JP2021509227A - 回折格子導光板用モールドの製造方法および回折格子導光板の製造方法 - Google Patents
回折格子導光板用モールドの製造方法および回折格子導光板の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
以下、本発明を具体的に説明するために実施例を挙げて詳細に説明する。しかし、本発明に係る実施例は種々の異なる形態に変形可能であり、本発明の範囲が以下に述べる実施例に限定されると解釈されない。本明細書の実施例は、当業界における平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。
実施例1_第2マスクフィルム
基材として、ガラス転移温度が約280℃、融点が約390℃、厚さが約50μmのポリイミド(polyimide、PI)フィルムを用意した。また、粘着層として、厚さが約6μmのシリコーン系粘着フィルムを用意した。この後、PIフィルムの一面に粘着フィルムを付着させて、マスクフィルムを製造した。製造されたマスクフィルムを横2.54cm、縦30cmに裁断してサンプルを製造し、サンプルをステンレススチール304の一面に付着させた。この後、サンプルをASTM D3330の評価方法に基づいてステンレススチール304から剥離する時の力を測定し、約60gf/inであった。
基材として、ガラス転移温度が約85℃、融点が約280℃、厚さが約38μmのポリエチレンテレフタレート(polyethyleneterephthalate、PET)フィルムを用意した。また、粘着層として、厚さが約10μmのシリコーン系粘着フィルムを用意した。この後、PETフィルムの一面に粘着フィルムを付着させて、マスクフィルムを製造した。この後、前記実施例1と同様の方法で粘着層の粘着力を測定し、粘着層の粘着力は約40gf/inであった。
基材として、厚さが約25μmである前記実施例2のPETフィルムを用意し、粘着層として、厚さが約8μmのシリコーン系粘着フィルムを用意した。この後、PETフィルムの一面に粘着フィルムを付着させて、マスクフィルムを製造した。この後、前記実施例1と同様の方法で粘着層の粘着力を測定し、粘着層の粘着力は約25gf/inであった。
基材として、厚さが約25μmである前記実施例1のPIフィルムを用意し、粘着層として、厚さが約25μmのアクリレート系粘着フィルムを用意した。この後、PIフィルムの一面に粘着フィルムを付着させて、マスクフィルムを製造した。この後、前記実施例1と同様の方法で粘着層の粘着力を測定し、粘着層の粘着力は約70gf/inであった。
基材として、厚さが約25μmである前記実施例1のPIフィルムを用意し、粘着層として、厚さが約10μmのシリコーン系粘着フィルムを用意した。この後、PIフィルムの一面に粘着フィルムを付着させて、マスクフィルムを製造した。この後、前記実施例1と同様の方法で粘着層の粘着力を測定し、粘着層の粘着力は約10gf/inであった。
基材として、厚さが約25μmである前記実施例1のPIフィルムを用意し、粘着層として、厚さが約10μmのシリコーン系粘着フィルムを用意した。この後、PIフィルムの一面に粘着フィルムを付着させて、マスクフィルムを製造した。この後、前記実施例1と同様の方法で粘着層の粘着力を測定し、粘着層の粘着力は約80gf/inであった。
基材として、厚さが約50μmである前記実施例1のPIフィルムを用意し、粘着層として、厚さが約10μmのシリコーン系粘着フィルムを用意した。この後、PIフィルムの一面に粘着フィルムを付着させて、マスクフィルムを製造した。この後、前記実施例1と同様の方法で粘着層の粘着力を測定し、粘着層の粘着力は約10gf/inであった。
メッシュ部の面抵抗が0.5605Ω/□、底面がステンレス(SUS304)プレートであるファラデーケージを用意した。そして、誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置(ICP−RIE)(Oxford社のplasmaLab system100)内に前記ファラデーケージを備えた。
ファラデーケージ内に40゜の傾斜を有するアルミニウム材質の支持台を設けた後、支持台上に温度検知テープ付き石英基板を位置させた。この時、別途のシャッタを用いたメッシュ部の遮断はなかった。
ファラデーケージ内に40゜の傾斜を有するアルミニウム材質の支持台を設けた後、支持台上に温度検知テープ付き石英基板を位置させた。この時、別途のシャッタを用いたメッシュ部の遮断はなかった。
ファラデーケージ内に温度検知テープ付き石英基板をファラデーケージの底面に位置させ、別途のシャッタを用いたメッシュ部の遮断はなかった。
ファラデーケージ内に温度検知テープ付き石英基板をファラデーケージの底面に位置させ、別途のシャッタを用いたメッシュ部の遮断はなかった。
誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置(ICP−RIE)(Oxford社のplasmaLab system100)内に、温度検知テープ付き石英基材を位置させた。この後、反応性ガスとして、O2およびC4F8を5:45の比率で混合して50sccmの流速で供給した。また、エッチング条件として、ICP power2kW、RF power150W、作動圧力7〜10mTorrにして4分間エッチングした。この時、温度検知テープで測定した石英基板の平均表面温度は約235℃であることを確認した。
メッシュ部の面抵抗が0.5605Ω/□、底面がステンレス(SUS304)プレートであるファラデーケージを用意した。そして、誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置(ICP−RIE)(Oxford社のplasmaLab system100)内に前記ファラデーケージを備えた。
