JP2021511517A - イオン感応性固体電極およびイオン感応性電極のための測定ユニット - Google Patents
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Abstract
Description
[0039]好ましくは、そのような結合は、いくつかの層を生成させることによって確立され、そのいくつかの層は、10nmから500nmの範囲の厚さを有する接着層(たとえば、Ti、Cr、もしくはTiWを含むかまたはそれから構成されている)を任意に含み、それは、対応するリング形状のシール面または接触表面との接着を確立するために使用されている。任意に、応力緩和層が提供されており、それは、たとえば、Cuを含むかまたはCuから構成されており、100nmから2000nmの範囲の厚さを有しており、それは、層状構造体において起こる圧縮応力または引張応力を吸収する役割を果たす。好ましくは、100nmから5000nmの範囲の厚さを有する、たとえば、ニッケル(Ni)、ニッケル−バナジウム(NiV)、ニッケル−リン(NiP)を含むかもしくはそれらから構成されている湿潤/障壁層、および/または、10nmから200nmの範囲の厚さを有する、たとえば金(Au)を含むかもしくは金(Au)から構成されている酸化保護層が更に設けられる。任意に、はんだ層が、上部にめっきされており、はんだ層は、たとえば、スズ(Sn)、スズ−銀(SnAg)、スズ−金(SnAu)、インジウム(In)ベースの合金、または、任意の他の適切なはんだ付け合金を含むかまたはそれから構成されている。はんだ付け層のために選択される材料は、層状構造体の層または材料が結合プロセスの間に劣化または過熱されないような許容可能な加工温度を有する。
[0072]図2は、固体測定ユニット1、すなわち、保持部材18が、接着剤30によって電極本体部3の下側端部に接続されていることを符号により示している。点線によって図示されているように、さらなる実施形態では、保持部材18は、電極本体部3’の一体の部分であることが可能であり、従来のpH電極などの従来のイオン感応性電極に使用されるようなガラス管であることが可能である。
1 測定ユニット
2 リード線
3 電極本体部、たとえば、ガラス管
4 電極ヘッド
5 測定溶液
6 層状構造体
8 参照電極
9 制御ユニット
10 電気化学センサー/pH電極
11 イオン感応性膜
12 中間層
13 導電層
14 基板
16 電気モジュール
17 成形材料
18 保持部材
30 接着剤
100 測定システム
111 第1の接触表面
141 第2の接触表面
151 第1の環状のシーリングプリフォーム
152 第2の環状のシーリングプリフォーム
180 キャビティ
181 第1のシール面
182 第2のシール面
184 保持部材18の下側
185 保持部材18の上側
186 保持部材18の外側
187 保持部材18の内側
189 保持部材18の環状のセクション
Claims (19)
- 測定溶液(5)中のpHを測定する役割を果たす、イオン感応性固体電極(10)のための測定ユニット(1)であって、
前記測定ユニット(1)は、層状構造体(6)を備え、前記層状構造体(6)は、
第1のリング形状の接触表面(111)を備えたイオン感応性ガラス層(11)と、
直接的にまたは少なくとも1つの中間層(12)を介して前記イオン感応性ガラス層(11)に付着している導電層(13)と、
前記導電層(13)に付着している基板(14)であって、第2のリング形状の接触表面(141)を備えている、基板(14)と
を含み、
前記測定ユニット(1)は、保持部材(18)を備え、前記保持部材(18)は、第1のリング形状のシール面(181)、第2のリング形状のシール面(182)、および環状のセクション(189)を備えており、
前記第1のリング形状のシール面(181)は、前記第1のリング形状の接触表面(111)に密封して接続されており、
前記第2のリング形状のシール面(182)は、前記基板(14)の前記第2のリング形状の接触表面(141)に接続されており、
前記保持部材(18)の前記第1および第2のリング形状のシール面(181、182)は、前記環状のセクション(189)によって密封して接続されている、測定ユニット(1)。 - 請求項1に記載の測定ユニット(1)であって、
前記保持部材(18)が、セラミックまたはガラスを含み、
前記基板(14)が、以下の材料:金属、スチール、セラミック、ガラス、ガラスセラミック、ポリマー化合物、繊維複合材料のうちの少なくとも1つを含み、
前記導電層(13)が、少なくとも1.0Vの還元電位を有する金属または金属合金を含み、
前記イオン感応性ガラス層(11)が、好ましくは、前記導電層(13)のイオンを伝導するガラスを含む、測定ユニット(1)。 - 請求項1または2に記載の測定ユニット(1)であって、
前記中間層(12)が、固体電解質を含む、測定ユニット(1)。 - 請求項3に記載の測定ユニット(1)であって、
前記中間層(12)の前記固体電解質が、前記導電層(13)のイオンを伝導する、測定ユニット(1)。 - 請求項1から4の一項に記載の測定ユニット(1)であって、
