JP2021501962A - イオンビームシステムにおけるビームマッピングのための装置と技術 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- イオンビームのモニタリングのための装置であって、該装置は、
プロセッサと、
該プロセッサに結合され、表示ルーチンを含む、メモリユニットと、を備え、
前記表示ルーチンは、前記プロセッサに作用して前記イオンビームのモニタリングを管理し、前記表示ルーチンは測定プロセッサを備え、該測定プロセッサは、
前記イオンビームの複数のスポットビームプロファイルを受け、該スポットビームプロファイルは、前記イオンビームの高速走査中と、該高速走査と同時に行われる検出器の低速の機械的走査中と、に収集され、前記高速走査は、高速走査方向に沿って10 Hz以上の周波数を有する複数の走査サイクルを含み、前記低速の機械的走査は、前記高速走査方向に平行な方向に行われ、
表示信号を送って、前記複数のスポットビームプロファイルから導出された少なくとも一組の情報を表示する、装置。 - 前記測定プロセッサが、ユーザー入力に応答して、前記複数のスポットビームプロファイルの少なくとも一部を表示するために信号を送信する、請求項1に記載の装置。
- 前記測定プロセッサが、前記複数のスポットビームプロファイルの前記少なくとも一部を重ね合わせて表示するための信号を送信する、請求項2に記載の装置。
- 前記測定プロセッサは、
複数のインスタンスで収集された複数の検出器の位置を含む位置情報を前記検出器から受け、
前記複数の検出器の位置に対応する複数のスポットビームプロファイルを受け、
前記複数の検出器の位置におけるスポットビーム中心位置を決定し、
複数の検出器の位置における前記スポットビーム中心位置と理想的な中心位置との間の差を決定し、
検出器の位置の機能として前記差を表示するための信号を送信する、請求項1に記載の装置。 - 前記測定プロセッサは、
前記複数のスポットビームプロファイルについてのスポットビーム半値幅を決定し、
ユーザー入力に応答して、前記複数のスポットビームプロファイルの少なくとも幾つかのスポットビームプロファイルの前記スポットビーム半値幅と理想的なビーム半値幅との間の差を表示するための信号を送信する、請求項1に記載の装置。 - 前記測定プロセッサは、
前記複数のスポットビームプロファイルから複数の平均スポットビームプロファイルを生成し、平均ビームスポットプロファイルが、連続して記録された少なくとも3つのスポットビームプロファイルの平均を含む、請求項1に記載の装置。 - イオンビームの制御のための装置であって、該装置は、
高速走査方向に沿って10 Hz以上の周波数を有する複数の走査サイクルにわたって前記イオンビームの高速走査を行うビームスキャナと、
前記イオンビームをインターセプトし、前記高速走査と同時に低速走査を行うように配置された検出器であって、前記低速走査は、前記高速走査方向に平行な走査経路に沿って第1の位置から第2の位置に前記検出器を移動させることを含み、複数のスポットビームプロファイルは、前記低速走査中に前記検出器によって受けられる、検出器と、
前記検出器に結合された、ユーザインターフェースと、
前記スキャナと、前記ユーザインターフェースと、前記検出器とに結合されたコントローラとを備え、該コントローラは、
プロセッサと、
該プロセッサに結合され、表示ルーチンを含むメモリユニットと、を備え、前記表示ルーチンは、前記複数のスポットビームプロファイルから導出された、少なくとも1組の情報を、前記ユーザインターフェース上に表示するために、表示信号を送るように前記プロセッサ上で動作する、装置。 - 前記ユーザインターフェースは、複数の欄及び少なくとも1つのユーザ選択装置を含み、前記表示ルーチンは、前記少なくとも1つのユーザ選択装置から受けたユーザー入力に応答して、前記表示信号を送信するように動作する、請求項7に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのユーザ選択装置は、ビーム線マップボタンを備え、前記プロセッサ上で作動して前記ビームスキャナ及び前記検出器に走査開始信号を送り、前記ビーム線マップボタンからの入力信号に応答し、前記ビームスキャナが前記高速走査を行い、前記検出器が同時に前記低速走査を行う、請求項8に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのユーザ選択装置は、スポットの絶対位置ボタンを備え、前記表示ルーチンは、前記スポットの絶対位置ボタンからの入力信号に応答して、前記複数の欄の選択欄内の前記複数のスポットビームプロファイルの少なくとも幾つかのスポットビームプロファイルを提示するための第1の表示信号を前記プロセッサ上で送信するように動作し、前記少なくとも幾つかのスポットビームプロファイルは、前記走査パスに沿った位置の関数として提示される、請求項8に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのユーザ選択装置は、スポットの相対位置ボタンを含み、前記表示ルーチンは、前記スポットの相対位置ボタンからの入力信号に応答して、前記複数のスポットビームプロファイルの少なくとも幾つかのスポットビームプロファイルを、前記複数の欄の選択欄に重ね合わされた態様で提示するための第2の表示信号を、前記プロセッサ上で送信するように動作する、請求項8に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのユーザ選択装置は、ビーム線ボタンを備え、前記表示ルーチンは、前記プロセッサ上で、前記ビーム線ボタンからの入力答して、前記複数のスポットビームプロファイルの少なくとも幾つかのスポットビームプロファイルのスポットビーム中心位置を計算し、且つ、前記スポットビーム中心位置の比較を理想的な中心位置に前記ユーザインターフェース上に表示するためにフォーマット信号を送信するように動作する、請求項11に記載の装置。
- 前記表示ルーチンは、
複数のスポットビームプロファイルについてのスポットビーム半値幅を決定し、
ユーザー入力に応答して、前記複数のスポットビームプロファイルの少なくとも幾つかのスポットビームプロファイルの半値幅を表示するための信号を送信する、請求項7に記載の装置。 - 前記表示ルーチンは、前記複数のスポットビームプロファイルから複数の平均スポットビームプロファイルを生成し、平均スポットビームプロファイルが連続して記録された5つのスポットビームプロファイルの平均を含む、請求項7に記載の装置。
- イオンビームを制御する方法であって、該方法は、
高速走査方向に沿った10 Hz以上の周波数を有する複数の走査サイクルにわたってイオンビームを走査するステップと、
前記イオンビームの前記複数の走査サイクルの間、第1の位置から前記高速走査方向に平行な走査経路に沿った第2の位置まで、低速走査の間、イオンビームを通して検出器を機械的に走査するステップと、を有し、
前記検出器は複数のスポットビームプロファイルを生成し、スポットビームプロファイルは、前記走査経路に沿った前記検出器の所与の位置における前記イオンビームのビームプロファイルに対応し、
前記複数のスポットビームプロファイルから導出される少なくとも一組の情報を、ユーザインターフェース上に表示する、方法。
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