JP2016004614A - ビーム照射装置及びビーム照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ビーム照射装置10は、荷電粒子ビームBを所定の走査方向に往復走査させるビーム走査器26と、計測対象とする領域に入射する荷電粒子の角度成分が計測可能な測定器42と、測定器42の計測結果を用いて、荷電粒子ビームBの実効照射エミッタンスを算出するデータ処理部と、を備える。測定器42は、走査方向に往復走査される荷電粒子ビームBが計測対象とする領域を通過して測定器42に入射する時間にわたって、荷電粒子ビームBについての角度分布の時間変化値を計測し、データ処理部は、測定器が計測した角度分布の時間変化値に含まれる時間情報を位置情報に変換して実効照射エミッタンスを算出する。実効照射エミッタンスは、走査方向に走査されて計測対象とする領域に入射する荷電粒子ビームの一部を足し合わせることで形成されうる仮想的なビーム束についてのエミッタンスを表す。
【選択図】図6
Description
Claims (22)
- 荷電粒子ビームを対象物に照射するためのビーム照射装置であって、
前記荷電粒子ビームを所定の走査方向に往復走査させるビーム走査器と、
計測対象とする領域に入射する荷電粒子の角度成分が計測可能な測定器と、
前記測定器の計測結果を用いて、荷電粒子ビームの実効照射エミッタンスを算出するデータ処理部と、
を備え、
前記測定器は、前記走査方向に往復走査される荷電粒子ビームが前記計測対象とする領域を通過して前記測定器に入射する時間にわたって、前記荷電粒子ビームについての角度分布の時間変化値を計測し、
前記データ処理部は、前記測定器が計測した角度分布の時間変化値に含まれる時間情報を位置情報に変換して前記実効照射エミッタンスを算出し、
前記実効照射エミッタンスは、前記走査方向に走査されて前記計測対象とする領域に入射する荷電粒子ビームの一部を足し合わせることで形成されうる仮想的なビーム束についての前記走査方向のエミッタンスを表すことを特徴とするビーム照射装置。 - 前記測定器を前記走査方向に移動させて前記計測対象とする領域を前記走査方向に移動可能とする駆動装置をさらに備え、
前記測定器は、前記走査方向に移動しながら前記往復走査される荷電粒子ビームの角度分布の時間変化値を計測し、
前記データ処理部は、前記測定器が計測した角度分布の時間変化値に含まれる時間情報を前記走査方向の位置情報に変換して前記実効照射エミッタンスを算出することを特徴とする請求項1に記載のビーム照射装置。 - 前記駆動装置は、前記荷電粒子ビームの前記走査方向の照射範囲にわたって前記測定器を移動可能とし、前記測定器の前記走査方向の位置が検知可能な位置検知部を有しており、
前記データ処理部は、前記位置検知部が検知する前記測定器の位置に対応づけて前記実効照射エミッタンスを算出することを特徴とする請求項2に記載のビーム照射装置。 - 前記測定器は、前記荷電粒子ビームの前記照射範囲にわたって前記走査方向の複数位置における前記角度分布の時間変化値を計測し、
前記データ処理部は、前記荷電粒子ビームの前記照射範囲にわたって前記走査方向の複数位置における前記実効照射エミッタンスを算出することを特徴とする請求項3に記載のビーム照射装置。 - 前記ビーム走査器および前記駆動装置の動作を制御して、前記荷電粒子ビームの角度分布に関する計測モードを切り替えるモード切替部をさらに備え、
前記モード切替部は、
前記ビーム走査器により前記荷電粒子ビームを往復走査させ、前記走査方向に往復走査される荷電粒子ビームについて角度分布の時間変化値を前記測定器に計測させる第1の計測モードと、
前記ビーム走査器による前記荷電粒子ビームの往復走査を停止させるとともに、前記測定器を前記走査方向に移動させることにより、往復走査されない荷電粒子ビームについての角度分布の時間変化値を前記測定器に計測させる第2の計測モードとを、有し、
前記データ処理部は、前記第1の計測モードにおいて前記実効照射エミッタンスを算出し、前記第2の計測モードにおいて前記往復走査されない荷電粒子ビームのエミッタンスを算出することを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載のビーム照射装置。 - 前記第1の計測モードは、往復走査される荷電粒子ビームが前記計測対象とする領域を通過するのにかかる第1の時間にわたって前記測定器による計測をするものであり、
前記第2の計測モードは、往復走査されない荷電粒子ビームが位置する前記走査方向の範囲を前記測定器が通過するのにかかる第2の時間にわたって前記測定器による計測をするものであり、
前記モード切替部は、前記測定器による測定時間を、前記第1の時間よりも相対的に長い前記第2の時間に変更することにより、前記第1の計測モードから前記第2の計測モードに切り替えることを特徴とする請求項5に記載のビーム照射装置。 - 前記データ処理部は、前記荷電粒子ビームが前記計測対象とする領域を通過するときの前記走査方向の走査速度を用いて、前記時間情報を前記位置情報に変換することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のビーム照射装置。
- 前記ビーム走査器は、前記走査方向の位置に応じて前記走査速度が変化しうるように、前記荷電粒子ビームを非等速な走査速度で往復走査させ、
