁体を制御でき、任意に流入口を開閉することがで
きるようになるので、従来のこの種逆止弁には不可能と
されていた全く新規な使用態様が作出され、この種逆止
弁の利便性が大幅に向上する。
【図１】この発明の一実施例に係る逆止弁を示す縦断面
図である。
図である。
【図２】同逆止弁の閉状態を示す縦断面図である。
【図３】他の実施例に係る逆止弁を示す縦断面図であ
る。
る。
【図４】従来における逆止弁の一例を示す縦断面図であ
る。
る。
１０ 逆止弁 ２０ 弁室 ２１ 流入口 ２２ 流出口 ３０ ポペット弁体 ３１ 弁軸 ３２ 弁部 ３３ シール部 ３４ 受圧部 ３５ ダイヤフラム部 ３６ 膜部 ４０ 調圧手段 ４１ ピストン ４２ シリンダ部 ４３ 駆動機構 Ａ 調圧エア機構 ＳＤ 弁部のシール部の直径距離 ＭＤ 膜部最大径と膜部最小径を２分した位置における
直径距離
直径距離
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 笹尾 起美仁 愛知県名古屋市千種区上野３丁目11番８号 アドバンス電気工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3H056 AA02 BB08 BB41 CA01 CB02 CD04 DD03 EE10 GG01 GG05 GG11 GG14 3H058 AA05 BB23 BB33 BB40 CD05 CD10 DD01 DD11 DD15 DD17 EE02 EE24
Claims (4)
- 【請求項１】 被制御流体の流入口と流出口を有する弁
室と、 弁軸と、前記弁軸に膨出状に形成され前側に前記流入口
を開閉するシール部及び後側に前記流出口からの流体圧
力を受ける受圧部とを有する弁部と、前記弁軸と一体に
形成され前記弁室内に装着されるダイヤフラム部とを有
し、前記弁部のシール部の直径距離（ＳＤ）が前記ダイ
ヤフラム部の膜部最大径と膜部最小径を２分した位置に
おける直径距離（ＭＤ）よりも大きく形成されたポペッ
ト弁体と、 前記ダイヤフラム部の弁室外側に設けられ前記ポペット
弁体を常時前進方向に調圧しかつ被制御流体の流入圧に
よって弁部のシール部を開く調圧手段とを備えているこ
とを特徴とする逆止弁構造。 - 【請求項２】 請求項１において、前記調圧手段が、前
記弁軸と一体に形成されたピストンと該ピストンが嵌挿
されるシリンダ部と前記ピストンを調圧する駆動機構か
らなる逆止弁構造。 - 【請求項３】 請求項２において、前記ピストンを調圧
する駆動機構が前記ピストンを常時前進方向に付勢する
バネ体である逆止弁構造。 - 【請求項４】 請求項２または３において、前記調圧手
段のピストンを前進方向及び後退方向に移動調整可能と
する調圧エア機構を有する逆止弁構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000270492A JP3590572B2 (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 逆止弁構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000270492A JP3590572B2 (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 逆止弁構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002081561A true JP2002081561A (ja) | 2002-03-22 |
| JP3590572B2 JP3590572B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=18756923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000270492A Expired - Lifetime JP3590572B2 (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 逆止弁構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3590572B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004076787A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Advance Denki Kogyo Kk | ダイヤフラム弁構造 |
| JP2008190543A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-21 | Tokiko Techno Kk | 液体供給設備の配管継手 |
| JP2016038009A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 日本電産サンキョー株式会社 | バルブ装置 |
| JP2016114240A (ja) * | 2014-12-11 | 2016-06-23 | Ckd株式会社 | 流体制御バルブ及び流体制御方法 |
| WO2019065982A1 (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-04 | 株式会社アドヴィックス | 車両の制動制御装置 |
| JP2021513034A (ja) * | 2018-02-09 | 2021-05-20 | バット ホールディング アーゲー | ピストン−シリンダユニット |
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|---|---|---|---|---|
| DK200100281A (da) * | 2001-02-21 | 2002-08-22 | Flowcon Int As | Membranventil med reguleringsmiddel |
| JP5226059B2 (ja) | 2010-11-17 | 2013-07-03 | アドバンス電気工業株式会社 | エア操作弁 |
| JP2016156397A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | アドバンス電気工業株式会社 | 流体制御弁の弁付勢構造 |
| KR102597418B1 (ko) | 2022-03-31 | 2023-11-03 | 고후롯크 가부시키가이샤 | 유량 제어 밸브 |
-
2000
- 2000-09-06 JP JP2000270492A patent/JP3590572B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2004076787A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Advance Denki Kogyo Kk | ダイヤフラム弁構造 |
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| JP2016038009A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 日本電産サンキョー株式会社 | バルブ装置 |
| JP2016114240A (ja) * | 2014-12-11 | 2016-06-23 | Ckd株式会社 | 流体制御バルブ及び流体制御方法 |
| WO2019065982A1 (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-04 | 株式会社アドヴィックス | 車両の制動制御装置 |
| JP2019059420A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | 株式会社アドヴィックス | 車両の制動制御装置 |
| CN111148670A (zh) * | 2017-09-28 | 2020-05-12 | 株式会社爱德克斯 | 车辆的制动控制装置 |
| JP2021513034A (ja) * | 2018-02-09 | 2021-05-20 | バット ホールディング アーゲー | ピストン−シリンダユニット |
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| JP3590572B2 (ja) | 2004-11-17 |
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