実施例1のマスクフィルムを用意し、マスクフィルムの所定領域に開口を形成した。この後、前記実施例1のマスクフィルムを石英基材に付着させ、図2Aのようにファラデーケージ内に位置させた。
実施例2のマスクフィルムを用意し、マスクフィルムの所定領域に開口を形成した。この後、前記実施例2のマスクフィルムを石英基材に付着させ、図2Dのようにファラデーケージ内に位置させた。
200、200’:第1マスクフィルム
300:第2マスクフィルム
H1:第1開口
H2:第2開口
H3:第3開口
H4:第4開口
400:ファラデーケージ
410:メッシュ部
420:シャッタ
430:支持台
P1:第1パターン部
P2:第2パターン部
P3:第3パターン部
P4:第4パターン部
1000:回折格子導光板用モールド
Claims (13)
- それぞれ独立した領域に形成された第1開口および第2開口を含む第1マスクフィルムを用意するステップと、
モールド用基材の一面上に前記第1マスクフィルムを付着させ、前記第1開口のみを開放した後、前記第1マスクフィルムが付着したモールド用基材を、メッシュ部が上面に備えられたファラデーケージ内に位置させ、プラズマエッチングを用いて、前記第1開口によって露出した前記モールド用基材の一面の第1領域上に第1パターン部を形成するステップと、
前記第2開口のみを開放した後、プラズマエッチングを用いて、前記第2開口によって露出した前記モールド用基材の一面の第2領域上に第2パターン部を形成するステップと、を含み、
前記第1マスクフィルムは、第1基材と、前記第1基材の一面上に備えられる第1粘着層とを含み、前記第1基材のガラス転移温度は、70℃以上100℃以下であり、前記第1粘着層の粘着力は、30gf/in以上50gf/in以下である回折格子導光板用モールドの製造方法。 - 一領域に第3開口が形成された第2マスクフィルムを用意し、前記モールド用基材の一面上から前記第1マスクフィルムを除去するステップと、
前記モールド用基材の一面上に前記第2マスクフィルムを付着させ、プラズマエッチングを用いて、前記第3開口によって露出した前記モールド用基材の一面の第3領域上に第3パターン部を形成するステップと、をさらに含む、請求項1に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。 - 前記第1マスクフィルムは、第4開口を追加的に含み、
前記第4開口のみを開放した後、プラズマエッチングを用いて、前記第4開口によって露出した前記モールド用基材の一面の第4領域上に第4パターン部を形成するステップをさらに含む、請求項1または2に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。 - 前記第1パターン部を形成するステップは、
前記モールド用基材の一面を前記ファラデーケージの底面に傾斜して位置させ、プラズマエッチングを行って傾斜パターン部を形成することを含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。 - 前記第2パターン部を形成するステップは、
前記モールド用基材の一面を前記ファラデーケージの底面に傾斜して位置させ、前記メッシュ部の少なくとも一部をシャッタを用いて遮蔽した後、プラズマエッチングを行って深さ勾配を有する傾斜パターン部を形成することを含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。 - 前記第3パターン部を形成するステップは、
前記モールド用基材の一面を前記ファラデーケージの底面に平行に位置させ、前記メッシュ部の少なくとも一部をシャッタを用いて遮蔽した後、プラズマエッチングを行って深さ勾配を有するパターン部を形成することを含む、請求項2に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。 - 前記第4パターン部を形成するステップは、
前記モールド用基材の一面を前記ファラデーケージの底面に平行に位置させ、プラズマエッチングを行うことを含む、請求項3に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。 - 前記シャッタは、前記メッシュ部の20%以上80%以下の領域を遮蔽する、請求項5または6に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。
- 前記第1基材の厚さは、30μm以上50μm以下であり、
前記第1粘着層の厚さは、5μm以上20μm以下である、請求項1から8のいずれか一項に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。 - 前記第2マスクフィルムは、第2基材と、前記第2基材の一面上に備えられる第2粘着層とを含み、前記第2基材のガラス転移温度は、230℃以上350℃以下であり、前記第2粘着層の粘着力は、30gf/in以上80gf/in以下である、請求項2に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。
- 前記第2基材の厚さは、30μm以上70μm以下であり、
前記第2粘着層の厚さは、5μm以上20μm以下である、請求項10に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。 - 前記メッシュ部は、0.5Ω/□以上の面抵抗を有する、請求項1から11のいずれか一項に記載の回折格子導光板用モールドの製造方法。
- 請求項1から12のいずれか一項に記載の方法で製造された回折格子導光板用モールドを用意するステップと、
前記回折格子導光板用モールドのパターン部が形成された一面上に樹脂組成物を塗布するステップと、
前記樹脂組成物を硬化させるステップと、を含む回折格子導光板の製造方法。
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