前記データ処理部は、前記非等速な走査速度を用いて、前記時間情報を前記位置情報に変換することを特徴とする請求項7に記載のビーム照射装置。 - 前記ビーム走査器は、前記荷電粒子ビームを所定の走査周期で往復走査させ、
前記測定器は、前記走査周期と同期して前記角度分布の時間変化値を複数回計測することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のビーム照射装置。 - 前記データ処理部は、前記走査周期と同期して複数回計測した前記角度分布の時間変化値を足し合わせて前記実効照射エミッタンスを算出することを特徴とする請求項9に記載のビーム照射装置。
- 前記測定器は、前記荷電粒子ビームの照射範囲にわたって前記角度分布の時間変化値を計測するとともに、前記荷電粒子ビームの照射範囲にわたって前記荷電粒子ビームのビーム強度を測定し、前記走査方向のビーム強度の均一性を計測することを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載のビーム照射装置。
- 前記データ処理部の算出結果を出力するデータ出力部をさらに備え、
前記出力部は、前記算出した実効照射エミッタンスを、前記走査方向の軸および前記角度成分の軸を有する座標系に可視化することを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載のビーム照射装置。 - 前記測定器は、
前記走査方向の交差方向に細長い形状を有して前記計測対象とする領域を区画するスリットと、
前記交差方向に細長い形状を有し、前記スリットからビーム進行方向に離れて、前記走査方向に並んで配置される複数のコレクタ電極と、を有し、
前記スリットを通過する荷電粒子を前記複数のコレクタ電極により検出して、前記角度分布の時間変化値を計測することを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載のビーム照射装置。 - 前記複数のコレクタ電極は、前記スリットよりも前記交差方向の長さが長いことを特徴とする請求項13に記載のビーム照射装置。
- 前記測定器は、前記スリットの前面が前記対象物のビーム照射面とビーム進行方向に一致する位置に配置可能となるように構成されており、前記ビーム照射面を通過する荷電粒子ビームについて前記角度分布の時間変化値を計測することを特徴とする請求項13または14に記載のビーム照射装置。
- 前記測定器は、前記角度分布の時間変化値を計測するためのコレクタ電極とは別に、前記荷電粒子のビーム強度を計測するためのファラデーカップを有し、
前記ファラデーカップは、前記対象物のビーム照射面とビーム進行方向に一致する位置に配置可能となるように構成されていることを特徴とする請求項13から15のいずれか一項に記載のビーム照射装置。 - 前記測定器は、前記複数のコレクタ電極に接続され、前記複数のコレクタ電極のそれぞれにおいて検出される電流の時間変化値を個別に測定可能となるように構成される測定回路をさらに有し、
前記データ処理部は、前記複数のコレクタ電極のそれぞれにおいて検出される電流の時間変化値を用いて、前記実効照射エミッタンスを算出することを特徴とする請求項13から16のいずれか一項に記載のビーム照射装置。 - 前記測定回路は、前記複数のコレクタ電極のそれぞれにおいて検出される電流の時間変化値を一定時間にわたって積算することで得られる積算電流量が測定可能となるように構成されており、
前記データ処理部は、前記積算電流量を用いて、前記荷電粒子ビームに関する前記走査方向の角度分布を算出することを特徴とする請求項17に記載のビーム照射装置。 - 前記データ処理部は、前記測定器が計測した角度分布の時間変化値を時間について積分することにより、前記荷電粒子ビームに関する前記走査方向の角度分布を算出することを特徴とする請求項1から17のいずれか一項に記載のビーム照射装置。
- 前記データ処理部の算出結果を出力するデータ出力部をさらに備え、
前記出力部は、前記算出した角度分布を、前記荷電粒子ビームのビーム強度を示す軸および前記角度成分の軸を有する座標系に可視化することを特徴とする請求項18または19に記載のビーム照射装置。 - 前記データ処理部は、前記算出した実効照射エミッタンスが所定条件を満たすか否かを判定し、前記所定条件を満たすと判定する場合に前記対象物への荷電粒子ビームの照射を開始させることを特徴とする請求項1から20のいずれか一項に記載のビーム照射装置。
- 荷電粒子ビームを対象物に照射するビーム照射方法であって、
荷電粒子ビームを所定の走査方向に往復走査させることと、
計測対象とする領域に入射する荷電粒子の角度成分が計測可能な測定器を用いて、前記走査方向に往復走査される荷電粒子ビームが前記計測対象とする領域を通過して前記測定器に入射する時間にわたって、前記荷電粒子ビームについての角度分布の時間変化値を計測することと、
計測した角度分布の時間変化値に含まれる時間情報を位置情報に変換して、荷電粒子ビームの実効照射エミッタンスを算出することと、
を備え、
前記実効照射エミッタンスは、前記走査方向に走査されて前記計測対象とする領域に入射する荷電粒子ビームの一部を足し合わせることで形成されうる仮想的なビーム束についての前記走査方向のエミッタンスを表すことを特徴とするビーム照射方法。
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