前記導電層(13)が、少なくとも1.0Vの還元電位を有する金属または金属合金としてリチウムまたはリチウム合金を含み、前記導電層(13)の前記イオンが、リチウムイオンである、測定ユニット(1)。 - 請求項1から5の一項に記載の測定ユニット(1)であって、
前記第1および第2のリング形状のシール面(181、182)ならびに/または前記第1および第2のリング形状の接触表面(111、141)が、同心円状に配置されているかまたは互いにオフセットされている円形の閉じたループを形成している、測定ユニット(1)。 - 請求項1から6の一項に記載の測定ユニット(1)であって、
好ましくはディスク形状の前記基板(14)が、前記保持部材(18)の下側に面する上側と、前記イオン感応性ガラス層(11)の前記上側に面する下側とを有しており、前記イオン感応性ガラス層(11)は、その下側が、前記測定溶液(5)に面しており、前記第1のリング形状の接触表面(111)が、前記イオン感応性ガラス層(11)の前記上側に位置付けされており、前記第2のリング形状の接触表面(141)が、前記基板(14)の前記上側に位置付けされている、測定ユニット(1)。 - 請求項1から7の一項に記載の測定ユニット(1)であって、
前記層状構造体(6)が、前記基板(14)の直径(d14)よりも大きい直径(d11)を有する前記イオン感応性ガラス層(11)を備えた第1のステップ状のプロファイルを有しており、前記層状構造体(6)の前記第1のステップ状のプロファイルが、前記保持部材(18)の前記下側に設けられた第2のステップ状のプロファイルを補完している、測定ユニット(1)。 - 請求項1から8の一項に記載の測定ユニット(1)であって、
前記保持部材(18)の前記第1のリング形状のシール面(181)が、第1の平面に配置されており、前記保持部材(18)の前記第2のリング形状のシール面(182)が、第2の平面に配置されており、前記第1および第2の平面が、好ましくは、互いの間の距離を伴って、前記基板(14)に平行に配置されており、前記距離は、前記基板(14)、前記導電層(13)、および、存在する場合には、前記少なくとも1つの中間層(12)の組み合わせられた厚さにおおよそ対応している、測定ユニット(1)。 - 請求項1から9の一項に記載の測定ユニット(1)であって、
前記第1のリング形状のシール面(181)および前記第1のリング形状の接触表面(111)、ならびに、前記第2のリング形状のシール面(182)および前記第2のリング形状の接触表面(141)が、それぞれ、以下の材料、
a. 隣接する前記リング形状のシール面および接触表面(181、111;182、141)の拡散された材料;または、
b. 隣接する前記リング形状のシール面と接触表面(181、111;182、141)との間に配置され、溶融され、そして固化されたガラスまたは金属を含む結合材料
のいずれかによって互いに結合されている、測定ユニット(1)。 - 請求項10に記載の測定ユニット(1)であって、
a. 前記結合材料が、堆積プロセスによって、前記隣接するリング形状のシール面および接触表面(181、111;182、141)のうちの少なくとも1つの上に堆積させられており、または、
b. 前記結合材料が、プリフォームの形態で堆積させられており、前記プリフォームは、溶融および固化されている、測定ユニット(1)。 - 請求項11に記載の測定ユニット(1)であって、
前記プリフォームが、前記第1のリング形状のシール面(181)と前記第1の接触表面(111)との間に設置されている第1の環状のシーリングプリフォーム(151)と、前記第2のリング形状のシール面(182)と前記第2の接触表面(141)との間に設置されている第2の環状のシーリングプリフォーム(151)とを含む、測定ユニット(1)。 - 請求項1から12の一項に記載の測定ユニット(1)であって、
好ましくは、熱センサーに接続されている電気モジュール(16)が、前記基板(14)の前記上側に設置されている、測定ユニット(1)。 - 請求項1から13の一項に記載の測定ユニット(1)であって、
前記保持部材(18)が、エポキシ化合物などの成形材料(17)によって充填およびシールされている、キャビティ(180)を備えた管状のまたは環状の形であり、前記成形材料(17)は、前記基板(14)の前記上側を覆っており、好ましくは、密封して接続されている前記第2のリング形状のシール面(182)および前記第2の接触表面(141)に横方向に隣接している、測定ユニット(1)。 - 請求項1から14の一項に記載の測定ユニット(1)であって、
前記イオン感応性ガラス層(11)が、好ましくは、前記測定ユニット(1)の特定の動作温度の範囲全体にわたって、圧縮応力で保持されている、測定ユニット(1)。 - 請求項15に記載の測定ユニット(1)であって、
前記イオン感応性ガラス層(11)の熱膨張係数(α11)が、前記基板(14)の熱膨張係数(α14)よりも小さくなっており、前記イオン感応性ガラス層(11)および前記基板(14)が、前記測定ユニット(1)の最大動作温度を上回る第1のプロセス温度で、重ね合わせて接続または堆積されている、測定ユニット(1)。 - 請求項14または16に記載の測定ユニット(1)であって、
前記イオン感応性ガラス層(11)の前記熱膨張係数(α11)が、前記保持部材(18)の熱膨張係数(α18)よりも小さくなっており、前記イオン感応性ガラス層(11)および前記保持部材(18)が、前記測定ユニット(1)の最大動作温度を上回る第2のプロセス温度で、互いに接続または溶着されている、測定ユニット(1)。 - 請求項15または17に記載の測定ユニット(1)であって、
前記イオン感応性ガラス層(11)の前記熱膨張係数(α11)と前記基板(14)の前記熱膨張係数(α14)、および前記イオン感応性ガラス層(11)の前記熱膨張係数(α11)と前記保持部材(18)の前記熱膨張係数(α18)が、1%〜12.5%の範囲の値だけ異なっている、測定ユニット(1)。 - 請求項1から18の一項に記載の測定ユニット(1)を含むpH感応性固体電極(10)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP18154259.8A EP3517944A1 (en) | 2018-01-30 | 2018-01-30 | Measurement unit for an ion-sensitive solid-state electrode and ion-sensitive electrode |
EP18154259.8 | 2018-01-30 | ||
PCT/EP2019/052148 WO2019149705A1 (en) | 2018-01-30 | 2019-01-29 | Measurement unit for an ion-sensitive solid-state electrode and ion-sensitive electrode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021511517A true JP2021511517A (ja) | 2021-05-06 |
JP7279052B2 JP7279052B2 (ja) | 2023-05-22 |
Family
ID=61157006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020540737A Active JP7279052B2 (ja) | 2018-01-30 | 2019-01-29 | イオン感応性固体電極およびイオン感応性電極のための測定ユニット |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11726055B2 (ja) |
EP (2) | EP3517944A1 (ja) |
JP (1) | JP7279052B2 (ja) |
KR (1) | KR20200111690A (ja) |
CN (1) | CN111656174B (ja) |
WO (1) | WO2019149705A1 (ja) |
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-
2018
- 2018-01-30 EP EP18154259.8A patent/EP3517944A1/en not_active Withdrawn
-
2019
- 2019-01-29 EP EP19701380.8A patent/EP3746780A1/en active Pending
- 2019-01-29 KR KR1020207020644A patent/KR20200111690A/ko unknown
- 2019-01-29 WO PCT/EP2019/052148 patent/WO2019149705A1/en unknown
- 2019-01-29 JP JP2020540737A patent/JP7279052B2/ja active Active
- 2019-01-29 CN CN201980010606.4A patent/CN111656174B/zh active Active
-
2020
- 2020-07-29 US US16/942,281 patent/US11726055B2/en active Active
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KR20200111690A (ko) | 2020-09-29 |
JP7279052B2 (ja) | 2023-05-22 |
CN111656174A (zh) | 2020-09-11 |
EP3746780A1 (en) | 2020-12-09 |
CN111656174B (zh) | 2024-03-01 |
US11726055B2 (en) | 2023-08-15 |
US20200355641A1 (en) | 2020-11-12 |
WO2019149705A1 (en) | 2019-08-08 |
EP3517944A1 (en) | 2019-07-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220831 |
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